JPS61290444A - 光硬化性樹脂組成物 - Google Patents

光硬化性樹脂組成物

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JPS61290444A
JPS61290444A JP13281885A JP13281885A JPS61290444A JP S61290444 A JPS61290444 A JP S61290444A JP 13281885 A JP13281885 A JP 13281885A JP 13281885 A JP13281885 A JP 13281885A JP S61290444 A JPS61290444 A JP S61290444A
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formula
resin composition
photocurable resin
dyeing
monomers
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JP13281885A
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Hideo Sato
英雄 佐藤
Hiroshi Kawabata
川端 洋
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Chisso Corp
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    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/038Macromolecular compounds which are rendered insoluble or differentially wettable
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術の分野〕 本発明は光硬化性樹脂組成物に関する。更に詳しくは光
照射により付加重合し得るエチレン性不飽和二重結合と
、アミノ基若しくは置換アミノ基を必須成分として含有
する光硬化性樹脂組成物に関する。
本発明に係る光硬化性樹脂組成物は酸性染料に対する染
色性が良好であるのでカラービデオカメラ、液晶カラー
TVなどに用いられるカラーフィルター形成材として特
に好適であるほか、エレクトロニクス分野の部品加工や
印刷産業における製版材料などの一般のフォトレジスト
の応用分野にも用いることができる。
〔従来の技術〕
カラーフィルターの形成材料としては、従来重クロム酸
アンモニウム、重クロム酸カリウム等の6価クロム化合
物を光架橋剤としたゼラチン、グルーなどの天然高分子
からなる感光性組成物が広く用いられている。
このような感光性組成物をガラス又は固体撮像素子等の
基板上にスピンコード法で塗布する0次いでストライプ
状又はモザイク状のパターンを介して紫外線露光、現像
することにより無色の透明パターンを基板上に形成する
。この無色の透明パターンを染料等を含有する染色溶液
に浸漬して染色する。次に染色パターン上に樹脂等で保
護膜を形成する。以上の工程を繰り返すことにより目的
とするカラーフィルターを製造することが一般に行なわ
れている。
ゼラチン、グルーなとは酸性染料に対する染色性が良好
であって、解像度もすぐれており、しかも有機溶剤を使
用せずに水で現像ができるという工程上の利点も有して
いる。しかしながら、ゼラチン、グルーなどは天然高分
子であるので、分子量分布が一定なものあるいは酸性染
料で染色する際に必要なアミン基濃度の一定なものが得
られ難い。さらに光不溶化反応と同様の硬化反応が露光
前後にも起る、いわゆる暗反応が起りやすいので、感光
液の長期保存ができず、基板に塗布後は、短時間内に露
光現像しなければならない。
又、人体に有害な6価クロム化合物を使う必要がある等
の欠点もある。
これらの欠点を改善する試みとして、例えば4゛−メタ
クロイロキンカルコンと共重合可能な不飽和結合を有す
る第3級アミンとの共重合体を主成分とする感光性樹脂
(特開昭59−48758) 、 2−ヒドロキシエチ
ルメタクリレート、3−ジメチルアミノプロピルメタク
リレート、アクリルアミドからなる3元共重合体と、ジ
アゾ化合物の光架橋剤とを主成分とする感光性樹脂組成
物(特開昭58−198342)などが知られている。
しかしながら、前者は6価クロムを使わず、暗反応を抑
制できたものの、水性溶媒による現像ができず、現像に
有機溶剤を用いなければならないという労働衛生管理面
からの操作上の難点がある。
さらにカルコン系化合物は光によって2量化するタイプ
であるので、必要とする膜強度を得るためには、共重合
体中に占めるカルコン基の割合を犬きくしなければなら
ず、感光性と染色性のバランスがとりにくいという欠点
がある。
また後者は暗反応の抑制が不完全である上に、硬化後の
樹脂の黄変が起きるという欠点がある。
〔発明の目的〕
前述したように本発明の目的は (ア)暗反応を抑制された保存安定性のよい(イ)有害
物質である6価クロムを用いていない(つ)感光性と染
色性のバランスをとり易い、(1)有機溶剤によらず、
水性溶剤で現像ができる感光性樹脂組成物であって (オ)硬化樹脂の酸性染料に対する染色性および(力)
カラーフィルター形成における解像度が、従来のゼラチ
ン、グルーを主成分とする感光性組成物からの物と同程
度または同程度以上にある該感光性樹脂組成物を提供す
ることにある。
前述したような、従来のカラーフィルター形成材の諸欠
点を改善すべく、本発明者等は染色性機能を有する化合
物と、感光性機能を有する化合物との組合わせを種々検
討した結果、下記[IIおよび[II ]の単量体を共
重合せしめてなる光硬化性樹脂組成物を使用すると上述
(ア)〜(力)の問題点を解決し得ることを知って本発
明を完成するに至った。
〔発明の構成、効果〕
本発明は、下記(1)の主要構成を有する。
(1)一般式 (式中、R1はH、CH3”E f= ハC2R5ヲ示
L、XバーO−。
または−NH−を示し、Yは炭素数1〜4の直鎖または
枝分れの炭化水素基を示し、R2、R3は炭素数1〜4
のアルキル基を示す) で表わされる単量体と、一般式 ([II]式中、R4はH、CH3t タハC2R5ヲ
示L、Xは−0−2または−NH−を示し、Yは炭素数
1〜4の直鎖または枝分れの炭化水素基を示す、)で表
わされる単量体を有効成分として共重合せしめて得られ
る光硬化性樹脂組成物である。
上述[IIで表わされる単量体は染色性の機能および水
に対する溶解性を高める役割を果たしている。本発明に
係る共重合体中に占める[I]式部分の割合は、染色性
および水に対する溶解性に基づく要請から、20モル%
以上80モル%以下であることが望ましい。
[II式で表わされる単量体の具体例としては などが挙げられる。
これらの単量体と共重合可能な、[II]式で表わされ
る単量体の具体例としては、 H3 H3 などが挙げられる。
共重合体中の[II ]式部分はその含有するニチレン
性不飽和二重結合が光照射によって重合、架橋して共重
合体を溶媒に不溶化し、これをカラーフィルター形成基
板上に保持する役割を果す0本発明の光硬化性樹脂組成
物において、[rl]式部分が共重合体中に占る割合は
、5モル%以上80モル%以下、好ましくは10モル%
以上70モル%以下が適当である。5モル%未満である
と、解像度の低下、形成された膜の強度不足などの結果
を生じて好ましくない、80モル%を超えると、アミ7
基を有する構造単位の割合が少なくなり、染色性が悪く
なるので好ましくない。
これら単量体と共重合性を有する他の単量体、たとえば
アクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸エステル類、メ
タクリル酸エステル類などを染色性および水に対する溶
解性を損わない範囲すなわち、全単量体合計量の50重
量%未満、好ましくは30重量%以下使用し共重合せし
めて基板に対する樹脂の接着性などを改良することも勿
論可能である。
本発明の光硬化性樹脂組成物の製造法すなわち、共重合
方法は、限定されないが1通常ラジカル開始剤を使用し
たラジカル重合法によって共重合体すなわち該組成物を
製造する0重合形式は、塊状重合、溶液重合、懸濁重合
若しくは乳化重合のいづれも採用できるが、該組成物を
用いて感光液を調製する便宜上は、溶液重合が望ましい
重合条件は、限定されないが、通常50〜150℃好ま
しくは60〜120℃で30分〜10時間、好ましくは
1〜6時間行う。
重合終了後は、好ましくは得られた共重合体に対する非
溶媒中で重合溶媒および未反応単量体を分離乾燥して、
該共重合体すなわち、本発明の光硬化性樹脂組成物を取
得する。
本発明における光硬化性樹脂組成物は、通常溶媒に溶解
し、必要に応じて光増感剤、光重合開始剤を添加した溶
液状態で実用に供される。
光増感剤としては5−ニトロアセナフテン、ミヒラーケ
トン、アントラキノン、2−メチルアントラキノン、4
−二トロナフチルアミンなどが好適である。光重合開始
剤としてはベンゾインエチルエーテルなどのベンゾイン
アルキルエーテル類、2.2ジエトキシアセトフエノン
、ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタールなどが好
ましく用いられる。
光増感剤はポリマーに対して1〜10重量%、好ましく
は3〜7重量%用いられる。増感剤の割合が10重量%
を超えると形成される膜の強度が小さくなって良くない
光重合開始剤はポリマーに対して0.5〜5重量%、好
ましくは1〜3重量%を用いるのが適当である。光重合
開始剤が5重量%を超えると保存中に暗反応が起きて光
硬化性樹脂組成物の安定性の低下を招くので好ましくな
い。
また増感剤、または光重合開始剤の添加の割合が前述し
た値よりも小さいと、光硬化反応に要する照射時間が延
長し、解像度が低下するなど性能上不利益を生じるので
好ましくない。
本発明の特徴は、光照射で容易に付加重合するエチレン
性不飽和二重結合を有する[II]式で表わされる単量
体を用いたことである。光2量化型の不飽和二重結合と
異なり、付加重合型不飽和二重結合は、共重合体中に占
る割合が10モル%でも十分な膜強度を得ることができ
る。したがって染色性、膜強度を低下させずに、2−ヒ
ドロキシエチルメタクリレートなどフィルター基板との
親和性を向上させるコモノマーを用いることができる。
さらに本発明による光硬化性樹脂組成物を用いてカラー
フィルムを製造する場合、染色工程での樹脂の膨潤およ
び色素の移動が、ゼラチン、グルーなど従来のカラーフ
ィルター形成材料にくらべて極めて小さいので、従来は
困難であった、第3図に示す如き簡便な工程で連続した
単一層の状態でカラーフィルターを形成することができ
る(なお、第2図の工程の具体的説明は、後述の実施例
3参照)。
本発明の光硬化性樹脂組成物が、カラーフィルター形成
材料として優れている主な事項を挙げると1 、(ア)保存安定性が良く、冷暗所に保存すると1ケ月
以上の貯蔵に耐えることができる。
(イ)人体に有害な6価クロム化合物を含んでいない。
(つ)感光性の機能を有する化合物のエチレン性不飽和
2重結合が付加重合型であるので、感光性と染色性のバ
ランスがとりやすい。
(1)水性溶媒で現像できるので、作業環境として労働
衛生上の危険性が少ない。
(オ)酸性染料に対する染色性が良好で、薄い膜厚でし
かも比較的低温の染浴中で、短い時間で所要の染色濃度
を得ることができる。
(力)ゼラチン、グルーを主要成分とする従来の感光性
組成物と同程度の高解像度が得られる。
(キ)ゼラチン、グルーを主要成分とする従来の感光性
組成物にくらべて、染色工程時の樹脂膜の膨潤、および
樹脂膜中の色素の移動が極めて小さいので、連続した一
層にカラーフィルターを形成することができる。
等に要約される。
これらはいずれもカラーフィルター材料としての感光性
樹脂に要求されることであり、本発明によりこれらの緒
特性を併有する感光性樹脂を得ることができる。
以下の実施例により本発明の詳細な説する。
本発明はこれらの実施例に限られるものではない。
実施例1 [I]N−(3−ジメチルアミノプロピル)メタクリル
アミド     40g [■]2−(ジメチルアミノ) エチルメタクリレート30g モノ(2−メタクリロイロキシエチル)マレート   
       15g 2−ヒドロキシエチルメタクリレート 15gアゾビス
イソブチロニトリル    0.4gメチルセロソルブ なる組成の混合物を撹拌装置をつけたフラスコに入れ、
窒素ガスを1時間通じた後、70℃で4時間加熱撹拌を
つづけ、重合反応を行った.終了後、反応混合物を多量
のシクロヘキサンに投入して生成物を析出させた。
次に反応溶媒を含むシクロヘキサンをデカンテーション
により除き反応生成物を減圧下に乾燥し、重合物85g
を得た。
重合物のH1核磁気共鳴スペクトル(80MHz)を測
定した。第−表の結果から重合体には次のm式に示す如
き単位構造が含まれていることが確認された。
第−表 帰  属              δ (ppm)
C−CH2−C1。5〜2.2 −NCH22,6〜3.3 −OCH2−Cfh O−3、5〜4 。7H3C−C
−GO−CH2−CH20H得られた重合物を用いて次
の組成の感光液を調製した。
ポリマー         10g ミヒラーケトン       0.3gベンジルジメチ
ルケタール 0,2g メチルセロソルブ      100m文この感光液を
、ガラス板上にスピンコード法で、25℃、2000r
pmで塗布し、熱風乾燥器により80℃、30分乾燥し
た。このガラス板上の塗膜をマスク露光法により、面照
度0.38mW/crn’の紫外線で40秒露光し、次
に25℃の純水で、30秒現像した。
更に、塗膜を 165℃で30分加熱処理した後、次の
条件で染色した。
(1)染浴 染料:アミニルレッドE−3BL  1重量%(住友化
学工業製) 溶媒:酢酸水溶液 (pH3) (2)染色温度    60℃ (3)染色時間    3分 染色後の膜圧は0.フルmであり、ガラス板上にg明な
赤色パターンが得られた。ゼラチン−重クロム酸系の材
料から作られた膜を同一の染色条件で染色し、同一の光
学濃度を示す染色後の膜厚を求めたところ、 1.2J
Lmであった。また、前記の条件で得られた解像度は1
0pmであった。
実施例2 実施例1で調製した感光液を遮光紙で覆った褐色ビン中
で、10℃で30日間保存した後、実施例1と同一条件
で露光、現像、染色を行った。0.74mの膜厚での光
学濃度は実施例1と変らず、解像度も保持されていた。
実施例3 実施例2で用いられた感光液をスピンコード法で、25
℃、200Orpmでガラス基板上に塗布し、塗膜を 
100℃、10分乾燥した。このガラス板上の塗膜を面
照度0.38mW/ctn’の紫外線で30秒露光後、
160℃、30分加熱処理した。
この塗膜を図2に示す工程によって染色した。
工程(1)、ガラス基板1の上に形成された塗膜2の上
に、 工程(2)、マイクロイメージテクノロジー社製5R3
0ポジテイブレジストをスピンコード法で塗布し、80
℃、10分熱風で乾燥後、モザイク状パターンを有する
クロムマスクを密着させて、面照度0.38mW/cr
rfの紫外線で40秒露光した。露光部を現像液により
溶解除去し、被染色部分を露出させた後 120℃、3
0分加熱処理をして防染マスク3を設け、次の条件で染
色した。
(1)染 浴 染料:アミニルレッドE−3BL  1 重量%(住人
化学工業製) 溶媒:酢酸水溶液(pH3) (2)染色温度    80℃ (3)染色時間    5分 工程(3)、 100℃で10分乾燥後、防染マスク3
および染色部4の上にポジティブレジスト5を塗布し、
1色目と同様の操作を行った後、次の条件で染色した。
(1)染 浴 染料:アミニルグリーンF−3GL  1重量%(住人
化学工業製) 溶媒:酢酸水溶液(pH3) (2)染色温度    60℃ (3)染色時間    10分 工程(4)、 100℃で10分乾燥後、防染マスク5
および染色部6の上にポジティブレジスト7を塗布し、
1色目、2色目と同様の操作を行った後、次の条件で染
色した。
(1)染 浴 染料:カヤチオンターコイスP−A 1重量%(日本化
薬製) 溶媒:蒸留水 (2)染色温度    60℃ (3)染色時間    10分 工程(5)、染色後100℃で10分乾燥した後、剥離
液で防染マスク層の5.7を剥離した。剥#後160℃
で10分加熱処理をした0色のにじみによる混色を生じ
ることなく、1画素の大きさが150ルmX  150
ILmの赤、緑、青の鮮明なモザイクカラーフィルター
を得た。
参考例 次の組成の感光液を作り、実施例3と同様のモザイクフ
ィルターを作ることを試みた。
ゼラチン         20g 水                  100+s文
重クロム酸アンモン    2g アルコール         6mM この感光液をガラス板上にスピンコード法で40℃、2
00Qrpmで塗布し、熱風乾燥器により 100℃、
10分乾燥した。このガラス板上の塗膜を面照度0.3
8mW/cゴの紫外線で1分露光したあと、160℃、
30分加熱処理した。
この塗膜を実施例3の工程に従って染色しようと試みた
。即ち、ポジティブフォトレジストをスピンコード法で
塗布し、露光、現像、加熱処理を行った。その後火の条
件で染色した。
(1)染 浴 染料:アミニルレッドE−38L  1重量%(住人化
学工業製) 溶媒:酢酸水溶液(pH3) (2)染色温度    60℃ (3)染色時間    5分 しかるに、防染マスクで覆われた部分にも色の顕著なに
じみが観測され、鮮明なパターンは得られなかった。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明の光硬化性樹脂組成物(実施例1)の
NMRチャートである。 第2図は、本発明の光硬化性樹脂組成物を用いた感光液
を用いて形成した塗膜の染色工程を示す。 以  上

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼[ I ] (式中、R^1はH、CH_3またはC_2H_5を示
    し、Xは−O−、または−NH−を示し、Yは炭素数1
    〜4の直鎖または枝分れの炭化水素基を示し、R^2、
    R^3は炭素数1〜4のアルキル基を示す) で表わされる単量体と、一般式 ▲数式、化学式、表等があります▼[II] (式中、R^4はH、CH_3またはC_2H_5を示
    し、Xは−O−、または−NH−を示し、Yは炭素数1
    〜4の直鎖または枝分れの炭化水素基を示す。) で表わされる単量体を有効成分として共重合させて得ら
    れる光硬化性樹脂組成物。
  2. (2)特許請求の範囲第(1)項において、[II]式で
    表わされる単量体が ▲数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼、 ▲数式、化学式、表等があります▼若しくは ▲数式、化学式、表等があります▼ から選ばれた少なくとも1つである光硬化性樹脂組成物
  3. (3)特許請求の範囲第(1)項において、一般式[
    I ]の単量体が該化合物と一般式[II]の単量体の合計
    量に対してモル比で20%以上80%以下である光硬化
    性樹脂組成物。
  4. (4)特許請求の範囲第(1)項において、一般式[
    I ]および[II]の単量体を単量体の合計量に対し、5
    0重量%未満のアクリル酸、メタクリル酸、アクリル酸
    エステル若しくはメタクリル酸エステルから選ばれた一
    以上の単量体と共重合させて得られる光硬化性樹脂組成
    物。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61292640A (ja) * 1985-06-21 1986-12-23 Asahi Chem Ind Co Ltd 着色樹脂成形体
JPH01198615A (ja) * 1987-07-28 1989-08-10 Nippon Kayaku Co Ltd 感光性樹脂組成物
JPH04250453A (ja) * 1990-07-19 1992-09-07 E I Du Pont De Nemours & Co フレキソグラフ印刷用光重合性印刷プレート

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