JPH03174102A - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
カラーフィルタの製造方法Info
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- JPH03174102A JPH03174102A JP1313752A JP31375289A JPH03174102A JP H03174102 A JPH03174102 A JP H03174102A JP 1313752 A JP1313752 A JP 1313752A JP 31375289 A JP31375289 A JP 31375289A JP H03174102 A JPH03174102 A JP H03174102A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、例えばカラーテレビカメラに使用されるカ
ラーフィルタの製造方法に関するものである。
ラーフィルタの製造方法に関するものである。
第３図は例えば特開昭６１−２２６７０２号公報に示さ
れた従来のカラーフィルタの製造方法を示す断面図であ
り、図において、１は固体撮像素子、２ａ〜２ｆは感光
画素、１１は例えば重クロム酸水溶液を含むゼラチンか
らなる被染色層、１２はマスク、１３ａ〜１３ｆは被染
色部、１４はポジ型感光性樹脂層、１５ａ〜１５ｆは２
着色染色部である。
れた従来のカラーフィルタの製造方法を示す断面図であ
り、図において、１は固体撮像素子、２ａ〜２ｆは感光
画素、１１は例えば重クロム酸水溶液を含むゼラチンか
らなる被染色層、１２はマスク、１３ａ〜１３ｆは被染
色部、１４はポジ型感光性樹脂層、１５ａ〜１５ｆは２
着色染色部である。
次に製造方法について説明する。第３図ａに示すように
、感光画素２が所定ピッチで配設された固体撮像素子１
上に、被染色層１１を回転塗布法により塗布する０次に
、第３図ｂ〜Ｃに示すようにマスク１２をセットして露
光・現像を行い、個々の感光画素２ａ〜２ｆ上に独立し
た被染色部のパターン１３ａ〜１３ｆを形成する。次に
、ポジ型感光性樹脂１４を塗布形成した後、写真製版に
より、今から染色しようとする被染色部１３ａ、 １３
ｂのみが露出するような開口部を前記ポジ形感光性樹脂
１４に形成する（第３図ｄ）。その後、染色液につける
ことにより前記工程により露出された被染色部１３ａ、
１３ｂのみが染色され、他の染色部１３ｃ〜１３ｆは
マスク（ポジ型感光性樹脂層１４）によって染料が遮ら
れ染色されない。なおこの染色作業の後、ポジ型感光性
樹脂層１４を一旦剥離する。そして、第３図ｅに示すよ
うに、さらにポジ型感光性樹脂層１４の開口部の位置を
変えて所定の回数染色作業を繰り返すことにより、所望
の色配列を持つカラーフィルタを完成することができる
（第３図ｆ〉。
、感光画素２が所定ピッチで配設された固体撮像素子１
上に、被染色層１１を回転塗布法により塗布する０次に
、第３図ｂ〜Ｃに示すようにマスク１２をセットして露
光・現像を行い、個々の感光画素２ａ〜２ｆ上に独立し
た被染色部のパターン１３ａ〜１３ｆを形成する。次に
、ポジ型感光性樹脂１４を塗布形成した後、写真製版に
より、今から染色しようとする被染色部１３ａ、 １３
ｂのみが露出するような開口部を前記ポジ形感光性樹脂
１４に形成する（第３図ｄ）。その後、染色液につける
ことにより前記工程により露出された被染色部１３ａ、
１３ｂのみが染色され、他の染色部１３ｃ〜１３ｆは
マスク（ポジ型感光性樹脂層１４）によって染料が遮ら
れ染色されない。なおこの染色作業の後、ポジ型感光性
樹脂層１４を一旦剥離する。そして、第３図ｅに示すよ
うに、さらにポジ型感光性樹脂層１４の開口部の位置を
変えて所定の回数染色作業を繰り返すことにより、所望
の色配列を持つカラーフィルタを完成することができる
（第３図ｆ〉。
従来のカラーフィルタの製造方法の場合、被染色部１３
ａ〜１３ｆのパターン形成を被染色層１１の解像性（例
えば、−船釣な被染色材料であるゼラチンでは３０−程
度が限界解像度である〉に依存しているため、近年固体
撮像素子に求められているような高解像度化への対応は
難しく、精密なパターン形成ができなかったり、パター
ンエツジのダレ等の原因によって、染色時マスクとなる
はずのポジ型感光性樹脂層１４が完全に役目をはたせず
、不必要な被染色部（例えば第３図ｄの工程における１
３ｃ）が染色されるなどの問題があった。
ａ〜１３ｆのパターン形成を被染色層１１の解像性（例
えば、−船釣な被染色材料であるゼラチンでは３０−程
度が限界解像度である〉に依存しているため、近年固体
撮像素子に求められているような高解像度化への対応は
難しく、精密なパターン形成ができなかったり、パター
ンエツジのダレ等の原因によって、染色時マスクとなる
はずのポジ型感光性樹脂層１４が完全に役目をはたせず
、不必要な被染色部（例えば第３図ｄの工程における１
３ｃ）が染色されるなどの問題があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、被染色層の解像性以上のパターンが形成でき
るとともに、完全に各被染色部を独立分離して、不必要
な被染色部が染色されることのないカラーフィルタの製
造方法を提供することを目的とする。
たもので、被染色層の解像性以上のパターンが形成でき
るとともに、完全に各被染色部を独立分離して、不必要
な被染色部が染色されることのないカラーフィルタの製
造方法を提供することを目的とする。
この発明に係るカラーフィルタの製造方法は、複数の感
光画素が配設された基板上に感光性樹脂を塗布した後、
写真製版により、前記感光画素が形成されていない領域
上に感光性樹脂のパターンを形成する工程と、 感光性を付与した被染色材を前記基板上に塗布した後、
写真製版及びエツチングを施して、前記感光性樹脂パタ
ーンの間であって感光画素の形成されている領域上に、
被染色部を埋設する形で形成する工程と、 前記分離独立した各被染色部のうち染色すべきもののみ
を露出させかつ他をマスキングする感光１′！樹脂パタ
ー〉・を形成した後に、染色を行い着色染色部を形成す
る１または２以上の染色工程と、前記感光性樹脂を一括
して剥離する工程とからなるものである。
光画素が配設された基板上に感光性樹脂を塗布した後、
写真製版により、前記感光画素が形成されていない領域
上に感光性樹脂のパターンを形成する工程と、 感光性を付与した被染色材を前記基板上に塗布した後、
写真製版及びエツチングを施して、前記感光性樹脂パタ
ーンの間であって感光画素の形成されている領域上に、
被染色部を埋設する形で形成する工程と、 前記分離独立した各被染色部のうち染色すべきもののみ
を露出させかつ他をマスキングする感光１′！樹脂パタ
ー〉・を形成した後に、染色を行い着色染色部を形成す
る１または２以上の染色工程と、前記感光性樹脂を一括
して剥離する工程とからなるものである。
この発明のカラーフィルタの製造方法においては、被染
色材の塗布前に感光性樹脂を感光画素の分離部上に形成
した後、被染色材を塗布しさらに写真製版及びエツチン
グを施すことにより、先に形成された感光性樹脂パター
ン間に埋め込まれるような形状の被染色部を形成する。
色材の塗布前に感光性樹脂を感光画素の分離部上に形成
した後、被染色材を塗布しさらに写真製版及びエツチン
グを施すことにより、先に形成された感光性樹脂パター
ン間に埋め込まれるような形状の被染色部を形成する。
そうすると、被染色材の解像性には依らず、より高解像
度の感光性樹脂の解像性にのみに依存した被染色部のパ
ターンが形成でき、かつ各被染色部が完全に分離独立し
た形状となるので、必要な被染色部のみを染色すること
ができる。
度の感光性樹脂の解像性にのみに依存した被染色部のパ
ターンが形成でき、かつ各被染色部が完全に分離独立し
た形状となるので、必要な被染色部のみを染色すること
ができる。
第１図ａｚｆはこの発明の一実施例に係るカラーフィル
タの製造方法を示す工程断面図であり、以下その製造工
程を詳細に説明する。
タの製造方法を示す工程断面図であり、以下その製造工
程を詳細に説明する。
まず、感光画素２ａ〜２ｆが所定ピッチで配設された固
体撮像素子１上にポジ型感光性樹脂層１４を塗布しく第
１図ａ）、写真製版技術によって、感光画素２ａ〜２ｆ
以外の領域上にポジ型感光性樹脂層１４のパターンを形
成する（第１図ｂ）。次に、感光性を付与した被染色層
１１（例えば、重クロム酸ナトリウムを加えたゼラチン
、カゼイン等）を塗布しく第１図ｃ）、写真製版技術に
よって感光画素２ａ〜２ｆ上にのみ被染色層１１が残る
ようにパターン形成を行う（第１図ｄ）。通常ポジ型感
光性樹脂層１４に比べて被染色層１１は解像度及びパタ
ーン形状共に劣るため（例えば、ポジ型感光性樹脂層１
４として東京応化製０ＦＰＲ−８００を使用した場合、
０．９−の解像性を有するが、被染色層１１として重ク
ロム酸ナトリウムを加えたゼラチンを使用した場合、３
．０ＩＪＪｌの解像性しか有さない。）、ポジ型感光性
樹脂層１４上にわずかに被染色部１３ａ−１３ｆのパタ
ーンが残る。このパターン残を除去するため、被染色部
１３をエツチング可能なガスく例えば重クロム酸ナトリ
ウム含有のゼラチンの場合、酸素、四塩化炭素等）を用
いて数秒から数十秒間エツチングを行うく第１図ｅ）。
体撮像素子１上にポジ型感光性樹脂層１４を塗布しく第
１図ａ）、写真製版技術によって、感光画素２ａ〜２ｆ
以外の領域上にポジ型感光性樹脂層１４のパターンを形
成する（第１図ｂ）。次に、感光性を付与した被染色層
１１（例えば、重クロム酸ナトリウムを加えたゼラチン
、カゼイン等）を塗布しく第１図ｃ）、写真製版技術に
よって感光画素２ａ〜２ｆ上にのみ被染色層１１が残る
ようにパターン形成を行う（第１図ｄ）。通常ポジ型感
光性樹脂層１４に比べて被染色層１１は解像度及びパタ
ーン形状共に劣るため（例えば、ポジ型感光性樹脂層１
４として東京応化製０ＦＰＲ−８００を使用した場合、
０．９−の解像性を有するが、被染色層１１として重ク
ロム酸ナトリウムを加えたゼラチンを使用した場合、３
．０ＩＪＪｌの解像性しか有さない。）、ポジ型感光性
樹脂層１４上にわずかに被染色部１３ａ−１３ｆのパタ
ーンが残る。このパターン残を除去するため、被染色部
１３をエツチング可能なガスく例えば重クロム酸ナトリ
ウム含有のゼラチンの場合、酸素、四塩化炭素等）を用
いて数秒から数十秒間エツチングを行うく第１図ｅ）。
このようにして、被染色部１３ａ〜１３ｂは互いに完全
に独立な構造となり、しかもそのパターンの側面はポジ
型感光性樹脂１４のパターン形状に依存するため、従来
に比べてテーバ部を持たない好ましい形状となる。
に独立な構造となり、しかもそのパターンの側面はポジ
型感光性樹脂１４のパターン形状に依存するため、従来
に比べてテーバ部を持たない好ましい形状となる。
次に、ポジ型感光性樹脂層１７を塗布し、第１色目（例
えば赤色）に染色したい被染色部１３ａ、 １３ｂのみ
が開口するように写真製版技術によりパターン形成を行
う（第■図ｆ）、そしてこの状態で第１回目の染色（例
えば赤色染色）を行い、第１色目の着色層１５ａ、 １
５ｂが形成される。このとき、染色したい被染色部１３
ａ、 １３ｂが露出されこの部分のみが染色されるが、
他の被染色部１３ｃ〜＋３ｆは周りを全てポジ型感光性
樹脂層１４及び１７で覆われているため染色されない。
えば赤色）に染色したい被染色部１３ａ、 １３ｂのみ
が開口するように写真製版技術によりパターン形成を行
う（第■図ｆ）、そしてこの状態で第１回目の染色（例
えば赤色染色）を行い、第１色目の着色層１５ａ、 １
５ｂが形成される。このとき、染色したい被染色部１３
ａ、 １３ｂが露出されこの部分のみが染色されるが、
他の被染色部１３ｃ〜＋３ｆは周りを全てポジ型感光性
樹脂層１４及び１７で覆われているため染色されない。
次に、さらにポジ型感光性樹脂層１８を塗布し、写真製
版によって、第２色目（例えば緑色）に染色したい被染
色部１３ｃ、 １３ｄが開口部となるようパターン形成
を行う。この写真製版時の露光の際、下層のポジ型感光
性樹脂層１７も同様に感光して被染色部１３ｃ、 １３
ｄ上は開口されるのである（第１図ｇ〉。そして、２回
目の染色（例えば緑色）を行い、染色したい被染色部１
３ｃ、 １３ｄのみを染色して着色染色部１５ｃ、 １
５ｄを形成する。また、３色目の染色が必要な場合、さ
らにポジ型感光性樹脂層１９を塗布し、２色目と同様の
手順をもって染色作業を行い着色染色部１５ｅ、 １５
ｆを形成する。すべての染色が終了した後、ポジ型感光
性樹脂＋４．１７，１８１９のみが可溶な溶剤く例えば
アセトン等）を使用して、固体撮像素子１上を覆ってい
るすべてのポジ型感光性樹脂層１４．１７．１８．１９
を除去しカラーフィルタを完成する（第１図ｉ）。
版によって、第２色目（例えば緑色）に染色したい被染
色部１３ｃ、 １３ｄが開口部となるようパターン形成
を行う。この写真製版時の露光の際、下層のポジ型感光
性樹脂層１７も同様に感光して被染色部１３ｃ、 １３
ｄ上は開口されるのである（第１図ｇ〉。そして、２回
目の染色（例えば緑色）を行い、染色したい被染色部１
３ｃ、 １３ｄのみを染色して着色染色部１５ｃ、 １
５ｄを形成する。また、３色目の染色が必要な場合、さ
らにポジ型感光性樹脂層１９を塗布し、２色目と同様の
手順をもって染色作業を行い着色染色部１５ｅ、 １５
ｆを形成する。すべての染色が終了した後、ポジ型感光
性樹脂＋４．１７，１８１９のみが可溶な溶剤く例えば
アセトン等）を使用して、固体撮像素子１上を覆ってい
るすべてのポジ型感光性樹脂層１４．１７．１８．１９
を除去しカラーフィルタを完成する（第１図ｉ）。
なお上記実施例では、染色作業の際マスクとなるポジ型
感光性樹脂層＋７．１８．１９は、それぞれ被染色部１
３ａ、 １３ｂ又は１３ｃ、 １３ｄ、又は１３ｅ、
１３ｆを完全に露出させるようなパターン形状となって
いるが、第２図に示すように被染色部１３ａ、 １３ｂ
の一部（約り以上）を露出させれば良い。なお、露出部
がｈ以下であると着色したとき染めムラが生じカラーフ
ィルタの特性に影響する。
感光性樹脂層＋７．１８．１９は、それぞれ被染色部１
３ａ、 １３ｂ又は１３ｃ、 １３ｄ、又は１３ｅ、
１３ｆを完全に露出させるようなパターン形状となって
いるが、第２図に示すように被染色部１３ａ、 １３ｂ
の一部（約り以上）を露出させれば良い。なお、露出部
がｈ以下であると着色したとき染めムラが生じカラーフ
ィルタの特性に影響する。
また、上記実施例では被染色部１３ａ〜１３ｆをガスで
エツチングしているが、アルカリ溶液等でエツチングし
てもよい。
エツチングしているが、アルカリ溶液等でエツチングし
てもよい。
また、ポジ型感光性樹脂層１４．１７．１８．１９を一
括して溶剤で剥離しているが、着色染色部１５ａ〜１５
ｆに大きな影響を与えない限り、ガスを用いてエツチン
グして剥離する等色々な手段が考えられる。
括して溶剤で剥離しているが、着色染色部１５ａ〜１５
ｆに大きな影響を与えない限り、ガスを用いてエツチン
グして剥離する等色々な手段が考えられる。
また、染色は２〜３回のみではなく２回以上なら何回繰
り返しても良い。
り返しても良い。
また、上記実施例ではカラーフィルタを形成する基板と
して固体撮像素子１を使用しているが、基板として他の
素子を遺り込んだシリコン基板、またガラス基板等にも
適用することができ、その場合上記実施例と同様の効果
を奏する。
して固体撮像素子１を使用しているが、基板として他の
素子を遺り込んだシリコン基板、またガラス基板等にも
適用することができ、その場合上記実施例と同様の効果
を奏する。
以上のようにこの発明によれば、解像度の高い感光性樹
脂によりパターンを形成した後、被染色材を埋め込むよ
うに感光画素領域上に形成し、その後染色作業を行うの
で、色再現精度が高くて高解像度を有するカラーフィル
タが形成できる効果がある。
脂によりパターンを形成した後、被染色材を埋め込むよ
うに感光画素領域上に形成し、その後染色作業を行うの
で、色再現精度が高くて高解像度を有するカラーフィル
タが形成できる効果がある。
第１図ａ〜ｉはこの発明の一実施例によるカラーフィル
タの製造方法を示す工程断面図、第２図はこの発明の他
の実施例を示すカラーフィルタの一製遺工程断面図、第
３図ａ〜ｆは従来のカラーフィルタの製造方法を示す工
程断面図である。 図中、１は固体撮像素子、２ａ〜２ｆは感光画素、１１
は被染色層、１２はマスク、１３ａ−１３ｆは被染色部
、１４、１？、 １８．１９はポジ型感光性樹脂層、１
５ａ、 １５ｂは第１色目の着色染色部、１５ｃ、 １
５ｄは第２色目の着色染色部、１５ｅ、 １５ｆは第３
色目の着色染色部である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
タの製造方法を示す工程断面図、第２図はこの発明の他
の実施例を示すカラーフィルタの一製遺工程断面図、第
３図ａ〜ｆは従来のカラーフィルタの製造方法を示す工
程断面図である。 図中、１は固体撮像素子、２ａ〜２ｆは感光画素、１１
は被染色層、１２はマスク、１３ａ−１３ｆは被染色部
、１４、１？、 １８．１９はポジ型感光性樹脂層、１
５ａ、 １５ｂは第１色目の着色染色部、１５ｃ、 １
５ｄは第２色目の着色染色部、１５ｅ、 １５ｆは第３
色目の着色染色部である。 なお、図中同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数の感光画素を配設形成した基板上の、前記感光画素
が形成されていない領域上に、感光性樹脂のパターンを
形成する工程と、 感光性を付与した被染色材を前記基板上に塗布した後、
この被染色材に写真製版及びエッチングを施し前記感光
画素の形成されている真上に被染色部を形成する工程と
、 前記各被染色部のうち染色すべきもののみを露出させか
つ他をマスキングする感光性樹脂パターンを形成した後
に、染色を行い着色染色部を形成する１または２以上の
染色工程と、 前記感光性樹脂を一括して剥離する工程とからなるカラ
ーフィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1313752A JPH03174102A (ja) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | カラーフィルタの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1313752A JPH03174102A (ja) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | カラーフィルタの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03174102A true JPH03174102A (ja) | 1991-07-29 |
Family
ID=18045110
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1313752A Pending JPH03174102A (ja) | 1989-12-01 | 1989-12-01 | カラーフィルタの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03174102A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10289991A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Toppan Printing Co Ltd | リニア型カラー固体撮像素子 |
-
1989
- 1989-12-01 JP JP1313752A patent/JPH03174102A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10289991A (ja) * | 1997-04-15 | 1998-10-27 | Toppan Printing Co Ltd | リニア型カラー固体撮像素子 |
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