JPS61270052A - 回転インデツクステ−ブル装置 - Google Patents
回転インデツクステ−ブル装置Info
- Publication number
- JPS61270052A JPS61270052A JP60108310A JP10831085A JPS61270052A JP S61270052 A JPS61270052 A JP S61270052A JP 60108310 A JP60108310 A JP 60108310A JP 10831085 A JP10831085 A JP 10831085A JP S61270052 A JPS61270052 A JP S61270052A
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- JP
- Japan
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- positioning
- station
- unit
- stopped
- suction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q39/00—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation
- B23Q39/04—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation the sub-assemblies being arranged to operate simultaneously at different stations, e.g. with an annular work-table moved in steps
- B23Q39/042—Metal-working machines incorporating a plurality of sub-assemblies, each capable of performing a metal-working operation the sub-assemblies being arranged to operate simultaneously at different stations, e.g. with an annular work-table moved in steps with circular arrangement of the sub-assemblies
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は回転インデックステーブル装置に関する。
加工・検査において回転インデックステーブル上に置か
れる被加工物体や被検査物体は所定位置に一時的に機械
的または吸着によって固定される。
れる被加工物体や被検査物体は所定位置に一時的に機械
的または吸着によって固定される。
とζろで、その固定が吸着で行われる場合にはテーブル
が間欠的ではあるが回転しているので特殊な工夫がなさ
れていた０例えばその−例を第２図にで説明すると、駆
動体（１）によって間欠的に所定角度に回動されるテー
ブル（２）の外周部に吸引管（３）が接続されている環
状のランナー（４）を取り付け、このランナー（４）を
介してテーブル（２）上に上記回動角度に対応して等角
度に設けられた複数の位置決め体（５）に吸引作用を作
用させるようにしている。
が間欠的ではあるが回転しているので特殊な工夫がなさ
れていた０例えばその−例を第２図にで説明すると、駆
動体（１）によって間欠的に所定角度に回動されるテー
ブル（２）の外周部に吸引管（３）が接続されている環
状のランナー（４）を取り付け、このランナー（４）を
介してテーブル（２）上に上記回動角度に対応して等角
度に設けられた複数の位置決め体（５）に吸引作用を作
用させるようにしている。
上記構成において、テーブル（２）の外周部には凹溝（
６）が形成され、との凹溝（６）はライナー（４）の環
状溝（７）と組合って導通路を形成している。また、凹
溝（６）は位置決め体（５）に貫通されている吸引孔（
８）に連通している。
６）が形成され、との凹溝（６）はライナー（４）の環
状溝（７）と組合って導通路を形成している。また、凹
溝（６）は位置決め体（５）に貫通されている吸引孔（
８）に連通している。
上記ライナー（４）を設けた構成ではライナー（４）と
テーブル（２）との当接する面精度は高精度が要求され
る一方、両面が常に接触しているため摩耗が著しく吸引
効果を高度に保つことがきわめて難かしい問題があった
。
テーブル（２）との当接する面精度は高精度が要求され
る一方、両面が常に接触しているため摩耗が著しく吸引
効果を高度に保つことがきわめて難かしい問題があった
。
本発明はインデックステーブル上で常に安定して吸着操
作が行い得るとともにテーブルにおケル空間の有効化を
図った装置を提供することを目的とする。
作が行い得るとともにテーブルにおケル空間の有効化を
図った装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、被加工物または被検査物体
を一時的に吸着して固定するだめの吸引管を放射方向に
沼って進退駆動させる機構にしたものである。
を一時的に吸着して固定するだめの吸引管を放射方向に
沼って進退駆動させる機構にしたものである。
以下、本発明を実施例を示す図面に基いて説明する。
第１図において、駆動体（９）を有し、回転テーブル０
Ｉは、この駆動体αυによって所定角度に間欠的に回動
されるようになっている。この回転テーブル（１１の上
面（１０ａ）には同一体からなる四つの位置決めユニツ
） （ｌｌａ）乃至（ｌｉｄ）が等角度に配役されてい
る。これら位置決めユニットは載置台αのとその載置面
に設けられた位置決め具（１３ａ）乃至（１３ｄ）とで
構成されている。載置台（Ｉ２には、上面（Ｉ Ｑａ
）の中央部に向く側面および載置面とに開口した吸着孔
（１４ａ）乃至（１４ｄ） （（１４ａ）は図示せず）
が形成されている。なお、上記側面側の開口は２箇所設
けられ内部で一つに合流するようになっていて、それら
２箇所の開口部分にはＯリングα９がそれぞれに装着さ
れているっまた、位置決め具（１３ａ）乃至（１：（ｄ
）はそれぞれビンαＱおよびαηを有し、これらを押
当することによって弾性体に係合して内設されている二
方向に分かれた一対の当て具（図示せず）がＸＹ方向に
開くようになっている。したがって、吸着孔（１４ａ）
乃至（１４ｄ）の一方は上記当て具の中央に位置してい
るう一方、回転テーブルＱｌの上方には支持体α枠が上
面（１０ａ）の中央付近まで延在した １状態にな
って配設されている。支持体α樽の先端部分には空圧装
置σｌが固着されている。空圧装置ＨＫは円盤翰が回転
テーブル（１１と同心的に固着されている。円盤■には
案内体Ｑυおよびこの案内体（イ）に沿って移動自在に
なる移動体Ｑυと構成された四つの摺動装置が停止時に
おける位置決めユニット（Ｉｌａ）乃至（ｌｉｄ）にそ
れぞれ対峙する位置に設けられている。空圧装置σ■は
放射方向すなわち、各移動体Ｉ２１）方向および空圧装
置の中心軸側へ進退駆動される四本のロッド（ハ）を有
している。これらロッドは供給管＠よりの加圧空気の供
給、または排除によって上記放射方向へ駆動されるよう
になっている。そして、各移動体Ｃυはそれぞれ連結具
（ハ）を介し各ロッド（至）に繋げられて一体的に駆動
されるようになって匹る。また、移動体（２１）の下面
に対向する円盤翰の一部には切欠部（至）がそれぞれ形
成されていて、これら切欠部（イ）を通ってそれぞれ２
本ずつ対になったＬ字形の吸着管（２７ａ）、 （２７
ｂ）が移動体Ｃυに取り付けられている。吸着管（２７
ａ） 、 （２７ｂ）の各先端はＯリングα９が装着さ
れている各開口に対峙しているとともに、ロッド（至）
の前進駆動による移動体Ｃυの前進でそれら各開口に一
部が嵌入する位置になっている。各吸着管（２７ａ）
、 （２７）））の後端は移動体Ｃ！ηの上部に突出し
それらは支持体α＆に設けられた電磁弁（ハ）に可撓性
の分配管臼を介して個々に接続されている。電磁弁（至
）には供給管（３ｏ）が接続されている。なお空圧装置
Ｈと電磁弁−とに接続している供給管（２９）および（
３ｏ）は図示せぬ加圧空気発生装置にそれぞれ接続され
ている。
Ｉは、この駆動体αυによって所定角度に間欠的に回動
されるようになっている。この回転テーブル（１１の上
面（１０ａ）には同一体からなる四つの位置決めユニツ
） （ｌｌａ）乃至（ｌｉｄ）が等角度に配役されてい
る。これら位置決めユニットは載置台αのとその載置面
に設けられた位置決め具（１３ａ）乃至（１３ｄ）とで
構成されている。載置台（Ｉ２には、上面（Ｉ Ｑａ
）の中央部に向く側面および載置面とに開口した吸着孔
（１４ａ）乃至（１４ｄ） （（１４ａ）は図示せず）
が形成されている。なお、上記側面側の開口は２箇所設
けられ内部で一つに合流するようになっていて、それら
２箇所の開口部分にはＯリングα９がそれぞれに装着さ
れているっまた、位置決め具（１３ａ）乃至（１：（ｄ
）はそれぞれビンαＱおよびαηを有し、これらを押
当することによって弾性体に係合して内設されている二
方向に分かれた一対の当て具（図示せず）がＸＹ方向に
開くようになっている。したがって、吸着孔（１４ａ）
乃至（１４ｄ）の一方は上記当て具の中央に位置してい
るう一方、回転テーブルＱｌの上方には支持体α枠が上
面（１０ａ）の中央付近まで延在した １状態にな
って配設されている。支持体α樽の先端部分には空圧装
置σｌが固着されている。空圧装置ＨＫは円盤翰が回転
テーブル（１１と同心的に固着されている。円盤■には
案内体Ｑυおよびこの案内体（イ）に沿って移動自在に
なる移動体Ｑυと構成された四つの摺動装置が停止時に
おける位置決めユニット（Ｉｌａ）乃至（ｌｉｄ）にそ
れぞれ対峙する位置に設けられている。空圧装置σ■は
放射方向すなわち、各移動体Ｉ２１）方向および空圧装
置の中心軸側へ進退駆動される四本のロッド（ハ）を有
している。これらロッドは供給管＠よりの加圧空気の供
給、または排除によって上記放射方向へ駆動されるよう
になっている。そして、各移動体Ｃυはそれぞれ連結具
（ハ）を介し各ロッド（至）に繋げられて一体的に駆動
されるようになって匹る。また、移動体（２１）の下面
に対向する円盤翰の一部には切欠部（至）がそれぞれ形
成されていて、これら切欠部（イ）を通ってそれぞれ２
本ずつ対になったＬ字形の吸着管（２７ａ）、 （２７
ｂ）が移動体Ｃυに取り付けられている。吸着管（２７
ａ） 、 （２７ｂ）の各先端はＯリングα９が装着さ
れている各開口に対峙しているとともに、ロッド（至）
の前進駆動による移動体Ｃυの前進でそれら各開口に一
部が嵌入する位置になっている。各吸着管（２７ａ）
、 （２７）））の後端は移動体Ｃ！ηの上部に突出し
それらは支持体α＆に設けられた電磁弁（ハ）に可撓性
の分配管臼を介して個々に接続されている。電磁弁（至
）には供給管（３ｏ）が接続されている。なお空圧装置
Ｈと電磁弁−とに接続している供給管（２９）および（
３ｏ）は図示せぬ加圧空気発生装置にそれぞれ接続され
ている。
次に上記構成の作用について以下に説明する。
図中、停止状態なっている位置決めユニット（ｌｌａ）
が表示されている位置を第１ステージ曹ントし、以下、
反時計方向く向ってそれぞれのユニットの表示がされて
いる位置を順次第２乃至第４ステージ曹ンとする。また
、位置決めユニット（ｌｌａ）乃至（ｌｉｄ） Ｋ載置
されている物体をＬＳＩチップとし、それらの完成品検
査が行われるものとする。すなわち、先ずアクチェータ
その他の搬送手段により所定位置ｆ置かれたトレイなど
に整然と並べられたＬＳＩチップ（至）を第１ステージ
ｗ ｙとした位置ユニツ） （ｌｌａ）上の位置決め具
（１３１）に載置する。この載置にあたっては、ビンα
υ、αηを押当して内股されている図示せぬ当て具をＸ
、Ｙ両方向に開いた状態にして行われる。載置した後、
ビンαｅ、αηは元に戻され、ＬＳＩチップ（至）は仮
に位置決めされる。次に反時計方向に回転テーブルα〔
は１／４回転され、位置決めユニット（１！ａ）は前に
位置決めユニツ） （ｌｌｂ）が停止していた位置、す
なわち第２ステージ璽ンに停止される。この第２ステー
ジ璽ンにおいて、第１ステージ四ンで行われた位置決め
と同様の位置決めがなされ、ＬＳＩチップ（至）は本位
置決めされる。なお、この本位置決めでは、位置決め具
（１３ａ）のＸ、Ｙ方向への開に当っては吸着管（２７
ａ） 、 （２７ｂ）が吸着孔（１４ａ）に密着し、Ｌ
ＳＩチップ（至）を一時的に吸着し、開いた時のショッ
クによる位置ずれを起こさないようにされる。
が表示されている位置を第１ステージ曹ントし、以下、
反時計方向く向ってそれぞれのユニットの表示がされて
いる位置を順次第２乃至第４ステージ曹ンとする。また
、位置決めユニット（ｌｌａ）乃至（ｌｉｄ） Ｋ載置
されている物体をＬＳＩチップとし、それらの完成品検
査が行われるものとする。すなわち、先ずアクチェータ
その他の搬送手段により所定位置ｆ置かれたトレイなど
に整然と並べられたＬＳＩチップ（至）を第１ステージ
ｗ ｙとした位置ユニツ） （ｌｌａ）上の位置決め具
（１３１）に載置する。この載置にあたっては、ビンα
υ、αηを押当して内股されている図示せぬ当て具をＸ
、Ｙ両方向に開いた状態にして行われる。載置した後、
ビンαｅ、αηは元に戻され、ＬＳＩチップ（至）は仮
に位置決めされる。次に反時計方向に回転テーブルα〔
は１／４回転され、位置決めユニット（１！ａ）は前に
位置決めユニツ） （ｌｌｂ）が停止していた位置、す
なわち第２ステージ璽ンに停止される。この第２ステー
ジ璽ンにおいて、第１ステージ四ンで行われた位置決め
と同様の位置決めがなされ、ＬＳＩチップ（至）は本位
置決めされる。なお、この本位置決めでは、位置決め具
（１３ａ）のＸ、Ｙ方向への開に当っては吸着管（２７
ａ） 、 （２７ｂ）が吸着孔（１４ａ）に密着し、Ｌ
ＳＩチップ（至）を一時的に吸着し、開いた時のショッ
クによる位置ずれを起こさないようにされる。
位置決め後、吸着管（２７ａ）、（２７ｂ）は後退し、
吸着孔（１４ａ）から外される。この間、第１のステー
ジ四ンではＬＳＩチップ（至）の供給と仮の位置決めが
行われている。上記の本位置決め後１回転テーブルＱｌ
は同方向へ１／４回転され、位置決めユニット（ｌｌａ
、）は第３ステージ曹ンに停止させる。この第：（ステ
ーションではＫＳＩチップ（至）に対して欠けや、表面
のキズ等の外観検査が画像処理技術によって行われ、良
品、不良品の判断がなされる。この間、第１および第２
ステージｌンではＬＳＩチップの供給、仮位置決めと、
本位置決めとがそれぞれ行われている。外観検査の完了
後、回転テーブルαＱはざらに１／４回転され１位置決
めユニット（１１ａ）は第４ステージ欝ンに停止される
。この位置では上記外観検査の判断に基ずいて次の二通
りの操作がなされる。すなわち、良品の場合には、第４
ステーシヨンの停止に際して他のステーションにおける
仮位置決め、本位置決めおよび外観検査の操作が完了す
るまで待機させられる。また、不良品の場合にはそのＬ
ＳＩチップは除去される。この除去に当っては位置決め
具（１３ａ）を開くため、ＬＳＩチップを吸着する操作
が行われる。以上のような各ステージ１ンでの操作の後
、位置決めユニット（ｌｌａ）は元の第１ステージ冒ン
に停止される。ここ １で、次の二通りの操作がなさ
れるつすなわち、良品の場合には、ＬＳＩチップを元の
トレイに戻す操作が行われる。この操作では吸着管（２
７ａ）、（Ｚ７ｂ）によってＬＳＩチップは一時的に吸
着された状態で位置決めＡ （１３ａ）の拘束から解除
され、さらに吸着を解除した後、取り出される。取り出
された後新たなＬＳＩチップが載置される。また不良品
の場合には既に第４ステージ１ンで除去されていて位置
決め具（１３ａ）上は空になっているので、新たなＬＳ
Ｉチップが載置される。
吸着孔（１４ａ）から外される。この間、第１のステー
ジ四ンではＬＳＩチップ（至）の供給と仮の位置決めが
行われている。上記の本位置決め後１回転テーブルＱｌ
は同方向へ１／４回転され、位置決めユニット（ｌｌａ
、）は第３ステージ曹ンに停止させる。この第：（ステ
ーションではＫＳＩチップ（至）に対して欠けや、表面
のキズ等の外観検査が画像処理技術によって行われ、良
品、不良品の判断がなされる。この間、第１および第２
ステージｌンではＬＳＩチップの供給、仮位置決めと、
本位置決めとがそれぞれ行われている。外観検査の完了
後、回転テーブルαＱはざらに１／４回転され１位置決
めユニット（１１ａ）は第４ステージ欝ンに停止される
。この位置では上記外観検査の判断に基ずいて次の二通
りの操作がなされる。すなわち、良品の場合には、第４
ステーシヨンの停止に際して他のステーションにおける
仮位置決め、本位置決めおよび外観検査の操作が完了す
るまで待機させられる。また、不良品の場合にはそのＬ
ＳＩチップは除去される。この除去に当っては位置決め
具（１３ａ）を開くため、ＬＳＩチップを吸着する操作
が行われる。以上のような各ステージ１ンでの操作の後
、位置決めユニット（ｌｌａ）は元の第１ステージ冒ン
に停止される。ここ １で、次の二通りの操作がなさ
れるつすなわち、良品の場合には、ＬＳＩチップを元の
トレイに戻す操作が行われる。この操作では吸着管（２
７ａ）、（Ｚ７ｂ）によってＬＳＩチップは一時的に吸
着された状態で位置決めＡ （１３ａ）の拘束から解除
され、さらに吸着を解除した後、取り出される。取り出
された後新たなＬＳＩチップが載置される。また不良品
の場合には既に第４ステージ１ンで除去されていて位置
決め具（１３ａ）上は空になっているので、新たなＬＳ
Ｉチップが載置される。
以上のように各ステーションで上記で説明した操作が１
／４回転毎に行われ、ＬＳＩチップの外観について連続
的に検査される。
／４回転毎に行われ、ＬＳＩチップの外観について連続
的に検査される。
吸着管を回転テーブルの中央から放射状に往復運動する
ように構成したので、空間の利用効率が大になり、装置
の小型化が達成された。また、吸着管の駆動源を共通に
したので、作動時における各部の変形量が同じになり、
良好な気密性を得ることができた。
ように構成したので、空間の利用効率が大になり、装置
の小型化が達成された。また、吸着管の駆動源を共通に
したので、作動時における各部の変形量が同じになり、
良好な気密性を得ることができた。
第１図は本発明の一実施例を示す斜視図、第２図は従来
例を示す断面図であるっ （ＩＧ・・・回転テーブル、 （ｌｌａ）〜（ｌｉｄ）・・・位置決めユニット。 α訃・・支持体、（１１・・・空圧装置、（イ）・・・
案内体、Ｃυ・・・移動体、 （２７ａ）、（２７ｂ
）・・・吸着管。
例を示す断面図であるっ （ＩＧ・・・回転テーブル、 （ｌｌａ）〜（ｌｉｄ）・・・位置決めユニット。 α訃・・支持体、（１１・・・空圧装置、（イ）・・・
案内体、Ｃυ・・・移動体、 （２７ａ）、（２７ｂ
）・・・吸着管。
Claims (1)
- 所定の角度に間欠的に回動されるテーブルと、このテ
ーブルの上方に設けられる支持体と、複数のロッドを有
し、これらロッドが放射方向に進退駆動される向きにさ
れて上記支持体に取り付けられる空圧装置と、上記ロッ
ドによって放射方向に駆動される複数の吸引管と、一方
が上記テーブルの中心側に向く側面に開き他方が載置面
側に開く吸引孔を有し上記側面側に開く吸引孔を上記ロ
ッドの前進駆動で各吸引管の先端に対峙した時点にこれ
ら先端に当接する位置にされて上記テーブルの外周縁近
傍に設けられる複数の位置決めユニットとを備えたこと
を特徴とする回転インデックステーブル装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60108310A JPS61270052A (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 | 回転インデツクステ−ブル装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60108310A JPS61270052A (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 | 回転インデツクステ−ブル装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61270052A true JPS61270052A (ja) | 1986-11-29 |
Family
ID=14481464
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60108310A Pending JPS61270052A (ja) | 1985-05-22 | 1985-05-22 | 回転インデツクステ−ブル装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61270052A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01297541A (ja) * | 1988-05-25 | 1989-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品検査装置 |
| JPH03226601A (ja) * | 1990-02-01 | 1991-10-07 | Honda Motor Co Ltd | ワーク加工精度測定装置 |
| JPH04154140A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-27 | Tesetsuku:Kk | 平行リードを有する電子部品の自動検査装置 |
| KR100922775B1 (ko) | 2007-10-30 | 2009-10-21 | 현빈테크 주식회사 | 웨이퍼 검사용 듀얼 검사장치 |
| CN102848202A (zh) * | 2011-06-30 | 2013-01-02 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种正反转多工位负压吸附工作台 |
| KR101528282B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2015-06-12 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 정밀 단조 성형품 측정 시스템 |
| CN106672618A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-17 | 方新国 | 一种新型镜片机械手 |
-
1985
- 1985-05-22 JP JP60108310A patent/JPS61270052A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01297541A (ja) * | 1988-05-25 | 1989-11-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品検査装置 |
| JPH03226601A (ja) * | 1990-02-01 | 1991-10-07 | Honda Motor Co Ltd | ワーク加工精度測定装置 |
| JPH04154140A (ja) * | 1990-10-18 | 1992-05-27 | Tesetsuku:Kk | 平行リードを有する電子部品の自動検査装置 |
| KR100922775B1 (ko) | 2007-10-30 | 2009-10-21 | 현빈테크 주식회사 | 웨이퍼 검사용 듀얼 검사장치 |
| KR101528282B1 (ko) * | 2009-12-28 | 2015-06-12 | 재단법인 포항산업과학연구원 | 정밀 단조 성형품 측정 시스템 |
| CN102848202A (zh) * | 2011-06-30 | 2013-01-02 | 深圳市大族激光科技股份有限公司 | 一种正反转多工位负压吸附工作台 |
| CN106672618A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-17 | 方新国 | 一种新型镜片机械手 |
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