JPS6142819A - 透明導電性フイルム - Google Patents
透明導電性フイルムInfo
- Publication number
- JPS6142819A JPS6142819A JP16156384A JP16156384A JPS6142819A JP S6142819 A JPS6142819 A JP S6142819A JP 16156384 A JP16156384 A JP 16156384A JP 16156384 A JP16156384 A JP 16156384A JP S6142819 A JPS6142819 A JP S6142819A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- liquid crystal
- transparent conductive
- crystal display
- conductive film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Laminated Bodies (AREA)
- Non-Insulated Conductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、透明導電フィルムに関し、更に詳細にはガス
バリアー性に優れた液晶表示用透明導電性フィルムに関
するものである。
バリアー性に優れた液晶表示用透明導電性フィルムに関
するものである。
従来より液晶表示用透明導電体のペース材料としては、
ガラスが用いられているが、ガラスペースの場合、割れ
易（Ｑ、５ｍｍ以下の厚さになると、その傾向は顕著と
なシ、ガラスペース自体の製造が困難になると共に、液
晶表示素子に加工する工程においても、取扱いが難しく
、生産性の低下をきたしている。しかるに、液晶表示素
子においては、その表示品質の向上の為にペース材料の
薄肉化が望まれており、また低電圧駆動、低消費電力の
特長を生かした携帯用表示装置への展開においても液晶
表示素子自体の薄肉化が重要な開発目標となっている。
ガラスが用いられているが、ガラスペースの場合、割れ
易（Ｑ、５ｍｍ以下の厚さになると、その傾向は顕著と
なシ、ガラスペース自体の製造が困難になると共に、液
晶表示素子に加工する工程においても、取扱いが難しく
、生産性の低下をきたしている。しかるに、液晶表示素
子においては、その表示品質の向上の為にペース材料の
薄肉化が望まれており、また低電圧駆動、低消費電力の
特長を生かした携帯用表示装置への展開においても液晶
表示素子自体の薄肉化が重要な開発目標となっている。
その有力な解決手段として、透明高分子フィルムをガラ
スペースの代りに用いる試みが種々性なわれている。一
方、高分子フィルムをペースとして用いる場合、透明性
、機械的強度、耐熱性、価格において、延伸配向したポ
リエチレングリコールテレフタレート樹脂フィルム（以
後１’ＥＴフイルムと称する）が好適と考えられ、今ま
でにＰＨＴフィルムをペース材料とした透明導電体を用
いて液晶表示素子を作成した報告がなされている。しか
し、今だにＰＥＴフィルムをペース材料として構成され
た液晶表示素子は商品化されていない。その理由は、Ｐ
ＥＴフィルムをペース材料として構成された液晶表示素
子は、ガラスをペース材料として構成されたものよシ表
示品質が劣る為でめる。詳しくは、表示部分の一部がか
すれたシ、″非表示部分にシミが発生したりする現象で
、この欠陥は、経時的に増大する傾向にｓｂ、液晶表示
素子の信頼性を著しくそこなうものでおる。
スペースの代りに用いる試みが種々性なわれている。一
方、高分子フィルムをペースとして用いる場合、透明性
、機械的強度、耐熱性、価格において、延伸配向したポ
リエチレングリコールテレフタレート樹脂フィルム（以
後１’ＥＴフイルムと称する）が好適と考えられ、今ま
でにＰＨＴフィルムをペース材料とした透明導電体を用
いて液晶表示素子を作成した報告がなされている。しか
し、今だにＰＥＴフィルムをペース材料として構成され
た液晶表示素子は商品化されていない。その理由は、Ｐ
ＥＴフィルムをペース材料として構成された液晶表示素
子は、ガラスをペース材料として構成されたものよシ表
示品質が劣る為でめる。詳しくは、表示部分の一部がか
すれたシ、″非表示部分にシミが発生したりする現象で
、この欠陥は、経時的に増大する傾向にｓｂ、液晶表示
素子の信頼性を著しくそこなうものでおる。
本発明はかかる欠点を改良し、信頼性の高い液晶表示素
子をＰＥＴフィルムベースにょシ得んとして研究した結
果ＰＥＴフィルムの片面もしくは両面に、透明金属酸化
物層を設けるととＫよシ、欠陥のない信頼性の高い液晶
表示素子が得られるとの知見を得、本発明を完成するに
至ったものである。
子をＰＥＴフィルムベースにょシ得んとして研究した結
果ＰＥＴフィルムの片面もしくは両面に、透明金属酸化
物層を設けるととＫよシ、欠陥のない信頼性の高い液晶
表示素子が得られるとの知見を得、本発明を完成するに
至ったものである。
本発明は延伸配向したポリエチレングリコールテレフタ
レート樹脂フィルムの片面もしくは両面に、透明金属酸
化物層を設けた積層フィルムの少なくとも片面上に透明
導電性を有する被膜を形成した透明導電性フィルムであ
る。
レート樹脂フィルムの片面もしくは両面に、透明金属酸
化物層を設けた積層フィルムの少なくとも片面上に透明
導電性を有する被膜を形成した透明導電性フィルムであ
る。
本発明に用いられるＰＥＴフィルムとしては、一般的な
ＰＥＴ ７ イルムでもさしつかえはないが、好ましく
は添加剤を制限して透明性を高め、ヒートセット・アニ
ール条件において寸法安定性を向上させたＰＥＴ ７４
ルムが適している。また、偏光板を用いる方式の液晶表
示素子（例えば、ツィステッドネマチック方式等）にお
いては偏光板との光軸合せの容易さの点で、−軸延伸に
よシ得られたＰＥＴフィルムが適している。ＰＥＴフィ
ルムの厚みは、液晶表示素子の形状保持の為には２５μ
以上が好ましく、また、表示品質や薄肉化の為には５０
０μ以下であることが好ましい。ＰＥＴフィルムの片面
もしくは両面に設けられる透明金属酸化物層の組成とし
ては８ｉ０．８ｉ０．、Ｔｉｅ、、ＺｒＯ，、Ａ６０３
、Ｔａ、Ｏ，、Ｎｂ！Ｏ，の群から少なくとも１種が選
ばれる。
ＰＥＴ ７ イルムでもさしつかえはないが、好ましく
は添加剤を制限して透明性を高め、ヒートセット・アニ
ール条件において寸法安定性を向上させたＰＥＴ ７４
ルムが適している。また、偏光板を用いる方式の液晶表
示素子（例えば、ツィステッドネマチック方式等）にお
いては偏光板との光軸合せの容易さの点で、−軸延伸に
よシ得られたＰＥＴフィルムが適している。ＰＥＴフィ
ルムの厚みは、液晶表示素子の形状保持の為には２５μ
以上が好ましく、また、表示品質や薄肉化の為には５０
０μ以下であることが好ましい。ＰＥＴフィルムの片面
もしくは両面に設けられる透明金属酸化物層の組成とし
ては８ｉ０．８ｉ０．、Ｔｉｅ、、ＺｒＯ，、Ａ６０３
、Ｔａ、Ｏ，、Ｎｂ！Ｏ，の群から少なくとも１種が選
ばれる。
金属酸化物層を形成する方法としては、真空蒸着法、ス
パッタリング法、イオンブレーティング法、プラズマＣ
ＶＤ法等の薄膜形成技術を使うことができる。
パッタリング法、イオンブレーティング法、プラズマＣ
ＶＤ法等の薄膜形成技術を使うことができる。
金属酸化物層の厚さは、実験的に５０Ａ以上で効果が現
われることが見い出された。好ましくは２００八以上で
ある。また、ＰＥＴフィルムベースであることから屈曲
させた用途や取シ扱いが予測され、その為には、金属酸
化物層の耐屈曲性において５０００Ａ以下であることが
望まし込。
われることが見い出された。好ましくは２００八以上で
ある。また、ＰＥＴフィルムベースであることから屈曲
させた用途や取シ扱いが予測され、その為には、金属酸
化物層の耐屈曲性において５０００Ａ以下であることが
望まし込。
金属酸化物層を片面もしくは両面に設けられたｐｗ’ｒ
フィルムには、液晶表示素子として液晶物質に電界を与
える為の透明導電性を有する被膜が設けられる。この被
膜となる透明導電体は、従来から知られている酸化イン
ジウム、酸化スズ、酸化カドミウム、酸化アンチモンを
用いることができる。これらは単体として用いても、あ
るいは二種以上の複合酸化物として用いられてもよい。
フィルムには、液晶表示素子として液晶物質に電界を与
える為の透明導電性を有する被膜が設けられる。この被
膜となる透明導電体は、従来から知られている酸化イン
ジウム、酸化スズ、酸化カドミウム、酸化アンチモンを
用いることができる。これらは単体として用いても、あ
るいは二種以上の複合酸化物として用いられてもよい。
一般には、Ｉ、Ｔ、０．と称される５〜１５ｗｔ％の酸
化スズを含んだ酸化インジウムを主体とする複合酸化物
が用いられる。
化スズを含んだ酸化インジウムを主体とする複合酸化物
が用いられる。
透明導電体を形成する方法は、真空蒸着法、スパッタリ
ング法、イオンブレーティング法、プラズマＣＶＤ法等
の薄膜形成技術を使うことができる。
ング法、イオンブレーティング法、プラズマＣＶＤ法等
の薄膜形成技術を使うことができる。
透明４重体の導電性は、液晶表示素子の電極に用いる為
には１０００Ω／口以下であることが望ましい。
には１０００Ω／口以下であることが望ましい。
このようにして得られたＰ１！２Ｔ フィルムの片面も
しくは両面に、透明金属酸化物層を設けた積層フィ７レ
ムの少なくとも片面上に透明導電性を有する被膜を形成
した透明導電性フィルムを用いて液晶表示素子を形成し
た場合、透明金属酸化物層を設けない透明導電性フィル
ムを用いて液晶表示素子を形成した場合に比して、その
液晶表示素子の表示品質および信頼性において著しい改
善がなされた。
しくは両面に、透明金属酸化物層を設けた積層フィ７レ
ムの少なくとも片面上に透明導電性を有する被膜を形成
した透明導電性フィルムを用いて液晶表示素子を形成し
た場合、透明金属酸化物層を設けない透明導電性フィル
ムを用いて液晶表示素子を形成した場合に比して、その
液晶表示素子の表示品質および信頼性において著しい改
善がなされた。
改善される理由については、ＰＥＴフィルムをペース材
料とすると、ガラスをペース材料とする場合に比して、
液晶表示素子中の液晶物質に外部からペース材料を透過
して水蒸気や空気が混入する為、液晶表示素子内部に気
泡、水泡が生じたシ、液晶物質の分解や配向制御機能が
阻害されることで、従来の方法では、表示品質や信頼性
が劣っていたのが、本発明による透明金属酸化物層によ
って、水蒸気や空気の透過を遮断されるものと理解され
る。。
料とすると、ガラスをペース材料とする場合に比して、
液晶表示素子中の液晶物質に外部からペース材料を透過
して水蒸気や空気が混入する為、液晶表示素子内部に気
泡、水泡が生じたシ、液晶物質の分解や配向制御機能が
阻害されることで、従来の方法では、表示品質や信頼性
が劣っていたのが、本発明による透明金属酸化物層によ
って、水蒸気や空気の透過を遮断されるものと理解され
る。。
以下、実施例により更に詳細に説明する。
実施例−１゜
′Ｖ−ダイにより溶融押出されたポリエチレングリコー
ルテレフタレート樹脂をクーリングドラム上にキャスト
して、引き続き、その 手方向に複数の延伸ロールによ
って一軸延伸し、さらに引き続きテンタークリップによ
って一定巾で支持した加熱炉を通してヒートセットした
１００μ厚のＰＥＴフィルムをベースフィルムに用い、
透明金属酸化物としてＳｉｎ、をスパッタリング法によ
って５０ＯＡ厚に形成し、更にインジウム酸化物膜を同
様なスパッタ法により２５０Ａ厚に設は透明導電性フィ
ルムを作成した。
ルテレフタレート樹脂をクーリングドラム上にキャスト
して、引き続き、その 手方向に複数の延伸ロールによ
って一軸延伸し、さらに引き続きテンタークリップによ
って一定巾で支持した加熱炉を通してヒートセットした
１００μ厚のＰＥＴフィルムをベースフィルムに用い、
透明金属酸化物としてＳｉｎ、をスパッタリング法によ
って５０ＯＡ厚に形成し、更にインジウム酸化物膜を同
様なスパッタ法により２５０Ａ厚に設は透明導電性フィ
ルムを作成した。
この透明尋電性フィルムの透明導電膜を、フィルムの光
軸方向に平行な５ｍｍ巾のストライプ状にフォトエツチ
ング法によって、電極パターンに加工し、さらにその電
極面を光軸方向にガーゼで１０回摩擦して配向制御処理
を行なり、と。
軸方向に平行な５ｍｍ巾のストライプ状にフォトエツチ
ング法によって、電極パターンに加工し、さらにその電
極面を光軸方向にガーゼで１０回摩擦して配向制御処理
を行なり、と。
２枚の電極パターンを形成した透明導電性フィルムを直
径１０μのガラスピーズをスベーサートシテ介し、ポリ
エステル系ホットメルト接着剤により、ストライプ状電
極が直交して対向する様に貼り合わせた。
径１０μのガラスピーズをスベーサートシテ介し、ポリ
エステル系ホットメルト接着剤により、ストライプ状電
極が直交して対向する様に貼り合わせた。
あらかじめ設けておいた開口部より真空注入法によシ、
ネマチック屋液晶を注入し、開口部を熱硬化性ウレタン
樹脂によって封止した。
ネマチック屋液晶を注入し、開口部を熱硬化性ウレタン
樹脂によって封止した。
さらに、上・下部々の透明導電性フィルムの光軸方向に
合わせて透過型偏光板（上部偏光板）と反射型偏光板（
下部偏光板）を配置し、液晶表示素子を形成した。スト
ライプ状の各電極間に５■の正弦波電圧を印加すると、
電極の直交している５ｍｍ Ｘ ５ｍｍの正方形の部分
は黒く表示され、他の部分は無色のままであった。
合わせて透過型偏光板（上部偏光板）と反射型偏光板（
下部偏光板）を配置し、液晶表示素子を形成した。スト
ライプ状の各電極間に５■の正弦波電圧を印加すると、
電極の直交している５ｍｍ Ｘ ５ｍｍの正方形の部分
は黒く表示され、他の部分は無色のままであった。
この状態で、４０倍の倍率で黒く表示されている部分を
光学顕微鏡により視察したが、均一に黒色化しており、
欠陥は認められなかった。
光学顕微鏡により視察したが、均一に黒色化しており、
欠陥は認められなかった。
また、偏光板を取りはずして、電圧を印加したまま、こ
の液晶表示素子を８０°Ｃ９５ＳＲＨの雰囲気下に１０
００時間放置した後、再び偏光板を配置し、光学顕微鏡
による観察を行なったが、欠陥は認められなかった。
の液晶表示素子を８０°Ｃ９５ＳＲＨの雰囲気下に１０
００時間放置した後、再び偏光板を配置し、光学顕微鏡
による観察を行なったが、欠陥は認められなかった。
実施例−２゜
市販の二軸延伸Ｌ）ＥＴフィルム（ＩＣＩ社製Ｍｅｌ
１ｎｅｘ −Ｄ ）厚さ７５μを真空中で１００’Ｃに
加熱し、脱ガス処理し、５ｗｔ％の酸化スズを含む酸化
インジウム複合酸化物を蒸発源として１０’Ｔｏｒｒの
酸素雰囲気下で真空蒸着し２００’Ｃのオーブン中で２
時間空気中で酸化した。
１ｎｅｘ −Ｄ ）厚さ７５μを真空中で１００’Ｃに
加熱し、脱ガス処理し、５ｗｔ％の酸化スズを含む酸化
インジウム複合酸化物を蒸発源として１０’Ｔｏｒｒの
酸素雰囲気下で真空蒸着し２００’Ｃのオーブン中で２
時間空気中で酸化した。
この透明導電性フィルムの非導電面側にスパッタリング
法によってＮｂ、０．を１００ ＯＡ 厚に形成した。
法によってＮｂ、０．を１００ ＯＡ 厚に形成した。
この透明導電性フィルムを用いて実施例−１，と同様に
液晶表示素子を作成し、光学顕微鏡によって表示部分を
観察したが、欠陥は認められなかった。
液晶表示素子を作成し、光学顕微鏡によって表示部分を
観察したが、欠陥は認められなかった。
また、同じ＜８０°Ｃ９５チＲＨの雰囲気下で１０００
時間放置した後にも、欠陥は認められなかった。
時間放置した後にも、欠陥は認められなかった。
比較例 。
１００μ厚の一軸延伸ＰＥＴフィルムに、インジウム酸
化物膜をスパッタリング法により２５０Ａ厚に設は透明
導電性フィルムを作成した。
化物膜をスパッタリング法により２５０Ａ厚に設は透明
導電性フィルムを作成した。
このフィルムを用いて実施例−１，と同様に、液晶表示
素子を作成し、光学顕微鏡によって表示部分を観察した
ところ直径５０β〜１０００Ｊの大きさで円形の表示さ
れずに無色るるいは虹色に光って見える欠陥が５〜６ケ
所認められた。
素子を作成し、光学顕微鏡によって表示部分を観察した
ところ直径５０β〜１０００Ｊの大きさで円形の表示さ
れずに無色るるいは虹色に光って見える欠陥が５〜６ケ
所認められた。
また、実施例−１，と同様にして、この液晶表示素子を
８０°Ｃ９５チＩＬＨの雰囲気下に１０００時間放置し
たところ、ストライプ電極の直交している５＋ｎｍＸ５
ｍｍの正方形部分は、電圧を印加しても黒色化が極めて
薄く、表示として認められなくなった。
８０°Ｃ９５チＩＬＨの雰囲気下に１０００時間放置し
たところ、ストライプ電極の直交している５＋ｎｍＸ５
ｍｍの正方形部分は、電圧を印加しても黒色化が極めて
薄く、表示として認められなくなった。
Claims (1)
- 延伸配向したポリエチレングリコールテレフタレート樹
脂フィルムの片面もしくは両面に、透明金属酸化物層を
設けた積層フィルムの少なくとも片面上に透明導電性を
有する被膜を形成した透明導電性フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16156384A JPS6142819A (ja) | 1984-08-02 | 1984-08-02 | 透明導電性フイルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16156384A JPS6142819A (ja) | 1984-08-02 | 1984-08-02 | 透明導電性フイルム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6142819A true JPS6142819A (ja) | 1986-03-01 |
Family
ID=15737488
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16156384A Pending JPS6142819A (ja) | 1984-08-02 | 1984-08-02 | 透明導電性フイルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6142819A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005097484A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2008-02-28 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明導電性フィルム、透明導電性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5328214A (en) * | 1976-08-30 | 1978-03-16 | Hitachi Metals Ltd | Cylindrical matrix magnet and method of producing same |
| JPS58172810A (ja) * | 1982-04-03 | 1983-10-11 | 旭硝子株式会社 | プラスチツク基体上への透明電導膜の形成方法 |
-
1984
- 1984-08-02 JP JP16156384A patent/JPS6142819A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5328214A (en) * | 1976-08-30 | 1978-03-16 | Hitachi Metals Ltd | Cylindrical matrix magnet and method of producing same |
| JPS58172810A (ja) * | 1982-04-03 | 1983-10-11 | 旭硝子株式会社 | プラスチツク基体上への透明電導膜の形成方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2005097484A1 (ja) * | 2004-03-31 | 2008-02-28 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明導電性フィルム、透明導電性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| JP4858167B2 (ja) * | 2004-03-31 | 2012-01-18 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | 透明導電性フィルム、透明導電性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 |
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