JPS62106408A - 色フイルタの製造方法 - Google Patents
色フイルタの製造方法Info
- Publication number
- JPS62106408A JPS62106408A JP60246836A JP24683685A JPS62106408A JP S62106408 A JPS62106408 A JP S62106408A JP 60246836 A JP60246836 A JP 60246836A JP 24683685 A JP24683685 A JP 24683685A JP S62106408 A JPS62106408 A JP S62106408A
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- Japan
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- electrodes
- current
- electrode
- substrate
- energizing
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は顕像装置、液晶表示装置６等に用いられる微細
パターンの色フィルタの製造１１法に閉覆る。
パターンの色フィルタの製造１１法に閉覆る。
（従来の技術）
微細パターンのＣＡフィルタは、例えば、液晶表示装置
、単管式１１ｉｉ像管あるいは固体窪像素子嘴を用いた
搬像装置等において用いられている。
、単管式１１ｉｉ像管あるいは固体窪像素子嘴を用いた
搬像装置等において用いられている。
特にＬ述した液晶表示装置においては、印加する電Ｗ（
１）Ｇ無により光学特性が変化して光の腐蔽及び透過を
行′／Ｔう液晶セルと組合せることによりカラー表示が
可能となる。
１）Ｇ無により光学特性が変化して光の腐蔽及び透過を
行′／Ｔう液晶セルと組合せることによりカラー表示が
可能となる。
ところで、従来にり種々の色フィルタが実用化されでき
ているが、その−例として、高分子電着法を用いＵ’［
造される色フィルタがある。
ているが、その−例として、高分子電着法を用いＵ’［
造される色フィルタがある。
この高分子電着法を用いた色フィルタのＩ８Ｉ造方法【
よ水溶１１１６分子が電気化学的に不溶化し、電極」−
に析出してくる現染を応用した方法であって、使用Ｊる
分子の種類によって以下の２つに大別される。
よ水溶１１１６分子が電気化学的に不溶化し、電極」−
に析出してくる現染を応用した方法であって、使用Ｊる
分子の種類によって以下の２つに大別される。
一方は高分子材ｌｉｔに親水性基としてカルボキシルｌ
［−ＣＯＯＨＩを導入したアニオン形であり、他方は高
分子４４１！ｌに親水性基としてアミノ基［−Ｎｔ１２
１を導入したカチオン形である。
［−ＣＯＯＨＩを導入したアニオン形であり、他方は高
分子４４１！ｌに親水性基としてアミノ基［−Ｎｔ１２
１を導入したカチオン形である。
しかし、使用する電極材質が酸化インジコウム［１ｎ２
０３Ｆ、酸化スズ［ＳｎＯ２］あるいはこれらの化合物
（ＩＴＯ）の場合、アニオン形が適している。このアニ
オン形の高分子水溶液を電気分解した場合、陽極表面で
は、 ２Ｈ２０−＋４ Ｈ” ＋０２ ＋４ ｅ−−ＣＯＯ−
＋ｌピ→−ＣＯＯＩＩ なる反応により不溶性高分子膜が析出Ｊる３、この高分
子水溶液中に色素、例えば、顔料を分散させておけば着
色膜が析出づる。
０３Ｆ、酸化スズ［ＳｎＯ２］あるいはこれらの化合物
（ＩＴＯ）の場合、アニオン形が適している。このアニ
オン形の高分子水溶液を電気分解した場合、陽極表面で
は、 ２Ｈ２０−＋４ Ｈ” ＋０２ ＋４ ｅ−−ＣＯＯ−
＋ｌピ→−ＣＯＯＩＩ なる反応により不溶性高分子膜が析出Ｊる３、この高分
子水溶液中に色素、例えば、顔料を分散させておけば着
色膜が析出づる。
ここで土）ホした陽極が第２図（Ａ）に示１ように所定
のパターンで配向された透明電極であるとすると、この
透明電極を用いることにより、第２図（Ｂ）に示すよう
な所定のパターンを右Ｊる色フィルタを製造することが
できる。
のパターンで配向された透明電極であるとすると、この
透明電極を用いることにより、第２図（Ｂ）に示すよう
な所定のパターンを右Ｊる色フィルタを製造することが
できる。
具体的に説明すると、第２図（Δ）において、１は基板
、２，３は透明電極であって、２ ＧＥＬ外部より電流
が供給される通電電極、３は外部より電流が供給されな
い非通電電極であるので、通電電極２に対応する部分だ
【−」が着色されて着色膜４が形成され、非道電電＋４
ｉ３に対応リ−る部分は６色されず着色膜４が形成され
イ【いことになる。
、２，３は透明電極であって、２ ＧＥＬ外部より電流
が供給される通電電極、３は外部より電流が供給されな
い非通電電極であるので、通電電極２に対応する部分だ
【−」が着色されて着色膜４が形成され、非道電電＋４
ｉ３に対応リ−る部分は６色されず着色膜４が形成され
イ【いことになる。
（発明が解決しようとづる間’ｌｆＪ ＋ｈ ＞しかし
、微細なパターンの色フィルタを得るために透明電極２
．３を微小１ｉ’ｌｓ鑓間隔で近１裏してｈ１１置する
ど、例λば、第２図（△）に示した通電型１４ス２どノ
１通電電極３どの間隔を２０［μｍ１程度に一９定りる
ど高分子水溶液を介して通電電極２と１１通電電極３ど
が導通状態となり、その結果、１１通電電４４Ｉ３にス
・１［１卜する部分に着色膜４が形成されてしまうＩこ
め、微細なパターンの色フィルタが得られ／ｊ−いとい
う問題点を有していた。
、微細なパターンの色フィルタを得るために透明電極２
．３を微小１ｉ’ｌｓ鑓間隔で近１裏してｈ１１置する
ど、例λば、第２図（△）に示した通電型１４ス２どノ
１通電電極３どの間隔を２０［μｍ１程度に一９定りる
ど高分子水溶液を介して通電電極２と１１通電電極３ど
が導通状態となり、その結果、１１通電電４４Ｉ３にス
・１［１卜する部分に着色膜４が形成されてしまうＩこ
め、微細なパターンの色フィルタが得られ／ｊ−いとい
う問題点を有していた。
Ｙこ（・、本発明は通電電極とＪ１通電電極どの間に感
光１／１樹脂を形成す゛ることにより、通電電極と３１
通電’１ｌｉ４４１とが極めて微小な距！ＩＩＩ間隔で
近接して配電されていてム非通電電極が配置されｌこ位
置に着色膜が析出１！ｆ、Ｊ：り微細なパターンを基板
上に形成Ｃ′き、高精細庭な色フィルタを製造すること
がでさる色フィルタの製造方法を提供することをＶ１的
どＪ−る。
光１／１樹脂を形成す゛ることにより、通電電極と３１
通電’１ｌｉ４４１とが極めて微小な距！ＩＩＩ間隔で
近接して配電されていてム非通電電極が配置されｌこ位
置に着色膜が析出１！ｆ、Ｊ：り微細なパターンを基板
上に形成Ｃ′き、高精細庭な色フィルタを製造すること
がでさる色フィルタの製造方法を提供することをＶ１的
どＪ−る。
（間’Ｊｆ目：λをＷＣ決づるための手段）本発明は十
）ホした問題点を解決するために第１図に示りＪ、うな
色フィルタの製造方法を提供づるｂのである。
）ホした問題点を解決するために第１図に示りＪ、うな
色フィルタの製造方法を提供づるｂのである。
第１図に示Ｍ色フィルタの製造方法は、基板１上に所定
間隔で第１の透明＠極２及び第２の透明電極３を所定の
パターンで形成し、基板１十に形成した第１の透明電極
２と第２の透明電極３との間に感光性樹脂５を形成し、
第１の透明電極２にのみ電流を供給して第１の透明電極
２Ｆに着色膜４を形成Ｊる方法である。
間隔で第１の透明＠極２及び第２の透明電極３を所定の
パターンで形成し、基板１十に形成した第１の透明電極
２と第２の透明電極３との間に感光性樹脂５を形成し、
第１の透明電極２にのみ電流を供給して第１の透明電極
２Ｆに着色膜４を形成Ｊる方法である。
（実 施 例）
第１図は本発明になる色フィルタの製造ブフ法の一例を
説明するｌ＝ Ｎ）の図である。
説明するｌ＝ Ｎ）の図である。
まず、第１図（Δ）に示すＪ、うに基板１の−１に第１
の透明電極となる通電電極２及び第２の透明電極となる
非通電電極３を所定のパターンで配Ｖノする。
の透明電極となる通電電極２及び第２の透明電極となる
非通電電極３を所定のパターンで配Ｖノする。
次に第１図（Ｒ）に示すように通電型４４Ｉ２どＪｌ−
通電電極３との間に電極間スペース５を形成する。
通電電極３との間に電極間スペース５を形成する。
この電極間スペース５Ｉよ、例えば、フォトレジスト等
の感光性樹脂で、通常のフＡ１〜リソグラノイの手法を
用いて形成される。
の感光性樹脂で、通常のフＡ１〜リソグラノイの手法を
用いて形成される。
この後、第１図（Ｃ）に示すように上記通電電極２にの
み電流を供給して着色膜４をこの通電電極２１に析出さ
ｌ！る。
み電流を供給して着色膜４をこの通電電極２１に析出さ
ｌ！る。
次に第１図（［））に示すように１−配電極間スペース
５を除去することにより邑フィルタができる。
５を除去することにより邑フィルタができる。
なお、第１図（ＩＩ）では電極間スペース５を除去した
例を示したが、例えば、電極間スペース５が被染色↑１
１を右Ｊるフォトレジス１〜である場合は黒色に６区し
てブラックスペースとすることも可能である１、 また、１述した電極間スペース５の厚さは電極間スペー
ス５が形成される間隔〈通電電極２と非通電電極３ど形
成間隔）により異なる。
例を示したが、例えば、電極間スペース５が被染色↑１
１を右Ｊるフォトレジス１〜である場合は黒色に６区し
てブラックスペースとすることも可能である１、 また、１述した電極間スペース５の厚さは電極間スペー
ス５が形成される間隔〈通電電極２と非通電電極３ど形
成間隔）により異なる。
具体的には電極間スペース５の形成間隔、電極間スペー
ス５０〜さ及び非通電電極３の＠色率の関係は以ドの表
に示す通りである。
ス５０〜さ及び非通電電極３の＠色率の関係は以ドの表
に示す通りである。
この表は通電電極２と非通電電極３とのスペース間隔と
、そのスペースに形成した電極間スペース（）、１＋・
レジス］〜レジスト厚）５との相関関係を示′１１Ｉノ
こめに、電極間スペース５を形成したことにＪ、る効果
の度合をＪ１通電電極３の着色率（％）で示したしので
ある。
、そのスペースに形成した電極間スペース（）、１＋・
レジス］〜レジスト厚）５との相関関係を示′１１Ｉノ
こめに、電極間スペース５を形成したことにＪ、る効果
の度合をＪ１通電電極３の着色率（％）で示したしので
ある。
つまり、通電電極２ど非油電電（４イ３とが微小距離間
隔で形成されていてし電極間スペース１）を形成するこ
とによりＪ１通電電極３０首色キ（％）を低下させるこ
とができる。
隔で形成されていてし電極間スペース１）を形成するこ
とによりＪ１通電電極３０首色キ（％）を低下させるこ
とができる。
表
ま１こ、Ｊ１通電電極３を着色しない／Ｊ法どして１１
通電電極３を、例えば、フ、ｉ ｌ−レジストで全体に
被覆する方法もあるが右（ｒｌ、の秤類が３種１＋’＋
以−１になる揚台、これらの［稈が極端ｔこ〜２′１１
に＜ｉる。
通電電極３を、例えば、フ、ｉ ｌ−レジストで全体に
被覆する方法もあるが右（ｒｌ、の秤類が３種１＋’＋
以−１になる揚台、これらの［稈が極端ｔこ〜２′１１
に＜ｉる。
（発明の効果）
本発明は−１）４１の／ｌｎさｆノ法であるので、通電
電極どＪ１通電′＃ｉ捗どが撓めて微小な距頗間隔で近
接して配置されてい−Ｃｂ非通電電極が配置された位置
に７１色膜厚析出せず、より微細なパターンを基根１−
に形成でき、高精細度な邑フィルタを製造できるどい・
）刊１ｊ＋Ｅを石Ｊる。
電極どＪ１通電′＃ｉ捗どが撓めて微小な距頗間隔で近
接して配置されてい−Ｃｂ非通電電極が配置された位置
に７１色膜厚析出せず、より微細なパターンを基根１−
に形成でき、高精細度な邑フィルタを製造できるどい・
）刊１ｊ＋Ｅを石Ｊる。
４、図面のｒｌｉ ’ｔ’イ【説明
第１図（４１本発明にイする色フィルタの製造方法の−
・例４説明りるための図、第２図は従来の色フィルタσ
） 例の製造方法を説明するための図である。
・例４説明りるための図、第２図は従来の色フィルタσ
） 例の製造方法を説明するための図である。
１・・・ＩＡ（）れ２・・・通電電極（第１の透明電極
）、３・・・−１１通電電１４１（第２の透明電極）、
４・・・着色膜、５・・・電極間スペース。
）、３・・・−１１通電電１４１（第２の透明電極）、
４・・・着色膜、５・・・電極間スペース。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 基板上に所定間隔で第１の透明電極及び第２の透明電極
を所定のパターンで形成し、 前記基板上に形成した前記第１の透明電極と前記第２の
透明電極との間に感光性樹脂を形成し、前記第１の透明
電極にのみ電流を供給してこの第１の透明電極上に着色
膜を形成するようにしたことを特徴とする色フィルタの
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60246836A JPS62106408A (ja) | 1985-11-02 | 1985-11-02 | 色フイルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60246836A JPS62106408A (ja) | 1985-11-02 | 1985-11-02 | 色フイルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62106408A true JPS62106408A (ja) | 1987-05-16 |
Family
ID=17154416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60246836A Pending JPS62106408A (ja) | 1985-11-02 | 1985-11-02 | 色フイルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62106408A (ja) |
-
1985
- 1985-11-02 JP JP60246836A patent/JPS62106408A/ja active Pending
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