JPS61260102A - プリント基板の反り検出装置 - Google Patents

プリント基板の反り検出装置

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Publication number
JPS61260102A
JPS61260102A JP10321485A JP10321485A JPS61260102A JP S61260102 A JPS61260102 A JP S61260102A JP 10321485 A JP10321485 A JP 10321485A JP 10321485 A JP10321485 A JP 10321485A JP S61260102 A JPS61260102 A JP S61260102A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
printed circuit
coil
circuit board
board
output
Prior art date
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Pending
Application number
JP10321485A
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English (en)
Inventor
Yoshiaki Murakami
善明 村上
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP10321485A priority Critical patent/JPS61260102A/ja
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  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [技術分野1 本発明はプリント基板の反り検出装置、さらに詳しくは
、プリント基板の反りを非接触で検出する装置に関する
ものである。
[背景技術J 従来上りプリント基板の反りを検出するにあたっては、
定盤上に載置されたプリント基板に複数の測定点を設定
し、各測定点において定盤の上面に平行な基準平面と基
板上面の距離を測定することにより、その距離のばらつ
きの程度で反りの程度を判定している。従来、基準平面
と定盤との匪離を測定するには接触針を有するいわゆる
三次元測定器が用いられており、これは接触針の先端が
プリント基板の上面に当接することにより、接触針が進
退してその突出量が測定値として出力されるようになっ
ているものである。このような接触針を有する三次元測
定器は一般に手動によって推作されており、プリント基
板の表面状態をグラフ化するような場合には多数の測定
点を設定する必要があるから、手動繰作によって測定点
に接触針の先端を当接させていると測定時間が長くなる
という問題があり、また手動では接触針の接触する位置
と設定された測定点との位置ずれが生じやすいものであ
り、プリント基板の表面状態を正確に再現で鯵ないとい
う問題があった。さらに、接触針をプリント基板の表面
に当接させるものであるから、プリント基板に多少なり
とも接触圧が作用するものであり、これが反り量を変化
させることになり、正確な反り量が測定できないという
問題があった。
[発明の目的] 本発明は上述の点に鑑みて為されたものであって、その
主な目的とするところは、プリント基板の反りを検出す
るにあたって非接触で反りを検出できるようにし、反り
の測定を行なう際にプリント基板の反り量を変化させる
ことがなく、反り量が正確に検出できるようにしたプリ
ント基板の反り検出装置を提供することにある。
[発明の開示1 (実施例) 以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。第1
図は概略構成であって、定盤2の上にはプリント基板1
が載置される。プリント基板1の上方にはセンサ20の
測定子コイル3が配設される。測定子コイル3は高周波
電流が給電されているものであっで、プリント基板1上
に予め設定された測定点においてプリント基盤1の導電
部に発生ずる渦電流による渦電流損を検出することによ
りプリント基板1上面の反り量を検出するようになって
いる。すなわち、センサ20は第2図のように、測定子
コイル3と測定子コイル3に生じる変化を検出する回路
部8とから構成されているものであって、回路部8は発
振部4、整流部5、出力部6により構成される。測定子
フィル3は発振W64の発振コイルを兼用し、この測定
子コイル3にプリント基板1の導電部が接近すると測定
子コイル3から漏洩する高周波磁束により導電部に渦電
流が発生するのであり、その結果、渦電流損が生じ測定
子コイル3とプリント基板1の導電部との距離に対応し
て発振部4の出力が低下するのである。しかるに、発振
部4の出力を整流部5で整流し、出力部6で適宜増幅を
行なえば、測定子コイル3とプリント基板1の導電部と
の距離に対応した大軽さの出力が得られるのである。測
定子フィル3は定盤2の上面との距離を一定に保った状
態で移動するX−Yテーブルのような駆動手段7に取り
付けられており、駆動手段7は後述する演算処理手[9
により制御されプリント基板1上の所定の位置に測定子
コイル3を移動できるようになっている。測定子コイル
3の出力はマイクロコンピュータにより構成された演算
処理手段9に入力される。演算処理手段9では測定子コ
イル3の出力に所定の演算処理を施して測定点における
プリント基板1表面の反り量を算出する。演算処理手段
9の出力である反り量は判定手段10、表示手段11、
記憶手段12などに入力され、所定の処理が施される。
すなわち、判定手段10ではプリント基板1の反り量が
所定の範囲内にあるかどうかが判定され、所定の範囲を
越えるとプリント基板1が不良品であると判断されて不
良品検出信号が出力されるのであり、不良品検出信号が
出力されると金型をオーバーホールするなど、反りの原
因となる系へのフィードバックを行ない、また演算処理
手段9の出力である反り量は反り修正のための情報とし
て利用される0表示手段11はプリント基板1の表面状
態をグラフ化して表示するものであって、プリント基板
1の表面状態を拡大して表示したり、プリント基板1の
反りの状態を強調して表示することができ、反りを視覚
的に捉らえやすいようにするものである。記憶手段12
は不良品の発生率、すなわち歩どまりや、各測定点にお
ける反り量を記憶する。
演算処理手段9の動作をさらに詳しく説明する。
装置が作動すると、第3図に示すように、まず予め設定
された3箇所の基準点においてプリント基板1の導電部
と測定子コイル3との距離を測定し、その3点を通る平
面を基準平面に設定する。この基準平面を設定すること
により、定盤2上でのプリント基板1の傾終による誤差
が除去される。次に予め設定された複数の測定点におい
てそれぞれプリント基板1の導電部と測定子コイル3と
の距離を測定する。さらに各測定点においてプリント基
板1と測定子コイル3との間の実際の距離と測定子コイ
ル3と基準平面との間の距離との誤差を計算し、これを
反り量として出力する0反り量は判定手段10に入力さ
れ予め設定された所定範囲内であるかどうかが判断され
る゛。もし、誤差が所定範囲を越えている場合には不良
品として所定の処理が行なわれる。誤差が所定範囲内で
あることが確認されると演算処理手段9は駆動子y、7
を制御して測定子コイル3を次の測定点まで移動し、次
の測定点において上述の動作が繰り返される。
この動作は反り量が所定の範囲を越えるか最後の測定点
の測定が終わるまで繰り返され、プリント基板1の反り
が検出されるのである。
ところで、プリント基板1にスルーホールなどが多数形
成されている場合には、測定点においてスルーホールが
存在して正確な測定が行なわれないことがあるが、この
ような場合には、次のようにして基準点を含む各測定点
での傾き角度の測定を行なうものである。すなわち、各
測定点(基準点)においてその近傍の5点での傾き角度
の測定を行ない、5点の測定値のなかに特異点が存在す
る場合には特異点を除去した後に平均値を算出し、その
平均値を測定点での測定値とするのである。
このようにしてスルーホールなどの影響を除°去するこ
とができるものである。特異点が存在しないときにはそ
の*ま平均値を算出するのは勿論のことである。
なお、上述の実施例においてはプリント基板1の反り検
出用として用いているが、測定子コイル3からの漏洩磁
束により渦電流が発生するような金属製品であれば、は
とんどのものに使用で鯵るものであり、たとえば金型の
表面検査用に使用してもよいものである。
[発明の効果] 本発明は上述のように、高周波電流が給電される測定子
コイルを備えるとともに漏洩する高周波磁場によりプリ
ント基板の導電部に発生する渦電流による渦電流損を検
出するセンサと、測定子コイルをプリント基板上に設定
された測定点に移動させる駆動手段と、センサ出力によ
り基板の反り量を算出する演算処理手段とを備えている
ので、プリント基板の反りを検出するにあたって非接触
で測定が行なえるものであり、反りの検出を行なう際に
プリント基板の反り量を変化させることがなく、正確に
反り量が測定できるという利点を有する。また、測定子
コイルを駆動手段によって所定の測定点に移動するから
、位置決めが正確に行なわれるものであり、プリント基
板の反りの状態をグラフ化して表示する場合にプリント
基板の表面状態を正確に再現できるという利点を有する
また、非接触であるとともに測定子コイルが駆動手段に
よって測定点まで移動されるから、反りの測定を高速に
行なうことができるという利点を有するものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す概略構成図、第2図は
同上に使用するセンサのブロック図、第3図は同上の演
算処理手段の動作説明図である。 1はプリント基板、2は定盤、3は測定子コイル、4は
発振部、5は整流部、6は出力部、7は駆動手段、9は
演算処理手段、20はセンサである。 代理人 弁理士 石 1)長 七 tR3図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)高周波電流が給電される測定子コイルを備えると
    ともに漏洩する高周波磁場によりプリント基板の導電部
    に発生する渦電流による渦電流損を検出するセンサと、
    測定子コイルをプリント基板上に設定された測定点に移
    動させる駆動手段と、センサ出力により基板の反り量を
    算出する演算処理手段とを備えて成ることを特徴とする
    プリント基板の反り検出装置。
JP10321485A 1985-05-15 1985-05-15 プリント基板の反り検出装置 Pending JPS61260102A (ja)

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JPS61260102A true JPS61260102A (ja) 1986-11-18

Family

ID=14348251

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JP10321485A Pending JPS61260102A (ja) 1985-05-15 1985-05-15 プリント基板の反り検出装置

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JP (1) JPS61260102A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02266520A (ja) * 1989-03-07 1990-10-31 Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh 内周刃式ソーを用いて半導体材料をスライス切断する際に切断動作を監視する方法ならびに該方法を実施する渦電流センサ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02266520A (ja) * 1989-03-07 1990-10-31 Wacker Chemitronic Ges Elektron Grundstoffe Mbh 内周刃式ソーを用いて半導体材料をスライス切断する際に切断動作を監視する方法ならびに該方法を実施する渦電流センサ

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