JPS6147665B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6147665B2 JPS6147665B2 JP57143597A JP14359782A JPS6147665B2 JP S6147665 B2 JPS6147665 B2 JP S6147665B2 JP 57143597 A JP57143597 A JP 57143597A JP 14359782 A JP14359782 A JP 14359782A JP S6147665 B2 JPS6147665 B2 JP S6147665B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive
- support surface
- precision
- top surface
- state
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
- B24B37/27—Work carriers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は支持面上に接着剤上面を水平に保持
し、同接着剤を加熱凝縮して接着剤上面水準を下
降し、その状態において原材料を接着剤上面に接
着し、同材料を加工することを特徴とする精密加
工法に関するものであつてシリコンウエハーその
他の原材料を機械的に精密加工することを目的と
するものである。
し、同接着剤を加熱凝縮して接着剤上面水準を下
降し、その状態において原材料を接着剤上面に接
着し、同材料を加工することを特徴とする精密加
工法に関するものであつてシリコンウエハーその
他の原材料を機械的に精密加工することを目的と
するものである。
本発明を図面に示す実施例について説明すると
機枠に回転台盤１を設け同台盤１の支持面２（台
面）に対面する面３を有する回転盤４を昇降調節
自在に設けてなる仕上盤５において、上記支持面
２上に可削性環５を載置し、同環５内に一定量に
計量した熱可塑性合成樹脂接着剤６に溶剤を添加
して容量を増加させた溶液を収容し支持面２に附
着させる。この附着力のため流出することはない
から上記可削性環５は必ずしも必要ではない。こ
のようにした接着剤６の表面６ａは可削性環５に
接する部分又は支持面２と同接着剤溶液との境界
部分を除いて同溶液の表面張力によつて水平面を
形成する。この状態において同接着剤６を第１図
矢印方向から加熱（加熱温度約120℃）すると、
同接着剤６は揮発分が蒸発して厚さ約15μから約
２μ程度に凝縮し表面６ａは水平面を保持したま
ま第３図表面６ｂまで下降するものである。この
状態において下降表面６ｂ上にシリコンウエハー
その他の原材料７を接着させることが出来る。そ
の後回転盤４を下降させ面３を同材料７の表面に
圧接し同表面を研摩し同材料７を仕上加工するも
のである。尚図中８で示すものは回転台盤１およ
び回転盤４の回転軸である。
機枠に回転台盤１を設け同台盤１の支持面２（台
面）に対面する面３を有する回転盤４を昇降調節
自在に設けてなる仕上盤５において、上記支持面
２上に可削性環５を載置し、同環５内に一定量に
計量した熱可塑性合成樹脂接着剤６に溶剤を添加
して容量を増加させた溶液を収容し支持面２に附
着させる。この附着力のため流出することはない
から上記可削性環５は必ずしも必要ではない。こ
のようにした接着剤６の表面６ａは可削性環５に
接する部分又は支持面２と同接着剤溶液との境界
部分を除いて同溶液の表面張力によつて水平面を
形成する。この状態において同接着剤６を第１図
矢印方向から加熱（加熱温度約120℃）すると、
同接着剤６は揮発分が蒸発して厚さ約15μから約
２μ程度に凝縮し表面６ａは水平面を保持したま
ま第３図表面６ｂまで下降するものである。この
状態において下降表面６ｂ上にシリコンウエハー
その他の原材料７を接着させることが出来る。そ
の後回転盤４を下降させ面３を同材料７の表面に
圧接し同表面を研摩し同材料７を仕上加工するも
のである。尚図中８で示すものは回転台盤１およ
び回転盤４の回転軸である。
従来支持面２上に接着剤をスプレイ法により塗
布し或は接着剤を支持面２上に滴下し支持面２を
回転して遠心力で拡散し同接着剤の厚さを薄化し
たが、何れも接着剤の量が微小であるため計量精
度が不良でありかつ接着剤の表面を水平に保持し
難く表面に接着させるシリコンウエハー等の薄材
の精密加工に際し水平保持精度を向上し難い欠陥
があつた。
布し或は接着剤を支持面２上に滴下し支持面２を
回転して遠心力で拡散し同接着剤の厚さを薄化し
たが、何れも接着剤の量が微小であるため計量精
度が不良でありかつ接着剤の表面を水平に保持し
難く表面に接着させるシリコンウエハー等の薄材
の精密加工に際し水平保持精度を向上し難い欠陥
があつた。
本発明は上記欠陥に鑑みなされたものであつ
て、本発明は上述のように支持面上に接着剤上面
を水平に保持し、同接着剤を加熱凝縮して接着剤
上面水準を下降し、その状態において原材料を接
着剤上面に接着し、同材料を加工することを特徴
とする精密加工法であるから、従来のスプレイ法
や滴下拡散法と異り使用する接着剤６の量が比較
的大でかつこれを加熱凝縮して厚さを薄化するた
めその計量精度を著しく向上することが出来る
し、かつ表面を水平に保持し得て同表面に接着さ
せるシリコンウエハー等の薄原材料の精密加工に
際し水平保持精度を向上し加工精度を著しく向上
し得る効果がある。
て、本発明は上述のように支持面上に接着剤上面
を水平に保持し、同接着剤を加熱凝縮して接着剤
上面水準を下降し、その状態において原材料を接
着剤上面に接着し、同材料を加工することを特徴
とする精密加工法であるから、従来のスプレイ法
や滴下拡散法と異り使用する接着剤６の量が比較
的大でかつこれを加熱凝縮して厚さを薄化するた
めその計量精度を著しく向上することが出来る
し、かつ表面を水平に保持し得て同表面に接着さ
せるシリコンウエハー等の薄原材料の精密加工に
際し水平保持精度を向上し加工精度を著しく向上
し得る効果がある。
第１図は本発明の精密加工法を示す正面図、第
２図は回転台盤の平面図、第３図は第１図の一部
拡大図である。 ２……支持面、６……接着剤、６ａ，６ｂ……
接着面、７……原材料。
２図は回転台盤の平面図、第３図は第１図の一部
拡大図である。 ２……支持面、６……接着剤、６ａ，６ｂ……
接着面、７……原材料。
Claims (1)
- １ 支持面上に接着剤上面を水平に保持し、同接
着剤を加熱凝縮して接着剤上面水準を下降し、そ
の状態において原材料を接着剤上面に接着し、同
材料を加工することを特徴とする精密加工法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57143597A JPS5937044A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 精密加工法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57143597A JPS5937044A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 精密加工法 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59205193A Division JPS6099559A (ja) | 1984-09-29 | 1984-09-29 | 精密加工法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5937044A JPS5937044A (ja) | 1984-02-29 |
| JPS6147665B2 true JPS6147665B2 (ja) | 1986-10-20 |
Family
ID=15342418
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57143597A Granted JPS5937044A (ja) | 1982-08-17 | 1982-08-17 | 精密加工法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5937044A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6099559A (ja) * | 1984-09-29 | 1985-06-03 | Yoshiaki Nagaura | 精密加工法 |
-
1982
- 1982-08-17 JP JP57143597A patent/JPS5937044A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5937044A (ja) | 1984-02-29 |
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