JPS6157021A - 磁気ヘツドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は磁気テープ装置等における情報の記録再生に用
いられる薄膜磁気ヘッドの製造方法に関する。

磁気テープ装置は外部記憶装置として古くから使用され
、特に保存ファイルとして現在も活躍している。例えば
、計算機等からの指令によって、磁気テープ上に情報を
記録し、また磁気テープ上に記録されている情報を読出
す装置で、磁気テープはリールごと装置に装着され、ま
た取外すことができる。

装着された磁気テープは２つのリール間でやりとりされ
、その間に、磁気ヘッドに接触して情報の書込み、また
読出しが行われる。

磁気ヘッドは１字分の符号を磁気テープ上に同時に記録
されるので、第２図に示すように多ぐの磁気素子１を有
する多トラツク構造をとる。また一般に記録再生を行う
ので、第３図に示すように読出しヘッド（以下り、−ド
ヘッド）２と書込みヘッド（以下ライトヘッド）３を隣
接して組合せている。なお、４はヘッドチップ、５Ｉｒ
１カバーガラス、６は取付穴、７はネジを示す。

上記のようにリードヘッド２とライトヘッド３を組合せ
た磁気ヘッドＡは磁気テープに接触して情報のライト／
リードを行うため、リードヘッド２とライトヘッド３の
へラドチップ４は第３図に示すような段差８がないよう
構成される必要かあ、る。また、・当然カバーガラス５
とへッドチンブ４も第４図に示すような段差９がないよ
うに構成されることが必要とされる。

〔従来の技術〕

従来、例えば第３図に示すような（薄膜）磁気ヘッドＡ
の製造は、第５図（イ）に示すようにウェハー（基板）
１０に、真空プロセス技術を用いて、複数のチップ（磁
気抵抗素子１８トラツク等）１１を作る。次に第５図（
ロ）に示すように、２個のチップ１１の上に、カバーガ
ラス１２をのせ、後述の第５図（ハ）のように透明なエ
ポキシ樹脂１３で接着する。次に、第５図（ロ）のウェ
ハー１０の横方向を第５図（ハ）のＸ−Ｘのように切断
し、縦方向にもチップ１１間を切断する。第５図に）は
第５図（ハ）の下半分の断面を示し、これはウェハー１
０上のチップ１１を切断した形状で、この先端部をＲ研
削、Ｒラップ仕上を行いギャップ深さｄを出し、第４、
；　　　　　　　図のへ・トチ・プ４の段差９のな“形
状とす札さらに、該ヘッドチップ４をフレーム（金属又
はセラミックス等）２（又は３）にエポキシ樹脂により
接着し、第２図のようなリードヘッド２（又はライトヘ
ッド３）を形成する。このリードヘッド２に引き出しケ
ーブル（ＦＰＣ）を取付け、別に形成した同形状のライ
トヘッド３を第３図のようにネジ７により組立て磁気ヘ
ッドＡを完成する。

〔発明が解決しようとする問題点〕

例えば、第２図に示すようなリードヘッド２の製造にお
いて、従来、ヘッドチップ４とカバーガラス５、および
ヘッドチップ４とフレーム２′はエポキシ樹脂等の接着
剤で接着固定していたが、前述のようなヘッドチップ４
の加工（チップ状に切断、Ｒ研削、Ｒラップ仕上等）が
行われるので、加工熱及び冷却水等による吸湿及び経時
変化で接着剤が膨張、収縮し、例えば第４図に示したカ
バーガラス５とへラドチップ４のズレ（段差９）、或い
は第３図に示した磁気ヘッド組立後のリードヘッド２の
頂点とライトヘッド３の頂点の段差８のように接着結合
部にズレを生じていた。

これらのズレは磁気ヘッドＡと磁気テープの接触結合度
合に著しく影響し、磁気記録、再生特性を低下させる原
因となり、磁気ヘッド特性に致命的な損失を与えるとい
う問題点があった。

〔問題点を解決するための手段〕

上記問題点けへラドチップとカバーガラスの両端を無機
物との接合可能な半田で接着し、その中央を接着剤で接
着し、さらに該ヘッドチップをフレームに無機物との接
合可能な半田で接着した本発明の磁気ヘッドの製造方法
によって解決される。

〔作用〕

即ち、ヘッドチップとカバーガラスの両端を特殊ハンダ
で溶融結合し、他の部分は従来通り透明なエポキシ樹脂
を充填した後、加熱硬化してヘッドチップを構成する。

さらにヘッドチップとフレームの接合も前者の特殊半田
より低融点の特殊半田で溶融結合することにより・各々
接合部のズレがなくなる。

〔実施例〕

以下、本発明の要旨を図面により具体的に説明する。

第１図は本発明の一実施例を説明するヘッドチップの正
面図を示す。なお、全図を通じ共通する符号は同一対象
物である０ 図において、１４はリードヘッドのへラドチップで、従
来と同じようにウェハー１０上に形成されたチップ（磁
気素子１を複数個有する）１１ｆ個々に切断したもめで
、磁気素子１の外側で、ヘッドチップ１４の両端に夫々
溝１５が設けられる。

ヘリトチツブ１４とカバーガラス５を接着する場合、両
端部分ａ、ｂｔ−特殊ノー特殊ノーン子製、商品名セラ
ソルザ）を用い、その他の部分Ｃを従来と同じ透明なエ
ポキシ樹脂等で接着結合する。

上記接着結合時に、溶融された特殊ハンダがカバーガラ
ス５の中央部へ流出することを溝１５により防ぐことが
できる。

なお、カバーガラス５の中央部にエポキシ樹脂等の接着
剤を用いる理由として、 （１）カバーガラス全面に特殊ノ１ンダを用いると、磁
気テープ１６との接触による磁気ヘッドの摩耗後、ハン
ダ層が露出し磁気テープ１６へ悪影響を及ばず。

（２）　　ギャップ深さを出すために、磁気素子バター
ン１の寸法を測定しながら、ヘッドチップ１４の加工を
行うため接着層は透明であることを必要とする。

（３）特殊ハンダおよびエポキシ樹脂等の接着剤の代り
にボンディングガラスを用いると、高温加熱により磁気
素子の磁気特性が劣化される（ポンディングガラスの融
点は約４００℃が最低である）。

なお、特殊ハンダは鎖先に超音波発振子とヒータを有す
る半田鏝によシガラス、セラミック、多種金属等の接合
が容易にできるものである。

上記のようにカバーガラス５を接着したウェハー１０上
のチップ１１をヘッドチップ加工して形成したヘッドチ
ップ１４ｆ：特殊ハンダ（前者の特殊ハンダより低融点
）を用い、第２図のようにフレーム２′に溶融結合して
リードヘッド２とする。

上記リードヘッド２をＭＩＬ２０２Ｄ規格に基づき（ｌ
　　　　　　　温湿度試験を行った結果、従来の樹脂接
着のものはカバーガラス５のズレが０．１〜０．２μｆ
ｎあったものがなくなった。

また、ライトヘッド３も上記リードヘッド２と同様に製
造し、第２図のように組立てた磁気ヘッドＡも特殊ハン
ダ接合で経時変化等によりリード。

ライト両ヘッドの頂点の段差８が生ずる仁ともなく、磁
気特性のよいヘッドが得られる。

以下、簡単に磁気ヘッド製造方法の新、旧工程の差のみ
を列記すると下記のようＫなる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明によればヘッドチップとカ
バーガラスおよびヘッドチップと７レームの接合部に特
殊ハンダを用いて結合することにより接着結合部のズレ
が防止でき、磁気ヘッド特性に歌合的な損失を与えるこ
とがない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を説明するヘッドチップの正
面図、ｗＥ２図は従来の磁気ヘッドの製造方法を説明す
るリードへノド斜視図、第３図、第４図は従来の樹脂接
着による磁気ヘッドのズレを説明する図、第５図（イ）
（ロ）（ハ）に）は従来の磁気ヘッドの製造工程を説明
する図である。 図にオイて、１ｉｌｔ磁気素子、１４はヘントチツブ、
１５は溝、１６は磁気テープを示す。 第１　閾 軍３Ｎ　　−，１耳 特開口ａＧ１−５７０２１（４） 第５闇 −（イ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
　　Ｏゴ）（ハ）　　　　　　　　　　　　（す ４、Ｘｋ→ａ　　　ａテ＝→９

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ヘッドチップとカバーガラスとフレームを接着して構成
   する磁気ヘッドの製造方法において、前記ヘッドチップ
   と前記カバーガラスの両端を無機物との接合可能な半田
   で接着し、その中央を接着剤で接着し、さらに該ヘッド
   チップを前記フレームに無機物との接合可能な半田で接
   着したことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。