JPS6181628A - ドライエツチング方法 - Google Patents
ドライエツチング方法Info
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- JPS6181628A JPS6181628A JP20320284A JP20320284A JPS6181628A JP S6181628 A JPS6181628 A JP S6181628A JP 20320284 A JP20320284 A JP 20320284A JP 20320284 A JP20320284 A JP 20320284A JP S6181628 A JPS6181628 A JP S6181628A
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- dry etching
- etching method
- silicon dioxide
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Links
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕。
本発明は上°ライエツチング方法に関し、特に半導体基
板上の二酸化シリコン、窒化シリコン又は多結晶シリコ
ンを所望形状に選択的にドライエツチングする方法に関
する。
板上の二酸化シリコン、窒化シリコン又は多結晶シリコ
ンを所望形状に選択的にドライエツチングする方法に関
する。
従来、二酸化シリコンを選択的に除去し、しかもテーパ
ー(傾斜)を付ける場合は、プラズマ処理を施す方法が
用いられている。第2図(a)〜(C)は従来のクエ、
トエ、チングを用いてテーパー付加工物を得る方法を説
明する光めの工程断面図である。′− 先ず、第2図(a)に示すように、半導体基板11上に
二酸化シリコン膜12t−熱酸化法又はCVD法を用い
て成長させる1次いで、弗化炭素と酸素との混合物を反
応ガスとして半導体基板上の二酸化シリコシ120表面
にプラズマ処理14を施す。
ー(傾斜)を付ける場合は、プラズマ処理を施す方法が
用いられている。第2図(a)〜(C)は従来のクエ、
トエ、チングを用いてテーパー付加工物を得る方法を説
明する光めの工程断面図である。′− 先ず、第2図(a)に示すように、半導体基板11上に
二酸化シリコン膜12t−熱酸化法又はCVD法を用い
て成長させる1次いで、弗化炭素と酸素との混合物を反
応ガスとして半導体基板上の二酸化シリコシ120表面
にプラズマ処理14を施す。
次に、第2図(b)に示すように、レジスト13fc形
成し、とのレジスtt−マスクとして弗酸系の液に半導
体基板を浸すことにエフ、前記したプラズマ処理の程虻
により、レジメ”ト13と二酸化シリコン12の密着性
に差を生じさせ、それによりアンダーカ、トの程度を変
え、第2図iclに示すような二酸化シリコン12にテ
ーパー付けることができる。
成し、とのレジスtt−マスクとして弗酸系の液に半導
体基板を浸すことにエフ、前記したプラズマ処理の程虻
により、レジメ”ト13と二酸化シリコン12の密着性
に差を生じさせ、それによりアンダーカ、トの程度を変
え、第2図iclに示すような二酸化シリコン12にテ
ーパー付けることができる。
又、第3図(al、 (b)は従来のドライエッチング
方法を説明するために工程順に示した断面図である。
方法を説明するために工程順に示した断面図である。
゛ 先ず、第3図[alに示すように、半導体基板21
上に二酸化シリコン22t−熱酸化法又はCVD法を用
いて成長する1次いでレジス)23i形成する。
上に二酸化シリコン22t−熱酸化法又はCVD法を用
いて成長する1次いでレジス)23i形成する。
次に、第3図1b)K示す工うに、弗化炭素と水素の混
合物を反応ガスとして反応性イオンエツチング24にL
り二酸化シリコン22を選択的に除去する。この場合は
異方性エツチングが行なわれ所望の寸法のエツチング加
工が出来る。
合物を反応ガスとして反応性イオンエツチング24にL
り二酸化シリコン22を選択的に除去する。この場合は
異方性エツチングが行なわれ所望の寸法のエツチング加
工が出来る。
上述したエツチング方法のうち、ウェットエ。
チングVcよる方法は、所望の寸法が得られなく、かつ
レジストに対してアンダカ、ト15が発生することにな
り、微細パターンの形成は不可能である。又テーパー角
のコントロール性も小さいという問題点がある。
レジストに対してアンダカ、ト15が発生することにな
り、微細パターンの形成は不可能である。又テーパー角
のコントロール性も小さいという問題点がある。
一方、上記したドライエッチング法の場合は形成され九
二酸化シリコン22のエツチング形状は、半導体基板に
対してほぼ垂直になる。従って、後工程のメタル形成工
程などに於いて段切れなどの不良を誘発する。又ドライ
エツチングtMねて施すと、再付着現象も誘発し、7目
−卜するおそれもあるという問題もあった。
二酸化シリコン22のエツチング形状は、半導体基板に
対してほぼ垂直になる。従って、後工程のメタル形成工
程などに於いて段切れなどの不良を誘発する。又ドライ
エツチングtMねて施すと、再付着現象も誘発し、7目
−卜するおそれもあるという問題もあった。
本発明は上記問題点に対処してなされたもので、微細パ
ターンの形成において、テーパーのついた形状にするこ
とによち段切れ等の問題を防ぎ、しかもウェ、トエ、チ
ングにおける:うなアンダカ、トのない所望形状が得ら
れるドライエッチング法全提供することを目的とする。
ターンの形成において、テーパーのついた形状にするこ
とによち段切れ等の問題を防ぎ、しかもウェ、トエ、チ
ングにおける:うなアンダカ、トのない所望形状が得ら
れるドライエッチング法全提供することを目的とする。
本発明のドライエツチング法は、半導体基板上の被エツ
チング物をレジストをマスクとじてドラ :イ
エッチングするドライエツチング方法において、逆台形
の断面形状を有するレジストをマスクとして被エツチン
グ物をドライエ、チンブレ、テーパー付の加工物を得る
ことを特徴として構成される。
チング物をレジストをマスクとじてドラ :イ
エッチングするドライエツチング方法において、逆台形
の断面形状を有するレジストをマスクとして被エツチン
グ物をドライエ、チンブレ、テーパー付の加工物を得る
ことを特徴として構成される。
以下、本発明について、図面を参照して説明する。
第1図(a)、 (b)は本発明の一実施例を説明する
ために工程順に示した断面図である。
ために工程順に示した断面図である。
先ず、第1図(a)に示すように、半導体基板31上に
二酸化シリコン32を熱酸化法又はCVD法を用いて形
成する1次いで、レジスト33例えば遠紫外用レジスト
ヲ塗布し次いで露光、現像をしレジストパターン33を
形成する。なおこのとき現像時間を少し長くするとレジ
ストパターン33の形状は逆台形状になる。
二酸化シリコン32を熱酸化法又はCVD法を用いて形
成する1次いで、レジスト33例えば遠紫外用レジスト
ヲ塗布し次いで露光、現像をしレジストパターン33を
形成する。なおこのとき現像時間を少し長くするとレジ
ストパターン33の形状は逆台形状になる。
次に、第1図(b)に示すLうに形成された逆台形状の
レジストパターンとして、弗化炭素と水素の混合物を反
応ガスとして反応性イオンエツチング34t−用いて二
酸化シリコン32を選択的に除去すると寸法どおシの二
酸化シリコン膜が形成でき、しかも所望のテーパー形状
を有する二酸化シリコン膜が得られる。なおテーパー角
とじてに45′1〜70@が得られ、この角度はレジス
トの逆台形状によって決る。
レジストパターンとして、弗化炭素と水素の混合物を反
応ガスとして反応性イオンエツチング34t−用いて二
酸化シリコン32を選択的に除去すると寸法どおシの二
酸化シリコン膜が形成でき、しかも所望のテーパー形状
を有する二酸化シリコン膜が得られる。なおテーパー角
とじてに45′1〜70@が得られ、この角度はレジス
トの逆台形状によって決る。
(発明の効果)
以上説明し九ヨうに、本発明によれば、例えば被エツチ
ング物である絶縁膜がテーパーを有して形成されるので
、後工程に於ける金属等の段切れ現象を防止することが
でき、しかもドライエッチングであるため寸法的にも正
確なエツチングをすることができる。なお本エツチング
方法は多層配線を行うプロセスに適用するとエフ大きな
効果が得られる。
ング物である絶縁膜がテーパーを有して形成されるので
、後工程に於ける金属等の段切れ現象を防止することが
でき、しかもドライエッチングであるため寸法的にも正
確なエツチングをすることができる。なお本エツチング
方法は多層配線を行うプロセスに適用するとエフ大きな
効果が得られる。
第1図(1)、 (b)は本発明の一実施例を説明する
ために工程順に示した断面図、第2図(a)〜(C)、
第3図(1)、 (b)はそれぞれ従来のウェットエツ
チング方法並びにドライエッチング方法の一例を説明す
る几めに工程順に示し次断面図である。 11.21.31・・・・・・シリコン基板、12.2
2゜32・・・・・・二酸化シリコン膜、13,23.
33・・・・・・レジスト、14,24.34・・・・
・・プラズマ、15・・・・エツチングにより発生した
アンダーカット。 第1図 INIIIIII↓1゜ 第2[ 1番 11 や31゜ +/、+74
ために工程順に示した断面図、第2図(a)〜(C)、
第3図(1)、 (b)はそれぞれ従来のウェットエツ
チング方法並びにドライエッチング方法の一例を説明す
る几めに工程順に示し次断面図である。 11.21.31・・・・・・シリコン基板、12.2
2゜32・・・・・・二酸化シリコン膜、13,23.
33・・・・・・レジスト、14,24.34・・・・
・・プラズマ、15・・・・エツチングにより発生した
アンダーカット。 第1図 INIIIIII↓1゜ 第2[ 1番 11 や31゜ +/、+74
Claims (2)
- (1)半導体基板上の被エッチング物をレジストをマス
クとしてドライエッチングするドライエッチング方法に
おいて、逆台形の断面形状を有するレジストをマスクと
して被エッチング物をドライエッチングし、テーパー付
の加工物を得ることを特徴とするドライエッチング方法
。 - (2)被エッチング物が二酸化シリコン、窒化シリコン
などの絶縁膜あるいは多結晶シリコン膜であることを特
徴とする特許請求の範囲第(1)項記載のドライエッチ
ング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20320284A JPS6181628A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | ドライエツチング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP20320284A JPS6181628A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | ドライエツチング方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6181628A true JPS6181628A (ja) | 1986-04-25 |
Family
ID=16470156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP20320284A Pending JPS6181628A (ja) | 1984-09-28 | 1984-09-28 | ドライエツチング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6181628A (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5466768A (en) * | 1977-11-08 | 1979-05-29 | Fujitsu Ltd | Forming method of electrode window in semiconductor device |
JPS5783034A (en) * | 1980-11-12 | 1982-05-24 | Toshiba Corp | Method for taper etching |
-
1984
- 1984-09-28 JP JP20320284A patent/JPS6181628A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5466768A (en) * | 1977-11-08 | 1979-05-29 | Fujitsu Ltd | Forming method of electrode window in semiconductor device |
JPS5783034A (en) * | 1980-11-12 | 1982-05-24 | Toshiba Corp | Method for taper etching |
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