JPS6186943U - - Google Patents
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- JPS6186943U JPS6186943U JP17209584U JP17209584U JPS6186943U JP S6186943 U JPS6186943 U JP S6186943U JP 17209584 U JP17209584 U JP 17209584U JP 17209584 U JP17209584 U JP 17209584U JP S6186943 U JPS6186943 U JP S6186943U
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- wiring electrode
- metal film
- semiconductor device
- wiring
- layer
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- Pending
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Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示す半導体装置の配
線電極構造説明図、第２図は従来の半導体装置の
配線電極構造説明図である。 １……半導体基板、２……素子領域、７……２
層目配線電極層、５０……１層目配線電極層、５
１……第１の高融点金属膜、５２……金属膜、５
３……第２の高融点金属膜。
線電極構造説明図、第２図は従来の半導体装置の
配線電極構造説明図である。 １……半導体基板、２……素子領域、７……２
層目配線電極層、５０……１層目配線電極層、５
１……第１の高融点金属膜、５２……金属膜、５
３……第２の高融点金属膜。
Claims (1)
- 絶縁層により互いに分離される少なくとも２層
以上の配線電極層を、半導体基板上に積層状態で
配設するようにした半導体装置の電極配線構造に
おいて、少なくとも最下層の１層目配線電極層は
、アルミまたはアルミを含む合金からなる金属膜
と、この金属膜の上下にバリヤとして配置される
高融点金属膜との三層で形成したことを特徴とす
る半導体装置の配線電極構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17209584U JPS6186943U (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17209584U JPS6186943U (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6186943U true JPS6186943U (ja) | 1986-06-07 |
Family
ID=30729771
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17209584U Pending JPS6186943U (ja) | 1984-11-13 | 1984-11-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6186943U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6343349A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層薄膜配線及びその形成方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58137231A (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-15 | Nec Corp | 集積回路装置 |
-
1984
- 1984-11-13 JP JP17209584U patent/JPS6186943U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58137231A (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-15 | Nec Corp | 集積回路装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6343349A (ja) * | 1986-08-08 | 1988-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 多層薄膜配線及びその形成方法 |
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