JPS6133894B2 - - Google Patents
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- JPS6133894B2 JPS6133894B2 JP10442779A JP10442779A JPS6133894B2 JP S6133894 B2 JPS6133894 B2 JP S6133894B2 JP 10442779 A JP10442779 A JP 10442779A JP 10442779 A JP10442779 A JP 10442779A JP S6133894 B2 JPS6133894 B2 JP S6133894B2
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Description
本発明は、CBNおよび/またはWBNが結合材
とともに高温高圧下で焼結される高硬度焼結体に
関し、特に結合性を改善することによつて切削作
業、線引き作業等に好結果をもたらすようにした
ものである。 従来、この種の高硬度焼結体は、結合材の含有
率が高いものについては、金属の炭化物、窒化
物、硼化物等を利用したものが多く、また含有率
が低いものについては、合金を使用したものが多
い。 しかしながら、前者結合相の多い部分だか焼結
体の硬度を犠性にすることから、高硬度の被削材
には不適当であり、また後者では、高温特性が悪
く、抗圧力、靭性が低いことなどから非常にもろ
く、軽切削においてのみ有効なものであつた。 したがつて、この種の高硬度焼結体は、結合材
の面から高温特性にすぐれているだけでなく、抗
圧力、靭性においてもすぐれているような高硬度
焼結体の開発が要望されている。 本発明は、CBNおよび/またはWBNを60〜95
重量%(以下%という)、残りの5〜40%を結合
材とし、この結合材の一部には、Ti,Zrおよび
Hfの単独または複合からなる助材が含まれるよ
うにした高硬度焼結体において、前記結合材は、
Niおよび/またはCoの金属間化合物であつて、
前記助材との間および/または、W,Mo,Nb,
V,およびTaの単独または複合から選択された
金属または合金との間で金属間化合物を形成し、
前記助材は、焼結体全体に対して、1〜8%含ま
れていることを内容とするものである。 以下、本発明高硬度焼結体の一実施例につい
て、図を参照しながら説明する。 第1図および第2図において、1は、高硬度焼
結体であり、この高硬度焼結体1は、CBNおよ
び/またはWBNを60〜95重量%(以下%とい
う)とし、残りの5〜40%を結合材としたもので
ある。 そして、この高硬度焼結体1は、高温高圧下、
例えば1250℃、50〜60Kbで焼結され、図示のよ
うなバイトに使用される場合には、ホルダー2の
先端に切欠された段部3内にろう付けされる。 また、第2図の場合は、高硬度焼結体1が、例
えば超硬合金からなる基台4上にあるが、これ
は、高温高圧下の焼結時に固着されたものであ
り、この基台4を介して、同じくホルダー2の段
部3内にろう付けされる。 前記高硬度焼結体1は、前述したようにCBN
および/またはWBNを60〜95%、残りの5〜40
%を結合材としたものであるが、結合材の一部に
は、Ti,ZrおよびHfの単独または複合からなる
助材を含み、結合強化を図つている。この助材
は、焼結体全体に対して1〜8%含まれているも
のである。そして、結合材の主体となるものは、
Niおよび/またはCoの金属間化合物であり、こ
の金属化合物は、前記助材との間および/または
W,Mo,Nb,V,およびTaの単独または複合か
ら選択された金属または合金との間で形成され
る。なお、この金属間化合物は、予め金属間化合
物を形成しているものだけでなく、焼結過程で形
成されるものも含むものである。 また、Ti,ZrおよびHfの単独または複合から
なる助材については、出発原料として、TiHx,
ZrHxおよびHfHxの単独または複合が好適する。
この場合xは、1≦x≦2の範囲で選択されるべ
きものである。 Hxを適用するのは、活性な水素が清浄化作用
をなすとともに、これに伴つて生成される活性な
Ti,Zr等を高強度の助材として作用させるため
である。すなわち、これらの水素化物との混合物
を例えば1000℃、10-5mmHgで前処理することに
より、活性な水素がCBN等の他の物質の表面を
清浄化し、かつこれに伴つて同時に生成する活性
なTi,Zr等の助材が殆んど原子状となつて、結
合材とCBNおよび/またはWBNとの間で結合助
材となるためである。 また、Niおよび/またはCoと、W,Mo,Nb,
VおよびTaの単独または複合との組合せでは、
金属間化合物が予め形成され、また焼結過程で生
成される。そして、金属間化合物は、これを構成
する単体金属よりも、その融点が低下し、密着性
を増加させる性質を有していることから、焼結領
域における圧力も減少する。 (実施例 1) 実施例1は、CBNを60〜95%の範囲で変化さ
せ、これに結合材を組合せて焼結したものであ
る。そして、配合組成、性能試験結果等について
は、第1表に示されるとおりである。この場合、
TiNi,VNi,MoNi,NbCo,NbNi,TiNiについ
ては、それぞれ1:1の割合で、WNi4,MoNi4
については、それぞれ1:4の割合になつてい
る。 なお、CBNが95%を越えるものについては、
結合強度が弱いことから不可で、また60%未満の
ものについては、CBNの特性を活かせず不適当
であることを確認した。 また、性能試験による比較品は、90%CBN+
10%(Ni+Al)からなるもので、いずれも本発
明品の方がすぐれていた。これは、本発明品の結
合材が金属間化合物で、高温強度が高く、また、
助材が密着性を高めるように作用することからで
ある。この場合、助材については、1〜8%が好
適範囲である。これは、下限値未満であれば、水
素化物として配合しても活性量が少なく、また、
上限値を越えると金属成分の増加となつて、高温
強度を低下させるからである。 なお、実験No.1,4については、助材成分とし
てのTiをNiとの金属間化合物としたものが示さ
れているが、この場合も有効に機能した。
とともに高温高圧下で焼結される高硬度焼結体に
関し、特に結合性を改善することによつて切削作
業、線引き作業等に好結果をもたらすようにした
ものである。 従来、この種の高硬度焼結体は、結合材の含有
率が高いものについては、金属の炭化物、窒化
物、硼化物等を利用したものが多く、また含有率
が低いものについては、合金を使用したものが多
い。 しかしながら、前者結合相の多い部分だか焼結
体の硬度を犠性にすることから、高硬度の被削材
には不適当であり、また後者では、高温特性が悪
く、抗圧力、靭性が低いことなどから非常にもろ
く、軽切削においてのみ有効なものであつた。 したがつて、この種の高硬度焼結体は、結合材
の面から高温特性にすぐれているだけでなく、抗
圧力、靭性においてもすぐれているような高硬度
焼結体の開発が要望されている。 本発明は、CBNおよび/またはWBNを60〜95
重量%(以下%という)、残りの5〜40%を結合
材とし、この結合材の一部には、Ti,Zrおよび
Hfの単独または複合からなる助材が含まれるよ
うにした高硬度焼結体において、前記結合材は、
Niおよび/またはCoの金属間化合物であつて、
前記助材との間および/または、W,Mo,Nb,
V,およびTaの単独または複合から選択された
金属または合金との間で金属間化合物を形成し、
前記助材は、焼結体全体に対して、1〜8%含ま
れていることを内容とするものである。 以下、本発明高硬度焼結体の一実施例につい
て、図を参照しながら説明する。 第1図および第2図において、1は、高硬度焼
結体であり、この高硬度焼結体1は、CBNおよ
び/またはWBNを60〜95重量%(以下%とい
う)とし、残りの5〜40%を結合材としたもので
ある。 そして、この高硬度焼結体1は、高温高圧下、
例えば1250℃、50〜60Kbで焼結され、図示のよ
うなバイトに使用される場合には、ホルダー2の
先端に切欠された段部3内にろう付けされる。 また、第2図の場合は、高硬度焼結体1が、例
えば超硬合金からなる基台4上にあるが、これ
は、高温高圧下の焼結時に固着されたものであ
り、この基台4を介して、同じくホルダー2の段
部3内にろう付けされる。 前記高硬度焼結体1は、前述したようにCBN
および/またはWBNを60〜95%、残りの5〜40
%を結合材としたものであるが、結合材の一部に
は、Ti,ZrおよびHfの単独または複合からなる
助材を含み、結合強化を図つている。この助材
は、焼結体全体に対して1〜8%含まれているも
のである。そして、結合材の主体となるものは、
Niおよび/またはCoの金属間化合物であり、こ
の金属化合物は、前記助材との間および/または
W,Mo,Nb,V,およびTaの単独または複合か
ら選択された金属または合金との間で形成され
る。なお、この金属間化合物は、予め金属間化合
物を形成しているものだけでなく、焼結過程で形
成されるものも含むものである。 また、Ti,ZrおよびHfの単独または複合から
なる助材については、出発原料として、TiHx,
ZrHxおよびHfHxの単独または複合が好適する。
この場合xは、1≦x≦2の範囲で選択されるべ
きものである。 Hxを適用するのは、活性な水素が清浄化作用
をなすとともに、これに伴つて生成される活性な
Ti,Zr等を高強度の助材として作用させるため
である。すなわち、これらの水素化物との混合物
を例えば1000℃、10-5mmHgで前処理することに
より、活性な水素がCBN等の他の物質の表面を
清浄化し、かつこれに伴つて同時に生成する活性
なTi,Zr等の助材が殆んど原子状となつて、結
合材とCBNおよび/またはWBNとの間で結合助
材となるためである。 また、Niおよび/またはCoと、W,Mo,Nb,
VおよびTaの単独または複合との組合せでは、
金属間化合物が予め形成され、また焼結過程で生
成される。そして、金属間化合物は、これを構成
する単体金属よりも、その融点が低下し、密着性
を増加させる性質を有していることから、焼結領
域における圧力も減少する。 (実施例 1) 実施例1は、CBNを60〜95%の範囲で変化さ
せ、これに結合材を組合せて焼結したものであ
る。そして、配合組成、性能試験結果等について
は、第1表に示されるとおりである。この場合、
TiNi,VNi,MoNi,NbCo,NbNi,TiNiについ
ては、それぞれ1:1の割合で、WNi4,MoNi4
については、それぞれ1:4の割合になつてい
る。 なお、CBNが95%を越えるものについては、
結合強度が弱いことから不可で、また60%未満の
ものについては、CBNの特性を活かせず不適当
であることを確認した。 また、性能試験による比較品は、90%CBN+
10%(Ni+Al)からなるもので、いずれも本発
明品の方がすぐれていた。これは、本発明品の結
合材が金属間化合物で、高温強度が高く、また、
助材が密着性を高めるように作用することからで
ある。この場合、助材については、1〜8%が好
適範囲である。これは、下限値未満であれば、水
素化物として配合しても活性量が少なく、また、
上限値を越えると金属成分の増加となつて、高温
強度を低下させるからである。 なお、実験No.1,4については、助材成分とし
てのTiをNiとの金属間化合物としたものが示さ
れているが、この場合も有効に機能した。
【表】
(実施例 2)
実施例2は、WBNを60〜95%の範囲で変化さ
せ、これに結合材を組合せて焼結したものであ
る。そして、配合組成、性能試験結果等は、第2
表に示されるとおりで、CoNi,MoNi,NbCoは
それぞれ1:1の割合で、WNi4については、
1:4になつているものである。 また、第2表以外の試験において、WBNが95
%を越えるものについては、結合強度が弱いこと
から不可であることおよび60%未満のものについ
ては、WBNの特性を活かせずに不適当であるこ
とを確認した。さらに助材の含有率についても、
実施例1と同様1〜8%が好適することを確認し
た。 なお、性能試験による比較品は、実施例1と同
じく90%CBN+10%(Ni+Al)からなるもので
あるが、第1表の結果からも明らかなように、本
発明品がいずれもすぐれたいた。
せ、これに結合材を組合せて焼結したものであ
る。そして、配合組成、性能試験結果等は、第2
表に示されるとおりで、CoNi,MoNi,NbCoは
それぞれ1:1の割合で、WNi4については、
1:4になつているものである。 また、第2表以外の試験において、WBNが95
%を越えるものについては、結合強度が弱いこと
から不可であることおよび60%未満のものについ
ては、WBNの特性を活かせずに不適当であるこ
とを確認した。さらに助材の含有率についても、
実施例1と同様1〜8%が好適することを確認し
た。 なお、性能試験による比較品は、実施例1と同
じく90%CBN+10%(Ni+Al)からなるもので
あるが、第1表の結果からも明らかなように、本
発明品がいずれもすぐれたいた。
【表】
(実施例 3)
実施例3は、CBNおよびWBNの合計量が60〜
95%になるように変化させ、これに結合材を組合
せて焼結したものである。そして、配合組成、性
能試験結果等は、第3表で示されるとおりであ
る。この場合、TiCo,ZrCo,MoNi,VNi,
HfNi,TiNiについては、それぞれ1:1,
(TaV)Coについては、1:1:1の割合になつ
ているものである。 なお、性能試験による比較品については、90%
CBN+10%(Ni+Al)からなるもので、いずれ
も発明品の方がすぐれていた。また、CBNおよ
びWBNの含有率、助材の含有率についても、実
施例1および実施例2と同様、60〜95%、1〜8
%が好適範囲であることが確認された。
95%になるように変化させ、これに結合材を組合
せて焼結したものである。そして、配合組成、性
能試験結果等は、第3表で示されるとおりであ
る。この場合、TiCo,ZrCo,MoNi,VNi,
HfNi,TiNiについては、それぞれ1:1,
(TaV)Coについては、1:1:1の割合になつ
ているものである。 なお、性能試験による比較品については、90%
CBN+10%(Ni+Al)からなるもので、いずれ
も発明品の方がすぐれていた。また、CBNおよ
びWBNの含有率、助材の含有率についても、実
施例1および実施例2と同様、60〜95%、1〜8
%が好適範囲であることが確認された。
【表】
本発明は、以上説明したように、CBNおよ
び/またはWBNを60〜95%とし、結合材として
金属間化合物を適用するとともにTi,Zr,Hfか
らなる助材を全体の1〜8%含有させるようにし
たものであるから、結合材としての高温硬度が高
く、しかもCBNおよび/またはWBNに対しては
密着性による結合強度が高くなり、切削工具、ダ
イス等に好適するという利点を有する。
び/またはWBNを60〜95%とし、結合材として
金属間化合物を適用するとともにTi,Zr,Hfか
らなる助材を全体の1〜8%含有させるようにし
たものであるから、結合材としての高温硬度が高
く、しかもCBNおよび/またはWBNに対しては
密着性による結合強度が高くなり、切削工具、ダ
イス等に好適するという利点を有する。
第1図は、本発明高硬度焼結体の一実施例を示
すもので、バイトホルダーにろう付けしたものを
示す斜視図、第2図は、変形例を示す斜視図であ
る。 1…高硬度焼結体、2…バイトホルダー、4…
基台。
すもので、バイトホルダーにろう付けしたものを
示す斜視図、第2図は、変形例を示す斜視図であ
る。 1…高硬度焼結体、2…バイトホルダー、4…
基台。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 CBNおよび/またはWBNを60〜95重量%
(以下%という)、残りの5〜40%を結合材とし、
この結合材の一部には、Ti,ZrおよびHfの単独
または複合からなる助材が含まれるようにした高
硬度焼結体において、 前記結合材は、Niおよび/またはCoの金属間
化合物であつて、前記助材との間でおよび/また
はW,Mo,Nb,V,およびTaの単独または複合
から選択された金属または合金との間で金属間化
合物を形成し、 前記助材は、焼結体全体に対して、1〜8%含
まれていることを特徴とする高硬度焼結体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10442779A JPS5629648A (en) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | High hardness sintered body |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10442779A JPS5629648A (en) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | High hardness sintered body |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5629648A JPS5629648A (en) | 1981-03-25 |
JPS6133894B2 true JPS6133894B2 (ja) | 1986-08-05 |
Family
ID=14380380
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10442779A Granted JPS5629648A (en) | 1979-08-16 | 1979-08-16 | High hardness sintered body |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5629648A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002520567A (ja) * | 1998-04-22 | 2002-07-09 | シンターファイアー,インコーポレイテッド | 壊れやすい金属製弾丸およびこのような物品を製造する方法 |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9076843B2 (en) | 2001-05-22 | 2015-07-07 | Novellus Systems, Inc. | Method for producing ultra-thin tungsten layers with improved step coverage |
US20100267230A1 (en) | 2009-04-16 | 2010-10-21 | Anand Chandrashekar | Method for forming tungsten contacts and interconnects with small critical dimensions |
US10256142B2 (en) | 2009-08-04 | 2019-04-09 | Novellus Systems, Inc. | Tungsten feature fill with nucleation inhibition |
CN110004429B (zh) | 2012-03-27 | 2021-08-31 | 诺发系统公司 | 钨特征填充 |
US9969622B2 (en) * | 2012-07-26 | 2018-05-15 | Lam Research Corporation | Ternary tungsten boride nitride films and methods for forming same |
US9589808B2 (en) | 2013-12-19 | 2017-03-07 | Lam Research Corporation | Method for depositing extremely low resistivity tungsten |
US9953984B2 (en) | 2015-02-11 | 2018-04-24 | Lam Research Corporation | Tungsten for wordline applications |
US9613818B2 (en) | 2015-05-27 | 2017-04-04 | Lam Research Corporation | Deposition of low fluorine tungsten by sequential CVD process |
US9754824B2 (en) | 2015-05-27 | 2017-09-05 | Lam Research Corporation | Tungsten films having low fluorine content |
US9978605B2 (en) | 2015-05-27 | 2018-05-22 | Lam Research Corporation | Method of forming low resistivity fluorine free tungsten film without nucleation |
KR20230127377A (ko) | 2017-04-10 | 2023-08-31 | 램 리써치 코포레이션 | 몰리브덴을 함유하는 저 저항률 막들 |
SG11202001268TA (en) | 2017-08-14 | 2020-03-30 | Lam Res Corp | Metal fill process for three-dimensional vertical nand wordline |
WO2019213604A1 (en) | 2018-05-03 | 2019-11-07 | Lam Research Corporation | Method of depositing tungsten and other metals in 3d nand structures |
WO2020123987A1 (en) | 2018-12-14 | 2020-06-18 | Lam Research Corporation | Atomic layer deposition on 3d nand structures |
JP2022522226A (ja) | 2019-04-11 | 2022-04-14 | ラム リサーチ コーポレーション | 高ステップカバレッジのタングステン堆積 |
JP2022544931A (ja) | 2019-08-12 | 2022-10-24 | ラム リサーチ コーポレーション | タングステン堆積 |
-
1979
- 1979-08-16 JP JP10442779A patent/JPS5629648A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002520567A (ja) * | 1998-04-22 | 2002-07-09 | シンターファイアー,インコーポレイテッド | 壊れやすい金属製弾丸およびこのような物品を製造する方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS5629648A (en) | 1981-03-25 |
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