JPS6147069U - 処理物の移送装置 - Google Patents

処理物の移送装置

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Publication number
JPS6147069U
JPS6147069U JP12974684U JP12974684U JPS6147069U JP S6147069 U JPS6147069 U JP S6147069U JP 12974684 U JP12974684 U JP 12974684U JP 12974684 U JP12974684 U JP 12974684U JP S6147069 U JPS6147069 U JP S6147069U
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JP
Japan
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workpiece
arm
vacuum chamber
claw body
claw
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Application number
JP12974684U
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JPH0623563Y2 (ja
Inventor
慎一 福士
Original Assignee
株式会社島津製作所
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す正面図、第２図は棚と
ワークを省略した第１図の要部右側面図、第３図は第２
真空室を加えた第１図の要部平面図であり、上手部はワ
ークが第２一真空室に入つた状態を示し、第４，５図は
各々要部拡大斜視図である。 Ｗ−・・ワーク、Ａ・・・第１真空室、Ｂ・・・第２真
空室、１０・・・ワーク上昇部、１２・・・上昇体、１
３・・・棚、２０・・・ワーク把持部、２１・・・移動
アーム、２３・・・爪体、３ロ・・・爪作動部、４０・
・・移動アーム支持部、４１・・・アーム受、４３・・
・ガイドローラ、５叶・・移動アーム昇降部、５１・・
・ナット部材、５２・・・ねじ棒、６０・・・移動アー
ム移動部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 第１真空室Ａに設けられ、多数の水平棚１３にワークＷ
    が載せられて上昇体１２を介して上昇するようにしたワ
    ーク上昇部１０と、第１真空室Ａと第２真空室Ｂ間を往
    復動ずる水平移動アーム２１に爪体２３がワークＷを保
    持分離するように回動自在に設けられたワニク把持部２
    ０と、下方より上昇してきたワークＷに当る直前に前記
    爪体２３はワークＷより下側に位置し、再びワークＷが
    僅かに上昇した時点で爪体２３はワークを保持し、次い
    で爪体２３が棚１３から持上げるようにした爪作動部３
    ０と、アーム受４１に設けられたガイドローラ４３に移
    動アーム２１が案内されるようにした移動アーム支持部
    ４０と、ナット部材５１と上下方向のねじ棒５２を持つ
    移動アーム昇降部５０と、移動アーム２１を第１第２真
    空室間を往復動させる移動アーム移動部６０とを含むこ
    とを特徴とする処理物の移送装置。
JP1984129746U 1984-08-25 1984-08-25 処理物の移送装置 Expired - Lifetime JPH0623563Y2 (ja)

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JP1984129746U JPH0623563Y2 (ja) 1984-08-25 1984-08-25 処理物の移送装置

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Publication Number Publication Date
JPS6147069U true JPS6147069U (ja) 1986-03-29
JPH0623563Y2 JPH0623563Y2 (ja) 1994-06-22

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ID=30688363

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63153271A (ja) * 1986-12-16 1988-06-25 Ulvac Corp 真空処理装置
JPS63153270A (ja) * 1986-12-15 1988-06-25 Ulvac Corp 真空槽内における基板交換装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS4852683A (ja) * 1971-11-08 1973-07-24
JPS5794338A (en) * 1980-12-04 1982-06-11 Tdk Corp Vapor deposition device

Patent Citations (2)

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JPS63153271A (ja) * 1986-12-16 1988-06-25 Ulvac Corp 真空処理装置

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JPH0623563Y2 (ja) 1994-06-22

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