JPS6133858A - 精密研磨装置 - Google Patents
精密研磨装置Info
- Publication number
- JPS6133858A JPS6133858A JP15781784A JP15781784A JPS6133858A JP S6133858 A JPS6133858 A JP S6133858A JP 15781784 A JP15781784 A JP 15781784A JP 15781784 A JP15781784 A JP 15781784A JP S6133858 A JPS6133858 A JP S6133858A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polishing
- workpiece
- data
- polisher
- machining
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、金型の加工等の自由曲面の鏡面加工を行うこ
とができる精密研磨装置に関するものである。
とができる精密研磨装置に関するものである。
従来例の構成とその問題点
２、。
従来金型の加工等の自由曲面の加工は、ＣＮＣフライス
盤、倣いフライス盤、ＣＮＣ放電加工機などによって行
われている。ＣＮＣフライス盤においては、高速回転さ
せた工具（エンドミル、砥石など）と被加工材を多軸に
数値制御位置決めを行い自由曲面を切削、研削加工をす
る。倣いフライス盤はあらかじめ加工形状の物を用意し
、その形状に工具を倣い制御することで自由曲面を切削
。
盤、倣いフライス盤、ＣＮＣ放電加工機などによって行
われている。ＣＮＣフライス盤においては、高速回転さ
せた工具（エンドミル、砥石など）と被加工材を多軸に
数値制御位置決めを行い自由曲面を切削、研削加工をす
る。倣いフライス盤はあらかじめ加工形状の物を用意し
、その形状に工具を倣い制御することで自由曲面を切削
。
研削加工を行う。ＣＮＣ放電加工機においては、加工電
極と被加工材を多軸に数値制御位置決めを行い自由曲面
を放電加工するものである。以上に示した加工により切
削、研磨したものはその寸までは金型としては使えない
。というのは、次のような問題点があるからである。第
１に、表面あらさが粗い。先に上げた加工の中で最も精
度の良い放電加工でも数ミクロンのオーダーの表面あら
さである。第２に形状精度が高くない。加工精度が機械
の精度に一致するため、通常の機械構成では形状精度は
数ミクロンのオーダーとなる。そこで従来は前記加工の
後にさらに仕上加工が必要とな３７、− っている。多くの場合その仕上加工は手による研また、
特にサブミクロン以下の精度が要求される自由曲面の場
合にはその測定が困難である。したがって、非常に高度
な技術と時間が必要とされてる。
極と被加工材を多軸に数値制御位置決めを行い自由曲面
を放電加工するものである。以上に示した加工により切
削、研磨したものはその寸までは金型としては使えない
。というのは、次のような問題点があるからである。第
１に、表面あらさが粗い。先に上げた加工の中で最も精
度の良い放電加工でも数ミクロンのオーダーの表面あら
さである。第２に形状精度が高くない。加工精度が機械
の精度に一致するため、通常の機械構成では形状精度は
数ミクロンのオーダーとなる。そこで従来は前記加工の
後にさらに仕上加工が必要とな３７、− っている。多くの場合その仕上加工は手による研また、
特にサブミクロン以下の精度が要求される自由曲面の場
合にはその測定が困難である。したがって、非常に高度
な技術と時間が必要とされてる。
発明の目的
」二記欠点に鑑み本発明は、金型の加工等の自由曲面の
研磨加工を高精度にかつ容易に実現することを目的とし
ている。
研磨加工を高精度にかつ容易に実現することを目的とし
ている。
発明の構成
本発明は上記目的を達成するもので、上下可動自由なス
ピンドルの軸先端に設けられたポリラシャと、前記ポリ
ラシャを被加工材に押圧する加工圧調節手段と、加工速
度データを格納する加工データ格納部と、前記加工デー
タ格納部のデータに基づき前記ポリラシャを被加工材に
対して相対的に移動させる手段とを具備することを特徴
とする精密研磨装置を提供するものである。
ピンドルの軸先端に設けられたポリラシャと、前記ポリ
ラシャを被加工材に押圧する加工圧調節手段と、加工速
度データを格納する加工データ格納部と、前記加工デー
タ格納部のデータに基づき前記ポリラシャを被加工材に
対して相対的に移動させる手段とを具備することを特徴
とする精密研磨装置を提供するものである。
実施例の説明
第１図に本発明の一実施例における精密研磨装置の正面
図を示す。図において１は高速回転モータを内蔵したス
ピンドルであシ、その軸先端に弾性材質で形成した円板
状で外周がＲ形状のポリラシャ２が取り付けられている
。スピンドル１は加工ヘノド部３に板ばね４，５により
取り付けられている。これによりスピンドル１はポリラ
シャ２が被加工材６の形状に倣って」ユニに動くことが
できる。スピンドル１を一定荷重で下方に押すようにバ
ネ７吉荷重棒８が構成されている。以上によって加工ヘ
ッド部３は構成されコラム９に固定されている。被加工
材６は砥粒を混合した溶液１０の入った水槽１１の中に
入れられており、ＸＹテーブル部１２により水平面内の
直交する２軸Ｘ。
図を示す。図において１は高速回転モータを内蔵したス
ピンドルであシ、その軸先端に弾性材質で形成した円板
状で外周がＲ形状のポリラシャ２が取り付けられている
。スピンドル１は加工ヘノド部３に板ばね４，５により
取り付けられている。これによりスピンドル１はポリラ
シャ２が被加工材６の形状に倣って」ユニに動くことが
できる。スピンドル１を一定荷重で下方に押すようにバ
ネ７吉荷重棒８が構成されている。以上によって加工ヘ
ッド部３は構成されコラム９に固定されている。被加工
材６は砥粒を混合した溶液１０の入った水槽１１の中に
入れられており、ＸＹテーブル部１２により水平面内の
直交する２軸Ｘ。
Ｙ方向に位置決めが行われる。ポリラシャ２０回転に伴
う砥粒溶液１Ｑの被加工拐６への衝突によに本実施例の
研磨装置の加工原理図を示す。ポリ６ ／、 ノシャ２の回転により砥粒１４を混合した液体１０は図
のように流れが発生する。ポリラシャ２にｕ： 第１図
に示した加工ヘッド部３を調整することによりバネ７と
荷重棒８を介して加工圧ｗｇが与えられているため、被
加工材６との間に一定ギャップｑをもって浮上する。こ
のギャップｑはポリラシャ２の形状２回転数、加工圧、
溶液粘度によって一義的に決定される。溶液１０の流れ
に伴い砥粒１４が被加工材６に衝突し加工が進行する。
う砥粒溶液１Ｑの被加工拐６への衝突によに本実施例の
研磨装置の加工原理図を示す。ポリ６ ／、 ノシャ２の回転により砥粒１４を混合した液体１０は図
のように流れが発生する。ポリラシャ２にｕ： 第１図
に示した加工ヘッド部３を調整することによりバネ７と
荷重棒８を介して加工圧ｗｇが与えられているため、被
加工材６との間に一定ギャップｑをもって浮上する。こ
のギャップｑはポリラシャ２の形状２回転数、加工圧、
溶液粘度によって一義的に決定される。溶液１０の流れ
に伴い砥粒１４が被加工材６に衝突し加工が進行する。
ポリラシャ２と被加工材６との相対位置を固定している
とポリラシャ２は」ユニに可動であるので被加工材６は
下方に加工が進行する。すなわち、加工量はポリノンヤ
２と被加工材６との相対速度によって決定される。次に
本実施例における研磨装置の加工方法について説明する
。
とポリラシャ２は」ユニに可動であるので被加工材６は
下方に加工が進行する。すなわち、加工量はポリノンヤ
２と被加工材６との相対速度によって決定される。次に
本実施例における研磨装置の加工方法について説明する
。
最初に被加工材６の前加工形状の測定を行う。
この測定データと所望加工形状データとの比較を行い、
被加工材６の各位置（ｘ、ｙ）における加工速度データ
とし、例えば加工ヘッド部３に設けられた加工データ格
納部１３に格納しておく。こ６ ベーン の加工速度データに基づきＸＹテーブル部１２が移動し
加工が行われる。先述したように加工量はポリラシャ２
と被加工材６の相対速度によって決定されるので加工速
度を可変制御することで、所望形状加工が可能となる。
被加工材６の各位置（ｘ、ｙ）における加工速度データ
とし、例えば加工ヘッド部３に設けられた加工データ格
納部１３に格納しておく。こ６ ベーン の加工速度データに基づきＸＹテーブル部１２が移動し
加工が行われる。先述したように加工量はポリラシャ２
と被加工材６の相対速度によって決定されるので加工速
度を可変制御することで、所望形状加工が可能となる。
第３図は以」二に述べた形状データ（−）と加工速度デ
ータ（ｂ）の対応を示す図である。加工量が大きい位置
では加工速度が遅くなる。これはあるＹ座標におけるＸ
方向のデータであり、加工はＸ方向に加工速度データに
基づいた加工速度でなされ、順次Ｙ方向に進められる。
ータ（ｂ）の対応を示す図である。加工量が大きい位置
では加工速度が遅くなる。これはあるＹ座標におけるＸ
方向のデータであり、加工はＸ方向に加工速度データに
基づいた加工速度でなされ、順次Ｙ方向に進められる。
かかる構成の研磨装置は加工速度の制御により任意の形
状の研磨加工が可能であり、ポリラシャ２のＲを小さく
することで非常に微小範囲の加工や砥粒を百分の１ミク
ロンオーダーのものを用いることで微小の加工が可能と
なる。
状の研磨加工が可能であり、ポリラシャ２のＲを小さく
することで非常に微小範囲の加工や砥粒を百分の１ミク
ロンオーダーのものを用いることで微小の加工が可能と
なる。
発明の効果
以上要するに本発明は高速回転するスピンドルの軸先端
に取り付けられた回転ポリラシャと前記スピンドルを上
下可動自由に支持し、前記回転ポリラシャの加工圧力を
微調する機構を有し、さらに加工速度データを格納する
加工データ格納部と、被加工利を位置決めするテーブル
部より構成され、加工に先立ち被加工材の形状の測定を
行い、この測定データと所望加工形状データとの比較を
行い、被加工材の各位置における加工速度データを加工
データ格納部に収納し、このデータに基づき加工を行う
ようにしたもので、極めて表面あらさにすぐれ、高い形
状精度をもった自由曲面の研磨加工を実現することがで
きる。
に取り付けられた回転ポリラシャと前記スピンドルを上
下可動自由に支持し、前記回転ポリラシャの加工圧力を
微調する機構を有し、さらに加工速度データを格納する
加工データ格納部と、被加工利を位置決めするテーブル
部より構成され、加工に先立ち被加工材の形状の測定を
行い、この測定データと所望加工形状データとの比較を
行い、被加工材の各位置における加工速度データを加工
データ格納部に収納し、このデータに基づき加工を行う
ようにしたもので、極めて表面あらさにすぐれ、高い形
状精度をもった自由曲面の研磨加工を実現することがで
きる。
第１図は本発明の一実施例における精密研磨装置を示す
平面図、第２図は本発明の精密研磨装置の加工法の原理
図、第３図は本発明の精密研磨装置の加工速度データの
例を示す図である。 １ 、、、、、スピンドル、２、、、−、、ポリ、シャ
、３・・・・・・加工ヘソド部）４，５・・・・・・板
ばね・６・・・・・・・被加工利・７１・・・・−バネ
・８・・・・・荷重棒、９ 、、、、、、コラム、１０
、、、、、、溶液、１１ 、、、、、、水槽、１２
、、、、、、 Ｘ Ｙテーブル部、１３ 、、、、、、
加工データ格納部、１４・・・・・・砥粒。 第３図
平面図、第２図は本発明の精密研磨装置の加工法の原理
図、第３図は本発明の精密研磨装置の加工速度データの
例を示す図である。 １ 、、、、、スピンドル、２、、、−、、ポリ、シャ
、３・・・・・・加工ヘソド部）４，５・・・・・・板
ばね・６・・・・・・・被加工利・７１・・・・−バネ
・８・・・・・荷重棒、９ 、、、、、、コラム、１０
、、、、、、溶液、１１ 、、、、、、水槽、１２
、、、、、、 Ｘ Ｙテーブル部、１３ 、、、、、、
加工データ格納部、１４・・・・・・砥粒。 第３図
Claims (2)
- （１）上下可動自由なスピンドルの軸先端に設けられた
ポリッシャと、前記ポリッシャを被加工材に押圧する加
工圧調節手段と、加工速度データを格納する加工データ
格納部と、前記加工データ格納部のデータに基づき前記
ポリッシャを被加工材に対して相対的に移動させる手段
とを具備することを特徴とする精密研磨装置。 - （２）被加工材が砥粒を混合した溶液内に浸漬されてい
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の精密研
磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15781784A JPS6133858A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 精密研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15781784A JPS6133858A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 精密研磨装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6133858A true JPS6133858A (ja) | 1986-02-17 |
Family
ID=15657946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15781784A Pending JPS6133858A (ja) | 1984-07-27 | 1984-07-27 | 精密研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6133858A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5157878A (en) * | 1987-03-19 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing method with error correction |
| US10729063B2 (en) | 2009-02-02 | 2020-08-04 | Deere & Company | Seeding machine with seed delivery system |
| USRE48572E1 (en) | 2009-02-02 | 2021-06-01 | Deere & Company | Planting unit for a seeding machine having blocking member to control hand-off of seed from a seed meter to a seed delivery system |
-
1984
- 1984-07-27 JP JP15781784A patent/JPS6133858A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5157878A (en) * | 1987-03-19 | 1992-10-27 | Canon Kabushiki Kaisha | Polishing method with error correction |
| US10729063B2 (en) | 2009-02-02 | 2020-08-04 | Deere & Company | Seeding machine with seed delivery system |
| US10806070B2 (en) | 2009-02-02 | 2020-10-20 | Deere & Company | Seeding machine with seed delivery system |
| USRE48572E1 (en) | 2009-02-02 | 2021-06-01 | Deere & Company | Planting unit for a seeding machine having blocking member to control hand-off of seed from a seed meter to a seed delivery system |
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