JPS61283394A - 回収水処理システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、たとえば半導体ウェハーの最終洗浄に使用し
た高純度の超純水を初期洗浄用の純水として再利用する
ような場合に、回収した使用済みの水を再利用可能な状
態に処理する処理システムに関する。

〈従来の技術〉 半導体ウェハーの最終洗浄に使用した高純度の超純水は
、純水としては純度が高く、再利用が可能であって、そ
のため、半導体の製造工場では、最終洗浄に使用した超
純水を回収して処理することが行なわれている。

従来、使用済みの超純水を回収して処理するシステムは
、第３図の構成図に示すように、洗浄槽ｉｏで使用した
高純度の超純水を回収貯溜する回収水タンク２ｏと、該
回収水タンク２ｏから圧送された回収水から主として有
機溶剤を吸着除去する吸着槽３ｏと、吸着槽３ｏの次段
で回収水からイオンを除去するイオン交換槽４ｏと、回
収水中の微粒子を除去するためのフィルタ５０と、フィ
ルタ５ｏを通過した回収水を初期洗浄用の一次純水とし
て貯溜する一次純水タンク６０等から構成されている。

〈発明が解決しようとする問題点〉 このような回収水処理システムでは、洗浄時に超純水が
空気に接し、超純水に雑菌が混入する。

超純水には、殺菌のための物質が含まれないから、混入
した菌は超純水中で繁殖する。

ところで、従来のシステムでは、このような菌の混入に
対して配慮が全くなされておらず、滅菌のための装置を
有していないため、このシステムに菌が混入すると、そ
の菌によりシステム中の回収水の送水ラインが汚染され
ることとなり、度々システム全体の稼動を停止して殺菌
洗浄を行なう必要が生じる。

また、従来のシステムでは、活性炭等の吸着剤を内蔵し
た吸着槽３ｏが、混入した菌の繁殖の温床となるのであ
って、この菌と少量の有機物とでスライムが発生し、早
期に入口部分の吸着剤に目詰まりを生じて、吸着槽３ｏ
全体での圧力損失が増大し、吸着剤の大半がまだ充分な
吸着能力を保有しているにもかかわらず、その吸着剤を
交換しなければならなくなる。そのため、吸着剤の交換
を頻繁に行なう必要があって保守に手間がかかり、しか
も吸着剤は有効に使用されないまま廃棄されることとな
り、無駄が多い。

本発明は、上述の問題点に鑑み、システム中の雑菌の混
入繁殖を防止してスライムによる汚染をなくすことがで
きる回収水処理システムの提供を目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 本発明は、上記の目的を達成するために、回収水の送水
ラインに吸着剤を内蔵する吸着槽、およびイオン交換槽
を配設してなる回収水処理システムにおいて、前記吸着
槽の前段に、同一の槽内で回収水に紫外線を照射すると
ともにオゾンを接触させる殺菌装置を設けて回収水処理
システムを構成したものである。

〈実施例〉 以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて詳細に説明
する。第１図は、本発明の一実施例に係る超純水用の回
収水処理システムの構成図であって、該回収水処理シス
テムは、回収水タンクｌと、送入ポンプ２により前記回
収水タンクｌ内の回収水が供給される吸着槽３と、吸着
槽３の次段に設けられたイオン交換槽４と、イオン交換
槽４を通過した回収水が送り込まれるフィルタ５と、フ
ィルタ５を通過した回収水を貯溜する一次純水タンク６
とを備え、前記回収水タンク１には、クリーンルーム内
の洗浄槽７から半導体ウェハーの最終洗浄に使用された
超純水が゛送り込まれ、また、−次純水タンク６に貯溜
された処理水は、初期洗浄に使用する一次純水として送
出ポンプ８により二次純水システム（図示せず）に送り
出されるようになっている。洗浄槽７には、上記二次純
水システムと、それより後段の三次純水システム（図示
せず）とを経た高純度の水が供給される。前記吸着槽３
には、活性炭のような吸着剤が充填され、また、イオン
交換槽４にはイオン交換樹脂が内蔵されている。

しかして、前記回収水タンクｌには、殺菌装置９が並設
されており、循環ポンプｌＯにより回収水が回収水タン
クｌと殺菌装置９との間で循環するようになっている。

第２図は殺菌装置９の構成を示す構成図であって、同図
に示すように、該殺菌装置９は、同一の槽内で回収水に
紫外線を照射するとともに、回収水にオゾンを接触させ
るものであって、単一の殺菌槽１１と、該殺菌槽１１の
内部に設けた紫外線照射部１２と、殺菌槽ｔｉ内にオゾ
ンを供給するオゾン発生器１３を備えている。１４は回
収水タンクｌから殺菌槽１１への回収水の流入管、１５
は殺菌槽１１から回収水タンク１への回収水の流出管で
ある。前記紫外線照射部１２は、紫外線ランプ１６と、
紫外線を透過するカバー１７とからなり、紫外線ランプ
１６は、電源装置１８からの通電により紫外線を放射す
る。また、前記オゾン発生器１３にはエアポンプ１９に
より空気が圧入され、オゾン発生器１３で生成されたオ
ゾンは供給管２０を通じて回収水の流出口の近傍で回収
水内に噴出する。なお、多量のオゾンが回収水中に混入
するように、殺菌槽１１内へのオゾンの流入口を流出管
１５側にも設けてよい。

上記の構成において、送入ポンプ２が稼動して回収水が
吸着槽３に送り込まれるときは、循環ポンプ１０が稼動
し、殺菌装置９の各部も稼動する。

循環ポンプ１０の駆動により回収水タンク１内の回収水
が殺菌槽！■との間を循環する。このときには、紫外線
照射部１２から紫外線が殺菌槽１１の内部全体に照射さ
れるとともに、オゾン発生器１３から殺菌槽１１内にオ
ゾンが吹き込まれる。

したがって、殺菌槽１１内では、回収水に紫外線が照射
されるとともに、オゾンが接触することになり、紫外線
とオゾンとの相乗効果により、殺菌効果の高い回収水の
殺菌処理がなされる。

殺菌槽１１内に吹き込まれたオゾンは、回収水中に残留
して、回収水ととともに回収水タンク１以下の回収水の
送水ラインに流入する。このようにオゾンは、回収水と
ともに殺菌槽１１から流出することによって、その流動
過程において回収水に混入してきた菌の殺菌を行なうほ
か、既に配管内壁に付着している藻類やカビを分解して
除去する。

なお、本発明の回収水処理システムでは、オゾンを含ん
だ回収水が吸着槽３に流入するから、該吸着槽３で活性
炭等の吸着剤に接触し、その吸着作用により回収水から
オゾンが除去される。そのため、オゾンは吸着槽３以下
の送水ラインには流人せず、したがって残留オゾンによ
る被洗浄物の酸化といった不都合を生じない。

吸着槽３では、上記の残留オゾンが除去されるほか、回
収水に含まれる有機溶剤のような有機物質が除去され、
次段のイオン交換槽４では、イオンの除去が行なわれて
、初期洗浄に使用しうる程度の純水となり、さらに、そ
の次のフィルタ５では、前記以外の混入物粒子が除去さ
れて、より高純度の純水（１次純水）となる。

紫外線とオゾンとの併用による殺菌効果は、強力である
ので、殺菌装置９および循環ポンプ１０は常時稼動する
必要はなく、間欠的に稼動させるだけでよい。

なお、上記実施例のように、回収水タンクとの間で回収
水を循環させる殺菌槽内で、回収水に対して紫外線の照
射とオゾンの接触とを行なうようにすると、従来の既存
の回収水処理システムを利用して、安価に実施しうる。

〈発明の効果〉 以上のように、本発明によれば、同一殺菌槽内における
紫外線とオゾンとの相乗効果により、塩素殺菌の１０倍
以上の速さで迅速かつ効果的に回収水の殺菌が行なわれ
るから、処理システム全体の菌による汚染が未然に防止
され、回収水の送水ラインの殺菌洗浄や、その洗浄のた
めに処理システムの稼動を停止するといった保守の手間
が軽減されるほか、長期にわたる処理システムの連続運
転が可能となり運転効率が向上する。

しかも、オゾンは回収水に残留して吸着槽まで殺菌効果
を発揮するから、回収水ラインの汚染を効果的に防止し
うる。

さらに、オゾンの殺菌効果は吸着槽にまで及ぶので、従
来のように吸着槽が菌の繁殖の温床となるようなことが
なく、吸着槽でスライムが発生しない。したがってスラ
イムにより吸着剤が早期に使用不能となるようなことが
なく、吸着剤を吸着能力がなくなるまで有効に使用する
ことができ、吸着剤の交換回数が著しく減少する。

また、殺菌槽から流出した回収水中の残留オゾンは、吸
着槽で活性炭等の吸着剤に吸着除去されるから、吸着槽
以下の送水ラインには流入せず、したがって処理水を使
用する個所で、オゾンによる被洗浄物の酸化といった不
都合を生じない。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例に係る回収水処理システムの
構成図、第２図はその殺菌装置の構成図、第３図は従来
の回収水処理システムの構成図である。 ｌ・・・回収水タンク、３・・・吸着槽、４・・・イオ
ン交換槽、５・・・フィルタ、９・・・殺菌装置、１１
・・・殺菌槽、１２・・・紫外線照射部、１３・・・オ
ゾン発生器。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）回収水の送水ラインに吸着剤を内蔵する吸着槽お
   よびイオン交換槽を配設してなる回収水処理システムに
   おいて、 前記吸着槽の前段に、同一の槽内で回収水に紫外線を照
   射するとともにオゾンを接触させる殺菌装置を設けたこ
   とを特徴とする回収水処理システム。