JPS6133894B2 - - Google Patents

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Publication number
JPS6133894B2
JPS6133894B2 JP10442779A JP10442779A JPS6133894B2 JP S6133894 B2 JPS6133894 B2 JP S6133894B2 JP 10442779 A JP10442779 A JP 10442779A JP 10442779 A JP10442779 A JP 10442779A JP S6133894 B2 JPS6133894 B2 JP S6133894B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
binder
cbn
sintered body
wbn
intermetallic compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
JP10442779A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS5629648A (en
Inventor
Hiroshi Shimoda
Mitsutama Ootani
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tungaloy Corp
Original Assignee
Toshiba Tungaloy Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Tungaloy Co Ltd filed Critical Toshiba Tungaloy Co Ltd
Priority to JP10442779A priority Critical patent/JPS5629648A/ja
Publication of JPS5629648A publication Critical patent/JPS5629648A/ja
Publication of JPS6133894B2 publication Critical patent/JPS6133894B2/ja
Granted legal-status Critical Current

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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、CBNおよび/またはWBNが結合材
とともに高温高圧下で焼結される高硬度焼結体に
関し、特に結合性を改善することによつて切削作
業、線引き作業等に好結果をもたらすようにした
ものである。 従来、この種の高硬度焼結体は、結合材の含有
率が高いものについては、金属の炭化物、窒化
物、硼化物等を利用したものが多く、また含有率
が低いものについては、合金を使用したものが多
い。 しかしながら、前者結合相の多い部分だか焼結
体の硬度を犠性にすることから、高硬度の被削材
には不適当であり、また後者では、高温特性が悪
く、抗圧力、靭性が低いことなどから非常にもろ
く、軽切削においてのみ有効なものであつた。 したがつて、この種の高硬度焼結体は、結合材
の面から高温特性にすぐれているだけでなく、抗
圧力、靭性においてもすぐれているような高硬度
焼結体の開発が要望されている。 本発明は、CBNおよび/またはWBNを60〜95
重量%(以下%という)、残りの5〜40%を結合
材とし、この結合材の一部には、Ti,Zrおよび
Hfの単独または複合からなる助材が含まれるよ
うにした高硬度焼結体において、前記結合材は、
Niおよび/またはCoの金属間化合物であつて、
前記助材との間および/または、W,Mo,Nb,
V,およびTaの単独または複合から選択された
金属または合金との間で金属間化合物を形成し、
前記助材は、焼結体全体に対して、1〜8%含ま
れていることを内容とするものである。 以下、本発明高硬度焼結体の一実施例につい
て、図を参照しながら説明する。 第1図および第2図において、1は、高硬度焼
結体であり、この高硬度焼結体1は、CBNおよ
び/またはWBNを60〜95重量%(以下%とい
う)とし、残りの5〜40%を結合材としたもので
ある。 そして、この高硬度焼結体1は、高温高圧下、
例えば1250℃、50〜60Kbで焼結され、図示のよ
うなバイトに使用される場合には、ホルダー2の
先端に切欠された段部3内にろう付けされる。 また、第2図の場合は、高硬度焼結体1が、例
えば超硬合金からなる基台4上にあるが、これ
は、高温高圧下の焼結時に固着されたものであ
り、この基台4を介して、同じくホルダー2の段
部3内にろう付けされる。 前記高硬度焼結体1は、前述したようにCBN
および/またはWBNを60〜95%、残りの5〜40
%を結合材としたものであるが、結合材の一部に
は、Ti,ZrおよびHfの単独または複合からなる
助材を含み、結合強化を図つている。この助材
は、焼結体全体に対して1〜8%含まれているも
のである。そして、結合材の主体となるものは、
Niおよび/またはCoの金属間化合物であり、こ
の金属化合物は、前記助材との間および/または
W,Mo,Nb,V,およびTaの単独または複合か
ら選択された金属または合金との間で形成され
る。なお、この金属間化合物は、予め金属間化合
物を形成しているものだけでなく、焼結過程で形
成されるものも含むものである。 また、Ti,ZrおよびHfの単独または複合から
なる助材については、出発原料として、TiHx,
ZrHxおよびHfHxの単独または複合が好適する。
この場合xは、1≦x≦2の範囲で選択されるべ
きものである。 Hxを適用するのは、活性な水素が清浄化作用
をなすとともに、これに伴つて生成される活性な
Ti,Zr等を高強度の助材として作用させるため
である。すなわち、これらの水素化物との混合物
を例えば1000℃、10-5mmHgで前処理することに
より、活性な水素がCBN等の他の物質の表面を
清浄化し、かつこれに伴つて同時に生成する活性
なTi,Zr等の助材が殆んど原子状となつて、結
合材とCBNおよび/またはWBNとの間で結合助
材となるためである。 また、Niおよび/またはCoと、W,Mo,Nb,
VおよびTaの単独または複合との組合せでは、
金属間化合物が予め形成され、また焼結過程で生
成される。そして、金属間化合物は、これを構成
する単体金属よりも、その融点が低下し、密着性
を増加させる性質を有していることから、焼結領
域における圧力も減少する。 (実施例 1) 実施例1は、CBNを60〜95%の範囲で変化さ
せ、これに結合材を組合せて焼結したものであ
る。そして、配合組成、性能試験結果等について
は、第1表に示されるとおりである。この場合、
TiNi,VNi,MoNi,NbCo,NbNi,TiNiについ
ては、それぞれ1:1の割合で、WNi4,MoNi4
については、それぞれ1:4の割合になつてい
る。 なお、CBNが95%を越えるものについては、
結合強度が弱いことから不可で、また60%未満の
ものについては、CBNの特性を活かせず不適当
であることを確認した。 また、性能試験による比較品は、90%CBN+
10%(Ni+Al)からなるもので、いずれも本発
明品の方がすぐれていた。これは、本発明品の結
合材が金属間化合物で、高温強度が高く、また、
助材が密着性を高めるように作用することからで
ある。この場合、助材については、1〜8%が好
適範囲である。これは、下限値未満であれば、水
素化物として配合しても活性量が少なく、また、
上限値を越えると金属成分の増加となつて、高温
強度を低下させるからである。 なお、実験No.1,4については、助材成分とし
てのTiをNiとの金属間化合物としたものが示さ
れているが、この場合も有効に機能した。
【表】 (実施例 2) 実施例2は、WBNを60〜95%の範囲で変化さ
せ、これに結合材を組合せて焼結したものであ
る。そして、配合組成、性能試験結果等は、第2
表に示されるとおりで、CoNi,MoNi,NbCoは
それぞれ1:1の割合で、WNi4については、
1:4になつているものである。 また、第2表以外の試験において、WBNが95
%を越えるものについては、結合強度が弱いこと
から不可であることおよび60%未満のものについ
ては、WBNの特性を活かせずに不適当であるこ
とを確認した。さらに助材の含有率についても、
実施例1と同様1〜8%が好適することを確認し
た。 なお、性能試験による比較品は、実施例1と同
じく90%CBN+10%(Ni+Al)からなるもので
あるが、第1表の結果からも明らかなように、本
発明品がいずれもすぐれたいた。
【表】 (実施例 3) 実施例3は、CBNおよびWBNの合計量が60〜
95%になるように変化させ、これに結合材を組合
せて焼結したものである。そして、配合組成、性
能試験結果等は、第3表で示されるとおりであ
る。この場合、TiCo,ZrCo,MoNi,VNi,
HfNi,TiNiについては、それぞれ1:1,
(TaV)Coについては、1:1:1の割合になつ
ているものである。 なお、性能試験による比較品については、90%
CBN+10%(Ni+Al)からなるもので、いずれ
も発明品の方がすぐれていた。また、CBNおよ
びWBNの含有率、助材の含有率についても、実
施例1および実施例2と同様、60〜95%、1〜8
%が好適範囲であることが確認された。
【表】 本発明は、以上説明したように、CBNおよ
び/またはWBNを60〜95%とし、結合材として
金属間化合物を適用するとともにTi,Zr,Hfか
らなる助材を全体の1〜8%含有させるようにし
たものであるから、結合材としての高温硬度が高
く、しかもCBNおよび/またはWBNに対しては
密着性による結合強度が高くなり、切削工具、ダ
イス等に好適するという利点を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明高硬度焼結体の一実施例を示
すもので、バイトホルダーにろう付けしたものを
示す斜視図、第2図は、変形例を示す斜視図であ
る。 1…高硬度焼結体、2…バイトホルダー、4…
基台。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 CBNおよび/またはWBNを60〜95重量%
    (以下%という)、残りの5〜40%を結合材とし、
    この結合材の一部には、Ti,ZrおよびHfの単独
    または複合からなる助材が含まれるようにした高
    硬度焼結体において、 前記結合材は、Niおよび/またはCoの金属間
    化合物であつて、前記助材との間でおよび/また
    はW,Mo,Nb,V,およびTaの単独または複合
    から選択された金属または合金との間で金属間化
    合物を形成し、 前記助材は、焼結体全体に対して、1〜8%含
    まれていることを特徴とする高硬度焼結体。
JP10442779A 1979-08-16 1979-08-16 High hardness sintered body Granted JPS5629648A (en)

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JP10442779A JPS5629648A (en) 1979-08-16 1979-08-16 High hardness sintered body

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Publication Number Publication Date
JPS5629648A JPS5629648A (en) 1981-03-25
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ID=14380380

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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Families Citing this family (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9076843B2 (en) 2001-05-22 2015-07-07 Novellus Systems, Inc. Method for producing ultra-thin tungsten layers with improved step coverage
US20100267230A1 (en) 2009-04-16 2010-10-21 Anand Chandrashekar Method for forming tungsten contacts and interconnects with small critical dimensions
US10256142B2 (en) 2009-08-04 2019-04-09 Novellus Systems, Inc. Tungsten feature fill with nucleation inhibition
CN110004429B (zh) 2012-03-27 2021-08-31 诺发系统公司 钨特征填充
US9969622B2 (en) * 2012-07-26 2018-05-15 Lam Research Corporation Ternary tungsten boride nitride films and methods for forming same
US9589808B2 (en) 2013-12-19 2017-03-07 Lam Research Corporation Method for depositing extremely low resistivity tungsten
US9953984B2 (en) 2015-02-11 2018-04-24 Lam Research Corporation Tungsten for wordline applications
US9613818B2 (en) 2015-05-27 2017-04-04 Lam Research Corporation Deposition of low fluorine tungsten by sequential CVD process
US9754824B2 (en) 2015-05-27 2017-09-05 Lam Research Corporation Tungsten films having low fluorine content
US9978605B2 (en) 2015-05-27 2018-05-22 Lam Research Corporation Method of forming low resistivity fluorine free tungsten film without nucleation
KR20230127377A (ko) 2017-04-10 2023-08-31 램 리써치 코포레이션 몰리브덴을 함유하는 저 저항률 막들
SG11202001268TA (en) 2017-08-14 2020-03-30 Lam Res Corp Metal fill process for three-dimensional vertical nand wordline
WO2019213604A1 (en) 2018-05-03 2019-11-07 Lam Research Corporation Method of depositing tungsten and other metals in 3d nand structures
WO2020123987A1 (en) 2018-12-14 2020-06-18 Lam Research Corporation Atomic layer deposition on 3d nand structures
JP2022522226A (ja) 2019-04-11 2022-04-14 ラム リサーチ コーポレーション 高ステップカバレッジのタングステン堆積
JP2022544931A (ja) 2019-08-12 2022-10-24 ラム リサーチ コーポレーション タングステン堆積

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002520567A (ja) * 1998-04-22 2002-07-09 シンターファイアー,インコーポレイテッド 壊れやすい金属製弾丸およびこのような物品を製造する方法

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JPS5629648A (en) 1981-03-25

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