JPS6210022B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6210022B2 JPS6210022B2 JP61083790A JP8379086A JPS6210022B2 JP S6210022 B2 JPS6210022 B2 JP S6210022B2 JP 61083790 A JP61083790 A JP 61083790A JP 8379086 A JP8379086 A JP 8379086A JP S6210022 B2 JPS6210022 B2 JP S6210022B2
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- JP
- Japan
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- Expired
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Classifications
-
- H10P72/0606—
-
- H10P72/0446—
-
- H10P72/50—
-
- H10W72/07141—
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083790A JPS61252643A (ja) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | 半導体ペレットボンディング装置における吸着用コレットの清掃方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61083790A JPS61252643A (ja) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | 半導体ペレットボンディング装置における吸着用コレットの清掃方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61252643A JPS61252643A (ja) | 1986-11-10 |
| JPS6210022B2 true JPS6210022B2 (Direct) | 1987-03-04 |
Family
ID=13812440
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61083790A Granted JPS61252643A (ja) | 1986-04-10 | 1986-04-10 | 半導体ペレットボンディング装置における吸着用コレットの清掃方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61252643A (Direct) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0234999A (ja) * | 1988-07-25 | 1990-02-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 部品装着装置及びその清浄方法 |
| JP2666076B2 (ja) * | 1988-11-25 | 1997-10-22 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品装着装置 |
| JP2007098241A (ja) * | 2005-10-03 | 2007-04-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 吸着ノズル洗浄方法及び装置と電子部品実装装置 |
-
1986
- 1986-04-10 JP JP61083790A patent/JPS61252643A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61252643A (ja) | 1986-11-10 |
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