JPS61263550A - マルチ自動基板検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野） 本発明は、基板の検査装置に係り、特に複数の検査装置
に対し基板を搬送するのに好適な自動基板検査装置に関
する。

〔発明の背景〕

従来の自動基板検査装置の一例を第１図に示す。

図に示すように、従来の装置では検査装置１台につき搬
送装置が１台設けられていたが、一般的に検査時間は搬
送装置のサイクルタイムよりも長く搬送装置は検査中に
停止している時間があり、この時間は搬送装置としては
むだであった。その結果複数の検査装置を稼動させてい
る場合には搬送装置としての作業効率が非常に悪くなる
という欠点があった。尚、この種の装置に関連するもの
として実開昭４９−８５０６２号がある。

〔発明の目的〕

本発明の目的は複数の検査装置へ基板を効率よく搬送す
ることと、設置スペースを減少すること及び製作コスト
を低減することにある。

〔発明の概要〕

本発明は搬送装置一つに対し複数の基板検査装置を配置
してなるもので、これによって複数の基板検査装置へ基
板を効率よく搬送あるいは搬出することができる。

〔発明の実施例〕

具下１本発明の一実施例を第２図により説明する。第２
図において第１図と同じ符号を付けたものは同じものを
表わす。

Ｃ−ディング用ハンドラー４とアイローディング用ハン
ドラー５はそれぞれ１台設け、それぞれ単独で駆動でき
るように連結バーを無くしそれぞれに左右移動用のモー
タ７とボールネジ８を設けている。なお、ボールネジ８
は適宜タイミングベルト等も代用できる。またハンドラ
ー４及び５は基板をチャックする機能と、上昇下降する
機能を有している０本実施例ではエアーシリンダーによ
り駆動している。また、ローターテーブル２とアンロー
ダ−テーブル３はそれぞれ１台ずつ設けている。

次に動作を説明する。まず、ローダ−テーブル２上に他
の搬送装置により基板が運ばれる。ローディング用のハ
ンドラーは下降し基板をチャックし上昇して右方向へ移
動し空の検査装置に基板をセットする。基板をセットさ
れた検査装置は検査を開始する。ローディング用ハンド
ラー４はローダ−テーブル２上にもどり再び基板をチャ
ックし、空の検査装置があればその検査装置まで基板を
搬遇スる。アンローディング用ハンドラー５は検査料１
１″ｊ後の基板を検査テーブル１からアンローダ−テー
ブル３へと搬送する。この際２つのハンドラーが干渉を
起さない為に、アンローディング用ハンドラー５の動作
を優先とする。さらにポジション２へのローディング動
作中はアンローディング用ハンドラー５はポジション３
又は４に、ポジション３へのローディン動作中はアンロ
ーディング用ハンドラー５はポジション４に位置してい
るものとし、ポジション２からのアンローディング動作
中はローディング用ハンドラー４はポジション１に、ポ
ジション３からのアンローディング動作中はローディン
グ用ハンドラー４はポジション１又はポジション２に位
置しているものとする０本システムでは、このようなロ
ーディングおよびアンローディングの動作を一方の検査
装置が検査を実行している間に行うものである。なお１
本実施例では、検査装置は２台であるが、２台以上でも
実施可能である。

本実施例によれば搬送装置の効率向上、設置スペースの
減少および装置の製作コスト低減の効果がある。

〔発、明の効果〕

本発明によれば、検査装置が検査を実行している間にも
搬送動作を実行できるので、搬送装置の効率が向上する
効果がある。また、１つの装置には搬送装置が１組だけ
であり、従来の同規模の検査装置に比べて設置スペース
を狭くできる効果及び装置の製作コストを低減できる効
果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の自動基板装置の概略配置図、第２図は本
発明の自動基板装置の概略配置図である。 １・・・基板検査装置、２・・・ローダ−テーブル、３
・・・アンローダ−テーブル、４・・・ローディング用
ハンドラー、５・・・アンローディング用ハンドラー、
６不１図 Ｚｚ　　図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、基板検査装置と、該検査装置へ基板を搬入、搬出す
   る搬送装置よりなる自動基板検査装置において、前記搬
   送装置一つに対し複数の前記基板検査装置が配置されて
   いることを特徴とする自動基板検査装置。