JPH03161255A - アタッチメント式超音波加工によるワークの穴あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置 - Google Patents
アタッチメント式超音波加工によるワークの穴あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置Info
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- JPH03161255A JPH03161255A JP1297157A JP29715789A JPH03161255A JP H03161255 A JPH03161255 A JP H03161255A JP 1297157 A JP1297157 A JP 1297157A JP 29715789 A JP29715789 A JP 29715789A JP H03161255 A JPH03161255 A JP H03161255A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 13
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 39
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 claims description 23
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 10
- 238000003801 milling Methods 0.000 claims description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 abstract description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 5
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 238000009429 electrical wiring Methods 0.000 description 3
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産東上の利用分野］
本発明はアタッチメント式超音波加工によるワークの穴
あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置に係わり、
更に詳しくはアタッチメント式にした超音波加工用工具
をマシニングセンタ等の送り及びそれ自体の超音波振動
のみならず、それ自体回転可能と威して、ワークの穴あ
け内面に供給される１！離砥粒によってワークの穴あけ
内面を高精度にラッピング研磨できるようにした方法と
その装置に関する． ［従来の技＃＃］ 周知の通り、超音波発振器とその超音波発振器の出力を
受けて振動する超音波振動子を備え、その振動をホーン
を介して拡大して超音波加工用工具に伝えて超音波振動
させながら遊離砥粒をワーク側に供給してワークに穴あ
けする装置が従来から知られている． ところが，以前に於いてはそれ自体が専用の工作機械の
主軸と一体となっており、ワーク側へ送りワークを加工
するものであった．その場合、専用の工作機械であった
為、高価なものになってしまった． そこで、マシニングセンタ等に着脱的に装着できるアタ
ッチメント式の装置が提案された。
あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置に係わり、
更に詳しくはアタッチメント式にした超音波加工用工具
をマシニングセンタ等の送り及びそれ自体の超音波振動
のみならず、それ自体回転可能と威して、ワークの穴あ
け内面に供給される１！離砥粒によってワークの穴あけ
内面を高精度にラッピング研磨できるようにした方法と
その装置に関する． ［従来の技＃＃］ 周知の通り、超音波発振器とその超音波発振器の出力を
受けて振動する超音波振動子を備え、その振動をホーン
を介して拡大して超音波加工用工具に伝えて超音波振動
させながら遊離砥粒をワーク側に供給してワークに穴あ
けする装置が従来から知られている． ところが，以前に於いてはそれ自体が専用の工作機械の
主軸と一体となっており、ワーク側へ送りワークを加工
するものであった．その場合、専用の工作機械であった
為、高価なものになってしまった． そこで、マシニングセンタ等に着脱的に装着できるアタ
ッチメント式の装置が提案された。
しかし、以前の専用の工作機械にしても、アタッチメン
ト式の装置にしても超音波加工用工具は非回転であった
．それは、アタッチメント式の装置の接続用電気接点が
固定的であった為、主軸と共にそれを・回転することが
できなかったので非回転であった， また、超音波加工用工具が非回転である為、超音波加工
用工具とワークの間に供給される遊離砥粒には、上下方
向の衝突エネルギーしか与えられなかった， ［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術によれば、超音波加工用工具の送りと超音
波振動と遊離砥粒の供給によってのみワークに穴あけ加
工を行うものである。
ト式の装置にしても超音波加工用工具は非回転であった
．それは、アタッチメント式の装置の接続用電気接点が
固定的であった為、主軸と共にそれを・回転することが
できなかったので非回転であった， また、超音波加工用工具が非回転である為、超音波加工
用工具とワークの間に供給される遊離砥粒には、上下方
向の衝突エネルギーしか与えられなかった， ［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術によれば、超音波加工用工具の送りと超音
波振動と遊離砥粒の供給によってのみワークに穴あけ加
工を行うものである。
しかし、上記遊離砥粒は上下方向にしか衝突エネルギー
が与えられないので、ワークに加工する穴が浅い時は良
いものの．穴が深くなってくると超音波加工用工具とワ
ークの間に遊離砥粒が供給されにくくなり、深い穴を開
けることが困難になり易いという問題点があった． そして、ワークの穴あけ内面の面粗度は遊離砥粒の粒径
を細かくすることによってある程度できるが、超音波加
工用工具の送りと超音波振動だけでは一定の限界があり
、穴あけ内面の研磨加工は別工程で行わなければならな
いという問題点があった． ［目的］ 従って本発明の目的とする所は、アタッチメント式であ
るのは勿論、ワークに加工すべき穴が深い穴でも可能で
あり、穴あけ内面の面粗度が高精度にできるラッピング
研磨手段を提供するにある． ［課題を解決すめ為の手段］ 上記目的を達戊する為に本発明は次の技術的手段を有す
る．即ち、実施例に対応する添付図面中の符号を用いて
これを説明すると，本発明は、マシニングセンタ、ＮＧ
フライス盤等の主軸に着脱できるホルダー１に超音波加
工用工具６を先端に取り付けた超音波振動子５を装着し
、ワークＢに対して上記超音波加工用工具６を送りＱな
がら，上記超音波発振器８からの出力により超音波振動
子５を上下に超音波振動Ｈせしめて超音波加工用工具６
でワークＢを穴あけすると共に、遊離砥粒ＤをワークＢ
の加工位置目掛けて供給する方法に於いて； 上記マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の主軸の回転
を超音波加工用工具６に伝えてこれを回転Ｐせしめるよ
うに成すと共に、超音波加工用工具６のワークＢに対す
る送りＱと、超音波加工用工具６自体の超音波振動Ｒと
、更に付加された遊離砥粒Ｄが供給されることによって
ワークＢの穴あけ内面をラッピング研磨することを特徴
とするアタッチメント式超音波加工によるワークの穴あ
け内面のラッピング研磨方法である． ［作用］ 上記構戊に基づくと、超音波加工用工具６が送りＱをさ
れ，上下に超音波振動Ｈするのに加えて回転Ｐするので
、遊離砥粒ＤがワークＢの穴の奥まで入り易くなるもの
である。
が与えられないので、ワークに加工する穴が浅い時は良
いものの．穴が深くなってくると超音波加工用工具とワ
ークの間に遊離砥粒が供給されにくくなり、深い穴を開
けることが困難になり易いという問題点があった． そして、ワークの穴あけ内面の面粗度は遊離砥粒の粒径
を細かくすることによってある程度できるが、超音波加
工用工具の送りと超音波振動だけでは一定の限界があり
、穴あけ内面の研磨加工は別工程で行わなければならな
いという問題点があった． ［目的］ 従って本発明の目的とする所は、アタッチメント式であ
るのは勿論、ワークに加工すべき穴が深い穴でも可能で
あり、穴あけ内面の面粗度が高精度にできるラッピング
研磨手段を提供するにある． ［課題を解決すめ為の手段］ 上記目的を達戊する為に本発明は次の技術的手段を有す
る．即ち、実施例に対応する添付図面中の符号を用いて
これを説明すると，本発明は、マシニングセンタ、ＮＧ
フライス盤等の主軸に着脱できるホルダー１に超音波加
工用工具６を先端に取り付けた超音波振動子５を装着し
、ワークＢに対して上記超音波加工用工具６を送りＱな
がら，上記超音波発振器８からの出力により超音波振動
子５を上下に超音波振動Ｈせしめて超音波加工用工具６
でワークＢを穴あけすると共に、遊離砥粒ＤをワークＢ
の加工位置目掛けて供給する方法に於いて； 上記マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の主軸の回転
を超音波加工用工具６に伝えてこれを回転Ｐせしめるよ
うに成すと共に、超音波加工用工具６のワークＢに対す
る送りＱと、超音波加工用工具６自体の超音波振動Ｒと
、更に付加された遊離砥粒Ｄが供給されることによって
ワークＢの穴あけ内面をラッピング研磨することを特徴
とするアタッチメント式超音波加工によるワークの穴あ
け内面のラッピング研磨方法である． ［作用］ 上記構戊に基づくと、超音波加工用工具６が送りＱをさ
れ，上下に超音波振動Ｈするのに加えて回転Ｐするので
、遊離砥粒ＤがワークＢの穴の奥まで入り易くなるもの
である。
また、遊離砥粒ＤはワークＢの穴あけ内面に対して上下
のみならず左右方向にも衝突エネルギーを与えられるも
のである．即ち無次元に衝突エネルギーを与えられワー
クの穴の内面が均一に高精度にラッピングされるもので
ある． ［実施例］ 次に添付図面に従い本発明の好適な実施例を詳述する． 第１図は本発明に係わるアタッチメント式超音波加工に
よるワークの穴あけ内面のラッピング研磨装置Ａの一例
を示す縦断面図である．図中１はホルダー、２は球状軸
、３はスプリング、４は支持筒、５は超音波振動子、６
は超音波加工用工具、７は遊離砥粒供給ノズル，８は超
音波発振器、９は接続用電気接点、１０は押付け圧異常
検出センサー， １１はセンサドッグ、ｌ２は電気配
線を示している． ホルダー１はマシニングセンタの主軸に装着される工具
マガジンの工具収納部に装着する為のテーパ部１ａを後
端に有し、且つ、テーパ部１ａから先端側に延びる円筒
部１ｂを有し、この円筒部ｔｂの一部外周にマシニング
センタに装着される自動工具交換装置の自動工具交換ア
ームの把持溝部１ｃを有し、円筒部ｔｂ下端内面は凹状
の球面座１ｄを構成している． 球面軸２は外面が凸状の球面座２ａに構威されており、
球面座ｌｄ内であらゆる方向に自由に回転できるように
構威している． 支持筒４は円筒状をなし、球状軸２との間にスプリング
３が介在させてあり、このスプリング３によって、支持
筒４を先端側へ押し付けるようにしており、軸方向への
移動量をストッパー４ａによって規制している． 超音波振動子５は、超音波発振器８からの高周波電流を
受けて機械的な上下方向の振動を発生させ，この振動を
ホーン５ａで拡大して超音波加工用工具６に伝えるもの
で、支持筒４内に挿入支持されている． 超音波加工用工具６は、従来と同様に取付具６ａにロー
付け又は半田付けされ、この取付具６ａの螺子部をホー
ン５ａの先端に螺合固着している．超音波発振器８は、
マシニングセンタの一部に設置されており、通常は、本
発明の装置Ａから分離しておき、主軸への装着時、接続
用電気接点９を介して自動的に接続され、主軸から取り
出す際、上記接続用電気接点９から分離させるものであ
る． 接続用電気接点９は導伝性部材を円環状に配した固定子
９ａと同じく回転子９ｂとから戊り、一方が超音波発振
器８と接続され、マシニングセンタの主軸ヘッドの一部
に取り付けられ、他方がホルダーｌに共に回転できるよ
うに取り付けられる． 押付け圧異常検出用センサｌＯは、ホルダーｌ内の奥底
部に、超音波振動子５の後端に取り付けたセンサドッグ
１１と対向して取り付けられており、マシニングセンタ
の主軸に本装置Ａを装着して超音波加工している際、主
軸を通して超音波加工用工具６に与えられる軸方向の送
りが課題となると、スプリング３に抗して支持筒４及び
超音波振動子５がホルダーｌに対して後退し、センサド
ッグ１ｌが押付け圧異常検出用センサ１０を押圧すると
、主軸の送りを減速制御させる指令信号をマシニングセ
ンタのＮＣ制御部に送るものである．上記押付け圧異常
検出センサ１０及び超音波振動子５は、ホルダーｌ内で
電気配線ｌ２により接続用電気接点９に接続してある． 本発明のアタッチメント式超音波加工装置Ａは、以上の
構威から戊っており、次に動作を説明する． ホルダーｌをマシニングセンタの主軸に装着し、接続用
電気接点９の固定子８ａと回転子９ｂを接続させる．そ
して、ワークＢはテーブルＣ上に固定され、テーブルＣ
の回りには槽Ｅが設けられている． 遊離砥粒供給ノズル７は，超音波加工用工具６とワーク
Ｂとの間に遊離砥粒Ｄを供給できるように設置し，供給
された遊離砥粒ＤはツークＢに次々と供給され、ワーク
Ｂ、テーブルＣを伝わって楢Ｅに流れ込む．そして、供
給管７ａを通って再び遊離砥粒供給ノズル７によって供
給される．第２図は超音波加工用工具６の動作を示して
いる． 回転Ｐはマシニングセンタの主軸を回転することによっ
て起こる． 送りＱはマシニングセンタの主軸を送ることによって起
こる． 超音波振動Ｒは超音波発振器８からの出力により超音波
振動子５を超音波振動せしめることによって起こる．こ
れらによりワーク穴あけ内面がラッピング研磨される． 最後に本装置Ａを作動させるに当っての具体的なテスト
データを挙げる． 電源をＡ Ｃ ＩＯＯＶ − ５０／８０Ｈｚ トＩ
，、出力ヲ３００Ｗとし、周波数を２８ＫＨｚとし、遊
離砥粒Ｄをポロンカーバイトとし、超音波振動を２８０
００回／秒とし、送りを例えばガラスの時６ｍｍ／ｗｉ
ｎ、フェライトの時６．５問／ｗｉｎ、石英の時５．５
一偏／ｓｉｎ とする． 上記実施例はマジニングセンタに通用する場合を説明し
たが、汎用工作機械に適用できることは明らかである． 以上のように、本装置Ａは超音波加工用工具６が送りＱ
をされ，上下に超音波振動Ｒするのに加えて回転Ｐする
ので．遊雌砥粒ＤがワークＢの穴の奥まで入り込む為、
より深い穴をあけ易くできるものである． また、ＴＬ＃．砥粒ＤはワークＢの穴あけ内面に対して
上下のみならず左右方向にも、即ち無次元に衝突エネル
ギーを与える為、砥粒を横すべりさせ削りとるラッピン
グ研磨をよりし易くさせ、穴あけ内面の面粗度を高精度
にし易くできるものである． ［効果］ 以上詳述した如く本発明によれば，マシニングセンタ、
ＮＣフライス盤等に着脱的に装着できるのは勿論のこと
、超音波加工用工具が送りをされ超音波振動をするのに
加えて回転することができるのでワークにより深い穴を
あけ易いという利点を有する． また、穴あけ内面の面粗度をより高精度にし易いという
利点を有する．
のみならず左右方向にも衝突エネルギーを与えられるも
のである．即ち無次元に衝突エネルギーを与えられワー
クの穴の内面が均一に高精度にラッピングされるもので
ある． ［実施例］ 次に添付図面に従い本発明の好適な実施例を詳述する． 第１図は本発明に係わるアタッチメント式超音波加工に
よるワークの穴あけ内面のラッピング研磨装置Ａの一例
を示す縦断面図である．図中１はホルダー、２は球状軸
、３はスプリング、４は支持筒、５は超音波振動子、６
は超音波加工用工具、７は遊離砥粒供給ノズル，８は超
音波発振器、９は接続用電気接点、１０は押付け圧異常
検出センサー， １１はセンサドッグ、ｌ２は電気配
線を示している． ホルダー１はマシニングセンタの主軸に装着される工具
マガジンの工具収納部に装着する為のテーパ部１ａを後
端に有し、且つ、テーパ部１ａから先端側に延びる円筒
部１ｂを有し、この円筒部ｔｂの一部外周にマシニング
センタに装着される自動工具交換装置の自動工具交換ア
ームの把持溝部１ｃを有し、円筒部ｔｂ下端内面は凹状
の球面座１ｄを構成している． 球面軸２は外面が凸状の球面座２ａに構威されており、
球面座ｌｄ内であらゆる方向に自由に回転できるように
構威している． 支持筒４は円筒状をなし、球状軸２との間にスプリング
３が介在させてあり、このスプリング３によって、支持
筒４を先端側へ押し付けるようにしており、軸方向への
移動量をストッパー４ａによって規制している． 超音波振動子５は、超音波発振器８からの高周波電流を
受けて機械的な上下方向の振動を発生させ，この振動を
ホーン５ａで拡大して超音波加工用工具６に伝えるもの
で、支持筒４内に挿入支持されている． 超音波加工用工具６は、従来と同様に取付具６ａにロー
付け又は半田付けされ、この取付具６ａの螺子部をホー
ン５ａの先端に螺合固着している．超音波発振器８は、
マシニングセンタの一部に設置されており、通常は、本
発明の装置Ａから分離しておき、主軸への装着時、接続
用電気接点９を介して自動的に接続され、主軸から取り
出す際、上記接続用電気接点９から分離させるものであ
る． 接続用電気接点９は導伝性部材を円環状に配した固定子
９ａと同じく回転子９ｂとから戊り、一方が超音波発振
器８と接続され、マシニングセンタの主軸ヘッドの一部
に取り付けられ、他方がホルダーｌに共に回転できるよ
うに取り付けられる． 押付け圧異常検出用センサｌＯは、ホルダーｌ内の奥底
部に、超音波振動子５の後端に取り付けたセンサドッグ
１１と対向して取り付けられており、マシニングセンタ
の主軸に本装置Ａを装着して超音波加工している際、主
軸を通して超音波加工用工具６に与えられる軸方向の送
りが課題となると、スプリング３に抗して支持筒４及び
超音波振動子５がホルダーｌに対して後退し、センサド
ッグ１ｌが押付け圧異常検出用センサ１０を押圧すると
、主軸の送りを減速制御させる指令信号をマシニングセ
ンタのＮＣ制御部に送るものである．上記押付け圧異常
検出センサ１０及び超音波振動子５は、ホルダーｌ内で
電気配線ｌ２により接続用電気接点９に接続してある． 本発明のアタッチメント式超音波加工装置Ａは、以上の
構威から戊っており、次に動作を説明する． ホルダーｌをマシニングセンタの主軸に装着し、接続用
電気接点９の固定子８ａと回転子９ｂを接続させる．そ
して、ワークＢはテーブルＣ上に固定され、テーブルＣ
の回りには槽Ｅが設けられている． 遊離砥粒供給ノズル７は，超音波加工用工具６とワーク
Ｂとの間に遊離砥粒Ｄを供給できるように設置し，供給
された遊離砥粒ＤはツークＢに次々と供給され、ワーク
Ｂ、テーブルＣを伝わって楢Ｅに流れ込む．そして、供
給管７ａを通って再び遊離砥粒供給ノズル７によって供
給される．第２図は超音波加工用工具６の動作を示して
いる． 回転Ｐはマシニングセンタの主軸を回転することによっ
て起こる． 送りＱはマシニングセンタの主軸を送ることによって起
こる． 超音波振動Ｒは超音波発振器８からの出力により超音波
振動子５を超音波振動せしめることによって起こる．こ
れらによりワーク穴あけ内面がラッピング研磨される． 最後に本装置Ａを作動させるに当っての具体的なテスト
データを挙げる． 電源をＡ Ｃ ＩＯＯＶ − ５０／８０Ｈｚ トＩ
，、出力ヲ３００Ｗとし、周波数を２８ＫＨｚとし、遊
離砥粒Ｄをポロンカーバイトとし、超音波振動を２８０
００回／秒とし、送りを例えばガラスの時６ｍｍ／ｗｉ
ｎ、フェライトの時６．５問／ｗｉｎ、石英の時５．５
一偏／ｓｉｎ とする． 上記実施例はマジニングセンタに通用する場合を説明し
たが、汎用工作機械に適用できることは明らかである． 以上のように、本装置Ａは超音波加工用工具６が送りＱ
をされ，上下に超音波振動Ｒするのに加えて回転Ｐする
ので．遊雌砥粒ＤがワークＢの穴の奥まで入り込む為、
より深い穴をあけ易くできるものである． また、ＴＬ＃．砥粒ＤはワークＢの穴あけ内面に対して
上下のみならず左右方向にも、即ち無次元に衝突エネル
ギーを与える為、砥粒を横すべりさせ削りとるラッピン
グ研磨をよりし易くさせ、穴あけ内面の面粗度を高精度
にし易くできるものである． ［効果］ 以上詳述した如く本発明によれば，マシニングセンタ、
ＮＣフライス盤等に着脱的に装着できるのは勿論のこと
、超音波加工用工具が送りをされ超音波振動をするのに
加えて回転することができるのでワークにより深い穴を
あけ易いという利点を有する． また、穴あけ内面の面粗度をより高精度にし易いという
利点を有する．
添付図面は本発明の実施例を示し、
第ｌ図はアタッチメント式超音波加工装置の縦断側面図
であり、 第２図は超音波加工用工具の動作を示した図である． 図中 Ａ・・・・アタッチメント式超音波加工装置、Ｂ・・・
・ワーク、 Ｃ・・・・テーブル、Ｄ・・・・
遊離砥粒、 Ｅ・・・・槽、１・・・・ホルダー
、 ２・・・・球状軸、３・・・・スプリング
、 ４・・・・支持筒、５・・・・超音波振動子
、 ６・・・・超音波加工用工具、 ７・・・・遊離砥粒供給ノズル、 ８・・・・超音波発振器、 ９・・・・接続用電気接点 １０・・・・押付け圧異．常検出センサ、１ｌ・・・・
センサドッグ、 ｌ２・・・・電気配線、である．
であり、 第２図は超音波加工用工具の動作を示した図である． 図中 Ａ・・・・アタッチメント式超音波加工装置、Ｂ・・・
・ワーク、 Ｃ・・・・テーブル、Ｄ・・・・
遊離砥粒、 Ｅ・・・・槽、１・・・・ホルダー
、 ２・・・・球状軸、３・・・・スプリング
、 ４・・・・支持筒、５・・・・超音波振動子
、 ６・・・・超音波加工用工具、 ７・・・・遊離砥粒供給ノズル、 ８・・・・超音波発振器、 ９・・・・接続用電気接点 １０・・・・押付け圧異．常検出センサ、１ｌ・・・・
センサドッグ、 ｌ２・・・・電気配線、である．
Claims (2)
- （１）マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の主軸に着
脱的に装着できるホルダーに超音波加工用工具を先端に
取り付けた超音波振動子を装着し、ワークに対して上記
超音波加工用工具を送りながら、上記超音波発振器から
の出力により超音波振動子を上下に超音波振動せしめて
超音波加工用工具でワークを穴あけすると共に、遊離砥
粒をワークの加工位置目掛けて供給する方法に於いて；
上記マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の主軸の回転
を超音波加工用工具６に伝えてこれを回転Ｐせしめるよ
うに成すと共に、超音波加工用工具６のワークＢに対す
る送りＱと、超音波加工用工具６自体の超音波振動Ｒと
、更に付加された遊離砥粒Ｄが供給されることによって
ワークＢの穴あけ内面をラッピング研磨することを特徴
とするアタッチメント式超音波加工によるワークの穴あ
け内面のラッピング研磨方法。 - （２）マシニングセンタ、ＮＣフライス盤等の主軸に着
脱的に装着できるホルダーを備え、上記ホルダーの中に
超音波発振器からの出力を受けて振動に変換する超音波
振動子を備え、上記超音波振動子の先にホーンを介して
超音波加工用工具を取り付けて成り、外部の超音波発振
器と超音波振動子の間に上記ホルダーの一部に主軸への
装着に関連して接続される接続用電気接点を設け、且つ
、上記超音波加工用工具の先端に遊離砥粒が供給される
ようにした装置に於いて； 上記接続用電気接点９の一方は超音波発振器８と接続さ
れた導伝性部材を円環状に配した固定子９ａで成り、他
方はホルダー１と共に回転できる導伝性部材を円環状に
配した回転子９ｂで成ることを特徴とするアタッチメン
ト式超音波加工によるワークの穴あけ内面のラッピング
研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1297157A JPH03161255A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | アタッチメント式超音波加工によるワークの穴あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1297157A JPH03161255A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | アタッチメント式超音波加工によるワークの穴あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03161255A true JPH03161255A (ja) | 1991-07-11 |
Family
ID=17842930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1297157A Pending JPH03161255A (ja) | 1989-11-15 | 1989-11-15 | アタッチメント式超音波加工によるワークの穴あけ内面のラッピング研磨方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03161255A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06143099A (ja) * | 1992-11-06 | 1994-05-24 | Kaijo Corp | 超音波加工機 |
| JP2009072906A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Kyushu Institute Of Technology | 孔開け装置及び孔開け方法 |
| JP2017532210A (ja) * | 2014-09-05 | 2017-11-02 | エジソン・ウェルディング・インスティチュート，インコーポレーテッド | 超音波振動アシスト機械加工に用いる高速回転電気コネクタ |
| CN107813192A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-20 | 萨奥有限公司 | 用于加工由硬质金属制成的工件以生产刀具主体的方法 |
| CN115365995A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-22 | 大连理工大学 | 一种大尺寸石英坩埚非圆曲面化学机械磨抛一体化装备 |
-
1989
- 1989-11-15 JP JP1297157A patent/JPH03161255A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06143099A (ja) * | 1992-11-06 | 1994-05-24 | Kaijo Corp | 超音波加工機 |
| JP2009072906A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-04-09 | Kyushu Institute Of Technology | 孔開け装置及び孔開け方法 |
| JP2017532210A (ja) * | 2014-09-05 | 2017-11-02 | エジソン・ウェルディング・インスティチュート，インコーポレーテッド | 超音波振動アシスト機械加工に用いる高速回転電気コネクタ |
| CN107813192A (zh) * | 2016-09-09 | 2018-03-20 | 萨奥有限公司 | 用于加工由硬质金属制成的工件以生产刀具主体的方法 |
| CN115365995A (zh) * | 2022-07-29 | 2022-11-22 | 大连理工大学 | 一种大尺寸石英坩埚非圆曲面化学机械磨抛一体化装备 |
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