JPS6344448U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6344448U JPS6344448U JP13740286U JP13740286U JPS6344448U JP S6344448 U JPS6344448 U JP S6344448U JP 13740286 U JP13740286 U JP 13740286U JP 13740286 U JP13740286 U JP 13740286U JP S6344448 U JPS6344448 U JP S6344448U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer wiring
- wiring metal
- integrated circuit
- semiconductor integrated
- lower layer
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 2
Landscapes
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Description
第1図は本考案実施例を説明するための上下層
配線金属の上面図、第2図は本考案実施例のFE
Tの要部断面図、第3図は従来例を説明するため
の上下層配線金属の上面図、第4図は従来のFE
Tの要部断面図である。 1,11……下層配線金属、2,12……上層
配線金属、3……小幅配線金属、4,14……ヒ
ロツク、8,18……絶縁膜、10,20……交
差領域部分。
配線金属の上面図、第2図は本考案実施例のFE
Tの要部断面図、第3図は従来例を説明するため
の上下層配線金属の上面図、第4図は従来のFE
Tの要部断面図である。 1,11……下層配線金属、2,12……上層
配線金属、3……小幅配線金属、4,14……ヒ
ロツク、8,18……絶縁膜、10,20……交
差領域部分。
Claims (1)
- 上層配線金属と下層配線金属が絶縁膜を介し交
差してなる多層配線構造を備えた半導体集積回路
において、前記下層配線金属の前記上層配線金属
との交差領域部分が複数本の小幅配線金属により
構成されていることを特徴とする半導体集積回路
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13740286U JPS6344448U (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13740286U JPS6344448U (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6344448U true JPS6344448U (ja) | 1988-03-25 |
Family
ID=31041419
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13740286U Pending JPS6344448U (ja) | 1986-09-08 | 1986-09-08 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6344448U (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6069649A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 写真印画紙用支持体 |
-
1986
- 1986-09-08 JP JP13740286U patent/JPS6344448U/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6069649A (ja) * | 1983-09-26 | 1985-04-20 | Mitsubishi Paper Mills Ltd | 写真印画紙用支持体 |