JP2793947B2 - 半田付け状態の外観検査方法 - Google Patents

半田付け状態の外観検査方法

Info

Publication number
JP2793947B2
JP2793947B2 JP5239941A JP23994193A JP2793947B2 JP 2793947 B2 JP2793947 B2 JP 2793947B2 JP 5239941 A JP5239941 A JP 5239941A JP 23994193 A JP23994193 A JP 23994193A JP 2793947 B2 JP2793947 B2 JP 2793947B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
search area
master pattern
image
shape
soldered
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP5239941A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0791932A (ja
Inventor
長生 ▲濱▼田
一成 吉村
康之 結城
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Works Ltd filed Critical Matsushita Electric Works Ltd
Priority to JP5239941A priority Critical patent/JP2793947B2/ja
Publication of JPH0791932A publication Critical patent/JPH0791932A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2793947B2 publication Critical patent/JP2793947B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Image Processing (AREA)
  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、3次元画像を用いて印
刷配線基板上に半田付けされた部品の半田付け状態の外
観検査方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、特開平4−178508号のよう
に、印刷配線基板上に実装・半田付けされた部品の半田
付け部の検査ではTVカメラによる輝度画像を用い、予
め登録された輝度画像をマスタパターンとしてサーチ領
域内で最もマッチング率の良いエリアを検出することに
より検査すべき位置を決定し、検査を行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記の輝度画像による
マッチングでパターンを検出する場合、半田付け部は同
じ部品でも実装位置、実装角度、半田付け方式により輝
度パターンが変化するため予め登録されたマスタパター
ンに相当する箇所を正確に見付け出すことはできないと
いう問題があった。
【0004】本発明は上記の問題点に鑑みて為されたも
ので、その目的とするところは、実装位置、実装角度
半田付け方式の違いによる半田付け部の変化があって
も、同じ処理方法で検査を行うことができ、また検査対
象の位置ずれを考慮することもなく半田が無い状態を検
査できる半田付け状態の外観検査方法を提供することに
ある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、請求項1の発明では、半田付けされていない部品
の寸法よりマスタパターンを予め作成し、次に半田付け
部を包含するサーチエリアを設定して、このサーチエリ
アを3次元画像が計測できるセンサでスキャンニング
し、このスキャンニングで得たサーチエリアの画像と上
マスタパターンとを照合して所定値以上のマッチング
率の部位を検出することにより半田付け部の良否を判定
するものである。
【0006】請求項2の発明では、請求項1の発明にお
いて、部品の寸法より作成するマスタパターンを部品の
端面形状を特徴として作成する。請求項3の発明では、
請求項2の発明において、部品の2側面の端面形状を特
徴としたマスタパターンを作成してこのマスタパターン
とサーチエリアの画像とを照合して少なくともどちらか
一方のマッチング率が所定値以上の場合不良形状と判定
する。
【0007】請求項4の発明では、請求項1〜3の発明
において、サーチエリア内のデジタル化された画像を部
品寸法より設定したマスタパターンと精度良く照合でき
る画像に補正し照合を行うことにより良否判定をする。
請求項5の発明では、請求項4の発明において、部品端
面形状を特徴として作成したマスタパターンを使い部品
と半田付け部の境界を決定した後、その境界部を整列さ
せるように画像を補正し良否判定をする。
【0008】請求項6の発明では、請求項1〜5の発明
においてにおいて、基板全体の形状 を計測し基板の3次
元形状を求めた後、サーチエリア内の画像と予め設定さ
れたマスタパターンとを照合する際に基板の3次元形状
をもとにマスタパターンを補正することにより良否を判
定する。請求項7の発明では、請求項1〜5の発明にお
いて、サーチエリア内の半田付け部周辺の基板部分の形
状よりサーチエリア内の基板の平面形状を求めた後、サ
ーチエリア内の画像と予め設定されたマスタパターンと
を照合する際に基板の平面形状をもとにマスタパターン
を基板の反りに合わせて補正することにより良否を判定
する。
【0009】請求項8の発明では、請求項1〜の発明
において、マスタパターンとサーチエリア内の3次元画
像をそれぞれの高さ平均値を基準に補正し照合を行うこ
とにより良否を判定する。請求項9の発明では、請求項
1〜の発明において、半田付け部形状検査において半
田付け部を包含するサーチエリアを設定し、3次元計測
ができるセンサでサーチエリアをスキャンニングし、基
板部分の高さを基準に半田量を計測した後、請求項1の
検査方法により半田付け部の良否を判定することにより
半田付け部の良否を判定する。
【0010】
【作用】請求項1の発明によれば、半田付けされていな
い部品の寸法よりマスタパターンを予め作成し、次に半
田付け部を包含するサーチエリアを設定して、このサー
チエリアを3次元画像が計測できるセンサでスキャンニ
ングし、このスキャンニングで得たサーチエリアの画像
と上記マスタパターンとを照合して所定値以上のマッチ
ング率の部位を検出することにより半田付け部の良否を
判定するため、実装位置、実装角度、半田付け方式の違
いによる半田付け部の変化があっても、同じ処理方法で
検査を行うことが可能であり、また検査対象の位置ずれ
を考慮することも無く、半田が無い状態を正確に検出す
ることができる。
【0011】請求項2の発明、請求項3の発明によれ
ば、マスタパターンを部品の端面形状を特徴として作成
するため、マスタパターンを少ないデータ数で作成で
き、そのため照合の演算回数が少なくなり処理速度が速
くなる。請求項4、請求項5の発明によれば、サーチエ
リア内のデジタル化された画像を補正するので、精度良
い検査が行える。
【0012】請求項6、請求項7の発明によれば、マス
タパターンを基板の3次元形状又は平面形状をもとにマ
スタパターンを補正するので、精度良い検査が行える。
請求項8の発明によれば、マスタパターンとサーチエリ
ア内の3次元画像をそれぞれの高さ平均値を基準に補正
するので、精度良い検査が行える。請求項9の発明によ
れば、半田量に基づいた上で、請求項1の検査方法によ
り行うので、部品の寸法のばらつき等により測定する半
田量が若干変化してもこの変化の影響を受けることな
く、半田付が無い状態を正確に判定することができる。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図1は本発明方法を採用した検査システムの構成
を示しており、この検査システムの主要な構成である3
次元画像検出装置は印刷配線基板P上に実装・半田付け
された電子部品8の半田付け部を3次元画像により計測
するための装置であって、3次元センサ1、3次元形状
検出部2、X軸方向の移動機構3x、Y軸方向の移動機
構3yからなる移動装置3とで構成される。
【0014】そして3次元画像検出装置では検査対象と
なる印刷配線基板P上の電子部品の半田付け部の高さを
計測し移動装置2により印刷配線基板Pを移動させるこ
とにより3次元センサ1aによる計測箇所を変え、つま
り3次元センサ1aを印刷配線基板P上でスキャンニン
グさせ、3次元形状検出部2を通じて3次元画像データ
を得るようになっている。この3次元画像データは画像
メモリ4に格納され、画像処理部4は画像メモリ4に格
納した3次元画像データを用いて検査・判定を行う。
【0015】尚制御部5は移動機構3の制御を行うもの
であり、全体制御部7は3次元センサ1や3次元形状検
出部2、画像メモリ4、画像処理部5、制御部6など検
査システム全体を制御するものである。このように構成
された検査システムは以下に述べる各実施例において用
いられ、各実施例において示すフローチャートに基づい
た処理が各部により為される。
【0016】(実施例1) 本実施例は図2(a)(b)の二つのフローチャートに
基づいて、半田付け状態の良否の判定を行う方法であ
る。まず図2(a)のステップ11で処理を開始し、ス
テップ12で部品寸法を入力する。次にステップ13で
部品寸法に基づいて印刷配線基板P上に実装された状態
の電子部品8の半田付け部の3次元形状パターンからな
マスタパターンを登録するとともに、半田付け部を包
含するサーチエリアを設定して、この過程を終了する
(ステップ14)。
【0017】この登録・設定が終了した後に、図2
(b)に示すフローチャートに基づく検査・判定処理を
開始する。つまりステップ21で処理を開始し、ステッ
プ22で予め設定されたサーチエリアデータに基づいて
3次元センサ1によるスキャンニングを行い3次元計測
を行う。次にステップ23でこのサーチエリア内の3次
元画像データとマスタパターンとの照合を行い最大のマ
ッチング率を求める。このとき、マッチング率は正規化
相関法等の演算手法を用いる。
【0018】ステップ24ではこの最大マッチング率
と、半田無し不良と判定できるレベル数値とを比較し、
最大マッチング率がこの不良判定レベルよりも大きけれ
ば、すなわち、形状が類似しているとして半田無し不良
(ステップ25)と判定し、検査を終了する(ステップ
26)。 (実施例2) 本実施例は、実施例1において部品寸法を元にマスタパ
ターンを作成する際に、半田無し形状を最も良く表して
いる図3(a)(b)に示すような電子部品8の端面の
形状をマスタパターンMP1 ,MP2 として登録する。
【0019】このようにマスタパターンMP1 ,MP2
を少ないデータ数で作成することにより照合の演算回数
が少なくなり、処理速度が速くなる。 (実施例3) 本実施例は、 図3(a)(b)に示すような電子部品
8の端面の形状を用いて作成したマスタパターンMPを
もとに、検査を行う実施例であって、以下図4のフロー
チャートに基づいて説明する。
【0020】まずステップ31で処理を開始し、ステッ
プ32で予め設定されたサーチエリアデータに基づき3
次元センサ1によるスキャンニングを行い3次元計測を
行う。次にステップ33で図3(a)のマスタパターン
MP1 のような半田付け方向の端面形状をマスタパター
ンとしてサーチエリア内の全データとの照合を行い最大
のマッチング率を求める。
【0021】ステップ34ではこの最大マッチング率
と、半田無し不良と判定できるレベル数値とを比較し、
最大マッチング率が不良判定レベルよりも大きければ不
良と判定する(ステップ35)。同様に、ステップ36
で図3(b)のマスパターンMP2 のような半田付け側
面方向の端面形状をマスタパターンとし、このマスタパ
ターンとサーチエリア内の全データとの照合を行い最大
のマッチング率を求める。
【0022】ステップ37ではこの最大マッチング率
と、半田無し不良と判定できるレベルとを比較し、最大
マッチング率が不良判定レベルよりも大きければ不良と
判定すし、検査を終了する(ステップ39)。尚上記の
最大マッチング率は正規化相関法等の演算手法を用いて
求める。 (実施例4) 実施例1において、部品寸法より作成したマスタパター
ンと、計測して得られた3次元画像データとの照合を行
う場合、計測されて得られた3次元画像データはデジタ
ル化されたものであるためマスタパターンでは直線で表
される電子部品と半田付け部の境界が折れ線状になって
しまい正確な照合の演算結果が得られない。
【0023】そこで、本実施例ではこの点に着眼し、図
5(a)のフローチャートに示す手法により検査を行
う。つまり画像処理部4はステップ41で処理を開始
し、ステップ42で予め設定されたサーチエリアデータ
に基づき3次元センサ1によるスキャンニングを行って
3次元画像データを得る。次にステップ43で図6に示
すような電子部品8と半田付け部9の境界部10を求め
る。
【0024】境界部10の求める方法は図5(b)に示
す手法で行い、これをサーチエリア内で繰り返し全ての
境界部10を求める。ステップ44でこの境界部10を
直線近似して、次にステップ45でこの直線と境界部1
0間の距離を求め、ステップ46で境界部10が直線に
なるようにステップ45で求めた距離だけ画像を補正す
る。
【0025】次にステップ47でマスタパターンとサー
チエリア内の全データとの照合を行い最大のマッチング
率を求める。ステップ48ではこの最大マッチング率と
半田無し不良と判定できるレベル数値とを比較し、最大
マッチング率が不良判定レベルよりも大きければ不良と
判定し(ステップ49)、検査を終了する(ステップ5
0)。
【0026】図5(b)に示すフローチャートによる境
界検出手法は実施例2に示した図3(a)のマスタター
ンMP1 を使用する。図5(b)のフローチャートでは
上記の境界部10を求める場合には、まずステップ51
で処理を開始し、ステップ52で半田付け方向(図6の
矢印方向)を境界部検出方向に設定し、ステップ53で
サーチエリア内の3次元画像データを境界部検出方向に
サーチして最大マッチング率の位置を求め、その位置を
電子部品8と半田付け部9との境界とし、上記の過程を
サーチエリア内で繰り返し全ての境界部10を求める
(ステップ54)。
【0027】(実施例4) 図7に示すように、基板固定治具11により移動装置3
に印刷配線基板Pを固定して、予め設定されたサーチエ
リアデータに基づき3次元センサ1によるスキャンニン
グを行って3次元計測する場合、図示するように印刷配
線基板Pが反っていると、電子部品8が同一高さの印刷
配線基板Pの平面上に実装された状態を想定して作成さ
れたマスタパターンとの正確な照合がとれない。そこで
本実施例は印刷配線基板Pの反りを基板の平面式より求
め、この反りに合わせてマスタパターンを補正した上
で、半田付け状態の外観検査を行うものである。
【0028】その検査の手法を図8のフローチャートに
示す。このフローチャートではステップ61で処理を開
始し、ステップ62で予め設定されたサーチエリアデー
タに基づきスキャンニングを行って3次元計測する。次
にステップ63で予め設定された3点の基板高さを計測
しサーチエリア内の基板の平面の式より任意の点の基板
高さを求める式を作成する。
【0029】まず3点の3次元座標をA(X1 ,Y1
1 )A(X2 ,Y2 、Z2 ),C(X3 .Y3
3 )とすると基板上の任意の(Xi,Yi,Zi)に
おいて、数1に示す式が成立する。
【0030】
【数1】
【0031】これらs,tをZiの式に代入して基板高
さを求める。ステップ64でサーチエリア内にマスタパ
ターンを配置し、ステップ65でマスタパターンの基
板面上の基板高さZを求め、マスタパターンにある部品
形状分の高さデータをオフセットとして加算しマスタパ
ターンを補正する。次にステップ66で補正したマスタ
パターンとサーチエリアデータとの照合を行いマッチン
グ率を求め記憶する。
【0032】以上のステップ64〜66の処理をサーチ
エエリア内全てのデータに対して繰り返し行い、ステッ
プ67で最大マッチング率を求める。ステップ68では
この最大マッチング率と半田無し不良と判定できるレベ
ル数値とを比較し、最大マッチング率が不良判定レベル
よりも大きければ不良と判定し(ステップ69)、検査
を終了する(ステップ70)。
【0033】また印刷配線基板Pの反りaを求める手段
としては基板全体を3次元計測した後、図9に示すよう
な複数の基板高さ計測ポイントPOの3次元座標を計測し
各ポイントPO間を直線で結ぶことにより印刷配線基板P
そのものの3次元形状を求めた後、上述のようにマスタ
パターンを補正して検査を行うことも可能である。 (実施例6) マスタパターンとサーチエリア内データのマッチング率
を求める演算の際に基板高さに対する部品部分の高さが
小さければ平面状の形状となりマスタパターンで作成し
た凹凸形状との照合ができない。そこで本実施例では以
下の手法で照合対象の形状を補正した上で、半田付け状
態の外観を検査を行う。
【0034】本実施例の補正手法を図10のフローチャ
ートに基づいて説明する。この実施例はステップ71で
処理を開始し、ステップ72では予め設定されたサーチ
エリアデータに基づいてサーチエリアを設定し、サーチ
エリアの3次元計測を行う。次に、ステップ73でサー
チエリア内の全データの平均値を求め、次にステップ
でサーチエリア内の各データと平均値との差を求め、
この値をマスタパターンとの比較対象画像とする。次に
ステップ75で補正したサーチエリアの画像とマスタパ
ターンとの照合を行い最大マッチング率を求める。
【0035】ステップ76ではこの最大マッチング率と
半田無し不良と判定できるレベル数値とを比較し、最大
マッチング率が不良判定レベルよりも大きければ不良と
判定し、検査を終了する(ステップ78)。また、正規
化関数による演算では形状の特徴を表す値が0の場合、
マッチング率の評価ができない。従ってマスタパターン
は図11(a)に示すように一旦、基板高さを0として
部品高さT分の高低差があるということでマスタパター
ンを作成し、次にマスタパターンの高さの平均値T0
求め、この平均値T0 とマスタパターンの各値との差を
求め図11(b)をマスタパターンとして登録する。こ
のことにより正規化相関によるマスタパターンの照合が
正確に行える。
【0036】(実施例7) 本実施例は半田付け部外観検査において図12に示すよ
うな手法で半田無しの不良を判定する。つまりステップ
81で処理を開始し、ステップ82では予め設定された
サーチエリアデータに基づいてサーチエリアを設定し、
サーチエリアの3次元計測を行う。
【0037】次にステップ83で予め設定された部品実
装位置をもとに電子部品の輪郭を追跡し、コーナを求め
ることで部品の実装位置を認識する。ステップ84で部
品のコーナを基準に、予め設定された半田付け部のサー
チエリアを設定する。次にステップ85で、この半田付
け部のサーチエリア内で予め部品寸法から設定された半
田付け相当部分の体積を求め、ステップ86で、この体
積を半田が少ないと判断されるレベルと比較し、少ない
と判断された場合に、ステップ87へ進む。
【0038】上述のような半田体積の求めかたは、部品
寸法のばらつき等により若干変化するため正確に半田が
無いという判定ができない。そこでステップ87におい
て実施例1〜で示したようなマスタパターンとの照合
で最大マッチング率を求め、ステップ88で最大マッチ
ング率と、不良判定レベルとの比較を行い、半田無しの
形状であるか否かを判定し(ステップ89)、検査を終
了する(ステップ90)。このステップ87乃至89に
より部品のばらつき等の変化の影響を受けることなく正
確な半田が無いと判定できるのである。
【0039】
【発明の効果】請求項1の発明は、半田付けされていな
い部品の寸法よりマスタパターンを予め作成し、次に半
田付け部を包含するサーチエリアを設定して、このサー
チエリアを3次元画像が計測できるセンサでスキャンニ
ングし、このスキャンニングで得たサーチエリアの画像
と上記マスタパターンとを照合して所定値以上のマッチ
ング率の部位を検出することにより半田付け部の良否を
判定するため、実装位置、実装角度、半田付け方式の違
いによる半田付け部の変化があっても、同じ処理方法で
検査を行うことが可能であり、また検査対象の位置ずれ
を考慮することも無く、半田が無い状態を正確に検出す
ることができる。
【0040】請求項2の発明、請求項3の発明は、マス
タパターンを部品の端面形状を特徴として作成するた
め、マスタパターンを少ないデータ数で作成でき、その
ため照合の演算回数を少なくなり処理速度が速くなると
いう効果がある。請求項4、請求項5の発明は、サーチ
エリア内のデジタル化された画像を補正するので、精度
良い検査が行えるという効果がある。
【0041】請求項6、請求項7の発明は、マスタパタ
ーンを基板の3次元形状又は平面形状をもとにマスタパ
ターンを補正するので、精度良い検査が行えるという効
果がある。請求項8の発明は、マスタパターンとサーチ
エリア内の3次元画像をそれぞれの高さ平均値を基準に
補正するので、精度良い検査が行えるという効果があ
る。
【0042】請求項9の発明は、半田量に基づいた上
で、請求項1の検査方法により行うので、部品の寸法の
ばらつき等により測定する半田量が若干変化してもこの
変化の影響を受けることなく、半田付が無い状態を正確
に判定することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明方法に用いる検査システムの構成図であ
る。
【図2】 (a)は実施例1のマスタパターンを作成する過程のフ
ローチャートである。 (b)は同上の検査過程のフローチャートである。
【図3】実施例2のマスタパターンの説明図である。
【図4】実施例3の検査過程のフローチャートである。
【図5】 (a)は実施例4の検査過程のフローチャートである。 (b)は同上の検査において境界部を検出する過程のフ
ローチャートである。
【図6】同上の検査において検出した境界部の説明図で
ある。
【図7】実施例5の検査にかかわる印刷配線基板の反り
の説明図である。
【図8】同上の検査過程のフローチャートである。
【図9】同上の検査において検出する基板高さの検出ポ
イントの説明図である。
【図10】実施例6の検査過程のフローチャートであ
る。
【図11】 (a)は同上で作成されるマスタパターンの説明図であ
る。 (b)は 同上でのマスタパターン補正の説明図であ
る。
【図12】実施例7の検査過程のフローチャートであ
る。
【符号の説明】
1 3次元センサ 2 3次元形状検出部 3 移動装置 4 画像メモリ 5 画像処理部 6 制御部 7 全体制御部 8 電子部品 P 印刷配線基板
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI G06F 15/70 335 (56)参考文献 特開 平5−20434(JP,A) 特開 平4−203916(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 11/00 - 11/30 B23K 1/00 G06F 15/62 G06F 15/70 335 H05K 3/34 512

Claims (9)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】半田付けされていない部品の寸法よりマス
    タパターンを予め作成し、次に半田付け部を包含するサ
    ーチエリアを設定して、このサーチエリアを3次元画像
    が得られるセンサでスキャンニングし、このスキャンニ
    ングで得たサーチエリアの画像とマスタパターンとを照
    合して所定値以上のマッチング率の部位を検出すること
    により半田付け部の良否を判定することを特徴とする半
    田付け状態の外観検査方法。
  2. 【請求項2】部品の寸法より作成するマスタパターンを
    部品の端面形状を特徴として作成したことを特徴とする
    請求項1記載の半田付け状態の外観検査方法。
  3. 【請求項3】部品の2側面の端面形状を特徴としたマス
    タパターンを作成してこのマスタパターンとサーチエリ
    アの画像とを照合して少なくともどちらか一方のマッチ
    ング率が所定値以上の場合不良形状と判定することを特
    徴とする請求項2記載の半田付け状態の外観検査方法。
  4. 【請求項4】サーチエリア内のデジタル化された画像を
    部品の寸法より作成したマスタパターンと精度良く照合
    できる画像に補正し、この補正した画像とマスタパター
    ンとの照合を行うことにより良否を判定することを特徴
    とする請求項1〜3記載の半田付け状態の外観検査方
    法。
  5. 【請求項5】部品の端面形状を特徴として作成したマス
    タパターンを使って部品と半田付け部の境界を決定した
    後、その境界部を整列させるように画像を補正して良否
    を判定することを特徴とする請求項4記載の半田付け状
    態の外観検査方法。
  6. 【請求項6】基板全体の形状を計測し基板の3次元形状
    を求めた後、サーチエリア内の画像と予め設定されたマ
    スタパターンとを照合する際に基板の3次元形状をもと
    にマスタパターンを補正することにより良否を判定する
    ことを特徴とする請求項1〜5記載の半田付け状態の外
    観検査方法。
  7. 【請求項7】サーチエリア内の半田付け部周辺の基板部
    分の形状よりサーチ エリア内の基板の平面形状を求めた
    後、サーチエリア内の画像と予め設定されたマスタパタ
    ーンとを照合する際に基板の平面形状をもとにマスタパ
    ターンを基板の反りに合わせて補正することにより良否
    を判定することを特徴とする請求項1〜5記載の半田付
    け状態の外観検査方法。
  8. 【請求項8】マスタパターンとサーチエリア内の3次元
    画像をそれぞれの高さ平均値を基準に補正し照合を行う
    ことにより良否を判定することを特徴とする請求項1〜
    記載の半田付け状態の外観検査方法。
  9. 【請求項9】半田付け部の形状検査において半田付け部
    を包含するサーチエリアを設定し、3次元計測ができる
    センサでサーチエリアをスキャンニングし、基板部分の
    高さを基準に半田量を計測した後、請求項1の検査方法
    により半田付け部の良否を判定することを特徴とする半
    田付け状態の外観検査方法。
JP5239941A 1993-09-27 1993-09-27 半田付け状態の外観検査方法 Expired - Fee Related JP2793947B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5239941A JP2793947B2 (ja) 1993-09-27 1993-09-27 半田付け状態の外観検査方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5239941A JP2793947B2 (ja) 1993-09-27 1993-09-27 半田付け状態の外観検査方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0791932A JPH0791932A (ja) 1995-04-07
JP2793947B2 true JP2793947B2 (ja) 1998-09-03

Family

ID=17052102

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5239941A Expired - Fee Related JP2793947B2 (ja) 1993-09-27 1993-09-27 半田付け状態の外観検査方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2793947B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002029027A (ja) * 2000-07-18 2002-01-29 Matsushita Electric Ind Co Ltd スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法
JP2002197645A (ja) * 2000-12-27 2002-07-12 Matsushita Electric Ind Co Ltd 磁気記録媒体用マスタディスクの検査方法
JP4759957B2 (ja) * 2004-08-26 2011-08-31 パナソニック電工株式会社 検査・計測用プログラムの作成方法並びにそのプログラムを作成するためのコンピュータプログラム及び検査・計測用プログラムの作成装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPH0791932A (ja) 1995-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3092809B2 (ja) 検査方法、並びに検査プログラムデータの自動作成機能を有する検査装置
US6496270B1 (en) Method and system for automatically generating reference height data for use in a three-dimensional inspection system
US6710867B2 (en) Device and method for inspecting a three-dimensional surface structure
US6807288B2 (en) Image processing apparatus, image processing method, and recording medium recording image processing program
JP2793947B2 (ja) 半田付け状態の外観検査方法
JP3890800B2 (ja) 半田付け状態の検査方法
JP2620992B2 (ja) 電子部品の半田付け部の検査方法
JPH0372203A (ja) 半田付け部の外観検査方法
JPH0611321A (ja) 半田印刷検査方法
JP3291176B2 (ja) 回路パターンの検査方法および検査装置
JP2000258121A (ja) 複数カメラ校正用のマスター基板及び画像認識カメラの校正方法
JPS6311804A (ja) 位置決め用マ−ク位置検出方式
JP2850807B2 (ja) 検査データ作成装置
JP2001033397A (ja) 物体表面の欠陥検出方法及び欠陥検出装置
JPS62233746A (ja) チツプ搭載基板チエツカ
JPH06117815A (ja) 電子部品位置姿勢計測方法
JP3483971B2 (ja) 部品データ作成方法
JPH0372204A (ja) 半田付け部品の外観検査方法
JP3013255B2 (ja) 形状測定方法
JPH05231842A (ja) 形状パターン検査方法及び装置
JP2576147B2 (ja) 実装部品の欠品検査装置
JP2879357B2 (ja) 形状判定方法
JP2974788B2 (ja) パターン位置検出方法
JP3226712B2 (ja) 半導体ペレット高さ計測装置およびその計測方法
JPH028705A (ja) 実装部品半田付け部の検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 19980609

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090619

Year of fee payment: 11

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090619

Year of fee payment: 11

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090619

Year of fee payment: 11

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100619

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100619

Year of fee payment: 12

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110619

Year of fee payment: 13

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120619

Year of fee payment: 14

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130619

Year of fee payment: 15

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees