JPS62108842U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62108842U JPS62108842U JP19998885U JP19998885U JPS62108842U JP S62108842 U JPS62108842 U JP S62108842U JP 19998885 U JP19998885 U JP 19998885U JP 19998885 U JP19998885 U JP 19998885U JP S62108842 U JPS62108842 U JP S62108842U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- diaphragm body
- responsive part
- pressure responsive
- resistive films
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Description
図面は本考案の一実施例を示すもので、第1図
は平面図、第2図は断面図、第3図は等価回路図
である。 図面中、1はダイヤフラム本体、2は台座部、
3は圧力応動部、11乃至14は圧力検知用の第
1乃至第4の抵抗、15及び16は調整用の第5
及び第6の抵抗である。
は平面図、第2図は断面図、第3図は等価回路図
である。 図面中、1はダイヤフラム本体、2は台座部、
3は圧力応動部、11乃至14は圧力検知用の第
1乃至第4の抵抗、15及び16は調整用の第5
及び第6の抵抗である。
Claims (1)
- 薄肉な圧力応動部の周囲部に厚肉な台座部を形
成してなるダイヤフラム本体と、このダイヤフラ
ム本体の圧力応動部に付設され該圧力応動部に圧
力が加えられて変位されるとその変位に応じて抵
抗値が変化する複数個の圧力検知用抵抗膜と、前
記ダイヤフラム本体の台座部に付設され前記圧力
検知用抵抗膜に電気的に接続されて該圧力検知用
抵抗膜との合成抵抗が前記圧力応動部に圧力が加
えられない定常時に所定値となるように調整可能
な調整用抵抗膜とを具備してなる圧力センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19998885U JPS62108842U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19998885U JPS62108842U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62108842U true JPS62108842U (ja) | 1987-07-11 |
Family
ID=31162124
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19998885U Pending JPS62108842U (ja) | 1985-12-26 | 1985-12-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62108842U (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5245377A (en) * | 1975-10-08 | 1977-04-09 | Hitachi Ltd | Silicon mechanical-electrical converter |
JPS5819240B2 (ja) * | 1978-05-09 | 1983-04-16 | 日本原子力事業株式会社 | 高速増殖炉炉入口ナトリウム温度の制御方法と装置 |
JPS59217375A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体機械−電気変換装置 |
JPS60128674A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Copal Denshi Kk | 拡散型半導体圧力変換器 |
-
1985
- 1985-12-26 JP JP19998885U patent/JPS62108842U/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5245377A (en) * | 1975-10-08 | 1977-04-09 | Hitachi Ltd | Silicon mechanical-electrical converter |
JPS5819240B2 (ja) * | 1978-05-09 | 1983-04-16 | 日本原子力事業株式会社 | 高速増殖炉炉入口ナトリウム温度の制御方法と装置 |
JPS59217375A (ja) * | 1983-05-26 | 1984-12-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 半導体機械−電気変換装置 |
JPS60128674A (ja) * | 1983-12-15 | 1985-07-09 | Copal Denshi Kk | 拡散型半導体圧力変換器 |