JPS6190871A - レバ−送り装置 - Google Patents
レバ−送り装置Info
- Publication number
- JPS6190871A JPS6190871A JP59209120A JP20912084A JPS6190871A JP S6190871 A JPS6190871 A JP S6190871A JP 59209120 A JP59209120 A JP 59209120A JP 20912084 A JP20912084 A JP 20912084A JP S6190871 A JPS6190871 A JP S6190871A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- spindle
- nut
- holder
- lever
- motion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、硬脆材料・半導体・金属等をホイールを使用
し研削加工する際必要となる微小送りをコンパクトに、
かつ安価にできるレバー送り機構に関するものである。
し研削加工する際必要となる微小送りをコンパクトに、
かつ安価にできるレバー送り機構に関するものである。
従来例の構成とその問題点
従来、ＩＣやＬＳＩ等の製造に於ては、集積回路がプリ
ントされた半導体ウェハーを溝入れするに当って、この
半導体ウエノ・−が載置されたテーブルと薄形ダイヤモ
ンドホイールの切込み方向の相対位置を精密に位置決め
しないと、ウエノ・−ストリート上に加工された溝の深
さがバラツキ、ウェハーブレーク時に集積回路部に割れ
が入るといった加工不良を招くことになる。又、磁気ヘ
ッド等の製造に於ても同様で加工物とダイヤモンドホイ
ールとの切込方向の位置を精密に位置決めする必要があ
り不十分であると磁気特性に悪影響を与える。
ントされた半導体ウェハーを溝入れするに当って、この
半導体ウエノ・−が載置されたテーブルと薄形ダイヤモ
ンドホイールの切込み方向の相対位置を精密に位置決め
しないと、ウエノ・−ストリート上に加工された溝の深
さがバラツキ、ウェハーブレーク時に集積回路部に割れ
が入るといった加工不良を招くことになる。又、磁気ヘ
ッド等の製造に於ても同様で加工物とダイヤモンドホイ
ールとの切込方向の位置を精密に位置決めする必要があ
り不十分であると磁気特性に悪影響を与える。
第１図は、従来のダイヤモンドホイールの送り機構の構
成を示す。
成を示す。
１はハウジング９を、駆動するモーター直結のポールネ
ジ、２はボールネジの回転運動を上下の直線運動に変換
するナンド、３はスプリング４をナツト２に固定する金
具、４はカムフォロア６をナツト２に常時押しあてる為
の力を発生させるスプリング、５はホルダー９にスプリ
ング４を固定するピン、６はナツト２の直線運動をピン
７を中心とする回転運動に変換駆動する為のカムフォロ
ア７はホルダー９を回転させる為の支持ビン、８は支持
ピン７を保持するブロック、９はダイヤモンドホイール
を駆動するスピンドルを保持するホルダーを示す。
ジ、２はボールネジの回転運動を上下の直線運動に変換
するナンド、３はスプリング４をナツト２に固定する金
具、４はカムフォロア６をナツト２に常時押しあてる為
の力を発生させるスプリング、５はホルダー９にスプリ
ング４を固定するピン、６はナツト２の直線運動をピン
７を中心とする回転運動に変換駆動する為のカムフォロ
ア７はホルダー９を回転させる為の支持ビン、８は支持
ピン７を保持するブロック、９はダイヤモンドホイール
を駆動するスピンドルを保持するホルダーを示す。
上記の構成に於いて１．駆動はボールネジ１の回転をナ
ツト２の上下運動に変換し、−ナツト２の上下運動をカ
ムフォロア６と支持ピン７でホルダー９の回転運動にし
、ダイヤモンドホイールを上下駆動している。
ツト２の上下運動に変換し、−ナツト２の上下運動をカ
ムフォロア６と支持ピン７でホルダー９の回転運動にし
、ダイヤモンドホイールを上下駆動している。
しかし上記の構成では、精密研削機に要求されるホルダ
ー９の上下方向の微細送りを実現させる為には、Ａ：Ｂ
の比を大きくする必要があり、駆動系占有面積及びホル
ダー９内′に入るスピンドルの大きさを考慮した場合、
装置全体が大きくなるという問題があった。
ー９の上下方向の微細送りを実現させる為には、Ａ：Ｂ
の比を大きくする必要があり、駆動系占有面積及びホル
ダー９内′に入るスピンドルの大きさを考慮した場合、
装置全体が大きくなるという問題があった。
発明の目的
本発明は、上記従来の欠点を解消するものである。
発明の構成
精密研削機において被加物を削るダイヤモンドホイール
を保持し、更に回転せしめるスピンドルを、回転支点・
１駆動部間に配置せしめスピンドルの１駆動を駆動部の
上下動を回転支点を中心とする微小回転運動に変換する
ことにより微小送りが可能となるという特有の効果を有
する。
を保持し、更に回転せしめるスピンドルを、回転支点・
１駆動部間に配置せしめスピンドルの１駆動を駆動部の
上下動を回転支点を中心とする微小回転運動に変換する
ことにより微小送りが可能となるという特有の効果を有
する。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について２図を参照しながら説明
する。
する。
１０はハウジング１８を５駆動するモーター直結のボー
ルネジ、１１はボールネジの回転運動を上下の直線運動
に変換するナツト、１２はスプリング１３をナツト１１
に固定する金具、１３はカムフォロア１５をナツト１１
て常時押しあてる為の力を発生させるスプリング、１４
はホルター−１８にスプリング１３を固定するビン、１
５はナツト１１の直線運動をビン１６を中心とする回転
運動に変換、℃動する為のカムフォロア、１６はホルダ
ー１８を回転させる為の支持ピン、１７は支持ピン１６
を保持するブロック、１８はダイヤモンドホイルを、駆
動するスピンドルを保持するホルダーである。
ルネジ、１１はボールネジの回転運動を上下の直線運動
に変換するナツト、１２はスプリング１３をナツト１１
に固定する金具、１３はカムフォロア１５をナツト１１
て常時押しあてる為の力を発生させるスプリング、１４
はホルター−１８にスプリング１３を固定するビン、１
５はナツト１１の直線運動をビン１６を中心とする回転
運動に変換、℃動する為のカムフォロア、１６はホルダ
ー１８を回転させる為の支持ピン、１７は支持ピン１６
を保持するブロック、１８はダイヤモンドホイルを、駆
動するスピンドルを保持するホルダーである。
以上のように構成されたレバー送り機構について、以下
その動作を説明する。
その動作を説明する。
ボールネジ１ｏの回転でナツト１１が上下移動する。ナ
ツトの移動量をスプリング固定金具１２とスプリング１
３の力でカムフォロア１５を上下に移動させ、その伝達
移動量を回転支点１６の回転移動量に変換する。
ツトの移動量をスプリング固定金具１２とスプリング１
３の力でカムフォロア１５を上下に移動させ、その伝達
移動量を回転支点１６の回転移動量に変換する。
ハウジング１８にあけられた穴にダイヤモンドホイール
を駆動するスピンドルを保持しスピンドルの位置を回転
支点１６とカムフォロア１５のどの位置に設定するかで
任意にカムフォロア１６の移動量を微小送りを行なう゛
ことができ、コンノくクトな構造にすることができる。
を駆動するスピンドルを保持しスピンドルの位置を回転
支点１６とカムフォロア１５のどの位置に設定するかで
任意にカムフォロア１６の移動量を微小送りを行なう゛
ことができ、コンノくクトな構造にすることができる。
発明の効果
このように本発明は、ダイヤモンドホイールを保持し、
かつ回転せしめるスピンドルをホルダー（レバー）に保
持し、かつスピンドルを回転支点・駆動部間に配置せし
めスピンドルの、駆動を堅力部の上下運動を回転支点を
中心とする微小回転運動に変換することにより微小送り
を安価にコンパクトにでき、コスト面で非常に有利なも
のである。
かつ回転せしめるスピンドルをホルダー（レバー）に保
持し、かつスピンドルを回転支点・駆動部間に配置せし
めスピンドルの、駆動を堅力部の上下運動を回転支点を
中心とする微小回転運動に変換することにより微小送り
を安価にコンパクトにでき、コスト面で非常に有利なも
のである。
第１図は、従来の送り機構の断面図、第２ス（１本発明
による送り装置の構成図を示す。 １・・・・・・ボールネジ、２・・・・・・ナツト、３
・・・・・・スプリング固定金具、４・・・・・・スプ
リング、５・・・・・・スプリング固定ビン、６・・・
・・・カムフォロア、７・・・・・・支持ピン、８・・
・・・・ブロック、９・・・・・・ホルダー、１０・・
・・・・ボールネジ、１１・・・・・・ナツト、１２・
・・・・・スプリング固定金具、１３・・・・・・スプ
リング、１４・・・・・スプリング固定ビン、１５・・
・・・・カムフォロア、１６・・・・・・支持ピン、１
７・・・・・・ブロック、１８・・・・・・ホルダー。
による送り装置の構成図を示す。 １・・・・・・ボールネジ、２・・・・・・ナツト、３
・・・・・・スプリング固定金具、４・・・・・・スプ
リング、５・・・・・・スプリング固定ビン、６・・・
・・・カムフォロア、７・・・・・・支持ピン、８・・
・・・・ブロック、９・・・・・・ホルダー、１０・・
・・・・ボールネジ、１１・・・・・・ナツト、１２・
・・・・・スプリング固定金具、１３・・・・・・スプ
リング、１４・・・・・スプリング固定ビン、１５・・
・・・・カムフォロア、１６・・・・・・支持ピン、１
７・・・・・・ブロック、１８・・・・・・ホルダー。
Claims (1)
- 精密研削機において被加工物を削るダイヤモンドホイー
ルを保持し、かつ回転せしめるスピンドルをレバーにて
保持し、このスピンドルを前記レバーの一端の回転支点
と駆動部との間に配置せしめ、前記レバーの他端に駆動
部を設け、レバーの上下運動によりスピンドルを微小回
転運動させるレバー送り装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209120A JPS6190871A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | レバ−送り装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59209120A JPS6190871A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | レバ−送り装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6190871A true JPS6190871A (ja) | 1986-05-09 |
Family
ID=16567616
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59209120A Pending JPS6190871A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | レバ−送り装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6190871A (ja) |
-
1984
- 1984-10-05 JP JP59209120A patent/JPS6190871A/ja active Pending
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