JPS6339161U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6339161U JPS6339161U JP12968286U JP12968286U JPS6339161U JP S6339161 U JPS6339161 U JP S6339161U JP 12968286 U JP12968286 U JP 12968286U JP 12968286 U JP12968286 U JP 12968286U JP S6339161 U JPS6339161 U JP S6339161U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- cylinder
- claw
- jig
- vacuum cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 7
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は本考案の一例による真空蒸着装置の立
面図、第2図はその一部を省略した平面図、第3
図はその端面図、第4図は治具台車とシリンダ装
置の作動軸との連結部の側面図、第5図は別の状
態を示す同連結部の側面図、そして第6図はさら
に別の状態を示す同連結部の側面図である。 図中、1:真空胴、2:架台、4:治具台車、
10:シリンダ装置、11:作動軸、12:爪、
13:衝合部材、14:貫通孔、15:突出部、
16:爪上昇部材、18:止め金。
面図、第2図はその一部を省略した平面図、第3
図はその端面図、第4図は治具台車とシリンダ装
置の作動軸との連結部の側面図、第5図は別の状
態を示す同連結部の側面図、そして第6図はさら
に別の状態を示す同連結部の側面図である。 図中、1:真空胴、2:架台、4:治具台車、
10:シリンダ装置、11:作動軸、12:爪、
13:衝合部材、14:貫通孔、15:突出部、
16:爪上昇部材、18:止め金。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上端が閉じた円筒からなる真空胴と、その
下方位置の両側に配置され且つ架台上に水平移動
可能に設けられた一対の治具台車を含み、各治具
台車は被処理物を回転自在に装着し且つ前記真空
胴の下に移動されて前記真空胴の下降または前記
治具台車の上昇により真空胴と密封状に係合した
状態で真空蒸着が行なわれる真空蒸着装置におい
て、 前記治具台車を前記真空胴の下に移動するため
前記架台上に設けられた一対のシリンダ装置と、
前記シリンダ装置の作動軸の先端に備えられた上
下可動の爪およびそれより手前の衝合部材と、前
記治具台車の下面に在つて前記爪を通過させる貫
通孔の在る突出部と、前記架台にあつて前記爪を
適宜上昇する部材を含み、前記治具台車はその突
出部と前記衝合部材との衝合により前記真空胴の
下に向かつて前進され且つ前記爪の後端との衝合
により引き戻されることを特徴とする真空蒸着装
置。 (2) 前記爪を上昇する部材はロツドであつて前
記突出部に設けられた止め具の孔を貫通して前記
爪に衝合する実用新案登録請求の範囲第1項記載
の真空蒸着装置。 (3) 前記爪はその前端で前記作動軸の所定位置
に枢止されている実用新案登録請求の範囲第1項
記載の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12968286U JPS6339161U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP12968286U JPS6339161U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6339161U true JPS6339161U (ja) | 1988-03-14 |
Family
ID=31026471
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP12968286U Pending JPS6339161U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6339161U (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0288765A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空処理装置 |
JPH02106456U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP12968286U patent/JPS6339161U/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0288765A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空処理装置 |
JPH02106456U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 |
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