JPS6183608A - 窒化アルミニウムの製造方法 - Google Patents
窒化アルミニウムの製造方法Info
- Publication number
- JPS6183608A JPS6183608A JP20451684A JP20451684A JPS6183608A JP S6183608 A JPS6183608 A JP S6183608A JP 20451684 A JP20451684 A JP 20451684A JP 20451684 A JP20451684 A JP 20451684A JP S6183608 A JPS6183608 A JP S6183608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- aluminum
- aluminum nitride
- powder
- nitriding
- nitride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/072—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with aluminium
- C01B21/0722—Preparation by direct nitridation of aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、金属アルミニウム粉末を用いる窒化アルミニ
ウムの製造方法に関する。窒化アルミニウムは、熱伝導
性、絶縁性、透光性にすぐれ、サイアロン系化合物やア
ルミニウム蒸着用容器の製造原料として適している。
ウムの製造方法に関する。窒化アルミニウムは、熱伝導
性、絶縁性、透光性にすぐれ、サイアロン系化合物やア
ルミニウム蒸着用容器の製造原料として適している。
従来、窒化アルミニウムの製造法としては、鱗片状のア
ルミニウム粉を窒化アルミニウム粉に混合して窒素雰囲
気下で焼成する方法、鱗片状のアルミニウム粉の薄層堆
積物を窒素雰囲気下で焼成する方法などが知られている
。しかし、これらの方法で用いられるアルミニウム粉末
は鱗片状のものであるので入手が困難であり、またアト
マイズド粉を粉砕して鱗片状とする際の不純物混入に問
題がめった。この問題点を解決するため、プラズマジェ
ットを利用する方法も提案されているが設備が大変であ
る(q!f開昭50−160199号公報)。
ルミニウム粉を窒化アルミニウム粉に混合して窒素雰囲
気下で焼成する方法、鱗片状のアルミニウム粉の薄層堆
積物を窒素雰囲気下で焼成する方法などが知られている
。しかし、これらの方法で用いられるアルミニウム粉末
は鱗片状のものであるので入手が困難であり、またアト
マイズド粉を粉砕して鱗片状とする際の不純物混入に問
題がめった。この問題点を解決するため、プラズマジェ
ットを利用する方法も提案されているが設備が大変であ
る(q!f開昭50−160199号公報)。
本発明者は、プラズマジェットを利用することなく、ま
た、鱗片状アルミニウム粉末を用いろことなく、普通に
入手されるアトマイズド粉を用いて高純度の窒化アルミ
ニウムを製造する方法について種々検討した結果、アト
マイズド粉を融点未満で、かつ、0.1重量%以上に窒
化させて得られた粗窒化アルミニウムは、粉砕されやす
く、シかも、生成している窒化アルミニウムは均一に分
散しており、以後のアルミニウム同志の焼結防止に対し
て非常に有利に作用していることを見いだし、本発明を
完成したものである。
た、鱗片状アルミニウム粉末を用いろことなく、普通に
入手されるアトマイズド粉を用いて高純度の窒化アルミ
ニウムを製造する方法について種々検討した結果、アト
マイズド粉を融点未満で、かつ、0.1重量%以上に窒
化させて得られた粗窒化アルミニウムは、粉砕されやす
く、シかも、生成している窒化アルミニウムは均一に分
散しており、以後のアルミニウム同志の焼結防止に対し
て非常に有利に作用していることを見いだし、本発明を
完成したものである。
本発明は、粒度250μm以下の金属アルミニウム粉末
を窒素又はアンモニアを含有する非酸化性雰囲気下、ア
ルミニウムの融点未満の温度で窒化して窒素含有量0.
1重量%以上の粗窒化アルミニウムとした後、それを平
均粒径15μm以下の粒度に粉砕し、さらに1400°
C以下の温度で窒化することを特徴とする窒化アルミニ
ウムの製造方法である。
を窒素又はアンモニアを含有する非酸化性雰囲気下、ア
ルミニウムの融点未満の温度で窒化して窒素含有量0.
1重量%以上の粗窒化アルミニウムとした後、それを平
均粒径15μm以下の粒度に粉砕し、さらに1400°
C以下の温度で窒化することを特徴とする窒化アルミニ
ウムの製造方法である。
以下、さらに詳しく本発明について説明する。
本発明は、金属アルミニウム粉末から粗窒化アルミニウ
ムを製造する工’[1)、粗窒化アルミニウムを粉砕す
る工程(2)および粗窒化アルミニウム粉末を窒化して
未窒化アルミニウムを含まない窒化アルミニウムを得る
工程(6ンから構成される。
ムを製造する工’[1)、粗窒化アルミニウムを粉砕す
る工程(2)および粗窒化アルミニウム粉末を窒化して
未窒化アルミニウムを含まない窒化アルミニウムを得る
工程(6ンから構成される。
先ず工程(1)について説明すると、金属アルミニウム
粉本としては250μm以下の粒度を有するアトマイズ
ド粉を用いる。アトマイズド粉のかわりiC鱗片状のも
のであってもよい。この粉末をアルミナ、ジルコニアな
ど耐火質ルツボに充填してから窒化炉に装入し、NZあ
るいはNH3ガス雰囲気下、金属アルミニウムの融点未
満の温度で窒化し、N分が0.1重量%以上の粗窒化ア
ルミニウムを製造する。
粉本としては250μm以下の粒度を有するアトマイズ
ド粉を用いる。アトマイズド粉のかわりiC鱗片状のも
のであってもよい。この粉末をアルミナ、ジルコニアな
ど耐火質ルツボに充填してから窒化炉に装入し、NZあ
るいはNH3ガス雰囲気下、金属アルミニウムの融点未
満の温度で窒化し、N分が0.1重量%以上の粗窒化ア
ルミニウムを製造する。
粒度な250μm以下に限定した理由は、250μmを
こえる粒度ではアルミニウムの融点未満での窒化がN分
として0.1重量%以上に達し得ないからである。
こえる粒度ではアルミニウムの融点未満での窒化がN分
として0.1重量%以上に達し得ないからである。
また、窒化の際の温度を金属アルミニウムの融点未満の
温度にする理由は、融点以上の温度では金属アルミニウ
ム粒子の外周部が十分に窒化されていないため、粒子内
部のアルミニウムが溶融流出し、容器等に融着するから
である。
温度にする理由は、融点以上の温度では金属アルミニウ
ム粒子の外周部が十分に窒化されていないため、粒子内
部のアルミニウムが溶融流出し、容器等に融着するから
である。
さらに、N分が0.1重量子以上の粗窒化アルミニウム
を製造する理由は、工程(2ンで@窒化アルミニウムを
粉砕する際、o、1重量%未満であると粉砕が難しく、
その平均粒径を15μm以下にすることか困難となるか
らである。好ましくはN分が4重量−以上である。
を製造する理由は、工程(2ンで@窒化アルミニウムを
粉砕する際、o、1重量%未満であると粉砕が難しく、
その平均粒径を15μm以下にすることか困難となるか
らである。好ましくはN分が4重量−以上である。
工程(2)では、工程(1)で得られた粗窒化アルミニ
ウムの平均粒径な15μm以下の粒度に粉砕すると共に
粗窒化アルミニウムを均一に混合する。
ウムの平均粒径な15μm以下の粒度に粉砕すると共に
粗窒化アルミニウムを均一に混合する。
粉砕機としては、めのうfコランダム質の内張をしたボ
ールミル、振動ミル、ローラーミルなどを用いることが
できる。その際、従来のように、被粉砕物が活性でない
ため、粉砕時に、窒化ガス、アルゴンガス、ヘリウムガ
ス等を通気しな(てもよい。
ールミル、振動ミル、ローラーミルなどを用いることが
できる。その際、従来のように、被粉砕物が活性でない
ため、粉砕時に、窒化ガス、アルゴンガス、ヘリウムガ
ス等を通気しな(てもよい。
被粉砕物の平均粒径は15μm以下であることを要し、
これを超えると、工程(ろ)でこの粉末を窒化する際に
、窒化が遅(なり、高温窒化を余儀メ艮 なくされ、金属アルミニウム粉子の外周部に粗窒化アル
ミニウムの殻が形成されず、すぐに溶融流出して未窒化
アルミニウムを含まない部品を得ることができな(なる
。
これを超えると、工程(ろ)でこの粉末を窒化する際に
、窒化が遅(なり、高温窒化を余儀メ艮 なくされ、金属アルミニウム粉子の外周部に粗窒化アル
ミニウムの殻が形成されず、すぐに溶融流出して未窒化
アルミニウムを含まない部品を得ることができな(なる
。
次に、工程(6)について説明すると、工程(2)で得
られた粗窒化アルミニウムの粉末は、アルミナ、ジルコ
ニア、石英等材質からなるルツボなどの容器に入れ、竪
型あるいは横型の窒化炉に装入されろ。炉内の雰囲気は
N2. N’H3がスいずれであっても良い。この雰囲
気において、時間あたり10〜50゛Cの割合で昇温し
、最高1400°Cとなるように温度調節を行なって窒
化させる。この窒化温度14[]0’Cを超えると熱経
済上好ましくはなく、シかも容器あるいは炉材の熱損が
大きくなる。
られた粗窒化アルミニウムの粉末は、アルミナ、ジルコ
ニア、石英等材質からなるルツボなどの容器に入れ、竪
型あるいは横型の窒化炉に装入されろ。炉内の雰囲気は
N2. N’H3がスいずれであっても良い。この雰囲
気において、時間あたり10〜50゛Cの割合で昇温し
、最高1400°Cとなるように温度調節を行なって窒
化させる。この窒化温度14[]0’Cを超えると熱経
済上好ましくはなく、シかも容器あるいは炉材の熱損が
大きくなる。
99.5重量%の金属アルミニウム粉末(東洋アルミニ
ウム■製250μm以下及び350μm以下のアトマイ
ズド粉)をアルミナ質ルツボに入れ、窒素がス雰囲気の
横型窒化炉に装入し、500 ’C又は600℃の温度
で加熱時間をかえて5種類の粗窒化アルミニウム(Al
CBl (C1(Dl (Elを製造した。次に、そ
れらの徂窒化アルミニウムを第2表に示す粒度(D5゜
)に粉砕してから1石英ルツボに入れ、窒素ガス雰囲気
の窒化炉に装入し、1300°C又は1400′Cの温
度でそれぞれ2時間加熱した。
ウム■製250μm以下及び350μm以下のアトマイ
ズド粉)をアルミナ質ルツボに入れ、窒素がス雰囲気の
横型窒化炉に装入し、500 ’C又は600℃の温度
で加熱時間をかえて5種類の粗窒化アルミニウム(Al
CBl (C1(Dl (Elを製造した。次に、そ
れらの徂窒化アルミニウムを第2表に示す粒度(D5゜
)に粉砕してから1石英ルツボに入れ、窒素ガス雰囲気
の窒化炉に装入し、1300°C又は1400′Cの温
度でそれぞれ2時間加熱した。
粗窒化アルミニウムのN分の測定結果を第1表に、製品
窒化アルミニウムのN分及びX線分析による鉱物組成の
測定結果を第2表に示す。
窒化アルミニウムのN分及びX線分析による鉱物組成の
測定結果を第2表に示す。
なお、粒度(D5Q)は、分析計(レーデ回折法、N&
L社(英国)商品名「マイクロトラック5PAJを用い
て測定したものであり、D5oは、05m以下の粒分容
積割合が50チであったことを示す。
L社(英国)商品名「マイクロトラック5PAJを用い
て測定したものであり、D5oは、05m以下の粒分容
積割合が50チであったことを示す。
第 1 表
第1表及び第2表から、本発明の条件で製造された窒化
アルミニウムには未窒化アルミニウムは含まれていない
ことがわかる。
アルミニウムには未窒化アルミニウムは含まれていない
ことがわかる。
本発明によれば、プラズマジェットを利用することなく
、また、窒化に伴な5アルミニウムの焼結又は溶融を起
こすことなく、通常のアトマイズド粉を用いて未窒化ア
ルミニウムを含まない窒化アルミニウムを製造すること
ができる。
、また、窒化に伴な5アルミニウムの焼結又は溶融を起
こすことなく、通常のアトマイズド粉を用いて未窒化ア
ルミニウムを含まない窒化アルミニウムを製造すること
ができる。
Claims (1)
- 粒度250μm以下の金属アルミニウム粉末を窒素又は
アンモニアを含有する非酸化性雰囲気下、アルミニウム
の融点未満の温度で窒化して窒素含有量0.1重量%以
上の粗窒化アルミニウムとした後、それを平均粒径15
μm以下の粒度に粉砕し、さらに1400℃以下の温度
で窒化することを特徴とする窒化アルミニウムの製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20451684A JPS6183608A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 窒化アルミニウムの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20451684A JPS6183608A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 窒化アルミニウムの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6183608A true JPS6183608A (ja) | 1986-04-28 |
Family
ID=16491823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20451684A Pending JPS6183608A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 窒化アルミニウムの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6183608A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6217161A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Toyo Alum Kk | 窒化アルミニウムの製造方法 |
US6159439A (en) * | 1996-12-26 | 2000-12-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Process for producing aluminum nitride |
KR100394523B1 (ko) * | 2001-06-28 | 2003-08-14 | 동부전자 주식회사 | 질화 알루미늄 분말의 제조방법 |
US7022301B2 (en) | 2001-02-02 | 2006-04-04 | Ibaragi Laboratory Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride and aluminum nitride |
CN109095444A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-12-28 | 河北高富氮化硅材料有限公司 | 一种去除氮化铝粉体中碎小颗粒的方法 |
US10442692B2 (en) | 2016-03-10 | 2019-10-15 | Alcom | Manufacturing method of aluminium nitride and aluminum nitride prepared by the same |
-
1984
- 1984-09-29 JP JP20451684A patent/JPS6183608A/ja active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6217161A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Toyo Alum Kk | 窒化アルミニウムの製造方法 |
US6159439A (en) * | 1996-12-26 | 2000-12-12 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Process for producing aluminum nitride |
US7022301B2 (en) | 2001-02-02 | 2006-04-04 | Ibaragi Laboratory Co., Ltd. | Process for producing aluminum nitride and aluminum nitride |
KR100394523B1 (ko) * | 2001-06-28 | 2003-08-14 | 동부전자 주식회사 | 질화 알루미늄 분말의 제조방법 |
US10442692B2 (en) | 2016-03-10 | 2019-10-15 | Alcom | Manufacturing method of aluminium nitride and aluminum nitride prepared by the same |
CN109095444A (zh) * | 2017-11-21 | 2018-12-28 | 河北高富氮化硅材料有限公司 | 一种去除氮化铝粉体中碎小颗粒的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4117096A (en) | Process for producing powder of β-type silicon carbide | |
JP5950496B2 (ja) | 元素Ni、Cu、Ta、W、Re、OsおよびIrで合金化された、チタン、ジルコニウムおよびハフニウムを基礎とする合金粉末の製造法 | |
US4145224A (en) | Method for enhancing the crystallization rate of high purity amorphous Si3 N4 powder, powders produced thereby and products therefrom | |
US3531245A (en) | Magnesium-aluminum nitrides | |
JP2009513819A (ja) | 元素Ti、Zr、Hf、V、Nb、Ta及びCrの金属粉末もしくは金属水素化物粉末の製造方法 | |
TW201829299A (zh) | 高純度氮化矽粉末之製造方法 | |
US4346068A (en) | Process for preparing high-purity α-type silicon nitride | |
Zakorzhevskii et al. | Combustion synthesis of aluminum nitride | |
JPS6183608A (ja) | 窒化アルミニウムの製造方法 | |
JPS6111886B2 (ja) | ||
JPS6225605B2 (ja) | ||
US4021529A (en) | Non-catalytic synthesis of silicon oxynitride | |
JPS62153107A (ja) | 窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
JPS61222910A (ja) | セレン化亜鉛ドーパント用高純度セレン化銅粉末の製造方法 | |
JPH0829923B2 (ja) | 窒化ケイ素粉末 | |
JPS6042164B2 (ja) | 粉末の製造方法 | |
JPS5891019A (ja) | 窒化アルミニウム質粉末の製造方法 | |
JP2612016B2 (ja) | 低酸素窒化アルミニウム粉末の製造方法 | |
Sato et al. | Synthesis of titanium nitride by a spark-discharge method in liquid ammonia | |
JPS6144770A (ja) | 窒化珪素質焼結体の製法 | |
JPH04371536A (ja) | TiAl系金属間化合物粉末の製造方法 | |
SU1752522A1 (ru) | Способ получени композиционных порошков на основе тугоплавких соединений железа с железной св зкой | |
JPH04321505A (ja) | 窒化アルミニウムの製造方法 | |
JPS61227908A (ja) | 窒化珪素質焼結体用原料粉末の製法 | |
JPS62278202A (ja) | 金属アルミニウム粉末 |