JPS6195827A - ワイヤ放電加工装置の放電加工状態の制御方法及びその装置 - Google Patents
ワイヤ放電加工装置の放電加工状態の制御方法及びその装置Info
- Publication number
- JPS6195827A JPS6195827A JP60230908A JP23090885A JPS6195827A JP S6195827 A JPS6195827 A JP S6195827A JP 60230908 A JP60230908 A JP 60230908A JP 23090885 A JP23090885 A JP 23090885A JP S6195827 A JPS6195827 A JP S6195827A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- workpiece
- discharge machining
- magnetic field
- electrical discharge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009760 electrical discharge machining Methods 0.000 title claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 22
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 238000009763 wire-cut EDM Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/02—Wire-cutting
- B23H7/04—Apparatus for supplying current to working gap; Electric circuits specially adapted therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23H—WORKING OF METAL BY THE ACTION OF A HIGH CONCENTRATION OF ELECTRIC CURRENT ON A WORKPIECE USING AN ELECTRODE WHICH TAKES THE PLACE OF A TOOL; SUCH WORKING COMBINED WITH OTHER FORMS OF WORKING OF METAL
- B23H7/00—Processes or apparatus applicable to both electrical discharge machining and electrochemical machining
- B23H7/38—Influencing metal working by using specially adapted means not directly involved in the removal of metal, e.g. ultrasonic waves, magnetic fields or laser irradiation
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用可能性〕
本発明は、ワイヤによって被加工物電極を放電加工する
ための放電加工機上において２つのワイヤガイドの間に
張ったワイヤ電極と被加工物電極との間の加工状態の制
御方法に関する。
ための放電加工機上において２つのワイヤガイドの間に
張ったワイヤ電極と被加工物電極との間の加工状態の制
御方法に関する。
この形式の放電加工機において、所定の形状の切断を行
なわせるためのワイヤガイドと被加工物との間の相対運
動は、一般に１数値制御装置によって制御される。
なわせるためのワイヤガイドと被加工物との間の相対運
動は、一般に１数値制御装置によって制御される。
従来の技術によれば、相対運動の速度は、コつの電極の
間に含まれる加工領域に所定の放電加工の状態を保つよ
うに制御される。
間に含まれる加工領域に所定の放電加工の状態を保つよ
うに制御される。
例えば短絡の際に放電加工の劣化をさけるために１１気
的侵食に従来から使用されている手段の１つは、一つの
電極をすみやかに相互から離隔させることである。この
後退運動は、電極とそのサーが機構との間の強い連結の
ため、型側放電加工の際には、非常にすみやかに行なわ
せることができる。しかしワイヤ放電加工の場合には、
ワイヤガイドの間のワイヤの可撓性と加工中にワイヤに
作用する横方向の力とのため、この強い連結はもはや存
在しない。実際に、ワイヤガイド間の整列線に対するワ
イヤの軸線の位置は、ワイヤガイドによってワイヤに及
ぼされるけん引力に基づく復元力と加工電流及び加工電
圧にそれぞれ基因した電磁力及び静電力と放電に基因し
た反ばっカとの間の平衡に依存する。
的侵食に従来から使用されている手段の１つは、一つの
電極をすみやかに相互から離隔させることである。この
後退運動は、電極とそのサーが機構との間の強い連結の
ため、型側放電加工の際には、非常にすみやかに行なわ
せることができる。しかしワイヤ放電加工の場合には、
ワイヤガイドの間のワイヤの可撓性と加工中にワイヤに
作用する横方向の力とのため、この強い連結はもはや存
在しない。実際に、ワイヤガイド間の整列線に対するワ
イヤの軸線の位置は、ワイヤガイドによってワイヤに及
ぼされるけん引力に基づく復元力と加工電流及び加工電
圧にそれぞれ基因した電磁力及び静電力と放電に基因し
た反ばっカとの間の平衡に依存する。
短絡時ＫＦｉもはや加工放電は行なわれず、反ばつカは
消失し、吸引力が残留する。この吸引力の効果として、
ワイヤ２は被加工物の方に吸引されるため、短絡の傾向
が強められ、不所望な不安定性を生ずる。
消失し、吸引力が残留する。この吸引力の効果として、
ワイヤ２は被加工物の方に吸引されるため、短絡の傾向
が強められ、不所望な不安定性を生ずる。
スイス特許第４ｔ７Ａ、！−４ｔ４を号は、短絡が生じ
た時直ちにワイヤガイドを引戻すととＫよってワイヤを
後退させることを開示している。しかしワイヤを被加工
物から有効に離隔させるには、吸引力よりも大きな負の
復元力を生ずるに足るだけのワイヤガイドの後退が必要
となる。その結果として、ワイヤの後退は、相当大きな
無効時間の後にしか行なわれなくなシ、ワイヤガイドを
介した後退の効力が低下し、放電加工条件のすみやかな
改善が得られない。
た時直ちにワイヤガイドを引戻すととＫよってワイヤを
後退させることを開示している。しかしワイヤを被加工
物から有効に離隔させるには、吸引力よりも大きな負の
復元力を生ずるに足るだけのワイヤガイドの後退が必要
となる。その結果として、ワイヤの後退は、相当大きな
無効時間の後にしか行なわれなくなシ、ワイヤガイドを
介した後退の効力が低下し、放電加工条件のすみやかな
改善が得られない。
ドイツ特許公報第２３０２２ｇｇ号には、ワイヤガイド
間のワイヤの整列を改善するために、放電加工に必要な
電流のほかにワイヤ中に補助電流を流すことによりワイ
ヤに加わる吸引力を増大させることが開示されている。
間のワイヤの整列を改善するために、放電加工に必要な
電流のほかにワイヤ中に補助電流を流すことによりワイ
ヤに加わる吸引力を増大させることが開示されている。
しかしこの方法によっては、単に１つの方向にワイヤに
ｔｍ気的に作用しうるのみで、ワイヤに加わる力の方向
を反転させることはできなｈｏそれはこの力が誘起され
た磁界に依存し、この磁界の方向が補助電流の方向と同
時に反転されるためである。補助電流の減少による磁界
の減少は、加工数Ｍ、による反ばつ力がなお存在してい
る際にのみワイヤの後退即ち加工面からのワイヤの離隔
を惹起させるに過ぎない。
ｔｍ気的に作用しうるのみで、ワイヤに加わる力の方向
を反転させることはできなｈｏそれはこの力が誘起され
た磁界に依存し、この磁界の方向が補助電流の方向と同
時に反転されるためである。補助電流の減少による磁界
の減少は、加工数Ｍ、による反ばつ力がなお存在してい
る際にのみワイヤの後退即ち加工面からのワイヤの離隔
を惹起させるに過ぎない。
その反対に、全短絡の際には、ワイヤガイドを動かすこ
となく被加工物からワイヤを離隔させることはできなく
なり、このようにワイヤを動かしたのでは、前記のよう
に大きな遅延を生ずる。
となく被加工物からワイヤを離隔させることはできなく
なり、このようにワイヤを動かしたのでは、前記のよう
に大きな遅延を生ずる。
本発明の目的は、短絡の際に、ワイヤガイドの運動と関
係なく、ワイヤガイドの特に迅速な後退を可能とする方
法の利用によって、前記の不具合特に前記の無効時間を
なくすことを目的としている。
係なく、ワイヤガイドの特に迅速な後退を可能とする方
法の利用によって、前記の不具合特に前記の無効時間を
なくすことを目的としている。
この目的は、本発明によれば、特許請求の範囲第１項に
示した放電加工条件の制御方法によって達成される。
示した放電加工条件の制御方法によって達成される。
゛ 本発明によれば、短絡が存在していれば反ばつ力
をワイヤに及はし、ワイヤが被加工物から十分離隔した
時には吸引力をワイヤに及ばずように、ワイヤ中の加工
を流の方向に関連して磁界の方向を選択することができ
る。この修正は、ワイヤガイドの運動が生ずる以前Ｋｍ
ｍ磁層用よって、従って非常にすみやかに行なわれるた
め、最適の放電加工状態が確保される。
をワイヤに及はし、ワイヤが被加工物から十分離隔した
時には吸引力をワイヤに及ばずように、ワイヤ中の加工
を流の方向に関連して磁界の方向を選択することができ
る。この修正は、ワイヤガイドの運動が生ずる以前Ｋｍ
ｍ磁層用よって、従って非常にすみやかに行なわれるた
め、最適の放電加工状態が確保される。
次に本発明の好ましい実施例を示した図面を参照して説
明する。
明する。
本発明による制御方法の適用に際しワイヤ２と直角の平
面内においてワイヤ２に作用する諸刃を第１図に示す。
面内においてワイヤ２に作用する諸刃を第１図に示す。
Ｃはワイヤ２の中心、８は被加工物ＩＫ影形成れた溝の
壁である。ワイヤ２は、主に加工放電及びそれによって
解離されるガスによる反ばつ力Ｆ 、加工電圧による静
電吸引力ＦＡ。
壁である。ワイヤ２は、主に加工放電及びそれによって
解離されるガスによる反ばつ力Ｆ 、加工電圧による静
電吸引力ＦＡ。
電流による電磁気力並びにワイヤ２に加わるけん引力に
基づく復元力による機械的作用を加工の間に加工面４に
対して受ける。ワイヤ２中の循環電流が、図の紙面と直
角に下方から上方に向けられるものと想定すると、加工
面４の付近で被加工物１を通シ上方から下方に向かう補
助電流ＩＫよって生じた磁界Ｈ４は、加工面会からワイ
ヤ２を離隔させようとする力Ｆ１ をワイヤ２に加え
る。その反対に、下方から上方に向かう補助電流−１（
図示しない）による反対方向の磁界Ｈ２は、ワイヤ２を
加工面４に近付けようとする力Ｆ２ をワイヤ２に加え
る。
基づく復元力による機械的作用を加工の間に加工面４に
対して受ける。ワイヤ２中の循環電流が、図の紙面と直
角に下方から上方に向けられるものと想定すると、加工
面４の付近で被加工物１を通シ上方から下方に向かう補
助電流ＩＫよって生じた磁界Ｈ４は、加工面会からワイ
ヤ２を離隔させようとする力Ｆ１ をワイヤ２に加え
る。その反対に、下方から上方に向かう補助電流−１（
図示しない）による反対方向の磁界Ｈ２は、ワイヤ２を
加工面４に近付けようとする力Ｆ２ をワイヤ２に加え
る。
従って、ワイヤ２を加工面４に近付けたシ加工面４から
離隔させたりするようにワイヤ２に作用する諸刃の平衡
状態を変更するには、ワイヤ２を通る電流（以下に説明
する好ましい実施例によればワイヤ２を１つの方向に循
環される加工電流のみＫよって形成される）の強さ及び
その方向と、加工面会の付近で被加工物ｌを通る電流１
の強さ及び方向を制御するだけでよい。
離隔させたりするようにワイヤ２に作用する諸刃の平衡
状態を変更するには、ワイヤ２を通る電流（以下に説明
する好ましい実施例によればワイヤ２を１つの方向に循
環される加工電流のみＫよって形成される）の強さ及び
その方向と、加工面会の付近で被加工物ｌを通る電流１
の強さ及び方向を制御するだけでよい。
ワイヤ２と被加工物１との相対的な運動を制御するため
の本発明による制御方法を実施する装置の／実施例を第
２図に示す。
の本発明による制御方法を実施する装置の／実施例を第
２図に示す。
この制御装置によれば、１１１ｍ源１５と発振回路１７
により制御されるスイッチ１６とを備えた既知の回路に
よって、加工パルスを発生させる。被加工物１は、２基
の電動機１１．１２（数値制御装置ｚ４によって制御さ
れる）によって作動するＸＹテーブルによる駆動の下に
、切断面内において移動する。加工域内のワイヤ２の方
向と平行な方向に被加工物１を通過する電流によって、
横方向の独立した磁界が誘起される。この補助電流は独
立した回路によって発生させる。この回路は、ホイート
ストングリッジ１９中に接続した電流源１８と、加工域
付近において被加工物ｌの両側に配置された一個の回転
摺動子２０．２ｉ１により形成されている。電流の方向
は、ブリッジ１９の二辺中に接続した２個のトランジス
ター２ｚ％２８によって制御する。回転摺動子２０．２
１は、ワイヤ２を支持するガイド８２．８Ｂを結ぶ直線
（整列線）上の軸線の回りに方向決めする仁とができる
。この軸線の回シの回転摺動子２０，２１の方向決めは
、数値制御＠＃２４によって制御される。数値制御装置
２４は、被加工物ｌｔ−通る電流が切断方向と直角の磁
界を生ずるように電動機８０．８１に対して作用する。
により制御されるスイッチ１６とを備えた既知の回路に
よって、加工パルスを発生させる。被加工物１は、２基
の電動機１１．１２（数値制御装置ｚ４によって制御さ
れる）によって作動するＸＹテーブルによる駆動の下に
、切断面内において移動する。加工域内のワイヤ２の方
向と平行な方向に被加工物１を通過する電流によって、
横方向の独立した磁界が誘起される。この補助電流は独
立した回路によって発生させる。この回路は、ホイート
ストングリッジ１９中に接続した電流源１８と、加工域
付近において被加工物ｌの両側に配置された一個の回転
摺動子２０．２ｉ１により形成されている。電流の方向
は、ブリッジ１９の二辺中に接続した２個のトランジス
ター２ｚ％２８によって制御する。回転摺動子２０．２
１は、ワイヤ２を支持するガイド８２．８Ｂを結ぶ直線
（整列線）上の軸線の回りに方向決めする仁とができる
。この軸線の回シの回転摺動子２０，２１の方向決めは
、数値制御＠＃２４によって制御される。数値制御装置
２４は、被加工物ｌｔ−通る電流が切断方向と直角の磁
界を生ずるように電動機８０．８１に対して作用する。
ワイヤ２のガイド８２，８８と被加工物ｌとの間の相対
移動速度は、検出回路２５により検出された平均加工電
圧と基準回路ｚ６により設定された目ｉｔ圧との間の偏
差などの加工状態に依存して動作する回路によって制御
される。一つの電圧値は、比較器２７によって比較され
る。比較器２７の出力信号は数値制御装置２４に加えら
れる。
移動速度は、検出回路２５により検出された平均加工電
圧と基準回路ｚ６により設定された目ｉｔ圧との間の偏
差などの加工状態に依存して動作する回路によって制御
される。一つの電圧値は、比較器２７によって比較され
る。比較器２７の出力信号は数値制御装置２４に加えら
れる。
しかしこの作用は、２つの電圧値の間の偏差が或る絶対
値を超過しない限りは、調整回路２８によって開始され
ない。この閾値以下では、相対的な移動速度は、回路ｚ
９により一定値に保たれておシ、ワイヤ２の位置の迅速
な修正は、横方向の磁界の変更によって行なわれる。零
偏差−従って早修正−に対応するこの磁界の基準値は、
好ましくは、ガイド８２．８８とのワイヤ２の整列を得
るように１回路８５によって定められる。従って、修正
方向を反転させるために磁界を反転させることは不要に
なシ、単にこの基糸値以下の値１ｃｆｆｉ界の強さ１ｍ
少させることによってワイヤ２を加工ｒＭ４から離隔さ
せることが可能となる。
値を超過しない限りは、調整回路２８によって開始され
ない。この閾値以下では、相対的な移動速度は、回路ｚ
９により一定値に保たれておシ、ワイヤ２の位置の迅速
な修正は、横方向の磁界の変更によって行なわれる。零
偏差−従って早修正−に対応するこの磁界の基準値は、
好ましくは、ガイド８２．８８とのワイヤ２の整列を得
るように１回路８５によって定められる。従って、修正
方向を反転させるために磁界を反転させることは不要に
なシ、単にこの基糸値以下の値１ｃｆｆｉ界の強さ１ｍ
少させることによってワイヤ２を加工ｒＭ４から離隔さ
せることが可能となる。
しかし、磁界強さの基準値として零値を選定し、放電加
工の不整を修正する場合にのみ（所望の極性と共に）磁
界を介在させるようにしてもよい。
工の不整を修正する場合にのみ（所望の極性と共に）磁
界を介在させるようにしてもよい。
この解決策は、予め切断された表面に仕上げ加工を行な
う場合に特に有用である。それは、ワイヤとワイヤガイ
ドとの間の整列がこの場合には補助磁界を介在させずに
得られるためである。
う場合に特に有用である。それは、ワイヤとワイヤガイ
ドとの間の整列がこの場合には補助磁界を介在させずに
得られるためである。
普通の放電加工状態に対する加工送り速度は、加工電流
密度を安る一定のレベルに保つように、被加工物１の高
さ、電極のトルク及びパルス発生器の特性に依存した値
に、回路２９により設定される。これは、放電加工の最
適の効率を得るうえに非常にたいせつである。
密度を安る一定のレベルに保つように、被加工物１の高
さ、電極のトルク及びパルス発生器の特性に依存した値
に、回路２９により設定される。これは、放電加工の最
適の効率を得るうえに非常にたいせつである。
回路２８の閾値を零として、放電加工の状態に送り速度
を常に従属させるように制御し、異常な加工状態の場合
にのみ横方向の磁界の作用により修正を行なうようにし
てもよい。これは、例えば短絡のような異常事態゛の下
においてのみ非常に迅速に修正を行なうことを確実にし
、加工効率を高くするうえに非常に有効である。
を常に従属させるように制御し、異常な加工状態の場合
にのみ横方向の磁界の作用により修正を行なうようにし
てもよい。これは、例えば短絡のような異常事態゛の下
においてのみ非常に迅速に修正を行なうことを確実にし
、加工効率を高くするうえに非常に有効である。
第、７図は、ワイヤと直交する方向の、放電加工域の断
面図、第２図は、本発明による制御方法を実施するため
の制御装置の一実施例を示す略配列図である。 符号の説明 ｌ・・・・・・被加工物、 ２・・・・・・ワイヤ、
８２．８８・−・−ワイヤガイド。
面図、第２図は、本発明による制御方法を実施するため
の制御装置の一実施例を示す略配列図である。 符号の説明 ｌ・・・・・・被加工物、 ２・・・・・・ワイヤ、
８２．８８・−・−ワイヤガイド。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）２つのワイヤガイドの間に張ったワイヤ電極により
被加工物電極を放電加工により切断する切断装置におい
て、放電加工の状態を制御するために、放電加工の状態
に関連して被加工物とワイヤガイドとの相対運動の速度
を制御することを含む、放電加工の状態の制御方法にお
いて、ワイヤとほぼ直交する補助磁界を電極間に含まれ
る放電加工域内に生じさせることと、短絡の際にはワイ
ヤを被加工物から離隔させ、放電周波数が減少した際に
はワイヤを被加工物に近付けるように、加工状態に応答
して磁界の強さを変えることとを特徴とする制御方法。 ２）ワイヤとほぼ平行な補助電流を放電加工の領域の近
傍において被加工物に流すことを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の制御方法。 ３）磁界の強さを変えることが、発生した磁界を前記補
助電流の方向の反転によって変えることを含むことを特
徴とする特許請求の範囲第２項記載の制御方法。 ４）或る加工パラメーターの値の関数として補助電流を
変えることを特徴とする特許請求の範囲第１〜３項記載
の制御方法。 ５）加工状態の変化が所定の領域に含まれる限り、被加
工物とワイヤガイドとの間の相対運動の速度を或る所定
値に保つことと、該変化が該所定の領域から外れた際は
該速度を変えることとを特徴とする特許請求の範囲第１
〜４項記載の制御方法。 ６）被加工物とワイヤガイドとの相対運動の数値制御装
置と、ワイヤと被加工物との間の放電加工域に可変の補
助磁界を発生させる補助磁界発生手段とを有する特許請
求の範囲第１項記載の制御方法を実施するための制御装
置であって、放電加工の状態の特性量と基準量との間の
偏差に応答して磁界の強さを変えるための調整回路を特
徴とする制御装置。 ７）ワイヤとほぼ平行な可変の補助電流を放電加工域の
近傍の被加工物部分に流す手段を有することを特徴とす
る特許請求の範囲第６項記載の制御装置。 ８）加工状態の変化が所定の領域に含まれる限り被加工
物とワイヤガイドとの間の相対運動の速度を或る所定値
に保つための、第２調整回路を有することと、該変化が
該所定の領域を外れた際に該速度を変えることとを特徴
とする特許請求の範囲第６項記載の制御装置。 ９）ワイヤの軸線とほぼ同一の軸線の回りに方向決め可
能であり、被加工物を経て補助電流を流すために加工領
域の近傍において被加工物の上部及び下部と接触するよ
うになった、接触部材と、ワイヤに関し加工面とほぼ向
い合いにこれらの接触部材を配置するように該接触部材
を方向決めするための制御回路とを特徴とする特許請求
の範囲第６〜８項のいずれか１項記載の制御装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH4954/84A CH662525A5 (fr) | 1984-10-16 | 1984-10-16 | Procede pour reguler les conditions d'etincelage sur une machine a eroder par decharges erosives et dispositif pour sa mise en oeuvre. |
| CH4954/84-2 | 1984-10-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6195827A true JPS6195827A (ja) | 1986-05-14 |
| JPH0755408B2 JPH0755408B2 (ja) | 1995-06-14 |
Family
ID=4285411
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60230908A Expired - Lifetime JPH0755408B2 (ja) | 1984-10-16 | 1985-10-16 | ワイヤ放電加工装置の放電加工状態の制御方法及びその装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4659893A (ja) |
| JP (1) | JPH0755408B2 (ja) |
| CH (1) | CH662525A5 (ja) |
| DE (1) | DE3536864C2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121124A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-12 | Fanuc Ltd | ワイヤ放電加工装置 |
| WO2009154199A1 (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-23 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置およびワイヤ放電加工方法、半導体ウエハ製造装置および半導体ウエハ製造方法、太陽電池ウエハ製造装置および太陽電池ウエハ製造方法 |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH665374A5 (fr) * | 1985-03-28 | 1988-05-13 | Charmilles Technologies | Procede et dispositif pour la determination de la fleche d'un fil a decouper par electroerosion. |
| CH670589A5 (ja) * | 1986-08-08 | 1989-06-30 | Buechler B Set Ag | |
| JP2722867B2 (ja) * | 1991-07-01 | 1998-03-09 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置 |
| CN104057543B (zh) * | 2014-06-19 | 2015-12-09 | 王金生 | 一种磁场辅助的多线锯切割机 |
| CN109570666B (zh) * | 2018-11-05 | 2020-11-06 | 南京航空航天大学 | 电解线切割加工用双极性工具电极及制作与加工方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR1388930A (fr) * | 1963-12-31 | 1965-02-12 | Soudure Elec Languepin | Perfectionnement à l'usinage par électro-érosion |
| CH476544A (de) * | 1967-11-14 | 1969-08-15 | Agie Ag Ind Elektronik | Elektroerosive Bearbeitungsmaschine mit einer elektronischen, durch digitale Eingabe gesteuerten Steuereinrichtung |
| GB1299270A (en) * | 1970-10-23 | 1972-12-13 | Arthur Paul Pedrick | Apparatus for perforating material with very small holes using electrode spark discharge in an evacuated space in magnetic fields between like magnetic poles |
| CH591919A5 (ja) * | 1974-11-25 | 1977-10-14 | Agie Ag Ind Elektronik | |
| CH594477A5 (ja) * | 1976-08-20 | 1978-01-13 | Agie Ag Ind Elektronik | |
| GB2052338B (en) * | 1979-06-06 | 1984-05-16 | Inoue Japax Res | Electrical discharge machining method and apparatus using a magnetic field in the machining gap |
| JPS55164425A (en) * | 1979-06-06 | 1980-12-22 | Inoue Japax Res Inc | Electric discharge machining device by wire cut method |
| GB2055068A (en) * | 1979-07-24 | 1981-02-25 | Charmilles Sa Ateliers | Process and device for electric spark erosion machining |
| JPS56107832A (en) * | 1980-01-22 | 1981-08-27 | Inoue Japax Res Inc | Electric discharge machine |
| JPS56119323A (en) * | 1980-02-18 | 1981-09-18 | Inoue Japax Res Inc | Wire cutting electric discharge machining apparatus |
| US4459455A (en) * | 1980-05-01 | 1984-07-10 | Inoue-Japax Research Incorporated | Method of and apparatus for controlling an EDM process with successively displaced magnetic field |
| JPS5894918A (ja) * | 1981-11-27 | 1983-06-06 | Inoue Japax Res Inc | 放電加工における切落し防止方法 |
| DE3327470A1 (de) * | 1982-08-02 | 1984-02-16 | Mitsubishi Denki K.K., Tokyo | Elektrische entladungs-schneidvorrichtung mit drahtelektrode |
-
1984
- 1984-10-16 CH CH4954/84A patent/CH662525A5/fr not_active IP Right Cessation
-
1985
- 1985-10-16 DE DE3536864A patent/DE3536864C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1985-10-16 JP JP60230908A patent/JPH0755408B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1985-10-16 US US06/787,983 patent/US4659893A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01121124A (ja) * | 1987-11-06 | 1989-05-12 | Fanuc Ltd | ワイヤ放電加工装置 |
| WO2009154199A1 (ja) * | 2008-06-16 | 2009-12-23 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置およびワイヤ放電加工方法、半導体ウエハ製造装置および半導体ウエハ製造方法、太陽電池ウエハ製造装置および太陽電池ウエハ製造方法 |
| DE112009001483T5 (de) | 2008-06-16 | 2011-04-21 | Mitsubishi Electric Corp. | Drahtelektroerosionsbearbeitungsvorrichtung und Drahtelektroerosionsearbeitungsverfahren, Halbleiterwaferherstellungsvorrichtung und Halbleiterwaferherstellungsverfahren, und Solarzellenwaferherstellungsvorrichtung und Solarzellenwaferherstellungsverfahren |
| JP5079091B2 (ja) * | 2008-06-16 | 2012-11-21 | 三菱電機株式会社 | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法、薄板製造方法および半導体ウエハ製造方法 |
| US9050672B2 (en) | 2008-06-16 | 2015-06-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire discharge-machining apparatus with parallel cutting wires |
| US9643270B2 (en) | 2008-06-16 | 2017-05-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Wire discharge-machining apparatus with parallel cutting wires |
| DE112009001483B4 (de) | 2008-06-16 | 2020-01-09 | Mitsubishi Electric Corp. | Drahtelektroerosionsbearbeitungsvorrichtung, drahtelektroerosionsbearbeitungsverfahren, dünnplattenherstellungsverfahren und halbleiterwaferherstellungsverfahren |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4659893A (en) | 1987-04-21 |
| DE3536864A1 (de) | 1986-04-17 |
| CH662525A5 (fr) | 1987-10-15 |
| JPH0755408B2 (ja) | 1995-06-14 |
| DE3536864C2 (de) | 1996-02-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4205213A (en) | Method of and apparatus for electrical discharge machining with a vibrating wire electrode | |
| US4321451A (en) | Servo system and method for controlling the gap spacing between a tool and workpiece electrodes in an EDM machine | |
| US4598190A (en) | Method and apparatus for machining a workpiece in a travelling wire EDM apparatus | |
| JPS6195827A (ja) | ワイヤ放電加工装置の放電加工状態の制御方法及びその装置 | |
| US4471197A (en) | Method of and arrangement for preventing uncontrolled oscillations of electrode wire in electroerosion machining apparatus | |
| JP2001138140A (ja) | 放電加工における加工パラメータの最適化方法および装置 | |
| JPS5976724A (ja) | ワイヤカツト放電加工方式 | |
| JPS5828430A (ja) | ワイヤカツト放電加工方法 | |
| US4357516A (en) | EDM Method and apparatus utilizing successive trains of elementary pulses with controlled pulse-off periods | |
| JPS625735B2 (ja) | ||
| JP3330779B2 (ja) | ワイヤ放電加工機の位置決め方法及びその装置 | |
| JPH079261A (ja) | ワイヤ放電加工方法及びその装置 | |
| CA1234186A (en) | Automatic groove tracing control method for arc welding | |
| JPH07148621A (ja) | ワイヤ電極張力制御装置 | |
| JPS60238232A (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 | |
| JP2559220B2 (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 | |
| WO2002034443A1 (fr) | Ensemble d'usinage par etincelage a fil-electrode | |
| JPS63207517A (ja) | ワイヤカツト放電加工機 | |
| US3510621A (en) | Electrode positioning control for electric discharge machining apparatus and the like | |
| JPH04129613A (ja) | 放電加工機の制御方法及びその装置 | |
| JPS63207520A (ja) | ワイヤカツト放電加工機 | |
| JPS61164721A (ja) | ワイヤ放電加工機 | |
| JPS6052889B2 (ja) | 放電加工用電源装置 | |
| JPS62124827A (ja) | ワイヤカツト放電加工装置 | |
| JPS6044090B2 (ja) | 放電加工装置 |