JPS619998A - Agろう付封着リングの製造方法 - Google Patents
Agろう付封着リングの製造方法Info
- Publication number
- JPS619998A JPS619998A JP12858984A JP12858984A JPS619998A JP S619998 A JPS619998 A JP S619998A JP 12858984 A JP12858984 A JP 12858984A JP 12858984 A JP12858984 A JP 12858984A JP S619998 A JPS619998 A JP S619998A
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- JP
- Japan
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- ring
- brazing
- sealing ring
- alloy
- solder
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
- B23K35/02—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape
- B23K35/0222—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by mechanical features, e.g. shape for use in soldering, brazing
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、集積回路用セラミックス容器に取付けるキャ
ップシール用のAgろう付封着リングの製造方法に関す
る。
ップシール用のAgろう付封着リングの製造方法に関す
る。
(従来技術とその問題点)
従来、集積回路用セラミックス容器にキャップシール用
のリングを取付けるには、Ag Cu合金を主とする
Agろうを用いてろう付けしているが、その際Agろう
は次のように使用される。即ち、第2図3に示ずAgろ
うコイル1から繰り出された帯板2を、第2図すに示す
如く後述のキャップシール用のリングと略同形状に打抜
いてAgろうリング3を作り、このAgろうリング3と
第2図Cに示すFe−Ni合金又はFe−Ni−G。
のリングを取付けるには、Ag Cu合金を主とする
Agろうを用いてろう付けしているが、その際Agろう
は次のように使用される。即ち、第2図3に示ずAgろ
うコイル1から繰り出された帯板2を、第2図すに示す
如く後述のキャップシール用のリングと略同形状に打抜
いてAgろうリング3を作り、このAgろうリング3と
第2図Cに示すFe−Ni合金又はFe−Ni−G。
合金のコイル4から繰り出された帯板5を第2図dに示
す如く打抜いて作ったキャップシール用のリング6とを
第2図eに示す如くセラミックス容器7の所定位置に重
ね合せて第2図fに示す如くリング6をセラミックス容
器7にろう付けするか、或いは第3図aに示す如(Fe
−Ni合金又はFe−Ni−Co合金の帯板5′に予め
所定の厚さく約50μ)のAg Cu合金の帯板2′
を接合した帯板8を第3図すに示す如く打抜いてAgろ
う(=Jリング9を作り、これを第3図Cに示す如くセ
ラミックス容器7の所定位置に載置してろう付けしてい
る。
す如く打抜いて作ったキャップシール用のリング6とを
第2図eに示す如くセラミックス容器7の所定位置に重
ね合せて第2図fに示す如くリング6をセラミックス容
器7にろう付けするか、或いは第3図aに示す如(Fe
−Ni合金又はFe−Ni−Co合金の帯板5′に予め
所定の厚さく約50μ)のAg Cu合金の帯板2′
を接合した帯板8を第3図すに示す如く打抜いてAgろ
う(=Jリング9を作り、これを第3図Cに示す如くセ
ラミックス容器7の所定位置に載置してろう付けしてい
る。
然し乍ら、前者のAgろうの使用法では、Agろうの帯
板2からリング3を打抜く為、Agろうの打抜きくずが
多量に発生し、素材の歩留りが悪く、再生に手間がかか
る。またキャップシール用のリング6をセラミックス容
器7の所定位置にろう付けする際にAgろうリング3と
キャンプシール用のリング6を精度良く重ね合せ保持し
なければならないが、この作業は自動化が困難であり、
手作業で行う場合が多く、基部率が悪く、しかもA[ろ
うの打抜きによるぼりゃ異物付着等により品質保障が難
しいものである。
板2からリング3を打抜く為、Agろうの打抜きくずが
多量に発生し、素材の歩留りが悪く、再生に手間がかか
る。またキャップシール用のリング6をセラミックス容
器7の所定位置にろう付けする際にAgろうリング3と
キャンプシール用のリング6を精度良く重ね合せ保持し
なければならないが、この作業は自動化が困難であり、
手作業で行う場合が多く、基部率が悪く、しかもA[ろ
うの打抜きによるぼりゃ異物付着等により品質保障が難
しいものである。
また後者のAgろうの使用法では、Agろうをセントす
る必要が無くなる為、Agろう付リング9のセットの自
動化9作業端度は改善されるが、クラツド帯Fj、8か
らリングを打抜く為、スクラップの発生量が多く、また
そのスクラップも高価なAgを回収する必要がある為、
その精製2回収に甚だ手間がかかるものである。
る必要が無くなる為、Agろう付リング9のセットの自
動化9作業端度は改善されるが、クラツド帯Fj、8か
らリングを打抜く為、スクラップの発生量が多く、また
そのスクラップも高価なAgを回収する必要がある為、
その精製2回収に甚だ手間がかかるものである。
(発明の目的)
本発明は上記の問題を解消すべくなされたものであり、
スクラップを生じさせることなくAgろう付封着リング
を作ることのできる方法を提供することを目的とするも
のである。
スクラップを生じさせることなくAgろう付封着リング
を作ることのできる方法を提供することを目的とするも
のである。
(発明の構成)
本発明のAgろう付封着リングの製造方法は、Ag
Cu合金又はAg−Cu合金にS n + I n
+Bi、Sb、Ga’(7)少くとも1種を添加して成
るAgろう線を曲げてAgろうリングとし、このAgろ
うリングとFe−Ni合金又はFe−Ni−Co合金で
作ったリングとを重ねてカーボン治具に入れ、Agろう
の融点以上の温度で、溶融してAgろう付封着リングと
なすことを特徴とするものである。
Cu合金又はAg−Cu合金にS n + I n
+Bi、Sb、Ga’(7)少くとも1種を添加して成
るAgろう線を曲げてAgろうリングとし、このAgろ
うリングとFe−Ni合金又はFe−Ni−Co合金で
作ったリングとを重ねてカーボン治具に入れ、Agろう
の融点以上の温度で、溶融してAgろう付封着リングと
なすことを特徴とするものである。
(実施例)
本発明のAgろう付封着リングの製造方法の一実施例を
図によって説明する。先ず第1図aに示す如(SUS3
04で作った120角棒10の表面に、直径0.35m
mの7i、 g −Cu 28%線11を巻付け、水素
雰囲気中で400℃に加熱し冷却して、角形Agろうコ
イル12となした後、この角形Agろうコイル12の一
辺を軸線方向に切断して多数の第1図すに示すAgろう
リング13を得た。次にこのAgろうリング13の切断
端を図示の如く突き合せ接合した。
図によって説明する。先ず第1図aに示す如(SUS3
04で作った120角棒10の表面に、直径0.35m
mの7i、 g −Cu 28%線11を巻付け、水素
雰囲気中で400℃に加熱し冷却して、角形Agろうコ
イル12となした後、この角形Agろうコイル12の一
辺を軸線方向に切断して多数の第1図すに示すAgろう
リング13を得た。次にこのAgろうリング13の切断
端を図示の如く突き合せ接合した。
一方厚さQ、5mmのFe−Ni−Co合金板から一辺
の長さ12.5鶴、内側寸法101角のリングをプレス
加工により打抜き第1図Cに示す如きキャンプシール用
のリング14を作成した。
の長さ12.5鶴、内側寸法101角のリングをプレス
加工により打抜き第1図Cに示す如きキャンプシール用
のリング14を作成した。
次いで、第1図dに示す如く厚さ31mのカーボン板1
5に深さ 0.1m、−辺130の角形リング溝16を
設けたカーボン治具17の角形リング溝16内に、前記
キャンプシール用のリング14を装入し、その上にAg
ろうリング13を載せて、非酸化性雰囲気中で830℃
に加熱、溶融して第1図eに示すAgろう付封着リング
18を製作した。
5に深さ 0.1m、−辺130の角形リング溝16を
設けたカーボン治具17の角形リング溝16内に、前記
キャンプシール用のリング14を装入し、その上にAg
ろうリング13を載せて、非酸化性雰囲気中で830℃
に加熱、溶融して第1図eに示すAgろう付封着リング
18を製作した。
このAgろう付封着リング18をタングステンをメタラ
イズしたセラミ7クス容器の所定位置に搭載し、アンモ
ニア分解ガス中にて830℃でろう付けした結果、キャ
ンプシール用のリング14が接合され、全く欠陥の無い
ろう付けが行われていることが確認された。
イズしたセラミ7クス容器の所定位置に搭載し、アンモ
ニア分解ガス中にて830℃でろう付けした結果、キャ
ンプシール用のリング14が接合され、全く欠陥の無い
ろう付けが行われていることが確認された。
(発明の効果)
以上の説明で判るように本発明のAgろう付封着リング
の製造方法は、Agろう線材からAgろうリングを作る
ので、スクラップが全く発生することが無く、高価なA
gの回収、再生作業が不要である。
の製造方法は、Agろう線材からAgろうリングを作る
ので、スクラップが全く発生することが無く、高価なA
gの回収、再生作業が不要である。
また本発明のAgろう付封着リングの製造方法は、Ag
ろうリングをキャンプシール用のリングの上に重ねてカ
ーボン治具に入れ、Agろうの融点以上の温度でAgろ
うを熔融するので、多少の位置ずれがあってもAgろう
がキャップシール用のリングの表面に一様に広がり、ぼ
りゃはみ出しの無いAgろう付封着リングを得ることが
でき、このAgろうイ」封着リングをセラミックス容器
の所定位置にろう付けすると品質良好なものが得られる
。
ろうリングをキャンプシール用のリングの上に重ねてカ
ーボン治具に入れ、Agろうの融点以上の温度でAgろ
うを熔融するので、多少の位置ずれがあってもAgろう
がキャップシール用のリングの表面に一様に広がり、ぼ
りゃはみ出しの無いAgろう付封着リングを得ることが
でき、このAgろうイ」封着リングをセラミックス容器
の所定位置にろう付けすると品質良好なものが得られる
。
さらに本発明のAgろう付封着リングの製造方法は、キ
ャップシール用のリング上にAgろうリングを溶融して
接合するので、Agろう中の不純物残渣はAgろう表面
に浮上するので、その後その不純物残渣は簡単に除去す
ることが可能で、ろう付は以降の工程で発生するめっき
不良等を改善することが可能となる等の効果を奏する。
ャップシール用のリング上にAgろうリングを溶融して
接合するので、Agろう中の不純物残渣はAgろう表面
に浮上するので、その後その不純物残渣は簡単に除去す
ることが可能で、ろう付は以降の工程で発生するめっき
不良等を改善することが可能となる等の効果を奏する。
第1図a乃至eは本発明のAgろう付封着リングの製造
方法の一実施例の工程を示す図、第2図a乃至fは従来
のキヤ、ブシール用のリングをセラミックス容器にろう
付けする為の工程を示す図、第3図a乃至Cは従来のA
gろう付封着リングの製造からセラミックス容器にろう
付けする迄の工程を示す図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 第1図 (d) (e) 14: キャップシー2し用りリング“第2図
方法の一実施例の工程を示す図、第2図a乃至fは従来
のキヤ、ブシール用のリングをセラミックス容器にろう
付けする為の工程を示す図、第3図a乃至Cは従来のA
gろう付封着リングの製造からセラミックス容器にろう
付けする迄の工程を示す図である。 出願人 田中貴金属工業株式会社 第1図 (d) (e) 14: キャップシー2し用りリング“第2図
Claims (1)
- Ag−Cu合金又はAg−Cu合金にSn、In、Bi
、Sb、Gaの少くとも1種を添加して成るAgろう線
も曲げてAgろうリングとし、このAgろうリングとF
e−Ni合金又はFe−Ni−Co合金で作ったリング
とを重ねてカーボン治具に入れ、Agろうの融点以上の
温度で溶融してAgろう付封着リングとなすことを特徴
とするAgろう付封着リングの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12858984A JPS619998A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | Agろう付封着リングの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12858984A JPS619998A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | Agろう付封着リングの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS619998A true JPS619998A (ja) | 1986-01-17 |
JPH0350639B2 JPH0350639B2 (ja) | 1991-08-02 |
Family
ID=14988489
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12858984A Granted JPS619998A (ja) | 1984-06-22 | 1984-06-22 | Agろう付封着リングの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS619998A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61248536A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-05 | Kyocera Corp | Icセラミツクパツケ−ジのシ−ルリングおよびその製造方法 |
JPS63104355A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-09 | Kyocera Corp | Icセラミツクパツケ−ジのシ−ルリングおよびその製造方法 |
JPH03283549A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Ngk Insulators Ltd | 集積回路用パッケージ |
JP2008311456A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
-
1984
- 1984-06-22 JP JP12858984A patent/JPS619998A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61248536A (ja) * | 1985-04-26 | 1986-11-05 | Kyocera Corp | Icセラミツクパツケ−ジのシ−ルリングおよびその製造方法 |
JPS63104355A (ja) * | 1986-10-21 | 1988-05-09 | Kyocera Corp | Icセラミツクパツケ−ジのシ−ルリングおよびその製造方法 |
JPH03283549A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Ngk Insulators Ltd | 集積回路用パッケージ |
JP2008311456A (ja) * | 2007-06-15 | 2008-12-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0350639B2 (ja) | 1991-08-02 |
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