KR0185058B1 - 웨이퍼용 보트 구조 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 실리콘 웨이퍼의 수율을 향상하기 위해 작업자의 손 또는 자에 의해 보트가 오염되는 것을 방지하는 것을 목적으로 한다.
이를 위해 본 발명은 슬롯과 보트 받침대로 구성된 웨이퍼용 보트에 있어서, 상기 보트 받침대에 포크와 상기 보트와의 정렬을 위해 눈금자를 새긴 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구조의 보트를 사용함으로서 작업 능률의 향상과 실리콘 웨이퍼의 오염을 방지할 수 있으며, 작업 시간의 단축하는 효과를 얻을 수 있다.
Description
제1도는 종래의 보트의 측면도.
제2도는 본 발명에 따른 보트의 측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 슬롯 2 : 보트 받침대
3 : 실리콘 웨이퍼 4 : 포크(Fork)
5 : 자 6 : 눈금자
본 발명은 웨이퍼용 보트(Boat) 구조에 관한 것으로, 더욱 상세히는 실리콘 웨이퍼 오염을 방지하기 위해 보트 받침대에 눈금을 새긴 웨이퍼용 보트구조에 관한 것이다.
반도체의 확산 공정은 열을 이용하여 실리콘 웨이퍼 표면에 필요한 불순물을 주입시키거나 산화막을 성장시키는 공정으로, 실리콘 웨이퍼 표면을 열처리하기 위해서는 실리콘 웨이퍼를 수정(Quartz)으로 이루어진 보트(Boat)에 로딩(Loading)하여 전기로 내부로 밀어 넣는다.
상기와 같이 수평 전기로에 사용되는 보트로는 확산 공정에 사용되는 롱 보트(Long Boat)와, CVD(Chemical Vapor Deposition)공정에 사용되는 HTO 보트 그리고 롱 보트와 HTO 보트보다 길이가 짧은 쇼트 보트(Short Boat)가 있다.
종래의 보트는 제1도에서 보는 바와 같이 실리콘 웨이퍼(3)를 로딩할 수 있도록 된 슬롯(1)과, 실리콘 웨이퍼(3)에 외부의 오염 물질이 묻지 않도록 한 보트 받침대(2)로 구성되었다.
상기와 같이 구성된 보트에 로딩된 실리콘 웨이퍼를 열처리하기 위해서는 먼저 보트의 슬롯(1)에 실리콘 웨이퍼(3)를 로딩하고, 포크(4)가 상기 실리콘 웨이퍼에 접촉되지 않도록 작업자가 협소한 장소에서 플라스틱 혹은 금속 자(5)를 이용하여 포크(4)를 보트 받침대(4) 중앙에 정렬시킨다.
이어서, 상기 보트를 수평 전기로(미도시) 내부로 밀어 넣어 실리콘 웨이퍼에 열처리를 실시한다.
그러나 상기와 같이 협소한 장소에서 작업자가 자(5)를 사용하여 보트를 포크(4)에 로딩함으로서 작업자의 손이나 자에 의해 보트가 오염되었다.
또한, 상기 이외에 수평 전기로(미도시)를 정기 점검시에도 작업자가 협소한 장소에서 포크(4)를 보트 받침대(2) 중앙에 정렬하여야 함으로 보트가 오염되었다.
이와 같이 오염된 보트를 수평 전기로(미도시) 내부로 밀어넣어 실리콘 웨이퍼(3)에 열처리를 실시함으로 보트에 묻은 오염 물질이 실리콘 웨이퍼(3)로 이동되어 실리콘 웨이퍼(3)를 오염시켰으며, 협소한 장소에서 정렬 작업을 반복해서 실시하여야 함으로 작업 능률 저하와 작업 시간의 손실의 문제점이 있었다.
본 발명은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 작업자의 손 또는 자에 의해 보트가 오염되는 것을 방지하고 정확한 정렬에 의해 작업 능률과 생산수율을 향상시키는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은 슬롯과 보트 받침대로 구성된 웨이퍼용 보트에 있어서, 상기 보트 받침대에 포크와 상기 보트와의 정렬을 위해 눈금자를 새긴 것을 특징으로 한다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.
제2도에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 보트는 종래의 보트와 거의 유사한 구조로 되었으며, 포크(4)가 접촉되는 보트 받침대(2)에는 1 미리 단위로 눈금자(6)가 새겨져 있다.
상기와 같이 보트 받침대(2)에 눈금자(6)가 새겨진 보트에 로딩된 실리콘 웨이퍼(3)를 열처리하기 위해서는 가장 먼저 보트의 슬롯(1)에 실리콘 웨이퍼(3)를 로딩하고, 포크(4)를 상기 실리콘 웨이퍼(3)에 접촉되지 않도록 보트 받침대(2) 중앙에 정렬시킨다.
이어서, 상기 보트를 수평 전기로(미도시) 내부로 밀어 넣어 실리콘 웨이퍼에 열처리를 실시한다.
이때, 작업자가 손을 사용하지 않고 보트 받침대(2)에 새겨진 눈금자(6)를 보면서 포크(4)를 보트 받침대(2) 중앙에 정렬시킴으로서 작업자의 손이나 자(5)와 같은 오염원에 의한 보트의 오염을 방지할 수 있다.
또한, 수평 전기로(미도시)를 정기 점검시, 작업자가 손을 사용하지 않고 보트 받침대(2)에 새겨진 눈금자(6)를 보면서 포크(4)를 정렬시킴으로서 정렬시간을 단축할 수 있으며 보트의 오염을 방지할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 보트 받침대에 눈금을 새김으로서 작업 능률의 향상과 실리콘 웨이퍼의 오염을 방지할 수 있으며, 작업 시간의 단축하는 효과를 얻을 수 있다.
Claims (2)
- 슬롯(1)과 보트 받침대(2)로 구성된 웨이퍼용 보트에 있어서, 상기 보트 받침대(2)에 포크(4)와 상기 보트와의 정렬을 위해 눈금자(6)를 새긴 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보트 구조.
- 제1항에 있어서, 상기 눈금자(6)에 1미리 단위로 눈금을 형성한 것을 특징으로 하는 웨이퍼용 보트 구조.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960003616A KR0185058B1 (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 웨이퍼용 보트 구조 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960003616A KR0185058B1 (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 웨이퍼용 보트 구조 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970063633A KR970063633A (ko) | 1997-09-12 |
| KR0185058B1 true KR0185058B1 (ko) | 1999-04-15 |
Family
ID=19451260
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960003616A KR0185058B1 (ko) | 1996-02-14 | 1996-02-14 | 웨이퍼용 보트 구조 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0185058B1 (ko) |
-
1996
- 1996-02-14 KR KR1019960003616A patent/KR0185058B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970063633A (ko) | 1997-09-12 |
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