JPS6139544A - ウエ−ハ保持具 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 、の１ 本発明は半導体のウェーハを保持するためのウェーハ保
持具に関するものである。

Ｌ股弘炎１ 半導体ウェーハはエピタキシャル成長等の工程において
その半導体特性を損わないように純度維持を極めて慎重
に行っている。このため、ウェーハを載置するサセプタ
ーや、熱処理する炉体や、洗浄するための水等の全てに
ついて、高純度品を使用している。また各工程間におい
てはビンセット等のウェーハ保持具を使用してウェーハ
をつまんで運搬しているが、汚染防止のために、ウェー
ハに接触する部分をテフロン、石英ガラス、炭化珪素、
金属シリコン等で保護しているものが使用されている。

０が　　しよへとする◎　、 しかしながら、いずれのウェーハ保持具であっても、接
触部分は、ウェーハの表面の平面部において行なわれて
おり、接触部分の面積が大きい。

【ＬＬ良り また、ウェーハのエピタキシャル成長面に接触させない
ように、ウェーハの裏面に吸着するような構造のウェー
ハ保持具を使用することもある。

、明が　　しようとする口　。

しかし、そのようなウェーハ保持具でも、サセプター等
から取上げることが回動であり、汚染され易く、またキ
ズがつき易い。

したがって、後の工程ではウェーハ保持具の使用による
ウェーハの汚染やキズが原因となる不良が多く、歩留り
が悪かった。

丸」へｌ江 本発明は上記欠点を解消するためになされたものであり
、ウェーハの取扱いが容易でかつウェーハの表面と裏面
の両方の平面部になんら悪影響を及ぼさないウェーハ保
持具を提供することを目的とするものである。。

免」へ１１ この目的を達成するための本発明の要旨とするところは
半導体ウェーハの外周部を複数本の支持アームにより３
点以」ニで支持するウェーハ保持具において、固定メン
バーに接続された支持アームと、固定メンバーの溝に沿
って摺動する移動メンバーに接続された支持アームとに
よって半導体ウェーハの外周部を３点以上で支持する構
成としたことを特徴とする半導体ウェーハ保持具にある
。

０貞１、を・沙するための− 固定メンバー１の溝に移動メンバー２を係合させて、固
定メンバー１の溝に沿って移動メンバー２を摺ａさせる
ように組合わせ、しかも固定メンバー１と移動メンバー
２にそれぞれ支持アーム３．２ｂを設けて、周定メンバ
ー１の支持アーム３と移動メンバー２の支持アーム２ｂ
どによって半導体ウェーハ４の外周部を３点以上で支持
するものである。

作１ この発明によるウェーハ保持具をたて型拡散炉に適用し
た場合について、その作用を説明すると、ウェーハボー
ト（図示せず）に並べられた多数の半導体ウェーハ４の
隙間に、まず固定メンバー１の支持アーム３を垂直方向
にさし入れ、しかるのち手で移動メンバー２を固定メン
バー１の溝に沿って摺動させて、移動メンバー２の支持
アーム２ｂと固定メンバー１の支持アーム３との距離を
縮めて、それらの支持アーム３．２ｂに−よって半導体
つ工−ハ４の外周部を３点以上で支持する。その後、移
動アーム３と固定アーム２ｂとをそのままの位置関係に
保って少し水平にずらせてから上方に持ち上げ、半導体
ウェーハ４を取り出す。

支ｉ九 第１図と第２図は固定メンバー１と移動メンバー２との
組合わせ状態を示している。第３図と第４図は固定メン
バー１のみを示しており、第５図と第６図は移動メンバ
ー２のみを示している。

固定メンバー１と移動メンバー２は、たとえば石英ガラ
スにＰＦＡ（４フッ化エチレンパーフ、ロロアルキ共重
合樹脂）をコーティングした構造が最も望ましい。また
テフロン加工を施すこともできる。

固定メンバー１は細長いプレート１ａの両側に平行な状
態に丸棒１ｂを溶接で固定しである。それにより固定メ
ンバー１′には２本の丸棒１ｂの間に浅い溝が形成され
ている。

固定メンバー１の断面はこれ以外の形状（たとえば凹形
状やアリ溝形状）にすることもできる。

固定メンバー１の先端には支持アーム３が前方に伸びて
いる。この支持アーム３はブレ−ト１ａに溶接により固
定しである。また、支持アーム３の先端部は二叉に分か
れており、２本の枝３ａが形成されている。各校３ａの
先端には１字状部分３ｂが形成されている。

この１字状部分３ｂの内側角部で半導体つ工−ハ４を支
持するのである。

移動メンバー２は細長いプレート２ａとその先端に固定
された支持アーム２ｂとから成り立っている。支持アー
ム２ｂの先端は１字状部分２Ｃとなっている。この１字
状部分２Ｃの角部で半導体ウェーハ４を支持するのであ
る。

たとえば、たて型拡散炉にこの発明のつ工−ハ保持具を
用いるときには、まず固定メンバー１の溝に移動メンバ
ー２を嵌め込み、固定メンバー１の支持アーム３の１字
状部分３ｂと移動メンバー２の支持アーム２ｂの１字状
部分２Ｃとの距離を十分に離しておいた上でウェーハボ
ート（図示せず）に載置された多数の半導体ウェーハ４
の間隙に固定メンバー１の支持アーム３を垂直方向に差
し込／ｖでいって、その１字状部分３ｂの内側角部でつ
工−ハ４の周辺部を支持し、他方、移動メンバー２を固
定メンバー１の溝に沿って摺動させてその支持アーム２
ｂの１字状部分２Ｃを下降させて、つまり一方の１字状
部分２Ｃと他方、の１字状部分３ｂとを互いに接近させ
て、それらにより半導体ウェーハ４の周辺部を３点で支
持し、しかるのち半導体ウェーハ４を少し横方向にずら
せてから上方に持ち上げて、半導体ウェーハ４をウェー
ハボートから取り出すのである。

なお、固定メンバー１と移動メンバー２との間にバネな
どの弾性部材を介在させて、半導体ウェーハ４をより弾
力的に支持するＪ：うにすることもできる。

ｔｍｊＵ先 この発明のウェーハ保持具によれば、半導体ウェーハ４
の表面に支持アーム２ｂ１３を接触させることなく操作
でき、半導体ウェーハ４を汚染させず、傷もつけずに処
理することが極めて容易となる。

また、半導体ウェーハの寸法が変化しても、その大きさ
に対応して移動メンバー２の支持アーム２ｂを移動させ
て弾力的に半導体ウェーハを支持することができるので
、半導体つ工−ハの寸法の大きさに関係°なく確実に半
導体ウェーハを保持できるという大きな効果が得られる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるウェーハ保持具の正面図、第２
図はその側面図、Ｍ３図は第１図のウェーハ保持具のう
ち固定メンバーのみを示す正面図、第４図はその側面図
、第５図は第１図のウェーハ保持具のうち移動メンバー
のみを示ず正面図、第６図はその側面図、第７図は第１
図のＸ−Ｘ線に沿った断面図である。 １・・・固定メンバー ２・・・移動メンバー ３・・・支持アーム ４・・・ウェーハ

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）半導体ウェーハの外周部を複数本の 支持アームにより３点以上で支持するウェーハ保持具に
   おいて、固定メンバーに接続された支持アームと、固定
   メンバーの溝に沿って摺動する移動メンバーに接続され
   た支持アームとによつて半導体ウェーハの外周部を３点
   以上で支持する構成としたことを特徴とする半導体ウェ
   ーハ保持具。