JPH01128480A - 発光ダイオードアレイ - Google Patents
発光ダイオードアレイInfo
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- JPH01128480A JPH01128480A JP62285225A JP28522587A JPH01128480A JP H01128480 A JPH01128480 A JP H01128480A JP 62285225 A JP62285225 A JP 62285225A JP 28522587 A JP28522587 A JP 28522587A JP H01128480 A JPH01128480 A JP H01128480A
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- Pending
Links
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Landscapes
- Led Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は発光ダイオード(LED)プリンタ等の光源と
して使用される発光ダイオードアレイに関する。
して使用される発光ダイオードアレイに関する。
(従来の技術)
従来、このような分野の技術としては、例えば、以下に
示すものがあった。
示すものがあった。
第2図はかかる従来の面発光型ダイオードの部分斜視図
である。
である。
図中、1はn型GaAsjJ仮、2はこの基板1上に形
成されたGaAsPのn4工ピタキシヤル層、3はn゛
エピタキシヤルFJ2亜鉛Znを部分的に拡散して配列
方向に等ピッチに形成されたp゛拡散層で、これらn3
工ピタキシヤル層2及びp゛拡散N3によって発光ダイ
オード毎の発光に寄与するpn接合を形成している。4
はこのp9拡散層3を形成するために用いた拡散マスク
で、例えば、窒化シリコン層で形成している。5はp゛
拡散jり3と電気的に接続されるように設けられた電極
配線層で、例えば、アルミニウムで形成している。
成されたGaAsPのn4工ピタキシヤル層、3はn゛
エピタキシヤルFJ2亜鉛Znを部分的に拡散して配列
方向に等ピッチに形成されたp゛拡散層で、これらn3
工ピタキシヤル層2及びp゛拡散N3によって発光ダイ
オード毎の発光に寄与するpn接合を形成している。4
はこのp9拡散層3を形成するために用いた拡散マスク
で、例えば、窒化シリコン層で形成している。5はp゛
拡散jり3と電気的に接続されるように設けられた電極
配線層で、例えば、アルミニウムで形成している。
(発明が解決しようとする問題点)
上記した従来の構造によると、発光形状はp。
拡散N3の平面形状により決定される。しかしながら、
これはn゛エピタキシ+ル層2発光波長に対して充分な
吸収係数を有していることが条件であり、光漏れ、滲み
により隣接する発光領域とのクロストークを少なくする
ために必要な条件である。ところが、発光波長が短いも
の(概ねλp<650 ns)になると吸収係数が小さ
くなり、光漏れ、滲みが多くなるため、亜鉛Znの拡散
によって形成されるp°拡散層3の平面形状の通りの発
光形状が得られなくなる。
これはn゛エピタキシ+ル層2発光波長に対して充分な
吸収係数を有していることが条件であり、光漏れ、滲み
により隣接する発光領域とのクロストークを少なくする
ために必要な条件である。ところが、発光波長が短いも
の(概ねλp<650 ns)になると吸収係数が小さ
くなり、光漏れ、滲みが多くなるため、亜鉛Znの拡散
によって形成されるp°拡散層3の平面形状の通りの発
光形状が得られなくなる。
本発明は、以上述べたようなLEDアレイの発光領域の
光漏れ、滲み等をカバーし、隣接する相互発光領域の光
ストロークが少ないLEDアレイを提供することを目的
とする。
光漏れ、滲み等をカバーし、隣接する相互発光領域の光
ストロークが少ないLEDアレイを提供することを目的
とする。
(問題点を解決するための手段)
本発明は、上記問題点を解決するために、複数個の発光
ダイオードの発光形状をpn接合形状により決定してい
る発光ダイオードアレイにおいて、発光領域の形状規制
及び光漏れ、滲み等をカバーするために遮光層を形成す
るようにしたものである。
ダイオードの発光形状をpn接合形状により決定してい
る発光ダイオードアレイにおいて、発光領域の形状規制
及び光漏れ、滲み等をカバーするために遮光層を形成す
るようにしたものである。
(作用)
本発明によれば、上記のように、遮光層を設けることに
より、発光領域の光漏れや、滲みが生じる場合において
も、それらの影響を最小限にでき、隣接する光クロスト
ークを少なくすることができる。また、遮光層により発
光形状が規定されるために、p°拡散層の異常拡散によ
る異形発光を矯正することができる。
より、発光領域の光漏れや、滲みが生じる場合において
も、それらの影響を最小限にでき、隣接する光クロスト
ークを少なくすることができる。また、遮光層により発
光形状が規定されるために、p°拡散層の異常拡散によ
る異形発光を矯正することができる。
(実施例)
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら詳細
に説明する。
に説明する。
第1図は本発明の実施例を示すLEDアレイの部分斜視
図である。
図である。
図中、lはn型GaAs基板であり、その基板上のGa
AsPのn°エピタキシャル層2に拡散マスク4により
亜鉛Znを部分的に拡散して配列方向に等ピンチに形成
されたp゛拡t&層3を形成している。
AsPのn°エピタキシャル層2に拡散マスク4により
亜鉛Znを部分的に拡散して配列方向に等ピンチに形成
されたp゛拡t&層3を形成している。
5はP゛拡散層3と電気的に接続されるように設けられ
た電極配線層であり、例えば、アルミニウムで形成され
ている。6は発光領域を開口しである遮光層であり、例
えば、アルミニウムや不透明な樹脂(黒色ポリイミド)
を拡散マスク4 (中間絶縁膜)を介して形成する。
た電極配線層であり、例えば、アルミニウムで形成され
ている。6は発光領域を開口しである遮光層であり、例
えば、アルミニウムや不透明な樹脂(黒色ポリイミド)
を拡散マスク4 (中間絶縁膜)を介して形成する。
なお、上記実施例ではGaAsP/GaAs基板を用い
て亜鉛Znを選択的に拡散することによりpn接合を形
成しているが、他の基板材料を用いて、他のpn接合形
成方法によってもよいことは明らかである。
て亜鉛Znを選択的に拡散することによりpn接合を形
成しているが、他の基板材料を用いて、他のpn接合形
成方法によってもよいことは明らかである。
また、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これ
らを本発明の範囲から排除するものではない。
(発明の効果)
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、遮光層
を設けることにより、発光領域の光漏れや、滲み等が生
じる場合においても、それらの影響を最小限にでき、隣
接する発光領域の光クロストークを少なくすることがで
きる。
を設けることにより、発光領域の光漏れや、滲み等が生
じる場合においても、それらの影響を最小限にでき、隣
接する発光領域の光クロストークを少なくすることがで
きる。
また、遮光層により発光形状が規定されるために、p゛
拡散層の異常拡散による異形発光を矯正することができ
る。
拡散層の異常拡散による異形発光を矯正することができ
る。
第1図は本発明の実施例を示すLEDアレイの部分斜視
図、第2図は従来の面発光型ダイオードの部分斜視図で
ある。 1・・・n型GaAs基板、2・・・n1工ピタキシヤ
ル層、3・・・p゛拡散層、4・・・拡散マスク、5・
・・電極配線層、6・・・遮光層。 特許出願人 沖電気工業株式会社
図、第2図は従来の面発光型ダイオードの部分斜視図で
ある。 1・・・n型GaAs基板、2・・・n1工ピタキシヤ
ル層、3・・・p゛拡散層、4・・・拡散マスク、5・
・・電極配線層、6・・・遮光層。 特許出願人 沖電気工業株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 複数個の発光ダイオードの発光形状をpn接合形状に
より決定している発光ダイオードアレイにおいて、 所望の発光形状を規定する遮光層を設けたことを特徴と
する発光ダイオードアレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62285225A JPH01128480A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 発光ダイオードアレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62285225A JPH01128480A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 発光ダイオードアレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01128480A true JPH01128480A (ja) | 1989-05-22 |
Family
ID=17688724
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62285225A Pending JPH01128480A (ja) | 1987-11-13 | 1987-11-13 | 発光ダイオードアレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH01128480A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5038186A (en) * | 1988-11-07 | 1991-08-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Light emitting diode array |
JPH0480072U (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-13 |
-
1987
- 1987-11-13 JP JP62285225A patent/JPH01128480A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5038186A (en) * | 1988-11-07 | 1991-08-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Light emitting diode array |
JPH0480072U (ja) * | 1990-11-27 | 1992-07-13 |
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