JPS6148803A - カラ−フイルタアレイの製造方法 - Google Patents
カラ−フイルタアレイの製造方法Info
- Publication number
- JPS6148803A JPS6148803A JP59171875A JP17187584A JPS6148803A JP S6148803 A JPS6148803 A JP S6148803A JP 59171875 A JP59171875 A JP 59171875A JP 17187584 A JP17187584 A JP 17187584A JP S6148803 A JPS6148803 A JP S6148803A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gelatin
- color filter
- photoresist
- dye
- filter array
- Prior art date
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- Pending
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- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、カラーフィルタアレイの製造方法に関するも
のである。
のである。
従来例の構成とその問題点
カラーフィルタアレイは、撮像装置、表示装置などに用
いられるが、近年、固体撮像装置の開発が急速ニ進み、
カラーフィルタアレイに対する製造方法の簡略化が望ま
れている。また、表示装置においても、液晶を用いた表
示装置が開発され、カラー表示するためにカラーフィル
タアレイの製造方法が重要視されてきた。
いられるが、近年、固体撮像装置の開発が急速ニ進み、
カラーフィルタアレイに対する製造方法の簡略化が望ま
れている。また、表示装置においても、液晶を用いた表
示装置が開発され、カラー表示するためにカラーフィル
タアレイの製造方法が重要視されてきた。
以下に従来のカラーフィルタアレイの製造方法について
、図面を参照しながら説明を行う。
、図面を参照しながら説明を行う。
第１図ａ −Ｃは、従来のカラーフィルタアレイの製造
方法のうち２色フィルターの製造方法を工程順に示す断
面図である。まず、第１図ａのように、ガラス基板１上
に、感光性を有したゼラチン２を約１．０μｍ塗布し、
フィルターを必要とする箇所のバターニングを行なう。
方法のうち２色フィルターの製造方法を工程順に示す断
面図である。まず、第１図ａのように、ガラス基板１上
に、感光性を有したゼラチン２を約１．０μｍ塗布し、
フィルターを必要とする箇所のバターニングを行なう。
次に第１図すのように、バターニングされたゼラチン２
に染色を行ない、さらにゼラチン２が、次工程で行なう
染色により染色されないように非染色性光透過性膜とし
てのアクリル系樹脂３を約１．０μｍの厚さにコートす
る。ついで、第１図Ｃのように、アクリル系樹脂３上に
感光性を有したゼラチン４を約ｉ、ｏμｍｍさに塗布し
、このうち、フィルターを形成するのに必要とする箇所
を残し、バターニングを行ない、最後に、ゼラチン４の
染色を行う。
に染色を行ない、さらにゼラチン２が、次工程で行なう
染色により染色されないように非染色性光透過性膜とし
てのアクリル系樹脂３を約１．０μｍの厚さにコートす
る。ついで、第１図Ｃのように、アクリル系樹脂３上に
感光性を有したゼラチン４を約ｉ、ｏμｍｍさに塗布し
、このうち、フィルターを形成するのに必要とする箇所
を残し、バターニングを行ない、最後に、ゼラチン４の
染色を行う。
しかしながら、上記の製造方法では、カラーフィルター
の膜厚が、約２．０μｍとなってしまう。
の膜厚が、約２．０μｍとなってしまう。
したがって、微細なパターンが必要な場合では、斜めか
らの入射光はゼラチン４の色フィルターを通ったにもか
かわらず、ゼラチン３の色フィルターの下部へ廻り込み
、色誤差を生じる。各色フィルタの寸法が小さいほど廻
シ込みの影響が大きくなり、また非染色性膜を必要とす
るため、製造工程が多いという欠点を有していた。
らの入射光はゼラチン４の色フィルターを通ったにもか
かわらず、ゼラチン３の色フィルターの下部へ廻り込み
、色誤差を生じる。各色フィルタの寸法が小さいほど廻
シ込みの影響が大きくなり、また非染色性膜を必要とす
るため、製造工程が多いという欠点を有していた。
発明の目的
本発明は、色素受容層を一層だけで多色カラーフィルタ
アレイを構成し製造工程を簡略化することのできるカラ
ーフィルタアレイの製造方法を提供するものである。
アレイを構成し製造工程を簡略化することのできるカラ
ーフィルタアレイの製造方法を提供するものである。
発明の構成
本発明のカラーフィルタアレイの製造方法ハ、色素受容
層をなす有機材料の表面にプラズマ処理を施す工程をそ
なえた構成であシ、この構成によって、製造工程を簡略
へすることができるものである。
層をなす有機材料の表面にプラズマ処理を施す工程をそ
なえた構成であシ、この構成によって、製造工程を簡略
へすることができるものである。
実施例の説明
以下に本発明の一実施例について図面を参照しながら説
明する。
明する。
第２図ａ−ｅは本発明の一実施例における二色のカラー
フィルタアレイの製造方法を工程順に示す断面図である
。
フィルタアレイの製造方法を工程順に示す断面図である
。
まず、第２図ａのよっに、ガラス基板１上に、ゼラチン
６を塗布し、次にフォトレジスト６を塗布する。次に、
第２図すのように、カラーフィルターとして必要とする
箇所以外の７オトレジスト６をパターニングし、プラズ
マエッチを施し、ゼラチン６のうち不必要な部分を取り
去る。ついで、第２図Ｃのように、フォトレジスト６を
一旦全部除去し、次に新たにフォトレジストアを塗布し
、染色に必要な箇所のバターニングを行なう。続いてゼ
ラチン６のうち、フォトレジスト７で覆われていない箇
所に染色処理を行ない、これを第１の色素受容層８にす
る。さらに、第２図ｄのように、この段階で、上記ゼラ
チン５０表面をプラズマ処理する。そして、第２図ｅの
ように、フォトレジストアを除去し、さらに、２色目の
染料でもって、ゼラチン６を染色しこれを第２の色素受
容層９にする・これにより、２色フィルターを製造する
。
６を塗布し、次にフォトレジスト６を塗布する。次に、
第２図すのように、カラーフィルターとして必要とする
箇所以外の７オトレジスト６をパターニングし、プラズ
マエッチを施し、ゼラチン６のうち不必要な部分を取り
去る。ついで、第２図Ｃのように、フォトレジスト６を
一旦全部除去し、次に新たにフォトレジストアを塗布し
、染色に必要な箇所のバターニングを行なう。続いてゼ
ラチン６のうち、フォトレジスト７で覆われていない箇
所に染色処理を行ない、これを第１の色素受容層８にす
る。さらに、第２図ｄのように、この段階で、上記ゼラ
チン５０表面をプラズマ処理する。そして、第２図ｅの
ように、フォトレジストアを除去し、さらに、２色目の
染料でもって、ゼラチン６を染色しこれを第２の色素受
容層９にする・これにより、２色フィルターを製造する
。
本実施例で用いたプラズマ処理は、第１の色素受容層８
の有機物の表面のみで重合反応が起こる。
の有機物の表面のみで重合反応が起こる。
したがって、染料は、プラズマ処理された色素受容層８
へ入り込めず、このプラズマ処理後は、染色されない。
へ入り込めず、このプラズマ処理後は、染色されない。
第２図ｅの２色目の染色の際、ゼラチン８は、プラズマ
処理されているため、２色目の染料で染色されない。ま
た第２図すでのプラズマエッチの際、ゼラチン６の側面
は、プラズマ処理されているため、ゼラチン８，９の側
面は染色工程で染色されない。以上のように本実施例に
よれば、色素受容層にプラズマ処理を施すことにより、
単層の色素受容層で複数色フィルターが形成でき、また
、カラーフィルターの膜厚が約１．Ｑμｍの単層で、従
来のような非染色中間層をもたないものであることがら
光の廻り込みを抑えることができる。さらに、非染色層
を用いずに形成できるため、製造工程を簡略できる。な
お、３色以上のカラーフィルタアレイの場合においても
、フォトレジスト工程は、増えるが、色素受容層は、一
層だけで実現°できる。
処理されているため、２色目の染料で染色されない。ま
た第２図すでのプラズマエッチの際、ゼラチン６の側面
は、プラズマ処理されているため、ゼラチン８，９の側
面は染色工程で染色されない。以上のように本実施例に
よれば、色素受容層にプラズマ処理を施すことにより、
単層の色素受容層で複数色フィルターが形成でき、また
、カラーフィルターの膜厚が約１．Ｑμｍの単層で、従
来のような非染色中間層をもたないものであることがら
光の廻り込みを抑えることができる。さらに、非染色層
を用いずに形成できるため、製造工程を簡略できる。な
お、３色以上のカラーフィルタアレイの場合においても
、フォトレジスト工程は、増えるが、色素受容層は、一
層だけで実現°できる。
発明の効果
以上のように本発明は、有機材料を色素受容層とするカ
ラーフィルタアレイの製造工程で、色素受容層の表面に
プラズマ処理を施すことにより、単層の色素受容層で多
色カラーフィルタアレイを形成でき、製造性よく、高精
度のものが得られ、その実用的効果は犬なるものがある
。
ラーフィルタアレイの製造工程で、色素受容層の表面に
プラズマ処理を施すことにより、単層の色素受容層で多
色カラーフィルタアレイを形成でき、製造性よく、高精
度のものが得られ、その実用的効果は犬なるものがある
。
第１図は、従来のカラーフィルタアレイの製造方法を示
す工程順断面ス、第２図は、本発明の一実施例を示す工
程順断■図である。 １・・・・・・ガラス基板、２，４．５・・・・・・ゼ
ラチン、３・・・・・・アクリル系樹脂、６，７・・・
・・・フォトレジスト、８，９・・・・・・色素受容層
。
す工程順断面ス、第２図は、本発明の一実施例を示す工
程順断■図である。 １・・・・・・ガラス基板、２，４．５・・・・・・ゼ
ラチン、３・・・・・・アクリル系樹脂、６，７・・・
・・・フォトレジスト、８，９・・・・・・色素受容層
。
Claims (1)
- 色素受容層をなす有機材料の表面にプラズマ処理を施す
工程をそなえたカラーフィルタアレイの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171875A JPS6148803A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | カラ−フイルタアレイの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59171875A JPS6148803A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | カラ−フイルタアレイの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148803A true JPS6148803A (ja) | 1986-03-10 |
Family
ID=15931408
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59171875A Pending JPS6148803A (ja) | 1984-08-17 | 1984-08-17 | カラ−フイルタアレイの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148803A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288512A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-28 | Shiseido Co Ltd | 固型粉末化粧料 |
| JPH05173015A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-13 | Stanley Electric Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57173806A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of color filter |
-
1984
- 1984-08-17 JP JP59171875A patent/JPS6148803A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57173806A (en) * | 1981-04-20 | 1982-10-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Manufacture of color filter |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288512A (ja) * | 1988-09-27 | 1990-03-28 | Shiseido Co Ltd | 固型粉末化粧料 |
| JPH05173015A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-13 | Stanley Electric Co Ltd | カラーフィルターの製造方法 |
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