JPS6339161U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6339161U JPS6339161U JP12968286U JP12968286U JPS6339161U JP S6339161 U JPS6339161 U JP S6339161U JP 12968286 U JP12968286 U JP 12968286U JP 12968286 U JP12968286 U JP 12968286U JP S6339161 U JPS6339161 U JP S6339161U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- vacuum
- cylinder
- claw
- jig
- vacuum cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 7
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 claims description 5
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 3
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図は本考案の一例による真空蒸着装置の立
面図、第２図はその一部を省略した平面図、第３
図はその端面図、第４図は治具台車とシリンダ装
置の作動軸との連結部の側面図、第５図は別の状
態を示す同連結部の側面図、そして第６図はさら
に別の状態を示す同連結部の側面図である。 図中、１：真空胴、２：架台、４：治具台車、
１０：シリンダ装置、１１：作動軸、１２：爪、
１３：衝合部材、１４：貫通孔、１５：突出部、
１６：爪上昇部材、１８：止め金。
面図、第２図はその一部を省略した平面図、第３
図はその端面図、第４図は治具台車とシリンダ装
置の作動軸との連結部の側面図、第５図は別の状
態を示す同連結部の側面図、そして第６図はさら
に別の状態を示す同連結部の側面図である。 図中、１：真空胴、２：架台、４：治具台車、
１０：シリンダ装置、１１：作動軸、１２：爪、
１３：衝合部材、１４：貫通孔、１５：突出部、
１６：爪上昇部材、１８：止め金。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 上端が閉じた円筒からなる真空胴と、その
下方位置の両側に配置され且つ架台上に水平移動
可能に設けられた一対の治具台車を含み、各治具
台車は被処理物を回転自在に装着し且つ前記真空
胴の下に移動されて前記真空胴の下降または前記
治具台車の上昇により真空胴と密封状に係合した
状態で真空蒸着が行なわれる真空蒸着装置におい
て、 前記治具台車を前記真空胴の下に移動するため
前記架台上に設けられた一対のシリンダ装置と、
前記シリンダ装置の作動軸の先端に備えられた上
下可動の爪およびそれより手前の衝合部材と、前
記治具台車の下面に在つて前記爪を通過させる貫
通孔の在る突出部と、前記架台にあつて前記爪を
適宜上昇する部材を含み、前記治具台車はその突
出部と前記衝合部材との衝合により前記真空胴の
下に向かつて前進され且つ前記爪の後端との衝合
により引き戻されることを特徴とする真空蒸着装
置。 (2) 前記爪を上昇する部材はロツドであつて前
記突出部に設けられた止め具の孔を貫通して前記
爪に衝合する実用新案登録請求の範囲第１項記載
の真空蒸着装置。 (3) 前記爪はその前端で前記作動軸の所定位置
に枢止されている実用新案登録請求の範囲第１項
記載の真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12968286U JPS6339161U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12968286U JPS6339161U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6339161U true JPS6339161U (ja) | 1988-03-14 |
Family
ID=31026471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12968286U Pending JPS6339161U (ja) | 1986-08-26 | 1986-08-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6339161U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288765A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空処理装置 |
| JPH02106456U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 |
-
1986
- 1986-08-26 JP JP12968286U patent/JPS6339161U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0288765A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Tokuda Seisakusho Ltd | 真空処理装置 |
| JPH02106456U (ja) * | 1989-02-08 | 1990-08-23 |
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