JPS62105935A - 多孔質石英ガラス母材の焼成方法 - Google Patents
多孔質石英ガラス母材の焼成方法Info
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- JPS62105935A JPS62105935A JP24415285A JP24415285A JPS62105935A JP S62105935 A JPS62105935 A JP S62105935A JP 24415285 A JP24415285 A JP 24415285A JP 24415285 A JP24415285 A JP 24415285A JP S62105935 A JPS62105935 A JP S62105935A
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- furnace
- porous
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
- C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
- C03B37/012—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
- C03B37/014—Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
- C03B37/01446—Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
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- C03B37/0146—Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings
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- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、気相反応合成法によって製造された多孔質石
英ガラス母材を加熱炉中で加熱１．て透明合成石英ガラ
スを得るための多孔質石英ガラスｍ材の焼成方法に関す
るものである。
英ガラス母材を加熱炉中で加熱１．て透明合成石英ガラ
スを得るための多孔質石英ガラスｍ材の焼成方法に関す
るものである。
［従来の技術］
従来より、合成石英ガラスを製造する方法の−・つとし
て気相反応法により多孔質石英ガラス母材を形成し、こ
の母材を加熱１．て透明ガラス化する方法が採用されて
いる。すなわち、バーナから珪素化合物、水素、酸素等
の！！Ｘ料ガスを鉛直に懸ドした回転する種棒に向けて
供給し。
て気相反応法により多孔質石英ガラス母材を形成し、こ
の母材を加熱１．て透明ガラス化する方法が採用されて
いる。すなわち、バーナから珪素化合物、水素、酸素等
の！！Ｘ料ガスを鉛直に懸ドした回転する種棒に向けて
供給し。
四塩化珪素等の珪素化合物を酸・水素炎中で加水分解さ
せ、石英等の種棒のド端部にシリカ微粒子を付着、堆積
させて多孔質石英ガラス母材を形成する。次いでこの多
孔質石英ガラス母材を加熱炉に入れて、該母材を焼結さ
せることにより透明ガラス化する方法である。この母材
を焼結させることを母材の焼成とも云う。
せ、石英等の種棒のド端部にシリカ微粒子を付着、堆積
させて多孔質石英ガラス母材を形成する。次いでこの多
孔質石英ガラス母材を加熱炉に入れて、該母材を焼結さ
せることにより透明ガラス化する方法である。この母材
を焼結させることを母材の焼成とも云う。
［発明の解決しようとする問題点］
この方法によりフォトマスク基板用等の大型の石英ガラ
スを効率よく製造しようとする場合、多孔質石英ガラス
母材を大口径化するとともに、長尺化する必要がある。
スを効率よく製造しようとする場合、多孔質石英ガラス
母材を大口径化するとともに、長尺化する必要がある。
こうした場合、従来より知られている方法、すなわち、
縦方向に適当な温度分布を有する、縦型管状炉中で、多
孔質石英ガラス母材を上方より下方に向けて、あるいは
逆方向に向けて移動させながら焼結させて透明ガラス化
する方法を採用した場合、母材の重量が大きい為に種棒
が熱変形により引き延ばされたり、破断したりし、結果
として石英ガラスロッドが安定して得られにくいという
問題点があった。また、通常焼結透明ガラス化させる際
の雰囲気としてヘリウムガスが用いられるが、従来の焼
成方法の場合、炉の構造り、ｈ方より多孔質は材を支持
せざるを得ず炉り部の雰囲気シールを完全に行なうのが
困難であり、また煙突効果によるガスの吹き抜けが大で
あるため、放熱も大きく、高価なガスであるヘリウムを
多量に消費し、電力費も多くかかるという問題点があっ
た。
縦方向に適当な温度分布を有する、縦型管状炉中で、多
孔質石英ガラス母材を上方より下方に向けて、あるいは
逆方向に向けて移動させながら焼結させて透明ガラス化
する方法を採用した場合、母材の重量が大きい為に種棒
が熱変形により引き延ばされたり、破断したりし、結果
として石英ガラスロッドが安定して得られにくいという
問題点があった。また、通常焼結透明ガラス化させる際
の雰囲気としてヘリウムガスが用いられるが、従来の焼
成方法の場合、炉の構造り、ｈ方より多孔質は材を支持
せざるを得ず炉り部の雰囲気シールを完全に行なうのが
困難であり、また煙突効果によるガスの吹き抜けが大で
あるため、放熱も大きく、高価なガスであるヘリウムを
多量に消費し、電力費も多くかかるという問題点があっ
た。
［問題点を解決するための手段］
本発明は、前述の問題点を解決すべくなされたものであ
り、ハロゲン化珪素を酸・水素炎中で加水分解して生成
するシリカ微粒子を鉛直に懸下した回転する石英ガラス
製造用種棒の一端に堆積・成長させて形成した多孔質石
英ガラス母材を加熱して透明ガラス化し、合成石英ガラ
スを製造する方法において、予め多孔質石英ガラス母材
（以下、多孔質母材あるいは巾に母材と云う）を、多孔
質母材が完全にガラス化する温度、時間よりも低い温度
、短い時間で仮焼した後、炉内最高雰囲気温度が前記仮
焼温度より高く、水平方向に温度分布を有する炉内を、
多孔質母材の成長軸が水平となるように、多孔質母材の
成長軸の一端から移動させながら透明ガラス化する＄を
特徴とする、多孔質石英ガラス母材の焼成方法を提供す
るものである。ここで前記の方法で形成した多孔質母材
は、種棒の位置を軸とするほぼ円柱状をなしている。ヒ
記多孔質母材の成長軸とは、このほぼ円柱状をなす母材
の軸のことである。該母材の軸に垂直な方向を径方向と
書く。
り、ハロゲン化珪素を酸・水素炎中で加水分解して生成
するシリカ微粒子を鉛直に懸下した回転する石英ガラス
製造用種棒の一端に堆積・成長させて形成した多孔質石
英ガラス母材を加熱して透明ガラス化し、合成石英ガラ
スを製造する方法において、予め多孔質石英ガラス母材
（以下、多孔質母材あるいは巾に母材と云う）を、多孔
質母材が完全にガラス化する温度、時間よりも低い温度
、短い時間で仮焼した後、炉内最高雰囲気温度が前記仮
焼温度より高く、水平方向に温度分布を有する炉内を、
多孔質母材の成長軸が水平となるように、多孔質母材の
成長軸の一端から移動させながら透明ガラス化する＄を
特徴とする、多孔質石英ガラス母材の焼成方法を提供す
るものである。ここで前記の方法で形成した多孔質母材
は、種棒の位置を軸とするほぼ円柱状をなしている。ヒ
記多孔質母材の成長軸とは、このほぼ円柱状をなす母材
の軸のことである。該母材の軸に垂直な方向を径方向と
書く。
１記の如く、透明合成石英ガラスを得るために母材を焼
成するに当り、本発明では焼成を２段階に分けて行う、
第１段階の焼成を仮焼または予備焼成と呼び、第２段階
の焼成を透明ガラス化または単に焼成と云うこととする
。
成するに当り、本発明では焼成を２段階に分けて行う、
第１段階の焼成を仮焼または予備焼成と呼び、第２段階
の焼成を透明ガラス化または単に焼成と云うこととする
。
本発明において多孔質母材は、例えば第３図に示したよ
うな装置によって製造される。すなわちポンベ１３およ
びポンベ１４から水素および酸素がマスフローコントロ
ーラー１５． ｉｅを通して多重管バーナ１７に供給さ
れる。また四塩化珪素、トリクロルシラン、四臭化珪素
等の珪素化合物のガスが、タンク１８からポンプ２０に
より熱交換器１９を通して多重管バーナ１７に供給され
る。多重管バーナ１７は反応室２１内において酸水素炎
を形成し、珪素化合物を加水分解してシリカ微粒子を形
成する。
うな装置によって製造される。すなわちポンベ１３およ
びポンベ１４から水素および酸素がマスフローコントロ
ーラー１５． ｉｅを通して多重管バーナ１７に供給さ
れる。また四塩化珪素、トリクロルシラン、四臭化珪素
等の珪素化合物のガスが、タンク１８からポンプ２０に
より熱交換器１９を通して多重管バーナ１７に供給され
る。多重管バーナ１７は反応室２１内において酸水素炎
を形成し、珪素化合物を加水分解してシリカ微粒子を形
成する。
なお図示していないが、窒素、アルゴン等の不活性ガス
もバーナ１７に供給され、これら珪素化合物のキャリア
ガスとしであるいは酸水素炎中のエアカーテンとして使
用される。この加水分解反応を珪素化合物が四塩化珪素
である場合について化学式で示すと次式の様になる。
もバーナ１７に供給され、これら珪素化合物のキャリア
ガスとしであるいは酸水素炎中のエアカーテンとして使
用される。この加水分解反応を珪素化合物が四塩化珪素
である場合について化学式で示すと次式の様になる。
２Ｈ２＋ ０２ → ２Ｈ２０−−−−（１）２Ｈ
，＋ Ｏ＋ Ｓ ｉＣ１４→ ＳｉＯ２＋ ４ＨＣＩ
−−−一（２）このシリカ微粒子が反応室２１で鉛直
に懸下された回転する石英ガラス製種棒２２のド端部に
付着堆積して順次成長し、大口径の多孔質石英ガラス母
材２３が形成される。なお反応によって発生する）１Ｇ
＋はＮａＯＨ水溶液とガス洗詐塔２５で向流に接触して
吸収除去される。
，＋ Ｏ＋ Ｓ ｉＣ１４→ ＳｉＯ２＋ ４ＨＣＩ
−−−一（２）このシリカ微粒子が反応室２１で鉛直
に懸下された回転する石英ガラス製種棒２２のド端部に
付着堆積して順次成長し、大口径の多孔質石英ガラス母
材２３が形成される。なお反応によって発生する）１Ｇ
＋はＮａＯＨ水溶液とガス洗詐塔２５で向流に接触して
吸収除去される。
本発明においてはｌ二足した方法により製造される多孔
質石英ガラスＩＪ材２３を、１４００〜・１５００℃の
焼成により透明ガラス化する１ｉｉｊ ｉ、″′第１図
に示した如き加熱炉２でｆめ１１５０〜ｔ３５０’Ｃの
温Ｉバ範囲において仮焼して多孔質石英ガラス１（Ｉ材
の８゛：方向の密度分４３を整え、母材強度を高める。
質石英ガラスＩＪ材２３を、１４００〜・１５００℃の
焼成により透明ガラス化する１ｉｉｊ ｉ、″′第１図
に示した如き加熱炉２でｆめ１１５０〜ｔ３５０’Ｃの
温Ｉバ範囲において仮焼して多孔質石英ガラス１（Ｉ材
の８゛：方向の密度分４３を整え、母材強度を高める。
この仮焼はクリーンな雰囲気中で行なう１−ｉ、が好ま
しく、必要に応じて予めフィルター等で処理した空気、
窒素あるいはその他の不活性ガスを導入（装置は図示せ
ず）し、なから加熱炉２内において１−記温度範囲内で
行なう。仮焼の時間は雰囲気温度、均熱域のνさ竿によ
り異なるが、仮焼後の多孔質石英ガラス母材の径方向で
の収縮率が、２Ｏ−＝５０％、好ましくは３５〜４５％
の範囲になる条件から選ぶごバが出来る。収縮率が２０
％未満では多孔質石英ガラス母材の外周部の密度がまだ
充分に高まらず透明ガラス死時Ｆ′不均一な収縮がおこ
りＲノ材がこわれたり、仮焼母材がハンドリング時にこ
われたりする原因となる。また、収縮率が４５％を超え
ると、多孔質石英ガラヌハ１材の外周部の密度が高くな
りすぎ内部の脱泡が不完全になｔ１透明カラベ中１，１
“％ ｄｊし亨の欠（ヱが発生する原因とＡ：：６．ｌ
〜記理山１．、ｍ、 、にリフ・孔質ｌす材の仮焼呟の
収託Ｉ＋は２０・・５０′？１’； 、！＋’−ｆ ’
耳、しくは１５・〜４５％の範囲内で制御−ぢ−”ン、
、 ！、ｌ’）、、”訳か２．・′）る１、かがる仮焼
を行ったのも多孔質７Ｒ：〜゛力゛ラス母利を第２図に
示（７た如く、水？−力向に温度分布を右する加熱炉２
′内を仮焼ずみの多孔宣母刈の成長軸が水平となるよう
に、仮焼ずみのγ・孔質母材のＪＪｔ長軸の一端から移
動さ＋！Ｘながら透明ガラス化を行なう、ここで用いる
透明′ｊ′ｆラス化のための加熱炉２′は第２図に例示
１． ？−如く、炉内雰囲気１を制御出来るシール構造
をもち、必γゴに応じ母材をささｔ、るためのガイドを
炉内（、“設已」ても３，１：いに、の透明ガラス化の
ための加熱炉２′内の雰囲気はＨｅ六′スを少なくとも
７０火；以１−好才しくは８０〜９０％を含む雰囲ふり
、とし、最高ｊハｊｆ１１′１４０（１−・１５００℃
の温度域において行なう６ｔ′、た焼成の時間は、Ｈｅ
５［％ｆｉ、温度によっても異なるが１．５へ・４時間
が適当であるや また透明ガラス化は、第２図に図示した如く母材の下端
から加熱して徐々に焼成を行ない種棒の下端部が加熱炉
２′内の最高温度域に達する少し手前で停止ｊ：させる
ことにより行なう４警が好ましい。この様に行なえば石
英製種棒７が軟化変形することなく、種棒７の回収−再
使用が可能である。あるいは、仮焼が終ｒした時点で予
め種棒部分を多孔質石英ガラス母材から切りはなし回収
しても良い。その際には透明ガラス化のだめの加熱炉内
にガラス化したロッドを移動する基が出来るようにガイ
ドを設け、ｆｌｌ材の後部より押し林１１等により押す
・扛により母材をガイドにそわせて移動させる方法を採
用することもできる。
しく、必要に応じて予めフィルター等で処理した空気、
窒素あるいはその他の不活性ガスを導入（装置は図示せ
ず）し、なから加熱炉２内において１−記温度範囲内で
行なう。仮焼の時間は雰囲気温度、均熱域のνさ竿によ
り異なるが、仮焼後の多孔質石英ガラス母材の径方向で
の収縮率が、２Ｏ−＝５０％、好ましくは３５〜４５％
の範囲になる条件から選ぶごバが出来る。収縮率が２０
％未満では多孔質石英ガラス母材の外周部の密度がまだ
充分に高まらず透明ガラス死時Ｆ′不均一な収縮がおこ
りＲノ材がこわれたり、仮焼母材がハンドリング時にこ
われたりする原因となる。また、収縮率が４５％を超え
ると、多孔質石英ガラヌハ１材の外周部の密度が高くな
りすぎ内部の脱泡が不完全になｔ１透明カラベ中１，１
“％ ｄｊし亨の欠（ヱが発生する原因とＡ：：６．ｌ
〜記理山１．、ｍ、 、にリフ・孔質ｌす材の仮焼呟の
収託Ｉ＋は２０・・５０′？１’； 、！＋’−ｆ ’
耳、しくは１５・〜４５％の範囲内で制御−ぢ−”ン、
、 ！、ｌ’）、、”訳か２．・′）る１、かがる仮焼
を行ったのも多孔質７Ｒ：〜゛力゛ラス母利を第２図に
示（７た如く、水？−力向に温度分布を右する加熱炉２
′内を仮焼ずみの多孔宣母刈の成長軸が水平となるよう
に、仮焼ずみのγ・孔質母材のＪＪｔ長軸の一端から移
動さ＋！Ｘながら透明ガラス化を行なう、ここで用いる
透明′ｊ′ｆラス化のための加熱炉２′は第２図に例示
１． ？−如く、炉内雰囲気１を制御出来るシール構造
をもち、必γゴに応じ母材をささｔ、るためのガイドを
炉内（、“設已」ても３，１：いに、の透明ガラス化の
ための加熱炉２′内の雰囲気はＨｅ六′スを少なくとも
７０火；以１−好才しくは８０〜９０％を含む雰囲ふり
、とし、最高ｊハｊｆ１１′１４０（１−・１５００℃
の温度域において行なう６ｔ′、た焼成の時間は、Ｈｅ
５［％ｆｉ、温度によっても異なるが１．５へ・４時間
が適当であるや また透明ガラス化は、第２図に図示した如く母材の下端
から加熱して徐々に焼成を行ない種棒の下端部が加熱炉
２′内の最高温度域に達する少し手前で停止ｊ：させる
ことにより行なう４警が好ましい。この様に行なえば石
英製種棒７が軟化変形することなく、種棒７の回収−再
使用が可能である。あるいは、仮焼が終ｒした時点で予
め種棒部分を多孔質石英ガラス母材から切りはなし回収
しても良い。その際には透明ガラス化のだめの加熱炉内
にガラス化したロッドを移動する基が出来るようにガイ
ドを設け、ｆｌｌ材の後部より押し林１１等により押す
・扛により母材をガイドにそわせて移動させる方法を採
用することもできる。
［実施例］
実施例１
四塩化珪素を原料として酸φ水素炎中で加水分解し、石
英ガラス製の種棒のド端部にシリカ微粒子を付着、堆積
させて直径３０ｃｍ、長さ １２００ｍ１の多孔質石英
ガラス母材を合成した。この母材の重量は、約ＩＢｋｇ
であった。これを第１因に示す仮焼炉（炉内径５０ｃｍ
、発熱部ｇき７０ｅふ）のＦ部にセット１１、炉内雰囲
気温度１３００°Ｃ迄昇温した後、 ｒＮ）材を回転さ
ぜながら２００ｍ＋ｍ／ｈｒの速度で引き■、げながら
仮焼１．た。仮焼終ｒ後炉１一部より仮焼りまた母材を
取り出１．た１、この仮焼ねＩ材は直径１ｅｅｓ、 ｆ
ｅさ １０８ｅ１０８ｅあ−】た７これを、次いで第２
図に示す透明ガラス化のための加熱炉２′（炉内径２５
ｃ ｍ 、発熱部１．？：さ８０ｅｍ）の・端に設け
た仮焼Ｌ１材移動用押棒に接続し、炉内雰囲気のシール
を行なった後、雰囲気ガス供給管９よりＨｅガスを ０
、５ｍ’ 、／ ｈ ｒの流驕で流し雰囲気をＨｅ９
０％濃ａと１．また１、ついで押棒１１により母材を１
０ｅ腸／ｈｒの速度で移動させ透明ガラス化を行なわせ
た。この間炉内の雰囲気温度は均熱域温爪１４１０℃と
なるように制御した。
英ガラス製の種棒のド端部にシリカ微粒子を付着、堆積
させて直径３０ｃｍ、長さ １２００ｍ１の多孔質石英
ガラス母材を合成した。この母材の重量は、約ＩＢｋｇ
であった。これを第１因に示す仮焼炉（炉内径５０ｃｍ
、発熱部ｇき７０ｅふ）のＦ部にセット１１、炉内雰囲
気温度１３００°Ｃ迄昇温した後、 ｒＮ）材を回転さ
ぜながら２００ｍ＋ｍ／ｈｒの速度で引き■、げながら
仮焼１．た。仮焼終ｒ後炉１一部より仮焼りまた母材を
取り出１．た１、この仮焼ねＩ材は直径１ｅｅｓ、 ｆ
ｅさ １０８ｅ１０８ｅあ−】た７これを、次いで第２
図に示す透明ガラス化のための加熱炉２′（炉内径２５
ｃ ｍ 、発熱部１．？：さ８０ｅｍ）の・端に設け
た仮焼Ｌ１材移動用押棒に接続し、炉内雰囲気のシール
を行なった後、雰囲気ガス供給管９よりＨｅガスを ０
、５ｍ’ 、／ ｈ ｒの流驕で流し雰囲気をＨｅ９
０％濃ａと１．また１、ついで押棒１１により母材を１
０ｅ腸／ｈｒの速度で移動させ透明ガラス化を行なわせ
た。この間炉内の雰囲気温度は均熱域温爪１４１０℃と
なるように制御した。
また均熱域の侵さは３０ｃｍであ−、た。種棒のド端が
炉内の最高温ｇｆ（域に達する少１−７Ｌ前でＬζＩ材
の移動を停止ｔ二ｌ〜、逆方向に移りｊ、：せ、炉内の
低温度帯域ま゛ｒ焼＋＆ Ｌ、たｔ＋を材を１．）ξき
出１１．３０分間冷却した後、炉内より取り出１５、た
。
炉内の最高温ｇｆ（域に達する少１−７Ｌ前でＬζＩ材
の移動を停止ｔ二ｌ〜、逆方向に移りｊ、：せ、炉内の
低温度帯域ま゛ｒ焼＋＆ Ｌ、たｔ＋を材を１．）ξき
出１１．３０分間冷却した後、炉内より取り出１５、た
。
得られたロッドは透明ガラス化が完了しており、内部に
気泡等はなく、形状も整っていた。
気泡等はなく、形状も整っていた。
尚ロッドの重量は約１１３ｋｇであった。
［発明の効果］・
以上説明したように１本発明によれば、透明ガラス化の
為の焼成を水平方向に行うので、種棒に過大な荷重がか
かわらず従って熱変形により引き延ばされたり破断する
事が防止されるため、大口径、かつ長尺の石英ガラスロ
ッドヲ安定して得る事が出来、工業プロセスとしての高
い信頼性が得られる。また、仮焼から透明ガラス化に移
行する過程で高価な種棒を回収再使用する事が出来る事
、透明ガラス化炉の雰囲気シールが比較的容易なため、
雰囲気ガスの消費量が低減される事、放熱が小さいため
電力原単位が低減される事などにより、生産コストを大
巾に低減するという効果も認められる。
為の焼成を水平方向に行うので、種棒に過大な荷重がか
かわらず従って熱変形により引き延ばされたり破断する
事が防止されるため、大口径、かつ長尺の石英ガラスロ
ッドヲ安定して得る事が出来、工業プロセスとしての高
い信頼性が得られる。また、仮焼から透明ガラス化に移
行する過程で高価な種棒を回収再使用する事が出来る事
、透明ガラス化炉の雰囲気シールが比較的容易なため、
雰囲気ガスの消費量が低減される事、放熱が小さいため
電力原単位が低減される事などにより、生産コストを大
巾に低減するという効果も認められる。
【図面の簡単な説明】
第１図は１本発明の実施例において用いた、多孔質石英
ガラス母材を仮焼するための装置の概略断面図、第２図
は、同じく本発明の実施例において用いた仮焼母材を透
明ガラス化するための装置の概略断面図である。 また第３図は、多孔質石英ガラス母材を得るための装置
の一例を示す説明図である。 １−一一一多孔質石英ガラス母材、 ２．２’−−−一
加熱炉、３−−−−ヒーター、４−−−一仮焼中のガラ
ス母材、５−−−一加熱炉前室、６−−−−引上げ棒、
７一一種棒、８−−ｍ−透明ガラス母材、９−−−−雰
囲気ガス供給管、１０−−−一雰囲気ガス排出管、１１
〜−一−仮焼ずみ母材移動用押棒、 １２−−−−ガイ
ド図面の浄１ 第１図 Ｅ（内容に変更なし） 第 ２ 図 −ＸＴ−をに負ｂ ｉｌ−二μ（（゛方１（４）昭和６
１年２月１７１１
ガラス母材を仮焼するための装置の概略断面図、第２図
は、同じく本発明の実施例において用いた仮焼母材を透
明ガラス化するための装置の概略断面図である。 また第３図は、多孔質石英ガラス母材を得るための装置
の一例を示す説明図である。 １−一一一多孔質石英ガラス母材、 ２．２’−−−一
加熱炉、３−−−−ヒーター、４−−−一仮焼中のガラ
ス母材、５−−−一加熱炉前室、６−−−−引上げ棒、
７一一種棒、８−−ｍ−透明ガラス母材、９−−−−雰
囲気ガス供給管、１０−−−一雰囲気ガス排出管、１１
〜−一−仮焼ずみ母材移動用押棒、 １２−−−−ガイ
ド図面の浄１ 第１図 Ｅ（内容に変更なし） 第 ２ 図 −ＸＴ−をに負ｂ ｉｌ−二μ（（゛方１（４）昭和６
１年２月１７１１
Claims (3)
- （１）ハロゲン化珪素を酸・水素炎中で加水分解して生
成するシリカ微粒子を石英ガラス製造用種棒の一端に堆
積・成長させた多孔質石英ガラス母材を加熱して透明ガ
ラス化し合成石英ガラスを製造する方法において、予め
多孔質石英ガラス母材を該多孔質石英ガラス母材が完全
に透明ガラス化する温度、時間よりも低い雰囲気温度、
短い時間で仮焼した後、最高雰囲気温度が仮焼温度より
高く、水平方向に温度分布を有する雰囲気内を、前記多
孔質石英ガラス母材の成長軸が水平となるように、該多
孔質石英ガラス母材の成長軸の一端から移動させながら
透明ガラス化する事を特徴とする、多孔質石英ガラス母
材の焼成方法。 - （２）最高雰囲気温度が１４００〜１５００℃である特
許請求の範囲第１項記載の多孔質石英ガラス母材の焼成
方法。 - （３）仮焼の雰囲気温度が１１５０〜１３５０℃である
特許請求の範囲第１項記載の多孔質石英ガラス母材の焼
成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244152A JPH0784326B2 (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 多孔質石英ガラス母材の焼成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60244152A JPH0784326B2 (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 多孔質石英ガラス母材の焼成方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62105935A true JPS62105935A (ja) | 1987-05-16 |
| JPH0784326B2 JPH0784326B2 (ja) | 1995-09-13 |
Family
ID=17114533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60244152A Expired - Fee Related JPH0784326B2 (ja) | 1985-11-01 | 1985-11-01 | 多孔質石英ガラス母材の焼成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0784326B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0626351A1 (en) * | 1993-05-24 | 1994-11-30 | Litespec, Inc. | Process for sintering porous optical fibre preforms |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB201320280D0 (en) | 2013-11-18 | 2014-01-01 | Heraeus Quartz Uk Ltd | Furnace for sintering silica soot bodies |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046940A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学系ガラス母材の製造方法とその装置 |
-
1985
- 1985-11-01 JP JP60244152A patent/JPH0784326B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6046940A (ja) * | 1983-08-22 | 1985-03-14 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 光学系ガラス母材の製造方法とその装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0626351A1 (en) * | 1993-05-24 | 1994-11-30 | Litespec, Inc. | Process for sintering porous optical fibre preforms |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0784326B2 (ja) | 1995-09-13 |
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