JPS6182635A - 薄膜の形成方法 - Google Patents
薄膜の形成方法Info
- Publication number
- JPS6182635A JPS6182635A JP20461084A JP20461084A JPS6182635A JP S6182635 A JPS6182635 A JP S6182635A JP 20461084 A JP20461084 A JP 20461084A JP 20461084 A JP20461084 A JP 20461084A JP S6182635 A JPS6182635 A JP S6182635A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- powder
- substrate
- phosphor
- light
- color
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- C09K—MATERIALS FOR MISCELLANEOUS APPLICATIONS, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE
- C09K11/00—Luminescent, e.g. electroluminescent, chemiluminescent materials
- C09K11/02—Use of particular materials as binders, particle coatings or suspension media therefor
- C09K11/025—Use of particular materials as binders, particle coatings or suspension media therefor non-luminescent particle coatings or suspension media
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は基板上に粉体を被着させ薄膜を形成する方法に
関する。
関する。
従来の技術
粉体による薄膜の形成方法の一つに、露光により粘着性
を発現する感光性粘着剤の！・−を形成した基板を所望
のパターンに露光した後に、基板上に粉体を供給して粘
着性を発現した露光部分に粉体を付着させ、露光部分の
粉体を除去することにより基板上に図形状粉体層を形成
する方法が知られている。（例えば特開昭５３−１２６
８６１号公報） この技術をカラー陰極線管の螢光１模の形成に適用し、
第５図乃至第１１図から説明する。
を発現する感光性粘着剤の！・−を形成した基板を所望
のパターンに露光した後に、基板上に粉体を供給して粘
着性を発現した露光部分に粉体を付着させ、露光部分の
粉体を除去することにより基板上に図形状粉体層を形成
する方法が知られている。（例えば特開昭５３−１２６
８６１号公報） この技術をカラー陰極線管の螢光１模の形成に適用し、
第５図乃至第１１図から説明する。
図において１は陰嘆線管バルブのフェースプレート（基
板）、２は基板１上に形成した感光性粘先ず第５図に示
すように基板１）に感光性粘着剤の薄１．ｌ’ｕ ２を
形１戊するっ感光性粘着剤としては例えば露光により空
気中の水分を吸収して粘着性を発現するジアゾニウム化
合物とハロゲン化位属塩との複塩を用い、これをポリビ
ニルアルコールなどのバインダー、水、その他適宜界面
活性剤に混合したものを用いる。そして第６図に示すよ
うに一定間隔で一定巾で４膜２を露光し、露光部ｆ＋２
Ｇ、２Ｇ、・・・・・に粘着性を発現させる。そしてγ
゛−シ嘆２上、全面に緑色発光の螢光体３Ｇをふりかけ
、露光部５＋２Ｇ、２Ｇ、・・・・・の基板１上に螢光
体３Ｇを付着させる。（第７図）そして、第８図に示す
ように薄＠２の露光部分上の螢光体３Ｇをエアブロー等
により除去し、露光部分２Ｇ、２Ｇ、・・・・・・上に
のみ螢光体の傅ｒ挨３ Ｇ’、３Ｇ′、・・・・・・を
形成する、次に螢光：漠３ Ｇ’、３ Ｇ’、・・・・
・から所定の分だけずらせた位置に薄（漢２全露光して
露光部５＋２Ｂ、２Ｂ・・・・・に粘着性を発現させ、
青色発光の螢光体３Ｂを基板ｌ上の全面に拡げるっ （
第９図）そして第１Ｏ図に示すように薄膜２の未露光部
分上の螢光体３Ｂを除去し、螢光膜３Ｂ’、３ Ｂ’、
・・・・・・を形成するっ以下第６図乃至第１０］Ｑ４
１に示す工［１′を赤色発光の螢光ｉ、ｔ、３Ｒ１３Ｒ
１〃び光吸収体４に対して繰り返し、第１１図に示す工
ウシで４を板１）に螢光膜３ Ｇ’、３ Ｂ’、３ Ｆ
ｌ’及び光吸収膜４′を含む発光膜５を形成する。
板）、２は基板１上に形成した感光性粘先ず第５図に示
すように基板１）に感光性粘着剤の薄１．ｌ’ｕ ２を
形１戊するっ感光性粘着剤としては例えば露光により空
気中の水分を吸収して粘着性を発現するジアゾニウム化
合物とハロゲン化位属塩との複塩を用い、これをポリビ
ニルアルコールなどのバインダー、水、その他適宜界面
活性剤に混合したものを用いる。そして第６図に示すよ
うに一定間隔で一定巾で４膜２を露光し、露光部ｆ＋２
Ｇ、２Ｇ、・・・・・に粘着性を発現させる。そしてγ
゛−シ嘆２上、全面に緑色発光の螢光体３Ｇをふりかけ
、露光部５＋２Ｇ、２Ｇ、・・・・・の基板１上に螢光
体３Ｇを付着させる。（第７図）そして、第８図に示す
ように薄＠２の露光部分上の螢光体３Ｇをエアブロー等
により除去し、露光部分２Ｇ、２Ｇ、・・・・・・上に
のみ螢光体の傅ｒ挨３ Ｇ’、３Ｇ′、・・・・・・を
形成する、次に螢光：漠３ Ｇ’、３ Ｇ’、・・・・
・から所定の分だけずらせた位置に薄（漢２全露光して
露光部５＋２Ｂ、２Ｂ・・・・・に粘着性を発現させ、
青色発光の螢光体３Ｂを基板ｌ上の全面に拡げるっ （
第９図）そして第１Ｏ図に示すように薄膜２の未露光部
分上の螢光体３Ｂを除去し、螢光膜３Ｂ’、３ Ｂ’、
・・・・・・を形成するっ以下第６図乃至第１０］Ｑ４
１に示す工［１′を赤色発光の螢光ｉ、ｔ、３Ｒ１３Ｒ
１〃び光吸収体４に対して繰り返し、第１１図に示す工
ウシで４を板１）に螢光膜３ Ｇ’、３ Ｂ’、３ Ｆ
ｌ’及び光吸収膜４′を含む発光膜５を形成する。
ところで、このようにして発光膜５を形成すると、先に
形成した螢光膜上に後から形成する螢光膜の螢光体が付
着し、完全に除去されず、残留、した螢光体が混色の原
因となっていた。
形成した螢光膜上に後から形成する螢光膜の螢光体が付
着し、完全に除去されず、残留、した螢光体が混色の原
因となっていた。
このような問題を解決するために例えば央開昭５７−１
５１８４６号公報には一つの螢光膜を形成して、次の螢
光膜を形成する前に、既に基板上に形成された螢光膜の
螢光体粒子間を目詰剤粉体にて目詰し粘着性を低下乃至
紐くすようにして不所望螢光体の付着を防止しまた螢光
面が開示されている。
５１８４６号公報には一つの螢光膜を形成して、次の螢
光膜を形成する前に、既に基板上に形成された螢光膜の
螢光体粒子間を目詰剤粉体にて目詰し粘着性を低下乃至
紐くすようにして不所望螢光体の付着を防止しまた螢光
面が開示されている。
ここで、この目詰剤としては平均粒子が３μ以下、好ま
しくは１μ以下のＳｉＯ，、ＭｑＣＯ，等が・好 ′適
であるとの開示がある。
しくは１μ以下のＳｉＯ，、ＭｑＣＯ，等が・好 ′適
であるとの開示がある。
しかしながら、目詰剤として嘩徽の粉末、例えば粒径が
Ｌｏｏｍμ以下の酸化アルミニウムを用いると、目詰剤
をうまく螢光膜に付着させることができなかった。ちな
みに、たばこの煙の粒径が５〜３０ｍ／７で、１００ｙ
ｙｃ／１以下の粉体を自活供給しても螢光膜上と漂う状
聾となり付着率が低く、十分付着させるために長時間を
要すという欠点があった。
Ｌｏｏｍμ以下の酸化アルミニウムを用いると、目詰剤
をうまく螢光膜に付着させることができなかった。ちな
みに、たばこの煙の粒径が５〜３０ｍ／７で、１００ｙ
ｙｃ／１以下の粉体を自活供給しても螢光膜上と漂う状
聾となり付着率が低く、十分付着させるために長時間を
要すという欠点があった。
また例えば粒径が３μ以下の螢光体を用いると螢光体同
志が凝束し均一な膜ができないという開門もあったっ 問題点を解決するための手段 本発明は上記問題つに鑑み提案されたもので、基板上に
付着させ薄膜を形成する粉体に予め、粉体の粒子の／／
１ｏ以下の粒径の微粒子を混合したものを用いることを
特徴とする。
志が凝束し均一な膜ができないという開門もあったっ 問題点を解決するための手段 本発明は上記問題つに鑑み提案されたもので、基板上に
付着させ薄膜を形成する粉体に予め、粉体の粒子の／／
１ｏ以下の粒径の微粒子を混合したものを用いることを
特徴とする。
実施例
以下に本発明の実施例を４４１図乃至り１４図から説明
する。（２）において６は基板、７は基板６上に形成さ
れた露光により粘着性を発現するトす光性粘着剤ｊ・Δ
、８は基板６ｉ：に付着させ１傅（模を形成する）ため
の粉体、例えばＦＳＳＳ法による粒子が３へ一１０μの
螢光体で、８Ｒ１８Ｇ、８Ｂはそれぞれ発光色が赤、緑
、青の螢光体を示−ｒ０９は粉体εの外面に予め付着さ
せた粒径が粉体の１令以下の微粒子で、例えば粒径が１
００ｍ／を以下の酸化アルミニウムを用い、粉体８に対
し取量比で０１重量係乃至３重量係添加する。１０は光
吸収体で、例えば粒径が１μの黒鉛粒子を示す。
する。（２）において６は基板、７は基板６上に形成さ
れた露光により粘着性を発現するトす光性粘着剤ｊ・Δ
、８は基板６ｉ：に付着させ１傅（模を形成する）ため
の粉体、例えばＦＳＳＳ法による粒子が３へ一１０μの
螢光体で、８Ｒ１８Ｇ、８Ｂはそれぞれ発光色が赤、緑
、青の螢光体を示−ｒ０９は粉体εの外面に予め付着さ
せた粒径が粉体の１令以下の微粒子で、例えば粒径が１
００ｍ／を以下の酸化アルミニウムを用い、粉体８に対
し取量比で０１重量係乃至３重量係添加する。１０は光
吸収体で、例えば粒径が１μの黒鉛粒子を示す。
先ず′、Ａ２図に示すように基板６士の感光性粘着剤層
７の所望部分（図示点線で囲まれだ部ｆ＋）を露光し、
露光部分７ ａＶｃ粘着性を発現させる。そして第１図
に示すように基ｆｉ６上に予め外面に微粒子９を付着さ
せた緑色発光の螢光体８ＧをＩＩ）：給し、露光部分７
ａに付着させる。この後、エアブロ−等により、層７の
未露光部分７ｂ上の螢光体８Ｇを除去し、露光部分７ａ
上にのみ螢光体８Ｇを残留させ、第３図に示すように螢
光ｊ模ｇ ＊’を形成する、この後、露光位置をずらせ
て層７上を露光し、異なる発光色の螢光１ト８を基、阪
６＋にｕｌ、ど；して、不所沼部分の螢光体を除去する
工程を繰返し、第４図に示すように基板６上に螢光膜８
Ｇ′、８ Ｂ’、８ Ｒ’と光吸収層１０′からなる元
光面１１を得る。
７の所望部分（図示点線で囲まれだ部ｆ＋）を露光し、
露光部分７ ａＶｃ粘着性を発現させる。そして第１図
に示すように基ｆｉ６上に予め外面に微粒子９を付着さ
せた緑色発光の螢光体８ＧをＩＩ）：給し、露光部分７
ａに付着させる。この後、エアブロ−等により、層７の
未露光部分７ｂ上の螢光体８Ｇを除去し、露光部分７ａ
上にのみ螢光体８Ｇを残留させ、第３図に示すように螢
光ｊ模ｇ ＊’を形成する、この後、露光位置をずらせ
て層７上を露光し、異なる発光色の螢光１ト８を基、阪
６＋にｕｌ、ど；して、不所沼部分の螢光体を除去する
工程を繰返し、第４図に示すように基板６上に螢光膜８
Ｇ′、８ Ｂ’、８ Ｒ’と光吸収層１０′からなる元
光面１１を得る。
ここで、例えば第１図状、■では螢光体８Ｇの外面に微
粒子９を付着させているため、螢光体８Ｇの見かけ上の
表面積が格段に広く、螢光体８Ｇの周囲に保りつそのた
め、微粒子９を付着させていない場合に比べて粘着剤の
這い上りを抑制でき、エアブロ−等によって不要な螢光
体を除去した後の螢光膜８ Ｇ’上は粘着性が十分低下
し、後工程で異なる発光色の螢光体が付着しにくくなり
、混色が防止される。
粒子９を付着させているため、螢光体８Ｇの見かけ上の
表面積が格段に広く、螢光体８Ｇの周囲に保りつそのた
め、微粒子９を付着させていない場合に比べて粘着剤の
這い上りを抑制でき、エアブロ−等によって不要な螢光
体を除去した後の螢光膜８ Ｇ’上は粘着性が十分低下
し、後工程で異なる発光色の螢光体が付着しにくくなり
、混色が防止される。
効果
以上のように、本発明によれば粉体の外面に微粒子を付
着させることにより、微粒子の供給が安定し分体自体の
凝集が防止され、基板上に均等に供給できる上、粉体の
みかけ上の表面積を格段に拡げることができ、粘着剤の
不要な這い上りがなく、粉体の、蕾の外面の粘着性を抑
制し、異なる粉体の付着が防止され、螢光体による発光
膜の形成に適用すればｌ昆色のない発光、嘆を得ること
ができる。
着させることにより、微粒子の供給が安定し分体自体の
凝集が防止され、基板上に均等に供給できる上、粉体の
みかけ上の表面積を格段に拡げることができ、粘着剤の
不要な這い上りがなく、粉体の、蕾の外面の粘着性を抑
制し、異なる粉体の付着が防止され、螢光体による発光
膜の形成に適用すればｌ昆色のない発光、嘆を得ること
ができる。
ゲ、：Ｌ図乃〒第４図は本発明の実施例を示す各工程で
の基板の一部側断面図、第〆図は本発明より形成された
発光膜の一部側断面図、第５図乃至第１１図は螢光膜の
形成方法の各段階を示す基板の一部側断面図である。 ６・・・・・・・・・・・・・・・・・基板、７・・・
・・・・・・・・・・・・・・感光性粘着剤層、７ａ・
・・・・・・・・・・・・・・露光部分、８．８Ｒ１８
Ｇ、８Ｂ ・・・粉体（螢光体）、９ ・・・・・・・
・・・・・微粒子、１０・・・・・・・・・・・・・粉
体（光吸収体）、８ Ｒ’、８Ｇ’、８ Ｂ’、９′、
１１・・・・・・薄膜。 第 ２ 閃 第 ３ 図
の基板の一部側断面図、第〆図は本発明より形成された
発光膜の一部側断面図、第５図乃至第１１図は螢光膜の
形成方法の各段階を示す基板の一部側断面図である。 ６・・・・・・・・・・・・・・・・・基板、７・・・
・・・・・・・・・・・・・・感光性粘着剤層、７ａ・
・・・・・・・・・・・・・・露光部分、８．８Ｒ１８
Ｇ、８Ｂ ・・・粉体（螢光体）、９ ・・・・・・・
・・・・・微粒子、１０・・・・・・・・・・・・・粉
体（光吸収体）、８ Ｒ’、８Ｇ’、８ Ｂ’、９′、
１１・・・・・・薄膜。 第 ２ 閃 第 ３ 図
Claims (2)
- （１）露光により粘着性を発現する感光性粘着剤の層を
基板上に形成した後、基板上の感光性粘着剤の層を露光
する工程と、基板上に粉体を供給し露光によって粘着性
を発現した部分に粉体を付着させる工程と、基板に付着
していない残余の粉体を除去する工程とを含む薄膜の形
成方法において、上記粉体に予め粉体の粒径の１／１０
以下の粒径の微粒子を混合し、この混合粉体を基板上の
露光により粘着性を発現した部分に供給するようにした
ことを特徴とする薄膜の形成方法。 - （２）上記微粒子は酸化アルミニウムよりなり、これを
螢光体に対して０．１〜３重量％混合したことを特徴と
する第１項記載の薄膜の形成方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20461084A JPS6182635A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 薄膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20461084A JPS6182635A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 薄膜の形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6182635A true JPS6182635A (ja) | 1986-04-26 |
Family
ID=16493317
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20461084A Pending JPS6182635A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 薄膜の形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6182635A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI385818B (zh) * | 2006-06-07 | 2013-02-11 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 在基板上配置粉末層之方法及在基板上具有至少一粉末層之層狀架構 |
-
1984
- 1984-09-29 JP JP20461084A patent/JPS6182635A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI385818B (zh) * | 2006-06-07 | 2013-02-11 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | 在基板上配置粉末層之方法及在基板上具有至少一粉末層之層狀架構 |
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