JPS6129562A - 印字用発光ダイオ−ド - Google Patents
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- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 9
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
イ)産業上の利用分野。
本発明は印字品質のよい高密度化に適した光プリンタヘ
ッドに好適な印字用発光ダイオードに関する。
ッドに好適な印字用発光ダイオードに関する。
口)従来の技術
近年、第2図(a)に示すように整列した印字ドツトに
対応する発光部(1)fl)・・・を有する発光ダイオ
ード(21!21・・・を用いて光プリンタヘッドに用
いる事が研究されている。このような印字用発光ダイオ
ードに関しては、例えば電子通信学会研究報告1F!8
2−52第23頁(昭和57年)等にて報告されている
が、第2図(blに示すようにGaAsPの、n型層(
3)上に拡散によるP型領域(4)を形成し、P型領域
(4)の一部分を覆うアルミニウムの電極(5)を設け
ている。
対応する発光部(1)fl)・・・を有する発光ダイオ
ード(21!21・・・を用いて光プリンタヘッドに用
いる事が研究されている。このような印字用発光ダイオ
ードに関しては、例えば電子通信学会研究報告1F!8
2−52第23頁(昭和57年)等にて報告されている
が、第2図(blに示すようにGaAsPの、n型層(
3)上に拡散によるP型領域(4)を形成し、P型領域
(4)の一部分を覆うアルミニウムの電極(5)を設け
ている。
先の資料ではP型領域(4)の大きさを65μm×50
、pmとし、印字ドツト(光学的に露出したP型領域(
4)の平面的形状又は大きさ)として50×30.4m
の大きさを設計し、電極(5)の巾を印字ドツトの巾よ
り充分大きくしてP型領域(4)の−辺を完全に電Th
(51で覆っている。、しかしこの方法は印字ドツト
が集積化してくるとある1つの印字ドツトの電極が隣接
する印字ドツト又は隣接する印字ドツトの電極に近接す
るので集積度に限界がある。
、pmとし、印字ドツト(光学的に露出したP型領域(
4)の平面的形状又は大きさ)として50×30.4m
の大きさを設計し、電極(5)の巾を印字ドツトの巾よ
り充分大きくしてP型領域(4)の−辺を完全に電Th
(51で覆っている。、しかしこの方法は印字ドツト
が集積化してくるとある1つの印字ドツトの電極が隣接
する印字ドツト又は隣接する印字ドツトの電極に近接す
るので集積度に限界がある。
さらに拡散のマスクと電極のマスクの位置あわせも集積
密度が高くなるに従って困難な作業となる。
密度が高くなるに従って困難な作業となる。
一方昭和55年度電子通信学会通信部門全国大会第59
2テーマ(予稿集1−211頁)には第5図に示す如く
P型領域−の中と等しい巾の先端部を有する電極α9が
利用されている。これはP型頭域Iの側辺を基準に電極
マスクがセットでき作業性がよい。ところが、拡散によ
るP型領域14)(14)は深くなるに従って領域が一
拡大しているので、これを点灯させると表面拡散面積よ
り2〜1096大きい面積で光が放出される。アルミニ
ウムの電極(51fiSは当然遮光性があるため、電極
下のP型領域表面は光が遮ぎられるが、深部P型領域か
らの光が電極a5!の両側から出てくるので略凹字状印
字ドツトとなる事がわかった。深部P型領域の深さは高
々5.0声m(通常は2.0声m前後)と浅いので、印
字ドツト密度が低い時(例えば3.85ドツト/nで印
字ドツト巾がドツト間隔の5096未満の時)にはこの
電極周縁の光の筋はそれ程問題にならない。しかし印字
ドツト密度が高い時(例えば95ドツ)/W以上)にな
ると目立ち、特に電極下のPn接合は電流分布が集中し
やすいので高輝度になりやすいから8mA/ドツト以上
の大きな電流を流すと完全な凹字状ドツトになってしま
い不都合である。
2テーマ(予稿集1−211頁)には第5図に示す如く
P型領域−の中と等しい巾の先端部を有する電極α9が
利用されている。これはP型頭域Iの側辺を基準に電極
マスクがセットでき作業性がよい。ところが、拡散によ
るP型領域14)(14)は深くなるに従って領域が一
拡大しているので、これを点灯させると表面拡散面積よ
り2〜1096大きい面積で光が放出される。アルミニ
ウムの電極(51fiSは当然遮光性があるため、電極
下のP型領域表面は光が遮ぎられるが、深部P型領域か
らの光が電極a5!の両側から出てくるので略凹字状印
字ドツトとなる事がわかった。深部P型領域の深さは高
々5.0声m(通常は2.0声m前後)と浅いので、印
字ドツト密度が低い時(例えば3.85ドツト/nで印
字ドツト巾がドツト間隔の5096未満の時)にはこの
電極周縁の光の筋はそれ程問題にならない。しかし印字
ドツト密度が高い時(例えば95ドツ)/W以上)にな
ると目立ち、特に電極下のPn接合は電流分布が集中し
やすいので高輝度になりやすいから8mA/ドツト以上
の大きな電流を流すと完全な凹字状ドツトになってしま
い不都合である。
ハ)発明が解決しようとする問題点
本発明は上述の点を考慮して製造しゃすく印字品質の優
れた印字用発光ダイオードを提供するものである。
れた印字用発光ダイオードを提供するものである。
二)問題点を解決するための手段
本発明は拡散領域の表面形状を略凸字状にし、その略凸
字状の突起部に電極を設けるものである。
字状の突起部に電極を設けるものである。
ホ)作 用
このようにする事で、電極のマスクは拡散領域の広い部
分(略凸字状の基部)の側辺又は角部分を基準に位置あ
わせできるので印字ドツト密度が高くても作業性がよく
、・また印字ドツトの形状としては略凸字状の基部のみ
となって余分な光の筋は発生しないから印字品質が向上
する。
分(略凸字状の基部)の側辺又は角部分を基準に位置あ
わせできるので印字ドツト密度が高くても作業性がよく
、・また印字ドツトの形状としては略凸字状の基部のみ
となって余分な光の筋は発生しないから印字品質が向上
する。
へ)実 施 例
第1図は第2図(a)(b)で説明した発光ダイオード
+21121・・・の表面の本発明における要部平面図
である。n型のGaAsP成長層表面に略凸字状に亜鉛
を選択拡散してP型領域(ハ)を形成する。そしてその
P型領域(ハ)の略凸字状の突起部(24a)を覆うよ
うにアルミニウムからなる遮光性の電極に)を 。
+21121・・・の表面の本発明における要部平面図
である。n型のGaAsP成長層表面に略凸字状に亜鉛
を選択拡散してP型領域(ハ)を形成する。そしてその
P型領域(ハ)の略凸字状の突起部(24a)を覆うよ
うにアルミニウムからなる遮光性の電極に)を 。
設けである。電極(ハ)は好ましくはP型領域(ハ)の
略凸部字状の基部(24b)の1部と対応する個所を具
備している。第1図の例では略凸部字状の基部(24b
)の1 fR11辺(24c)と−直線上に並ぶ側辺(
25c)を設けであるが、角(1(11)に対向する突
起や切欠でもよい。
略凸部字状の基部(24b)の1部と対応する個所を具
備している。第1図の例では略凸部字状の基部(24b
)の1 fR11辺(24c)と−直線上に並ぶ側辺(
25c)を設けであるが、角(1(11)に対向する突
起や切欠でもよい。
具体的に例示すると、P型領域僻の拡散マスクパターン
は一辺50μmの四角形に長さ20/1m巾40.IL
mの突起部(24a)を設けた。これを300ドツト/
1nchに配置し深さ2.5.i+mに亜鉛を選択拡散
したのら、P型領域(ハ)の略凸字状の基部(24b)
から2μm離して電極(ホ)を蒸着し、オーミック接触
をとった。この形状で5mA/ドツトの電流を流した時
−辺52//mのほぼ方形な印字ドツト、10mA/ド
ツトの電流を流した時−辺55pmの方形な印字ドツト
を得ることが出来た。
は一辺50μmの四角形に長さ20/1m巾40.IL
mの突起部(24a)を設けた。これを300ドツト/
1nchに配置し深さ2.5.i+mに亜鉛を選択拡散
したのら、P型領域(ハ)の略凸字状の基部(24b)
から2μm離して電極(ホ)を蒸着し、オーミック接触
をとった。この形状で5mA/ドツトの電流を流した時
−辺52//mのほぼ方形な印字ドツト、10mA/ド
ツトの電流を流した時−辺55pmの方形な印字ドツト
を得ることが出来た。
また寸法を変化させて印字ドツト密度を高めた1
ところ、400ドツト/1nch、印字ドツト
中がドツト間隔の7596まで方形の印字ドツトをもつ
印字用発光ダイオードが形成できたが、これ以上の解像
度に対しては、印字ドツトの形状を解析するだめの高密
度単焦点レンズアレイが入手できないため現段階では確
認できなかった。
ところ、400ドツト/1nch、印字ドツト
中がドツト間隔の7596まで方形の印字ドツトをもつ
印字用発光ダイオードが形成できたが、これ以上の解像
度に対しては、印字ドツトの形状を解析するだめの高密
度単焦点レンズアレイが入手できないため現段階では確
認できなかった。
ト)発明の効果
以上の如く本発明は印字ドツトの領域が略凸字状の基部
で明確化されているので、電極の先端を不必要に広くす
る必要もなく、壕だ電極のマスクの位置あわせにおけ名
基準がとりやすいので製造しやすい。さらに略凸字状の
基部が正方形であっても多角形であっでも(即ち白字そ
のものでなく鍵穴凸状等であっても)目的とする印字ド
ツトの形状に極めて近ずける事ができるので印字品質が
優れている。
で明確化されているので、電極の先端を不必要に広くす
る必要もなく、壕だ電極のマスクの位置あわせにおけ名
基準がとりやすいので製造しやすい。さらに略凸字状の
基部が正方形であっても多角形であっでも(即ち白字そ
のものでなく鍵穴凸状等であっても)目的とする印字ド
ツトの形状に極めて近ずける事ができるので印字品質が
優れている。
第1図は本発明の印字用発光ダイオードの要部平面図、
第2図(a)は光プリンタヘッドの斜視図、第2図(b
lは印字用発光ダイオードの要部断面図、第3図は従来
の印字用発光ダイオードの要部平面図である。
第2図(a)は光プリンタヘッドの斜視図、第2図(b
lは印字用発光ダイオードの要部断面図、第3図は従来
の印字用発光ダイオードの要部平面図である。
Claims (1)
- 1)第1導電型層の表面側に設けられた略凸字状の第2
導電型領域と、第2導電型領域の略凸字状の突起部を覆
う遮光性の電極とを具備した事を特徴とする印字用発光
ダイオード。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15172284A JPS6129562A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 印字用発光ダイオ−ド |
US06/753,393 US4633280A (en) | 1984-07-20 | 1985-07-10 | Unit of light emitting diode arrays |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15172284A JPS6129562A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 印字用発光ダイオ−ド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6129562A true JPS6129562A (ja) | 1986-02-10 |
JPH0526664B2 JPH0526664B2 (ja) | 1993-04-16 |
Family
ID=15524851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15172284A Granted JPS6129562A (ja) | 1984-07-20 | 1984-07-20 | 印字用発光ダイオ−ド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4633280A (ja) |
JP (1) | JPS6129562A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62177058U (ja) * | 1986-04-28 | 1987-11-10 | ||
JPS63216391A (ja) * | 1987-03-04 | 1988-09-08 | Nec Corp | Led記録ヘツド |
JPS6457049U (ja) * | 1987-10-02 | 1989-04-10 | ||
EP0881686A2 (en) | 1997-05-28 | 1998-12-02 | Oki Electric Industry Company, Limited | LED array and LED printer head |
Families Citing this family (39)
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US4916530A (en) * | 1988-09-02 | 1990-04-10 | Itek Graphix Corp. | High resolution halftone dot generator system including LED array |
US5014074A (en) * | 1988-10-11 | 1991-05-07 | Hewlett-Packard Company | Light emitting diode print head assembly |
US4942405A (en) * | 1988-10-11 | 1990-07-17 | Hewlett-Packard Company | Light emitting diode print head assembly |
JPH02127053A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-15 | Mitsubishi Electric Corp | Ledアレイ |
US5094970A (en) * | 1988-11-07 | 1992-03-10 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Method of making a light emitting diode array |
KR910006706B1 (ko) * | 1988-12-12 | 1991-08-31 | 삼성전자 주식회사 | 발광다이오드 어레이 헤드의 제조방법 |
US4951098A (en) * | 1988-12-21 | 1990-08-21 | Eastman Kodak Company | Electrode structure for light emitting diode array chip |
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