JPS61241055A - 精密研磨装置 - Google Patents
精密研磨装置Info
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- JPS61241055A JPS61241055A JP8284285A JP8284285A JPS61241055A JP S61241055 A JPS61241055 A JP S61241055A JP 8284285 A JP8284285 A JP 8284285A JP 8284285 A JP8284285 A JP 8284285A JP S61241055 A JPS61241055 A JP S61241055A
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q11/00—Accessories fitted to machine tools for keeping tools or parts of the machine in good working condition or for cooling work; Safety devices specially combined with or arranged in, or specially adapted for use in connection with, machine tools
- B23Q11/001—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine
- B23Q11/0017—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine compensating the weight of vertically moving elements, e.g. by balancing liftable machine parts
- B23Q11/0025—Arrangements compensating weight or flexion on parts of the machine compensating the weight of vertically moving elements, e.g. by balancing liftable machine parts using resilient means, e.g. springs, hydraulic dampers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
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- B23Q1/26—Movable or adjustable work or tool supports characterised by constructional features relating to the co-operation of relatively movable members; Means for preventing relative movement of such members
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-
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- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
- B23Q1/4852—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair
- B23Q1/4866—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs a single sliding pair followed perpendicularly by a single rotating pair followed perpendicularly by a single sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B23Q5/00—Driving or feeding mechanisms; Control arrangements therefor
- B23Q5/22—Feeding members carrying tools or work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、金型などの自由曲面形状の鏡面加工を行なう
精密研磨装置に関するものである。
精密研磨装置に関するものである。
従来の技術
従来、金型などの自由曲面形状の加工は、ＣＮＣフライ
ス盤、倣いフライス盤、ＣＮＣ放電加工機などによって
行なわれている。ＣＮＣフライス盤、高速回転させる工
具（エンドミル、砥石など）と被加工材を多軸に数値制
御位置決めして自由曲面の切削、研削加工を行なう。倣
いフライス盤は予め加工形状のマスターを用意し、その
形状に倣い制御することにより自由曲面の切削、研削加
工を行なう。ＣＮＣ放電加工機は、加工電極と被加工材
を多軸に数値制御位置決めして自由曲面の放電加工を行
なう。これらの加工方法で加工された面は表面粗さが数
ミクロンあり、鏡面ではない。
ス盤、倣いフライス盤、ＣＮＣ放電加工機などによって
行なわれている。ＣＮＣフライス盤、高速回転させる工
具（エンドミル、砥石など）と被加工材を多軸に数値制
御位置決めして自由曲面の切削、研削加工を行なう。倣
いフライス盤は予め加工形状のマスターを用意し、その
形状に倣い制御することにより自由曲面の切削、研削加
工を行なう。ＣＮＣ放電加工機は、加工電極と被加工材
を多軸に数値制御位置決めして自由曲面の放電加工を行
なう。これらの加工方法で加工された面は表面粗さが数
ミクロンあり、鏡面ではない。
また形状精度についても、上記加工方法が定位置切込み
加工であり、加工精度は加工機械の精度に一致するので
、通常の機械構成では数ミクロンのオーダーがせいぜい
である。そのため、金型などの自由曲面を鏡面に仕上げ
るためには上記加工方法で加工した後に仕上げ加工が必
要となっている。
加工であり、加工精度は加工機械の精度に一致するので
、通常の機械構成では数ミクロンのオーダーがせいぜい
である。そのため、金型などの自由曲面を鏡面に仕上げ
るためには上記加工方法で加工した後に仕上げ加工が必
要となっている。
その仕上加工は多くの場合、作業者の手による研磨加工
であり、形状を三次元測定機、或は投影検査機などによ
り精度チェックしながら行なっている。この手作業に代
えて曲面用自動研磨装置が提案されている（宮沢伸−「
精密機械」第５０巻第７号第１０９７ ページ、Ｐ４Ｏ
１０，１９８４年）。
であり、形状を三次元測定機、或は投影検査機などによ
り精度チェックしながら行なっている。この手作業に代
えて曲面用自動研磨装置が提案されている（宮沢伸−「
精密機械」第５０巻第７号第１０９７ ページ、Ｐ４Ｏ
１０，１９８４年）。
この曲面用自動研磨装置はばねや空圧シリンダのような
簡単な機構によって一方向に一定圧力で支持されながら
公転運動を行なう工具を工作物表面に接触させた時、表
面の傾き角にほぼ比例して生じる加圧方向の変位を情報
源として、工具の姿勢を工作物表面の法線と一致するよ
う制御するようになっている。
簡単な機構によって一方向に一定圧力で支持されながら
公転運動を行なう工具を工作物表面に接触させた時、表
面の傾き角にほぼ比例して生じる加圧方向の変位を情報
源として、工具の姿勢を工作物表面の法線と一致するよ
う制御するようになっている。
発明が解決しようとする問題点
しかしながら上記のように従来の７ライス盤による切削
、研削加工や放電加工では表面粗さが粗く、数ミクロン
のオーダーであり、形状精度も数ミクロンのオーダーで
あるので、サブミクロンの精度を実現するために手作業
で研磨加工を行なうと作業者の非常に高度な技術と多く
の時間が必要となる。また曲面用自動研磨装置の場合に
おいては、前加工面に沿って研磨工具の姿勢と加圧の制
御を行なうものであるため、表面粗さが７ミクロンから
０．２ミクロンに加工改善されるものの（前。
、研削加工や放電加工では表面粗さが粗く、数ミクロン
のオーダーであり、形状精度も数ミクロンのオーダーで
あるので、サブミクロンの精度を実現するために手作業
で研磨加工を行なうと作業者の非常に高度な技術と多く
の時間が必要となる。また曲面用自動研磨装置の場合に
おいては、前加工面に沿って研磨工具の姿勢と加圧の制
御を行なうものであるため、表面粗さが７ミクロンから
０．２ミクロンに加工改善されるものの（前。
掲文、第１１０２ページ）、鏡面（表面粗さが百分の１
ミクロンオーダーである）が得られていない上に、形状
精度は前加工面精度のままであシ、これは上記のように
数ミクロンのオーダーであるが、その改善ができていな
い。
ミクロンオーダーである）が得られていない上に、形状
精度は前加工面精度のままであシ、これは上記のように
数ミクロンのオーダーであるが、その改善ができていな
い。
そこで、本発明は、サブミクロンオーダーの自由曲面の
鏡面加工を容易に、実現することができるようにした精
密研磨装置を提供しようとするものである。
鏡面加工を容易に、実現することができるようにした精
密研磨装置を提供しようとするものである。
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決するための本発明の技術的な手
段は、ワーク加工用の工具を保持し、回転駆動するスピ
ンドル部と、このスピンドル部を軸方向に移動可能に支
持する保持部材と、上記工具及びスピンドル部を支持す
る弾性部材と、上記工具及びスピンドル部の保持部材に
対する移動量を検出する検出手段と、上記工具、スピン
ドル部及び保持部材を軸方向に移動可能に位置決めする
と共に上記検出手段の検出により移動させる第１の位置
決め機構及び駆動装置と、上記工具、スピンドル部及び
保持部材を軸心が起伏するように回転させて位置決めす
る第２の位置決め機構と、上記工具をワークに対し移動
させて位置決めする第３の位置決め機構を備えたもので
ある。
段は、ワーク加工用の工具を保持し、回転駆動するスピ
ンドル部と、このスピンドル部を軸方向に移動可能に支
持する保持部材と、上記工具及びスピンドル部を支持す
る弾性部材と、上記工具及びスピンドル部の保持部材に
対する移動量を検出する検出手段と、上記工具、スピン
ドル部及び保持部材を軸方向に移動可能に位置決めする
と共に上記検出手段の検出により移動させる第１の位置
決め機構及び駆動装置と、上記工具、スピンドル部及び
保持部材を軸心が起伏するように回転させて位置決めす
る第２の位置決め機構と、上記工具をワークに対し移動
させて位置決めする第３の位置決め機構を備えたもので
ある。
作 用
本発明は上記構成、によシ、第１．第２及び第３の位置
決め機構を作動させ、工具をワークの所望加工形状に基
づいて加工面の法線方向に高精度に一致させて位置決め
し、また工具を一定圧力で加工面に押し当てるように加
工制御し、これによシ、あらゆる自由曲面を形状の精度
と面の精度をも同時にサブミクロン以下の高精度に研磨
加工することができる。
決め機構を作動させ、工具をワークの所望加工形状に基
づいて加工面の法線方向に高精度に一致させて位置決め
し、また工具を一定圧力で加工面に押し当てるように加
工制御し、これによシ、あらゆる自由曲面を形状の精度
と面の精度をも同時にサブミクロン以下の高精度に研磨
加工することができる。
実施例
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて詳細に説明す
る。第１図は斜視図、第２図は一部切欠正面図、第３図
は左側面図である。第１図〜第３図に示すように基台１
にテーブル２が支持され、このテーブル２はワークＷを
保持し、Ｘ軸方向に位置決めする。ワークＷを加工する
工具３はスピンドル４に保持され、スピンドル４はスピ
ンドル軸受６に保持されている。スピンドル軸受５の内
側にはステータ６が取付けられ、スピンドル４の基部に
はロータマグネット７が取付けられ、これらロータマグ
ネット７とステータ６によシモータが構成され、スピン
ドル４及び工具３が回転されるようになっている。δビ
ンドル軸受６は保持枠８に軸方向に移動可能に保持され
ている。スピンドル軸受６の基部拡大部６ａと保持枠８
の先端内方突出部８ａの内面とに弾性材であるばね９が
介在され、このばね９によシスピンドル軸受６．スピン
ドル４及び工具３０重量が保持されている。
る。第１図は斜視図、第２図は一部切欠正面図、第３図
は左側面図である。第１図〜第３図に示すように基台１
にテーブル２が支持され、このテーブル２はワークＷを
保持し、Ｘ軸方向に位置決めする。ワークＷを加工する
工具３はスピンドル４に保持され、スピンドル４はスピ
ンドル軸受６に保持されている。スピンドル軸受５の内
側にはステータ６が取付けられ、スピンドル４の基部に
はロータマグネット７が取付けられ、これらロータマグ
ネット７とステータ６によシモータが構成され、スピン
ドル４及び工具３が回転されるようになっている。δビ
ンドル軸受６は保持枠８に軸方向に移動可能に保持され
ている。スピンドル軸受６の基部拡大部６ａと保持枠８
の先端内方突出部８ａの内面とに弾性材であるばね９が
介在され、このばね９によシスピンドル軸受６．スピン
ドル４及び工具３０重量が保持されている。
これら工具３等の保持枠８に対する移動量を検出する手
段としてスピンドル軸受５と保持枠８にコア１０と差動
トランス１１が備えられている。
段としてスピンドル軸受５と保持枠８にコア１０と差動
トランス１１が備えられている。
工具３等は第１の位置決め機構１２によυ軸方向に位置
決めされ、第２の位置決め機構１３にょシ軸心が起伏す
る方向、即ち回転方向に位置決めされ、第３の位置決め
機構１４によりワークＷに対する相対位置が決められる
。即ち、保持枠８が保持板１６に固定され、この保持板
１６は位置決め枠１ｅに工具３等の軸方向に移動可能に
保持されている。位置決め枠１６には駆動モータ１７が
取付けられ、駆動モータ１７の駆動ねじ軸１８が保持板
１６に連繋されている。従ってモータ１７の駆動により
駆動ねじ軸１８を回転させることによジ保持板１６．保
持枠８．スピンドル軸受５゜スピンドル４及び工具３等
を軸方向に移動させることができる。位置決め枠１６の
背面には回転軸１９が突設され、この回転軸１９が位置
決め枠２゜に回転可能に支持されている。回転軸１９の
背方小径部にはウオームホイール２１が取付けられてい
る。一方、位置決め枠２０内にはモータ２２が取付けら
れ、このモータ２２の出力軸上にウオーム２３が取付け
られ、このウオーム２３がウオームホイール２１に噛合
わされている。従ってモータ２２の駆動によりウオーム
２３及びウオームホイール２１を介して位置決め枠１６
．保持板１５゜保持枠８．スピンドル軸受６．スピンド
ル４及び工具３等をθ方向（第２図参照）に回転させる
ことができる。位置決め枠２ｏは基台１上に立設された
枠体２４にスライド軸受２６を介してＺ軸方向、即ち上
下方向にのみ移動可能に支持されている。枠体２４内に
は垂直方向に駆動ねじ軸２６が回転可能に支持され、こ
の駆動ねじ軸２６の上方突出端部にはハンドル２７が取
付けられている。
決めされ、第２の位置決め機構１３にょシ軸心が起伏す
る方向、即ち回転方向に位置決めされ、第３の位置決め
機構１４によりワークＷに対する相対位置が決められる
。即ち、保持枠８が保持板１６に固定され、この保持板
１６は位置決め枠１ｅに工具３等の軸方向に移動可能に
保持されている。位置決め枠１６には駆動モータ１７が
取付けられ、駆動モータ１７の駆動ねじ軸１８が保持板
１６に連繋されている。従ってモータ１７の駆動により
駆動ねじ軸１８を回転させることによジ保持板１６．保
持枠８．スピンドル軸受５゜スピンドル４及び工具３等
を軸方向に移動させることができる。位置決め枠１６の
背面には回転軸１９が突設され、この回転軸１９が位置
決め枠２゜に回転可能に支持されている。回転軸１９の
背方小径部にはウオームホイール２１が取付けられてい
る。一方、位置決め枠２０内にはモータ２２が取付けら
れ、このモータ２２の出力軸上にウオーム２３が取付け
られ、このウオーム２３がウオームホイール２１に噛合
わされている。従ってモータ２２の駆動によりウオーム
２３及びウオームホイール２１を介して位置決め枠１６
．保持板１５゜保持枠８．スピンドル軸受６．スピンド
ル４及び工具３等をθ方向（第２図参照）に回転させる
ことができる。位置決め枠２ｏは基台１上に立設された
枠体２４にスライド軸受２６を介してＺ軸方向、即ち上
下方向にのみ移動可能に支持されている。枠体２４内に
は垂直方向に駆動ねじ軸２６が回転可能に支持され、こ
の駆動ねじ軸２６の上方突出端部にはハンドル２７が取
付けられている。
駆動ねじ軸２ｅには位置決め枠２ｏ内にこの位置決め枠
２ｏと一体に設けられたナツト２８が螺合されている。
２ｏと一体に設けられたナツト２８が螺合されている。
従って駆動ねじ軸２６を回転させることによりナツト２
８を介して位置決め枠２０゜位置決め枠１６．保持板１
５．保持枠８．スピンドル軸受・６．スピンドル４及び
工具３等をＺ軸方向（第３図参照）に移動させることが
できる。
８を介して位置決め枠２０゜位置決め枠１６．保持板１
５．保持枠８．スピンドル軸受・６．スピンドル４及び
工具３等をＺ軸方向（第３図参照）に移動させることが
できる。
次に上記実施例の動作について説明する。まずワークＷ
の加工形状の創成方法について説明する０ワークＷの加
工形状に基づいて加工面の法線方向に工具の軸を一致さ
せるように角度θの値を求める。この角度θの値により
回転軸１９、即ちθ軸の中心から工具３の先端までの長
さＲとθ軸中心のＸ座標上での値Ｘを決定する。このθ
、Ｘ、Ｈの値によってワークＷの加工形状を表現するこ
とづ ができ、これに基き形状を創成することができる。
の加工形状の創成方法について説明する０ワークＷの加
工形状に基づいて加工面の法線方向に工具の軸を一致さ
せるように角度θの値を求める。この角度θの値により
回転軸１９、即ちθ軸の中心から工具３の先端までの長
さＲとθ軸中心のＸ座標上での値Ｘを決定する。このθ
、Ｘ、Ｈの値によってワークＷの加工形状を表現するこ
とづ ができ、これに基き形状を創成することができる。
次に加工制御について説明する。第４図に加工部の説明
図を示す。加工面上任意の位置（θｌ Ｘ ＩＲ）上に
工具３があシ、ワークＷの前加工面Ｗ１が所望形状Ｗ２
よりＲ軸方向にＩＲだけずれているとする。まず、上記
のようにθ、Ｘ、Ｈの各座標の位置決めが行われると、
上記のように駆動ねじ軸２６の操作、モータ２２及びモ
ータ１７の駆動により工具３を下降させてワークＷの前
加工面Ｗ１上に押し当てる。これにより工具３．スピン
ドル４及びスピンドル軸受６は浮上する。この浮上量を
コア１ｏと差動トランス１１によシ検出する。浮上量に
応じて、ワークＷの前加工面Ｗ１に押し描てられる工具
３の加工圧力は変化するので、この加工圧力を一定に保
つために保持部材１５等をＲ軸方向に移動させてＨの値
をＩＲだけ減する。
図を示す。加工面上任意の位置（θｌ Ｘ ＩＲ）上に
工具３があシ、ワークＷの前加工面Ｗ１が所望形状Ｗ２
よりＲ軸方向にＩＲだけずれているとする。まず、上記
のようにθ、Ｘ、Ｈの各座標の位置決めが行われると、
上記のように駆動ねじ軸２６の操作、モータ２２及びモ
ータ１７の駆動により工具３を下降させてワークＷの前
加工面Ｗ１上に押し当てる。これにより工具３．スピン
ドル４及びスピンドル軸受６は浮上する。この浮上量を
コア１ｏと差動トランス１１によシ検出する。浮上量に
応じて、ワークＷの前加工面Ｗ１に押し描てられる工具
３の加工圧力は変化するので、この加工圧力を一定に保
つために保持部材１５等をＲ軸方向に移動させてＨの値
をＩＲだけ減する。
その状態で上記のようにスピンドル４及び工具３を回転
させて工具３により７−７Ｗの前加工面Ｗ１の加工を行
なう。加工が進行すると、ＩＲの値が小さくなシ、これ
に対応して上記のように工具３等をＲ軸方向に移動させ
る。加工進行中は工具３の摩耗も進行するため、Ｒ軸方
向の位置決めのＲの値を常に補正する必要がある。ＩＲ
の値が０となった時点で、次の加工ポイントへ位置決め
し、以下、同様にして研磨作業を行なうことができる。
させて工具３により７−７Ｗの前加工面Ｗ１の加工を行
なう。加工が進行すると、ＩＲの値が小さくなシ、これ
に対応して上記のように工具３等をＲ軸方向に移動させ
る。加工進行中は工具３の摩耗も進行するため、Ｒ軸方
向の位置決めのＲの値を常に補正する必要がある。ＩＲ
の値が０となった時点で、次の加工ポイントへ位置決め
し、以下、同様にして研磨作業を行なうことができる。
ここで工具３のワークＷに対する加工圧力を一定に保つ
必要性は、第１に工具３の摩耗の条件を単純にし、補正
を容易にすることにある。第２に鏡面加工を行うため、
工具３にピッチ等の粘弾性材質を用いるが、加工圧力に
よって変形が生じるためにＲの値の精度を得るには、加
工圧力を一定に保つ必要がある。第３に均一な加工面を
得るためには、常に加工条件が一定して安定しているこ
とが必要である。
必要性は、第１に工具３の摩耗の条件を単純にし、補正
を容易にすることにある。第２に鏡面加工を行うため、
工具３にピッチ等の粘弾性材質を用いるが、加工圧力に
よって変形が生じるためにＲの値の精度を得るには、加
工圧力を一定に保つ必要がある。第３に均一な加工面を
得るためには、常に加工条件が一定して安定しているこ
とが必要である。
以上のようにθ、Ｘ、Ｒの工具３とワークＷの位置決め
によシ高精度に形状を創成し、常に一定した加工圧力を
与えるように制御することによりあらゆる自由曲面の高
精度な鏡面加工を実現することができる。
によシ高精度に形状を創成し、常に一定した加工圧力を
与えるように制御することによりあらゆる自由曲面の高
精度な鏡面加工を実現することができる。
発明の効果
以上の説明より明らかなように本発明によれば、工具を
保持するスピンドル部を保持部材に弾性的に保持し、工
具等の保持部材に対する移動量を検出手段により検出し
、工具等を軸方向１回転方向及びワークに対し第１〜第
３の位置決め機構により位置決めし、上記検出手段の検
出により工具に対し所望の加工形状に一致するように加
工制御するようにしているので、自由曲面等の鏡面加工
を高精度に、且つ容易に実現することができる。特に形
状精度でサブミクロン、面積度で０．０１ミクロン以下
の高精度加工を実現することができ、特に光学部品の加
工においてはその効果は大きい。
保持するスピンドル部を保持部材に弾性的に保持し、工
具等の保持部材に対する移動量を検出手段により検出し
、工具等を軸方向１回転方向及びワークに対し第１〜第
３の位置決め機構により位置決めし、上記検出手段の検
出により工具に対し所望の加工形状に一致するように加
工制御するようにしているので、自由曲面等の鏡面加工
を高精度に、且つ容易に実現することができる。特に形
状精度でサブミクロン、面積度で０．０１ミクロン以下
の高精度加工を実現することができ、特に光学部品の加
工においてはその効果は大きい。
第１図は本発明の精密研磨装置の一実施例の一部切欠斜
視図、第２図はその一部切欠正面図、第３図はその一部
切欠側面図、第４図は要部の加工説明図である。 １・・・・・・基台、２・・・・・・テーブル、３・・
・・・・工具、４・・・・・・スピンドル、５・・・・
・・スピンドル軸受、９・・・・・・ばね、１０・・・
・・・コア、１１・・・・・・差動トランス、１２・・
・・・・第１の位置決め機構、１３・・・・・・第２の
位置決め機構、１４・・・・・・第３の位置決め機構、
１７・・・・・・駆動モータ、１８・・・・・・駆動ね
じ軸、２２・・・・・・駆動モータ、２６・・・・・・
駆動ねじ軸。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
−−五も ？−−チー７）し ３− 工具 略−一一スセ０ンｙル ｆｏ−コア ｆｆ−一部１ｔη功ンス 第１ ＦＭ”−オｔ７１４ｔｔル相ス桃ｆ５−−−オ
２４ ’ ！４−牙ハ “ ｆ−一一基号 ２−一一クー１九 ３−Ｌ呉 トー像井衿 Ｑ−＝＋Ｚ−ｐ（１勢限１Ｐ疑］ ｆ＃・−−１７ ｚｙ−−ｔ！つ ９ 鱒−ｔｆｆａ − げ−ｍ−１量稙 ＋ｔ、ｐｒＪｋｔＱめ砕 ＋７−ＩＴｈで一部 ｔａ−−−・−ｐに・細 Ｗ−−９−り ＋−−−基省 ！−−テーフ゛ル ３−一一工兵 ４−−−χ「ンド」し ｓ−”＃遺 ８−）猪秤 １０−−−コア ａ−−チ１つ マ １４−中３の ・ σ−４Ｕ告不（ ｔｔ；−ｇｔ＠ラノ艷ν）壬？ ｒｒ−＠ Ｔｊモーヲ ｔｔ−−−で−グ ｔｔ−−４ｖ勤かＵ軸 ３−ｆ−失 ｑ−−−＋１−枳ＩＨ支晋ｐ身ノ ｆＯ−−−ボア ｔｔ−ＪＪケＹラン又 Ｗ−−−ワーク
視図、第２図はその一部切欠正面図、第３図はその一部
切欠側面図、第４図は要部の加工説明図である。 １・・・・・・基台、２・・・・・・テーブル、３・・
・・・・工具、４・・・・・・スピンドル、５・・・・
・・スピンドル軸受、９・・・・・・ばね、１０・・・
・・・コア、１１・・・・・・差動トランス、１２・・
・・・・第１の位置決め機構、１３・・・・・・第２の
位置決め機構、１４・・・・・・第３の位置決め機構、
１７・・・・・・駆動モータ、１８・・・・・・駆動ね
じ軸、２２・・・・・・駆動モータ、２６・・・・・・
駆動ねじ軸。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名１−
−−五も ？−−チー７）し ３− 工具 略−一一スセ０ンｙル ｆｏ−コア ｆｆ−一部１ｔη功ンス 第１ ＦＭ”−オｔ７１４ｔｔル相ス桃ｆ５−−−オ
２４ ’ ！４−牙ハ “ ｆ−一一基号 ２−一一クー１九 ３−Ｌ呉 トー像井衿 Ｑ−＝＋Ｚ−ｐ（１勢限１Ｐ疑］ ｆ＃・−−１７ ｚｙ−−ｔ！つ ９ 鱒−ｔｆｆａ − げ−ｍ−１量稙 ＋ｔ、ｐｒＪｋｔＱめ砕 ＋７−ＩＴｈで一部 ｔａ−−−・−ｐに・細 Ｗ−−９−り ＋−−−基省 ！−−テーフ゛ル ３−一一工兵 ４−−−χ「ンド」し ｓ−”＃遺 ８−）猪秤 １０−−−コア ａ−−チ１つ マ １４−中３の ・ σ−４Ｕ告不（ ｔｔ；−ｇｔ＠ラノ艷ν）壬？ ｒｒ−＠ Ｔｊモーヲ ｔｔ−−−で−グ ｔｔ−−４ｖ勤かＵ軸 ３−ｆ−失 ｑ−−−＋１−枳ＩＨ支晋ｐ身ノ ｆＯ−−−ボア ｔｔ−ＪＪケＹラン又 Ｗ−−−ワーク
Claims (1)
- ワーク加工用の工具を保持し、回転駆動するスピンドル
部と、このスピンドル部を軸方向に移動可能に支持する
支持部材と、上記工具及びスピンドル部を支持する弾性
部材と、上記工具及びスピンドル部の保持部材に対する
移動量を検出する検出手段と、上記工具、スピンドル部
及び保持部材を軸方向に移動可能に位置決めすると共に
上記検出手段の検出により移動させる第１の位置決め機
構及び駆動装置と、上記工具、スピンドル部及び保持部
材を軸心が起伏するように回転させて位置決めする第２
の位置決め機構と、上記工具をワークに対し移動させて
位置決めする第３の位置決め機構を備えたことを特徴と
する精密研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284285A JPS61241055A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 精密研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8284285A JPS61241055A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 精密研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61241055A true JPS61241055A (ja) | 1986-10-27 |
Family
ID=13785643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8284285A Pending JPS61241055A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | 精密研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61241055A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1002621A1 (de) * | 1998-11-20 | 2000-05-24 | Mikron SA Agno | Vorrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung mit zwei translatorischen Freiheitsgraden |
| WO2013030189A1 (en) * | 2011-08-31 | 2013-03-07 | Gereedschapswerktuigenindustrie Hembrug B.V. | A machining apparatus |
| WO2015014948A3 (de) * | 2013-08-01 | 2015-04-02 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg | Bearbeitungsmaschine mit schwenkbarer werkzeugspindel |
| JP2019527626A (ja) * | 2016-08-12 | 2019-10-03 | ケルカー, ニティンKELKAR, Nitin | Ｃｎｃ機械加工装置 |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP8284285A patent/JPS61241055A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1002621A1 (de) * | 1998-11-20 | 2000-05-24 | Mikron SA Agno | Vorrichtung zur Erzeugung einer Relativbewegung mit zwei translatorischen Freiheitsgraden |
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| WO2015014970A3 (de) * | 2013-08-01 | 2015-04-09 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg | Bearbeitungsmaschine mit schwenkbarer werkzeugspindel |
| WO2015014961A3 (de) * | 2013-08-01 | 2015-04-23 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg | Bearbeitungsmaschine mit schwenkbarer werkzeugspindel |
| CN105492160A (zh) * | 2013-08-01 | 2016-04-13 | 格鲁博-工厂有限及两合公司 | 具有能枢转的刀具主轴的加工机床 |
| US9878409B2 (en) | 2013-08-01 | 2018-01-30 | Grob-Werke Gmbh & Co. Kg | Machine tool for machining |
| JP2019527626A (ja) * | 2016-08-12 | 2019-10-03 | ケルカー, ニティンKELKAR, Nitin | Ｃｎｃ機械加工装置 |
| EP3496895A4 (en) * | 2016-08-12 | 2020-06-17 | Kelkar, Nitin Narayan | CNC MACHINING APPARATUS |
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