JPS6172946A - 空調装置 - Google Patents

空調装置

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JPS6172946A
JPS6172946A JP59193432A JP19343284A JPS6172946A JP S6172946 A JPS6172946 A JP S6172946A JP 59193432 A JP59193432 A JP 59193432A JP 19343284 A JP19343284 A JP 19343284A JP S6172946 A JPS6172946 A JP S6172946A
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JP
Japan
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air
fan
temperature
air volume
air conditioner
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JP59193432A
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Shotaro Kanekuni
金国 正太郎
Katsumi Mishima
克己 三島
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Taikisha Ltd
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Taikisha Ltd
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Publication date
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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24FAIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00Control or safety arrangements
    • F24F11/0001Control or safety arrangements for ventilation

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Central Air Conditioning (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、半導体製造工場や薬品工場等において、清浄
雰囲気を要する区域を複数の清浄室に細分化し、それら
複数清浄室の夫々に対して空調制御を行なうことにより
精度の良い空調を行なえるようにした空調装置に関I7
、詳しくは、vi数清浄室の夫々と準清浄室とを各別の
循環風路で接続し、それら循環風路のうち前記清浄室に
対する供給tIllI呪路の夫々に、循環ファン、及び
、それのr流側に位置する高性能フィルターを介装し、
空調器によって温度調節された温調気体を加圧供給する
ファンの吐出風路を、並列の分岐風路を介して、前記循
環ファン夫々の吸入口側部分に合流接続すると共に前記
準清浄室に接続し、前記準清浄室に、室内気体を外部排
出する排気ロtl−設け、循環ファンによって各清浄室
の清#写囲気を維持するための風量を確保し、空調器か
らの温臂慨体を各循環ファンの吸入口側部分に合流供給
することによって、各清浄室の熱負荷に対処するように
し九空凋装置に関する。
〔従来の技術〕
従来、l:記空調装置において各清浄室、及び、準清浄
室に対する各別の室温制御を行なうに、第2図に示すよ
うに、加圧供給ファン(7)の吐出風路(9jを各循環
ファン(6)の吸入口側部分子loi、及び、準清浄室
(2)の夫々に並列接続する分岐風路(12)の百々に
対して、再熱ヒータや再冷却コイρ等の二次幌PI器(
18つを介装し、各清浄室(1A) 。
(1B)汝び臨清浄室(2)に設けた室温センナーリ匂
からのフィードバック情報に基づいて、各室C1A) 
、 (I B )、+2)に輝赤する二次温調器(18
’)の温調能力を個別制御することにより、各室(1A
)。
(1B)、(2)の室温を夫々の設定室温に維持するよ
うにしていた。
尚、図中(8)は空調器、(4)は高性能フィルクー、
(6)ば、清浄室(1A)、(1B)から準清浄室(2
)への章り側循環風路を形成する連通口、峙は、準清浄
室(2)の室内気体を外部排出する排気口、o4)はレ
ターンファン、(RA)はレターン風路、(OA )は
外気取入風路、(EA)は排気風路である。
〔発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上述従来装置にあっては1例えば冷房運
転の場合、最大負荷に対処できるような温度余裕のある
低温気体を空調器(8)で常時生成し、かつ、同様く余
裕のある風量を加圧供給ファン(7)によって常時供給
するのであるが、それに対して各室(1A)、(1B)
、+2)の個別制御のために、再熱ヒータ(18’)で
低温気体を加熱することが大きな熱ロスを招き、又、各
室(1Aン、(Is)。
(2)の各別の室内負荷変動にかかわらず、最大負荷に
見合った大風量を供給し続けることが加圧供給ファン(
7)の勤カの浪費を招く問題があり、これらの問題は二
次温調器(18つに冷却コイμを用いる暖房運転の場合
も同様であった。
夕や冷却コイy等の二次温調器1’18’)を各別に付
設することが、配管構成あるいは動力電気配線構成の大
巾な複雑化を招くと共に、メンテナンヌ面においても不
利となる問題があった。
本発明の目的は、合理的な個別室温制御構成を採用する
ことで、熱ロス、及び、ファン動力の浪費を解消すると
共に、装置構成の簡略化を図る点にある。
〔問題点を解決するための手段〕 本発明による空調装置の特徴溝或は、複数清浄室の夫々
、及び、それらに対してnilファンにより各別に循環
気体を供給する準清浄室の室内温度を検出する室ン晶セ
ンサーを設け、空調器から供給される温調気体の温度を
検出する気温センナ−を設け、前記空調器の温度調節能
力を変更する装置、及び、前記温調気体に対する加圧供
給ファンの送風能力を変更する装置を設け、前記加圧供
給ファンの吐出風路を並列的に分岐して前記循環ファン
夫々の吸入口側部分に合流分岐風路の夫々に、通過風量
を調整する装置を設け、前記空調器能力変更装置、前記
ファン能力変更装置、−々び、前記通過風量調整装置を
自動操作する制御装置に対し°C1 (イ)III記室Z品センナ−75葛らの情報に基づい
て、前記各室の検出室内温度を設定室内温度に維持する
ように前記通過風量調整装置に対して各別に操作指令を
発信する室温制御実行手段、(ロ) 前記通過風tyA
整装置の夫々の風量調節状態を判定する手段、 i/→ その判定手段による判定結果に基づいて、前記
分岐風路夫々の調整通過風量の総和に前記加圧供給ファ
ンの送風量が見合うように、前記ファン能力変更装置に
操作指令を発信する風1を制御手段、 に) 前記気温センナ−からの情報に基づいて、その気
温センナ−による検出気を品を設定気温に維持するよう
に前記空調器能力変更装置に操作指令を発信する究襦制
御手段 の夫々を備えさせてあることにあり、その作用4fJ渠
は次の通りである。
(4Y  用〕 つまり、複数清浄室及び準清浄室の夫々に対する個別の
室温制御を行なうに、各室温センナ−からのフィードバ
ック情報に基づいて分岐風路における通過風量を各別に
自動調整し、それによって、各循環ファンの吸入口側に
合流供給する空調器からの温調気体の量、(すなわち、
各清浄室に循環気体と共に吹き込む温調気体のt)、及
び、準消浄室に供給する温調気体の量を個別に調節する
ことにより、再熱や再冷却による熱ロスを伴なうこと無
く各室ごとの室温制御を行なうのであり、又、その室温
制御に際して、各通過風量調整装置の風量調整状態を判
別して各調整時点における通過風量の総和に加圧供給フ
ァンの送風量が見合うように、換!すれば、加圧供給フ
ァンの吐出圧を不要に高圧にすること無く加圧供給ファ
ンの送風能力と通過風量調整装置七をマツチングさせる
ように加圧供給ファンの送風能力を変更制御することに
より、加圧供給ファンの送風能力を円滑に総負荷変動に
追従させる状態で加圧供給ファンの動力浪費を回避する
のである。
そし゛〔、上記室温制御、及び、それに伴々う加圧供給
ファンの送風能力制御にあ九って、加圧供給ファンの送
風量変更にかかわらず、空調器からの温調電体の温度を
設定気温に維持するように、空:A器の温調能力を変更
制御することにより、空調器能力そのものを総負荷変動
に応じさせる状態で、上述通過風量制御による個別室温
制御を安定化させる。
尚、清浄室の清浄器囲気は、前記通過風量制御にかかわ
らず鎖環ファンの送風量(準清浄室からの循環気体とそ
れに合流させる通過温調気体との合計風量)−が一定で
あることから十分に維持される。
一方、各室に対する分岐風路の夫々に備えさせる通過風
量変更装置に対しては、単i/C,操作配線を接続する
だけで良く、従来装置における再熱ヒータや再冷却コイ
pが要する熱媒配管や動力電気線の接続が不要と、tす
、又、それに伴ない当然のことながら施工、及び、メン
テナンスも簡便となる。
〔発明の効果〕
上述の結果、再熱や再冷却による熱ロス、及び、ファン
の動力浪費を伴なう従来装置に比して、空調性能を維持
しながら運転経費を大巾に低減でき、又、全体配管構成
や動力電気配線の構成も大巾に簡略化できて、設備コス
トを低減できると共に、施工性、及び、メンテナンス性
をも向上できた。
〔実施例〕
次に本発明の実施例を第1図に基づいて説明する。
複数の清浄室(1A)、(1B)の夫々に対して、準清
浄室(2)の天井吸込口(3)から取入れた室内気体を
高性能フィルター(4)を介して清浄室C1A)、(1
B)内に下方向き層流状態で吹き込み供給するWJ環フ
ァン(5)、及び、清浄室(1A) 、 (lB)内の
室内気体を準清浄室(2)に排出する連通口(6)を備
えさせ、複数清浄室(LA) 、 (1B)と準清浄室
(2)とにわたって室内気体を循環させるように構成す
ると共に、加圧供給ファン(7)を内装した空調器(8
)の吐出風路(9)を、各循環ファン(6)の吸込チャ
ンが−(lO)と準清浄室(2)の高性能フイμター付
き天井吹出口(11)との夫々に分岐風路α力を介して
並列的に接続し、さらに、準清浄室(2)に設けた排気
口0階をレターファン04.及び、レターファン(RA
)を介して空調器(8)の吸気チャンバーに接続しであ
る。
図中(OA)は外気取入風路でら9 、 (EA)は前
記排気口Iからの還気の一部を屋外排出する排気風路で
ある。
各室(1A)、(1B) 、 +2)に対する室温制御
構成を構成するに、空調器(8)の温調コイA/(8A
)に対する熱謀液供給竜を変更する比例制御弁(1句を
設けかつ、空調器(8)からの吐出温調気体の気温を検
出センナ−a→を設けると共に、中央空調制御装置07
)に対して、前記気温センサー(11Sからのフィード
バック情報に基づいて吐出温調気体の温度を設定気温に
維持するように比例制御弁α扮を自動操作して空調器能
力を自動調節する供給気温制御部1’17A)を装備し
である。
一方、前記加圧供給ファン(71、及び、レターファン
α樽の夫々を、回転数制御による送風能力変更操作tf
可能なファンで欄咬すると共に、前記並列分岐風路Q2
)の夫々に対して、その分岐風路における通過風量を調
整して各循環ファン(5)の吸込チャンバー(10)に
合流供給する温調気体の量、及び、準清浄室(2)の天
井吹出口(11)に供給する温調気体の量を各別に制御
することにより、各室(1A)、(1B)、(2)の室
温を調節する通過風量調節装置α檜を介装しである。
そして、前記中央空調制御装置07)に対して、各室(
1A)、(Is)j2!に設けた室温センナ−1からの
フィードバック情報に基づいて、各室(LA)。
(1B)、+2+の室温を夫々の設定室温に維持するよ
うに各室(LA)、(1B) 、+2+に対か噂する通
過風量調整装置(11を自動操作する室温制御実行回路
(17B)を備えさせ、各清浄室(1A)、(tB)の
清浄度を維持するために必要な風量を循環ファン(6)
で確保しながら各室(1A) 、l’lB)、+2+に
対して個別の自動室温制御を行なわせるように構成する
と共に、各通過風量調整装置−から返送される通過風量
調整状態のフィードバック情報に基づいて、通過風量の
総和を算出する調整状態判定回路(17C) 、及び、
その判定結果に基づいて、算出した通過風量の総和に前
記加圧供給ファン(7)の送風量並びにレターファン0
葡の還気量がマツチングするように、換言すれば、加圧
供給ファン(71の吐呂圧、及び、レターンファン(1
4)の吸込圧を不要に大きくすること無く、加圧供給フ
ァン(7)及びレターンファン(l→夫々の送風能力と
通過風量調節状態とをマツチングさせるように、加圧供
給ファン(7)並びにレターファンα舶の回転数コント
ローラ(7A) 、 (14B)に操作指令を発信する
風量制御回路(17D)を中央空調制御装置αηに備え
させ、もって、上述室温制御に際して加圧供給ファン(
7)の送風能力、及び、レターファンα→の還気能力を
総空調熱負荷の変動に追従して自動変更させることによ
り、ファン動力の浪費を回避するように購成しである。
〔別実施例〕
次に別実施例を説明する。
準清浄室(2)から空調器(8)へのレターファン(R
A)を省略しても良い。
気温センサー賭からのV!報に基づいて、空調器(8)
からの温調気体の温度を設定温度に維持するように、熱
媒用比例制御弁等の空調器能力変更装置QFAを自動操
作する制御部(17A)を、他の制御手段(t7o)、
D7c)、(17p)を備える制御装置とは別体の制御
装置で構成しても良い、。
通過風を調整装置j+s)の風量調整状態を判定するに
、通過風量調整装置−そのものからの返送フィードバッ
ク情報に基づくに代えて、各分岐風路Qlにおける通過
風速を検出するセンサーや、通過風量調整装置−前後の
差圧を検出するセンナ−からの情報に基づいても良く、
又、通過風量調整装置α樽を自動操作する室温制御実行
回路(17B)の操作指令発信情報に基づいても良い。
又、加圧供給ファン(7Iと通過rf4.量準整装Mα
υの夫々とを連係操作するに、所謂VAV方式を適用し
ても良い。
前述各制御部・制御回路(17A〜17D)の具体的ハ
ード構成は種々の構成変更が可能であり、それら各制御
構成の夫々を総称して、気温制御手段(17A) 、室
温制御実行手段(17B) 、操作状態判定手段(17
C)、及び、風量制御手段(17D)と称する。
複数清浄室(]A)、(1B)の具体的室数は不問で加
圧供給ファン(7)の送風能力を変更するに、ファンの
回転数制御に代えて、ベーン角度制御、又、細流ファン
であれば汎ピンチ制御等、従来周知の種々の能力制御型
式を適用できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の実施例を示す系統図であり、第2図
は、従来陶成を示す系統図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数清浄室(1A)、(1B)の夫々と準清浄室(2)
    とを各別の循環風路で接続し、それら循環風路のうち前
    記清浄室(1A)、(1B)に対する供給側風路の夫々
    に、循環ファン(5)、及び、それの下流側に位置する
    高性能フィルター(4)を介装し、空調器(8)によつ
    て温度調節された温調気体を加圧供給するファン(7)
    の吐出風路(9)を、並列の分岐風路(12)を介して
    、前記循環ファン(5)夫々の吸入口側部分(10に合
    流接続すると共に前記準清浄室(2)に接続し、前記準
    清浄室(2)に、室内気体を外部排出する排気口(13
    )を設けた空調装置であつて、前記清浄室(1A)、(
    1B)の夫々、及び、前記準清浄室(2)の室内温度を
    検出する室温センサー(19)を設け、前記空調器(8
    )から供給される温調気体の温度を検出する気温センサ
    ー(16)を設け、前記空調器(8)の温度調節力を変
    更する装置(15)、及び、前記加圧供給ファン(7)
    の送風能力を変更する装置(7A)を設け、前記分岐風
    路(12)の夫々に通過風量を調整する装置(18)を
    設け、前記空調器能力変更装置(15)、前記ファン能
    力変更装置(7A)、及び、前記通過風量調整装置(1
    8)を自動操作する制御装置(17)に対して、 (イ)前記室温センサー(19)からの情報に基づいて
    、前記各室(1A)、(1B)、(2)の検出室内温度
    を設定室内温度に維持するように前記通過風量調整装置
    (18)に対して各別に操作指令を発信する室温制御実
    行手段(17B)、 (ロ)前記通過風量調整装置(18)の夫々の風量調整
    状態を判定する手段(17C)、 (ハ)その判定手段(17C)による判定結果に基づい
    て、前記分岐風路(12)夫々の調整通過風量の総和に
    前記加圧供給ファン(7)の送風量が見合うように、前
    記ファン能力変更装置(7A)に操作指令を発信する風
    量制御手段(17D)、(ニ)前記気温センサー(18
    )からの情報に基づいて、その気温センサー(16)に
    よる検出気温を設定気温に維持するように前記空調器能
    力変更装置(15)に操作指令を発信する気温制御手段
    (17A)の夫々を備えさせてある空調装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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