JPS61273551A - 電子写真用感光体の製造方法 - Google Patents
電子写真用感光体の製造方法Info
- Publication number
- JPS61273551A JPS61273551A JP11565285A JP11565285A JPS61273551A JP S61273551 A JPS61273551 A JP S61273551A JP 11565285 A JP11565285 A JP 11565285A JP 11565285 A JP11565285 A JP 11565285A JP S61273551 A JPS61273551 A JP S61273551A
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- JP
- Japan
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- substrate
- sensitive body
- electrophotographic sensitive
- light
- cleaning
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03G—ELECTROGRAPHY; ELECTROPHOTOGRAPHY; MAGNETOGRAPHY
- G03G5/00—Recording members for original recording by exposure, e.g. to light, to heat, to electrons; Manufacture thereof; Selection of materials therefor
- G03G5/02—Charge-receiving layers
- G03G5/04—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor
- G03G5/08—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic
- G03G5/082—Photoconductive layers; Charge-generation layers or charge-transporting layers; Additives therefor; Binders therefor characterised by the photoconductive material being inorganic and not being incorporated in a bonding material, e.g. vacuum deposited
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photoreceptors In Electrophotography (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
本発明は導電性基体上にセレン等の光導電材料を蒸着す
る電子写真用感光体の製造方法に関する。
る電子写真用感光体の製造方法に関する。
普通紙複写機あるいはプリンタなどに使用される電子写
真用感光体の基体には一般にアルミニウムが用いられて
いる。このアルミニウム基体は、遷初に所定の寸法およ
び表面粗さに加工し、次に表面を清浄にするため洗浄す
る。そのあとセレン等の蒸着をすることにより電子写真
用感光体ができ上がるが、この様な工程において基体表
面の清浄度が悪い場合、感光体は表面に欠陥を有し、コ
ピー画像において良好な画質を得る事ができない。 このことは表面欠陥部を分析するとそのほとんどに有機
物が検出されることから立証される。このため従来基体
の前処理としてアルカリ洗浄、トリクレン洗浄、水銀ラ
ンプによる紫外光照射洗浄等が行われていた。しかしこ
のような洗浄方法では有機物を完全に除去し切れず、コ
ピー画像に欠陥を生ずることを阻止することができなか
った。
真用感光体の基体には一般にアルミニウムが用いられて
いる。このアルミニウム基体は、遷初に所定の寸法およ
び表面粗さに加工し、次に表面を清浄にするため洗浄す
る。そのあとセレン等の蒸着をすることにより電子写真
用感光体ができ上がるが、この様な工程において基体表
面の清浄度が悪い場合、感光体は表面に欠陥を有し、コ
ピー画像において良好な画質を得る事ができない。 このことは表面欠陥部を分析するとそのほとんどに有機
物が検出されることから立証される。このため従来基体
の前処理としてアルカリ洗浄、トリクレン洗浄、水銀ラ
ンプによる紫外光照射洗浄等が行われていた。しかしこ
のような洗浄方法では有機物を完全に除去し切れず、コ
ピー画像に欠陥を生ずることを阻止することができなか
った。
本発明は、基体表面の有機物を完全に除去できるように
洗浄して感光層の表面欠陥がなく、良好な画像が得られ
る電子写真用感光体の製造方法を提供することを目的と
する。
洗浄して感光層の表面欠陥がなく、良好な画像が得られ
る電子写真用感光体の製造方法を提供することを目的と
する。
本発明は、従来の紫外光照射洗浄において使用される水
銀ランプの波長３６５ｎｍの紫外光では、ＣＬＣやＣ−
Ｈの結合を切断できないとの認識に基づいている。第１
表は有機化合物における各種結合の結合エネルギーを示
す。 第１表 一方光のエネルギーＥはその波長λと次式の関係がある
。 Ｅ−６ｃ／λ 但し、ｈはブランクの定数（６，６２６Ｘ １ｎｍ”ｅ
ｒｇ ・Ｓ＠Ｉｃ） Ｃは光速（２，９９８ｘ １０鳳
”ｃｓ／５ｅｃ）である、従ってＥは波長３６５ｎｍの
光で７８．３ｋｃａｌ／ｍｏｂ ２５４ｎｍの光で１１
３ｋｃａｌ／ｍｏ１．１８５ｎ＋ｗの光で１５５ｋｃａ
ｌ／ｍｏｌである。それ故、波長３６５ｎ■の水銀ラン
プの光ではＣ−Ｃ，Ｃ−ＨそしてＣ−Ｃｌの結合を切断
することはできない、しかし３４４ｎ厘より短い波長の
光であれば少なくともＣ−Ｃ結合は切断でき、１８５ｎ
＠の波長の光ではほとんどすべての有機物の結合を解離
させる事ができる。それ故、本発明は光導電材料を蒸着
する前の基体表面に３４４ｎｍより短い波長の光を照射
することによって上記の目的を達成する。さらに光照射
時に基体表面を酸素気流に接触させることは、酸素への
紫外線の照射により０．が生じ、この０．が２５３．７
ｅｍの波長の紫外光により０÷０．に変することによっ
て原子状の酸素を生じ、この原子状のＯが炭素と結び付
いてＣＯ寥ガスになることにより洗浄効果を高める効果
がある。
銀ランプの波長３６５ｎｍの紫外光では、ＣＬＣやＣ−
Ｈの結合を切断できないとの認識に基づいている。第１
表は有機化合物における各種結合の結合エネルギーを示
す。 第１表 一方光のエネルギーＥはその波長λと次式の関係がある
。 Ｅ−６ｃ／λ 但し、ｈはブランクの定数（６，６２６Ｘ １ｎｍ”ｅ
ｒｇ ・Ｓ＠Ｉｃ） Ｃは光速（２，９９８ｘ １０鳳
”ｃｓ／５ｅｃ）である、従ってＥは波長３６５ｎｍの
光で７８．３ｋｃａｌ／ｍｏｂ ２５４ｎｍの光で１１
３ｋｃａｌ／ｍｏ１．１８５ｎ＋ｗの光で１５５ｋｃａ
ｌ／ｍｏｌである。それ故、波長３６５ｎ■の水銀ラン
プの光ではＣ−Ｃ，Ｃ−ＨそしてＣ−Ｃｌの結合を切断
することはできない、しかし３４４ｎ厘より短い波長の
光であれば少なくともＣ−Ｃ結合は切断でき、１８５ｎ
＠の波長の光ではほとんどすべての有機物の結合を解離
させる事ができる。それ故、本発明は光導電材料を蒸着
する前の基体表面に３４４ｎｍより短い波長の光を照射
することによって上記の目的を達成する。さらに光照射
時に基体表面を酸素気流に接触させることは、酸素への
紫外線の照射により０．が生じ、この０．が２５３．７
ｅｍの波長の紫外光により０÷０．に変することによっ
て原子状の酸素を生じ、この原子状のＯが炭素と結び付
いてＣＯ寥ガスになることにより洗浄効果を高める効果
がある。
以下図面を引用して本発明の一実施例について説明する
。所定の寸法および表面粗さに加工された円筒状アルミ
ニウム基体１２０本に表面に付着した油脂除去のため液
体脱脂洗浄、Ｎ気脱脂洗浄および純水洗浄を行った０次
いでそのうちの４０本に第１図に示す装置を用いて紫外
洗浄を施した。第１図に示す装置は、処理槽ｌ内に回転
軸２が設けられ、感光体基体３はこの回転軸上に支持さ
れる。 基体の表面に対向して円周上に紫外光Ｂ４．ヒータ５お
よび処理槽底板６を貫通した酸素ガス導入管７が配置さ
れてあり、底板には排気口８が開いている。光源４はデ
ィープｕｖランプで、基体３との距離は６鶴である。基
体３をヒータ５により４０℃にし、温度１２０℃の光源
４から２５４ｎｍと１８５ｎｓ＋に波長ピークを有する
紫外光を５分間照射した・この際導入管７から酸素ガス
を５１７■ｉｎの割合で流入させると共に排気口８から
排気した。紫外線照射を終わった基体を蒸着槽の支持軸
に取り付け、蒸着槽内を１ｎｍ’ Ｔｏｒｒの真空にし
て蒸着を行った。 蒸発源温度は３４０℃、支持軸の温度は６０℃、蒸着速
度はｌ、ｗ／ｓｌｎで、５．５重量％のＴｅを含む５ｅ
−Ｔｅ合金膜を５５μ、２０重量％のＴｅを含む５ｅ−
Ｔｅ合金膜を５−の厚さに蒸着して感光体を得た。 比較のために紫外光洗浄を行わず、他は実施例と全く同
様の工程で４０本の感光体を製作した。また別の実施例
として紫外光洗浄の際に酸素ガスを導入しないで他は全
く同様な工程で４０本の感光体を製作した。これらの感
光体を複写機に取り付け、コピー画像テストを行った。 その結果比較例においては８本の感光体が画像不良とな
ったのに対し、実施例においては酸素を導入しない場合
に画像不良の感光体は５本に減じ、酸素を導入した場合
は画像不良がなく、すべての感光体に良好なコピー画像
を得ることができた。そのほか、本発明の実施例の感光
体では剥離試験により感光層の密着性の向上が認められ
、Ｈ３ＣＡにより表面分析でも不純物が減少しているこ
とが立証された。また表面顕微鏡検査ではセレンがすべ
て球状組織を示し、基体表面に汚れのある場合に生ずる
長方形組織が存在しなかった。なお、酸素導入の場合処
理槽内には０．が０．２ｐｐｍ以上検出された。
。所定の寸法および表面粗さに加工された円筒状アルミ
ニウム基体１２０本に表面に付着した油脂除去のため液
体脱脂洗浄、Ｎ気脱脂洗浄および純水洗浄を行った０次
いでそのうちの４０本に第１図に示す装置を用いて紫外
洗浄を施した。第１図に示す装置は、処理槽ｌ内に回転
軸２が設けられ、感光体基体３はこの回転軸上に支持さ
れる。 基体の表面に対向して円周上に紫外光Ｂ４．ヒータ５お
よび処理槽底板６を貫通した酸素ガス導入管７が配置さ
れてあり、底板には排気口８が開いている。光源４はデ
ィープｕｖランプで、基体３との距離は６鶴である。基
体３をヒータ５により４０℃にし、温度１２０℃の光源
４から２５４ｎｍと１８５ｎｓ＋に波長ピークを有する
紫外光を５分間照射した・この際導入管７から酸素ガス
を５１７■ｉｎの割合で流入させると共に排気口８から
排気した。紫外線照射を終わった基体を蒸着槽の支持軸
に取り付け、蒸着槽内を１ｎｍ’ Ｔｏｒｒの真空にし
て蒸着を行った。 蒸発源温度は３４０℃、支持軸の温度は６０℃、蒸着速
度はｌ、ｗ／ｓｌｎで、５．５重量％のＴｅを含む５ｅ
−Ｔｅ合金膜を５５μ、２０重量％のＴｅを含む５ｅ−
Ｔｅ合金膜を５−の厚さに蒸着して感光体を得た。 比較のために紫外光洗浄を行わず、他は実施例と全く同
様の工程で４０本の感光体を製作した。また別の実施例
として紫外光洗浄の際に酸素ガスを導入しないで他は全
く同様な工程で４０本の感光体を製作した。これらの感
光体を複写機に取り付け、コピー画像テストを行った。 その結果比較例においては８本の感光体が画像不良とな
ったのに対し、実施例においては酸素を導入しない場合
に画像不良の感光体は５本に減じ、酸素を導入した場合
は画像不良がなく、すべての感光体に良好なコピー画像
を得ることができた。そのほか、本発明の実施例の感光
体では剥離試験により感光層の密着性の向上が認められ
、Ｈ３ＣＡにより表面分析でも不純物が減少しているこ
とが立証された。また表面顕微鏡検査ではセレンがすべ
て球状組織を示し、基体表面に汚れのある場合に生ずる
長方形組織が存在しなかった。なお、酸素導入の場合処
理槽内には０．が０．２ｐｐｍ以上検出された。
本発明は、感光層蒸着前の電子写真用感光体基体に３４
４ｎ＋＊より短い波長の紫外光を照射することにより少
なくとも有機化合物のＣ−Ｃ結合を切断して表面付着有
機物を分解除去し、表面を清浄にするもので、表面欠陥
の減少により被写時あるいはプリント時の良好な画像が
得ることができ、特に酸素気流を同時に基体表面に接触
させることにより一層電子写真用感光体の品質向上をも
たらすのでその効果は極めて大きい。
４ｎ＋＊より短い波長の紫外光を照射することにより少
なくとも有機化合物のＣ−Ｃ結合を切断して表面付着有
機物を分解除去し、表面を清浄にするもので、表面欠陥
の減少により被写時あるいはプリント時の良好な画像が
得ることができ、特に酸素気流を同時に基体表面に接触
させることにより一層電子写真用感光体の品質向上をも
たらすのでその効果は極めて大きい。
第１図は本発明の一実施例に用いる紫外光洗浄処理槽の
断面図である。 １：処理槽、２：回転軸、 ３：感光体基体、４：紫外
光源、 ５、ヒータ、７：酸素導入管、４復潴
断面図である。 １：処理槽、２：回転軸、 ３：感光体基体、４：紫外
光源、 ５、ヒータ、７：酸素導入管、４復潴
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）導電性基体上に光導電材料を蒸着する工程の前に基
体表面に３４４ｎｍより短い波長の光を照射する工程を
含むことを特徴とする電子写真用感光体の製造方法。 ２）特許請求の範囲第１項記載の方法において、３４４
ｎｍより短い波長の光を照射する際に基体表面を酸素気
流に接触させることを特徴とする電子写真用感光体の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11565285A JPS61273551A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11565285A JPS61273551A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61273551A true JPS61273551A (ja) | 1986-12-03 |
Family
ID=14667940
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11565285A Pending JPS61273551A (ja) | 1985-05-29 | 1985-05-29 | 電子写真用感光体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61273551A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0501498A1 (en) | 1991-02-28 | 1992-09-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for treating substrate for electrophotographic photosensitive member and method for manufacturing electrophotographic photosensitive member making use of said method for treating substrate |
| US5480754A (en) * | 1993-03-23 | 1996-01-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photosensitive member and method of manufacturing the same |
| US6156472A (en) * | 1997-11-06 | 2000-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing electrophotographic photosensitive member |
| US6391394B1 (en) | 1993-12-22 | 2002-05-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing electrophotographic photosensitive member and jig used therein |
-
1985
- 1985-05-29 JP JP11565285A patent/JPS61273551A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0501498A1 (en) | 1991-02-28 | 1992-09-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for treating substrate for electrophotographic photosensitive member and method for manufacturing electrophotographic photosensitive member making use of said method for treating substrate |
| US5314780A (en) * | 1991-02-28 | 1994-05-24 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for treating metal substrate for electro-photographic photosensitive member and method for manufacturing electrophotographic photosensitive member |
| US5480627A (en) * | 1991-02-28 | 1996-01-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for treating substrate for electrophotographic photosensitive member and method for making electrophotographic photosensitive member |
| US5480754A (en) * | 1993-03-23 | 1996-01-02 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrophotographic photosensitive member and method of manufacturing the same |
| US6391394B1 (en) | 1993-12-22 | 2002-05-21 | Canon Kabushiki Kaisha | Method for manufacturing electrophotographic photosensitive member and jig used therein |
| US6156472A (en) * | 1997-11-06 | 2000-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing electrophotographic photosensitive member |
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