JPS61259397A - レ−ザ−使用設備の安全装置 - Google Patents

レ−ザ−使用設備の安全装置

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JPS61259397A
JPS61259397A JP61034960A JP3496086A JPS61259397A JP S61259397 A JPS61259397 A JP S61259397A JP 61034960 A JP61034960 A JP 61034960A JP 3496086 A JP3496086 A JP 3496086A JP S61259397 A JPS61259397 A JP S61259397A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は安全装置に関し、特にレーザー使用設備の安全
装fK関する。
(従来技術) 現在稼動中の成る設備では、水、砂、アルミニウムなど
の充填物をサンドイッチ状に挾んだ(”P・rspex
 (登録商標)”などの>、reリカーぎネート樹脂、
屑、またはアルミニウムのコ重層壁から成る構造の安全
エンクローシェアが使用されている。かかる構造物は、
達人レーデービームが検出されると予期される、たとえ
ば3分の規定期間中レーザービームの透過を阻止するv
t壁とするつもりで用意したものである。
水を充填物として介在させた2重層壁を使用して観察窓
を設げる場合に、該層壁間の空隙を信頼性の高いシール
で封止すると共に、該空隙を配水タンクと連結すること
によって、レーザーの達人ビームが内層壁を透過する場
合には、該ビームの透過した水に代えて透過を免れた水
を配水タンクから供給し、これに伴って該配水タンクの
液面をフロートで略一定に制御し、その結果速入レーデ
ー♂−ムの外R壁の透過が阻止されるようにしなければ
ならない。達人レーデービームを検出できるようセする
ため、−重層壁間に介在させた水の存在を監視し、必要
に応じて水を配水タンクから上記2重壁に供給するため
の適当な計器が投げられる。天井にも安全設備を設げる
必要があり、そのための提案の一つに、天井を水入り@
製トレイのアレイから成るW造につくり、該トレイに監
視計器つき上方配置給水口を設け、該計器により上記ト
レイ中の水位を常時監視し、達人レーデービームが透過
した水の排出により生じる水位低下の場合に前記上方配
置給水口から給水するタイミングを検知するようにした
ものがある。
内蔵計器つきの上記壁および天井構造物は費用がかかる
という事実に加えて、出力のますます増大する強力なレ
ーデが出現しつつある情況においては、 !rKW程度
の出力をもつレーザーを、特に直列に2台接続して10
KWの合計出力が得られるようにして使用する場合にも
なお現行の基準を実現しようとすればそのためのエンク
ロージユア構造物の費用が螺旋状に増大することは避け
られない。加えて、0. !r mを超える面積の水入
り窓の場合は特に、水封上装置の信頼性を確保するのが
困難になる。
(発明の目的) 本発明の目的はサンドイッチ状充填物と内蔵計器を具備
する高価な構造と、かかる水入り構造に付随する封止の
間1とを回避することのできる、レーザー使用設備の改
良形安全装置を提供することにある。
(間1点を解決するための手段) 本発明によればレーザー使用設備の安全装置が提供され
るのであって、該安全装置は上記設備を収容するエンク
ロージユア、該エンクロージユアを形成するか、もしく
はかかるエンクロージユア内に位置するかの、少なくと
も7つの面、つまり7つの壁によって放出された輻射を
監視するセンサー装置、および該センサー装置に応答し
て単一の[g4値または複数個の閾値な超えた。放出輻
射のしくル、またはその変化に応じてレーザーの作動を
変更する装置を包含することを特徴とする。
実際には、センサー装置は赤外光の輻射に応答するもの
とし、かかるセンサー装置が上記表面、つまり通常はレ
ーザービームが入射することのない、エンクロージユア
の壁面および天井面を監視するために使用される。従っ
て、エンクロージユア内でレーザービームがその所定の
進路から1れて監視をしている表面に当たると、そのた
めに生じる該表面の温度上昇が上記センサー装置によっ
て検出され、起こりうる被害を阻止するようにレーザー
の作動条件が変更される。
かかる変更を行なうには、たとえば、レーザー装置の作
動を不能化してもよいし、あるいは゛シャッター装置な
どによってレーザービームを遮断するようKしてもよい
。あるいは、可聴及び/又は可視装置が作動してオペレ
ーターに事故の発生を警告するようにしてもよい。
セレン化銀、カドオウムや水銀のテルル化合物、鉛や錫
のテルル化合物などの赤外線に対して感じる材料を使用
した市販の赤外センサーはかかる放射光のレベル変動に
対して迅速な応答時間を有する。従って、本発明によれ
ば水、砂、グラファイトなどの充填物を使用せずに安全
エンクロージユアをつくることが可能であるが、その理
由は放射光がエンクロージユアの構造材料を透過してそ
の顕著な焼損を生じるようになる前に該エンクロージユ
アの壁面および天井面へ逸れて入射するレーザービーム
を検出し、レーザービームに働きかげて、かかる事態の
生じないようKすることが可能だからである。
本発明に使用のセンサー装置は上に列挙したような材料
であって、その禁止帯のエネルギーがエフ / o −
)エアの表面で放出された輻射の7オトンのエネルギー
よりも低いようなものを使用した量子検出器タイプとす
る。かかる検出器は光起電効果や光導電効果を利用した
ものとしてもよく、また感度を上げるため検出器を低温
で作動させるための冷却装置つきのものとしてもよい。
センサー装置は広い視界を生じる光学装置と組合わせて
使用するのを好都合とする。センサー装置は単一の検出
器から成るように構成してもよく、あるいは複数個の検
出器から成るよ5に構成してもよい。
検出器(単数または複数)を走査装置の一部として構成
し、該検出器の見る視界が被走査装置によって監視すべ
きエンクロージユアの全表面にわたって走査されるよう
Kしてもよい。
単一の検出器を使用する場合、かかる検出器を該検出器
がエンクロージュアの表面に対して相対的な走査運動を
行なうように、つまり連続回転または割出回転を行なう
ように取付けることができる。あるいはその代わりに、
かかる検出器に対し異なる視界を順次提供するよう忙構
成した光学装置に該検出器を組合わせるようにすること
もできる。
多数の検出器を使用する場合、かかる検出器を該検出器
がエンクロージユアの表面に対して相対的な走、査運動
を行なうように構成することもできるし、あるいはその
代わりKかかる検出器を該検出器は不動ではあるが各検
出器がそれぞれに異なる視界を見るよ5に!成し、それ
によってエンクロージユアの監視すべき全表置がかかる
検出器によって連続して観測されるようにすることもで
きる。
検出器(単数または複数)K入射する放射光の周波数帯
域を制限するフィルター(単数または複数)をかかる検
出器に必要に応じて組合わせることも可能である。
本発明による安全エンクロージュアの壁面および天井面
を前述のように2重is造とすることも考えられるが、
放射光による内層の焼損の起きる前に焼尽を惹起する条
件を検出することができるので、従来装置に使用されて
いたよ5な、監視計器つき上方配置給水口を組合わせた
サンドイッチ状充填物を無くすることも可能である。
情況によってはレーデ使用設備を囲繞するように構成し
た特別の安全エンクロージュアの使用されることがあり
、そのような情況では、一般に、コンクリートなどの材
料でつくった末および他の任意の壁面は当面除外するに
しても、レーザービームの当たったと思われる表面の全
部、または少なくともその大部分を監視することが必要
になる。
しかしながら他の情況では、レーザービーム発生装置を
既存のエンクロージユアに取付け、本来かかる目的のた
めに特につくられていない該エンクロージュアをレーザ
ー使用設備の安全エンクロージユアに改造する場合、い
ずれにしてもエンクロージュアの大部分をコンクリート
などの材料でつ(らなければならなくなるが、かかるコ
ンクリート材料がレーザービームを直ぐに通すことは無
いにしても、かかる材料には放射光を透過させ易い表面
や区域の含まれていることが有るかも知れず、その場合
にはかかる材料でつくったエンクローシェアの外側にい
るオペレーターが放射光に曝らされる危険の生じる恐れ
がある。
かかるエンクロージユアの1例として、原子炉から取出
された使用ずみ核燃料棒要素などの高放射性物質を遠隔
処理するためのケイプ、つまりセルがある。かかる遠隔
処理用タイツおよびセルの大部分は、レーザービームの
透過という観点からは間層を生じないゆれども、オペレ
ーターがかかるケイプ乃至セル内に据えたマニピュレー
タなどの運動を外から制御できるようにするための観察
用窓が上記ケイプ乃至セルには設けられなくてはならな
い。かかる観察用窓は広い間隔で配置された内外の窓プ
ラスから成り、両室ガラス間の空隙に水を充填物として
介在させるようにして構成するのが普通であるが、この
ガラス窩はレーザービームを透過させ易く、従ってたと
えば核燃料棒組立体を分解する際に燃料棒の包帯を切断
するためレーザー切断機をケイプ乃至セル内で使用しな
げればならないような場合にかかる機械のオペレーター
は危険に曝されることになる。
従って、たとえば観察用窓を備えたケイプ、またはセル
の場合、レーザービームがかかる窓の表面及び/又は核
表面をi繞する周縁区域に入射するとき適当な救済措置
が講じられるように、上記少なくとも1つの表面を観察
用窓の内側を向いた面とするか、もしくはかかる窓のか
かる面を含む成る表面区域とするのが望ましい。単一の
検出器を使用するときはその検出器に、また複数個の検
出器を使用するときは各検出器にマスクを施してかかる
検出器の視界を制限するようにすることによって、単一
の検出器、または複数個の検出器のどちらの場合にも各
検出器がレーザービームな透過させ易い表面から出てき
た輻射光のみを「見司ことができるようにするのが望ま
しい。
本発明の好ましい実施例によれば成る区域内で放射され
た熱輻射の揺動を監視する監視装置が提供されるが、該
監視装置は赤外線センサー装置、該赤外線センサー装置
が同一の全視舒を反覆して見るように監視区域を反覆走
査する装置、該反覆走査により発生した全視界にわたる
赤外輻ス射光を基準波形信号として記憶する装置、およ
び各走査周期中に発生した上記センサー装置の出力信号
を上記記憶された基準波形信号と比較し、そうすること
によって上記視野内の赤外放射光のレベルの局所的変化
が検出されるようにする装置を包含する。
基準波形はセンサー装置に監視区域の走査を行なわせる
ことによって得られるが、これは被害の潜在的発生源の
有無が未知であるような情況において、監視装置を使用
して正しい進路から逸れたレーザービームを検出しよう
とする場合に、たとえばレーザーの付勢に先立って行な
われることもあるし、あるいはレーザーの正常の作動期
間中和行なわれることもある。監視区域内の温度の、た
とえば日閏的変動を考慮の上基準波形が変更されるとい
う意味で、基準波形を非持久性のものとしてもよい、従
って、基準波形を得るための走査を所定の間隔で行なう
ことによって記憶されている基準波形信号が絶えず更新
され、この更新した基準波形信号がその後に行なわれる
走査期間中に得られるセンサー装置の出力と比較される
基準信号となるように監視装置を配置することも可能で
ある。
テレビジョンの画像が多数の「絵画1A(Plxle)
Jから作り上げられているよ5K、全視界を構成してい
る各増分帯域にそれぞれが対応する多数の離散デジタル
値の形で基準信号をデジタル化して記憶するのが好都合
である。従って、走査の行なわれている間じゆ5、セン
サー装置は全視界をその増分帯域の循環列として見てい
るわけであって、センサー装置が該増分帯域を見ている
間に該センサー族RIICよって発生させられる(単数
または複数の)出力信号は、同時モードまたは遅延モー
ドで、基準波形信号の対応するデジタル値と比較される
(時間と共に極めてゆっくり変化する傾向のある)被害
を及ばずことのない、赤外輻射光の検出レイルの変動忙
帰すべき基準波信号の闇値からの偏差と、正しい進路か
ら逸れたレーザービームなどの潜在的被害発生源に帰す
べき検出信号の閾値からの偏差とを弁別する識別装置を
監視装置が包含するように構成すると好都合である。識
別装置は閾値を超えた値の変化及び/又は閾値を超えた
値の変化とその変化率との両変化に基づいて弁別を行な
う。
センサー装置の見る視界の全体は、水平面内で340 
’、そして当直平面内で少なくともlコO0とするのが
代表的な値である。
本発明の他の諸特徴、および諸相は単なる例示としての
添付図面を参照して以下に述べる説明から明白になるは
ずである。
まず第1図について説明する。レーザー設備は適当に書
簡されたレーザー光源lOを包含する。
レーザー光源lOのビームは切換ミラー装[14に結合
された導管12を経てコ個の作業室16゜18の何れか
へ導かれる。各作業室はエンクロージユア内に収容され
ていて、レーザー溶接やレーザー切断などの必要とする
作業がかかる作業室内で行なわれる。安全用隔離装置2
0はレーザービームが各作業室のエンクロージュアに進
入するのを阻止できるようにしている。レーザー光源l
Oはシャッター装置2zを具備し、該シャッター装置2
Bは開いている時はビームが導管内に進入できるように
すると共に、複動式空気圧シリンダーなどによって閉ざ
される時はビームが導管内に進入するのを阻止する。
レーザー使用設備は安全エンクロージュア内に収容され
ていて、該安全エンクロージュアはたとえばアルミニウ
ム4製の溝壓支持体80を含む支持枠に取付けられた。
たとえばポリカーゴネート樹N膜及び/又は鋼板の被着
されているノ4ネルz8から成るコ重層構造としてもよ
い壁z4と天井z6とを包含する。第2図に示すように
、壁24は鋼板の被着されている下部と、PER5PE
X(ポリカーゴネートの発鈴商標名)の膜の被着されて
いる上部とから成シ、後者は観察用設備となる。前にも
述べたように、現行の安全装置の設計では、2重P構造
の壁は両層間にサンドイッチ状に挟設された充填物を備
え、該充填物は壁の上部においては水であシ、下部にお
いては砂である。
本発明による安全装置を使用すれは、かかる充填物は不
要になる。
第2図について説明する。監視装置8zが安全エンクロ
ージュア内に配置されているが、この監視装置をたとえ
ば上記エンクローシェアの天井16に吊着するようにし
てもよい。監視装置82は7個以上の赤外線センサーを
包含し、たとえば多数のレンズ84を含む適当な光学装
置と組合わされた上記赤外線センサーは、故障の生じた
場合に正しい進路から逸れたレーザービームが当たるこ
とになるはずの壁の全内表面を見ることができるように
配置されている。第2図の参照符号86で示したーによ
って代表的な祈界を表示する。正しい進路から逸れたレ
ーザービームが監視している表面の何れかに当たるとき
は、監視装置Kよって直ちに検出されることになるホッ
トスポットが生じる。このような状況になると、監視装
置はたとえはレーザー装置の作動を不能化し、レーザー
ビームが導管装置内に進入するのを阻止するシャッター
装置22を作動させるなどしてレーザーの作動状態を変
更する制御回路に制御用出力信号を供給する。
第3図について説明する。第3図はレーザー切断装置に
よって包帯を切断して解体しようとする核燃料棒要素な
どの使用ずみ核燃料を処理するためのタイプに本発明を
適用する例を示す。ケイプは厚いコンクリートの壁50
でつくられていて、観察用窓5zがこのプンクリート壁
に設けられている。本発明を説明するため、との峻察用
窓5zは外側窓ガラス54と、上記ケイプの内側に面し
た内側窓ガラス56と、側窓ガラス間の空隙を充填して
いる液体158とから成るものとする。このケイプ内に
は(図示されてない)レーザービーム使用設備が配置さ
れていて、かかるレーザービーム設備は遠隔操作可能の
口がット装置に取付けられた溶接ヘッドまたは切断ヘッ
ドなどのレーザー使用工具を包含するものとする。レー
ザービームが観察用窓に当たることも全熱なければ、よ
しんは当たったとしてもレーザービームが内(ll+窓
ガラスを透過する(従って充填液体と連間マスクに損傷
を与える)に少なくとも充分な長さの時間かかるレーザ
ービームが当たっていることもないようKするため、内
側窓ガラスの表面は赤外線センサー装置60によって監
視されていて、該センサー装置の視界はこの視界が観察
用窓の周縁と一致するようにマスク60によって制限さ
れている。従ってこのセンサー装置は観察用窓に入射す
るレーザービームに対してだけ応答するのであって、壁
50に入射するレーザービームに対しては応答しないの
である。センサー60によって検出された輻射光のレベ
ルが所定の閾値を超えれば、この条件を利用してレーザ
ーの作動を前に述べた方法で不能化するか、成る種の警
告を発するようにするか、あるいはその両者を行なうよ
うにする。
第1図乃至第3図に示す実施例において、監視装置は固
定された視界を有している。監視区域が第1図と第一図
に示すように広い場合は、走査型監視装置を使用するの
が一般には好ましい。第グ図は走査装置の1例を示し、
この例の装置は固定上部ハウシング70、同定下部ハウ
ジング?2、および走査ヘッド74を包含する。上部ハ
ウジング70は第1図と第2図とに示すものなどの安全
エンクロージュアの天井における適当な有利と思われる
点く固着するようにしてもよく、かかる上部ハウジング
70は(以下に説明することにする)電子回路と該電子
回路用の電源回路とを収容するようKしてもよい。下部
ハウジング7zの中には電気駆動モーター76が収容さ
れている。下部ハウジング72の下部には、軸受78を
介して、環状シャフト80が回転自在に装着されていて
、該環状シャフト80の下端には走査ヘッド74が固着
されている。走査ヘッド?4が軸線860回シに走査を
行ないつるようにするため、ベルト84とプーリー8z
からなる駆動装置によってモーター76が環状シャフト
80に結合されている。
図示のように下部ハウジング72に固着してもよく、あ
るいは駆動装置のプーリー82又は環状シャフト80に
固着してもよいアーム90によって、セン化銅の光電池
などの赤外線センサー88が軸線86にそって配電され
ている。周囲から入射する赤外輻射光は光学系により捕
隻されて上記赤外線センサー上に結像する。従って、図
示のように、この光学系は広角レンズgα、ビーム折曲
ミラー92.および合焦レンズ94を包含し、上記各光
学素子は皆走査ヘッド?4と一緒に回転するように装着
されている(もつともレンズ94に関しては、これを走
査ヘッドと一緒に回転させる必要は必ずしもない)。広
角レンズ90は円柱レンズとする。センサー88、レン
ズ90.レンズ94、およびミラー92を包含する光学
系は、たとえば垂直平面内で18、θ0で、水平面内で
70の、/ r 00X /’の瞬間視界をもつように
構成してもよい。これらの数値は例示として与えたもの
であるので、要求に応じて種々の異なる値を取シうるも
のと解するべきである。たとえば、すぐに思いつくよう
に、垂直平面内で張る角度を要求によってqOQから2
70°の範囲に選ぶことができよう。センサーB8はレ
ンズ94の焦点面上に位置を占めているので、円柱レン
ズ90が屈折力をもっていない水平断面内において、セ
ンサー88とレンズ94とは(Wをセンサー88の受光
面の幅とし、fをレンズ94の焦点距離として)号グラ
ジアンで与えられる瞬時視界に等しい水平画角を形成す
る。円柱レンズ90はセンサーに到達する輻射光の角度
の範囲を水平断面において7g00まで拡張するという
効果をもつ。走査ヘッド74が(代表的には毎秒少なく
とも完全に1回転を行なうような回転速度で)回転する
につれて、光学系によって生じる視界は3乙θ0のすみ
からずみまでに及ぶことになるので、非常に広い全視界
が得られ、この全視界は水平面内では360゜であシ、
垂直面内では図示の実施例に示すように18、θ0であ
る。
多くの場合、第7図に示すような単一の走査装置とする
だけで充分ではあるが、充分な視界がカバーできるよう
Kする必要のあるときは、第7図に示すような走査装置
をもう7台、もしくは複数台具備することによってかか
る走査装置を集合した全体はレーザービームを潜在的に
透過させ易い全ての面からの達人輻射光を受入れること
ができるようになる。第4図に示す実施例では、円柱レ
ンズ90が垂直面内で張る角度は7g00であったが、
レーザービームを透過させ易い面が一部の面に限定され
ているような応用ではよシ小さな角度を張るようにして
もよく、そのような場合にはレンズ90にマスクを施し
て視界を必要に応じて制限するようにする。
走査速度はモーター?6によって制御可能であシ、必要
に応じて、オペレータが作動させることのできる操作点
を利用するなどして、モーターの速度を変えることによ
って走査速度を選択的に変更することが可能である。走
査速度を変更することによって達成可能な温度分解能を
また制御することが可能になる。すなわち、走査速度を
運くすれば遅くする程達成可能な温度分解能はますます
高くなる。走査速度の変更を許容することによっテ、レ
ーザービームをエンクロージュアの表面に当てることに
よって発生させられるホットスポットを迅速に測定する
場合(この場合は、高速走査が適当である)と、赤外輻
射光の放射レベルが相当に大きくはない増加を示すよう
な結果になる別の状態を検出する場合(この場合は、低
速走査速度が適当である)との両方の場合に監視装置を
使用することができる。従って、レーザー装置の作動中
は安全エンクロージュアの中へは人を入れないようにす
る安全装置が一般に必要となる。エンクロージュアの中
に人が入っていれば人を放射された赤外輻射光のレベル
の変化を見ることによつて検出することができるが、か
かる輻射光のレベルの検出は低速走査速度によって可能
である。必敦とあれば、2台の走査装置を用意しく検出
する輻射光のレベルの異なる閾値を使用して)ホットス
ポットの検出と人の存在の検出とに両立する走査速度で
上記各走査装置を作動させることによってどちらかの走
査装置が監視状態を制御し、すなわちホットスポットの
発生を検出するか、あるいはエンクロージュア内に人の
いることを検出するかしてレーザー装置の作動の適当な
不能化を開始させ、これと同時に警告信号を発生させる
ようにすることが可能である。そうする代わシに、後に
貌明するように同一の監視装置を使用して画タイプの状
態を監視することも可能である。代表的な場合について
述べると、高速走査速度はり秒/回の走査を完全に行な
う速度よシも大きく10θミリ秒について7回の走査が
行なわれる程度であるのに、低速走査の速度は数秒につ
いて7回の走査が行なわれる程度である。
第り図に示す光学系によって得られるぎ間視界は(長い
方の寸法と短い方の寸法の比が少なくとも3θ:/で、
代表的には/20”、/から2コO:/の程度の)伸長
した形状のものであるが、(同根度の相互に直角な方向
の寸法をもつような)コンパクトな瞬間視界を使用する
こともできるのであって、そのためには連続回転する多
角形ミラー、またはブラウン管の便向に使用される鋸歯
状波を生じるように、ガルバノメーターによって角度偏
向されるミラーなどの手段を使用して上記コンパクトな
視界が相互に直角な平面内で走査されるように構成する
ことによってかかるコンパクトな瞬間視界が得られるの
である。すなわち、たとえば多角形ミラーを使用して該
多角形ミラーを(たとえば30〜lbOrpmの)速度
で回転する垂直軸の回9にゆっくり回転させることによ
って垂直平面内の迅速走査を発生させることが可能であ
る。しかしながら、第グ図に示すような伸長した瞬間視
界を使用する方がどちらかといえば好ましいが、それは
この場合には機械的駆動装置をより簡単にすることがで
きるばかシでなく、光学素子を高速度で動かす必要もな
いからである。
第3図はセンサー88の出力を処理する電子回路の線図
である。センサー88は前置増幅器96に接続される。
前置増幅器の出力はレベル比較器98の第1の入力端子
に供給される。該レベル比較器g8の第2の入力端子は
基準閾値発生回路100に接続される。該基準閾値発生
回路100は選択的に設定値を変えることができるのみ
ならず普通には許容可能な赤外放射光の最大レベルにプ
リセットすることのできる基準閾値を発生するものであ
る。従って該基準閾値発生回路の出力を第2の入力とし
て有するレベル比較器100は正しい進路を逸れたレー
ザービームがエンクロージュアの壁に当たって生じるホ
ットスポットをレーザービームの作動区域における、赤
外放射光の正常なパックグランドレベルから直ちに識別
することができる。もしセンサー88からの入力がグリ
セットされている閾値を茹えるものであれば、比較器9
8は出力を発生し、この出力が一個のタイミング回路1
02と104とに供給され、該タイミング回路102と
104は、それぞれの出力106.108を経て、警告
信号発生回路110を作動させるように働き、該警告信
号発生回路110は異常なホットスポットの検出された
場合、もしくはセンサー88又は電子回路の故障の検出
された場合に警告信号を発生する。また上言己警告信号
発生回路110は、前にも述べたように、出力IL2を
介して、レーザー装置の作動不能化を適当に行なう。
センサー88、又は電子回路の故障に対する保、護は、
各走査を行なう度に横断され・る全視界内の成る既知の
点に基準熱源114をよく考えて設けることによって行
なう。たとえば、基準熱源114となる基準ホットスポ
ットを電気抵抗素子でつくり、センサー88が走査の度
に基準スポット114を必ず一度は見るようにかかる基
準ホットスポット114をエンクロージュア内の適当な
有利と思われる点に配溝するようにしてもよい。2個の
タイミング回路1−O2と104は、共同して、基率ホ
ットスポット114と不所望の任意なホットスポットを
弁別する動作を行なう。加えて、タイミング回路109
は各走査毎に、しかもどの走査が行なわれている間でも
センサー88が基準ホットスポットを確実に見るように
保証する。タイミング回路lo2は走査周期よりも長い
休止周期をもつ単安定マルチパイル−ターを包含してい
るので、各走査毎に基準ホットスポットが検出されるも
のとして、該タイミング回路102は比較器98が基準
ホットスポットの検出に応答して発生する出力によって
トリガー人力を各走査毎に反援して(休止することなし
K)供給される。しかしながら、タイミング回路102
が休止していれば、これは走奔周期内に基準ホラトス4
ツトが検出されない故障を示すものであって、その場合
には警告信号発生回路110によって警告信号およびレ
ーザー装置の作動不能化信号の発生が開始される。そう
するのが望ましければ、連続走査サイクル中で2回以上
基準ホットスポットが検出されないとき(っまシ、たと
えば3回の走査サイクルのうちの2回とも検出されない
とき)に限って回路110への出力が生じるように回路
102を構成するようKしてもよい。
タイミング回路104は基準ホットスポット114に基
因する信号によってトリガー人力を供給されると共に、
走査周期よりも僅かに短い休止周期を有する単安定マル
チバイブレータ−を包含するようにしてもよく、シかも
このタイミング回路104は上記タイミング周期中に$
J準ホットスポット以外のホットスポットを検出すべく
構えるよう構成して本よい。従って、たとえは、タイミ
ング回路を原理上は第6図に示すような様式で作動させ
ることKなる。比較回路98からの出力は、線路116
を経て単安定マルチバイブレータ−12sK供給される
と共に、線路118を経てアンドゲート回路1aOに供
給される。トリガー人力を供給されるとすぐに、単安定
マルチバイブレータ−129はそのタイミング周期の間
アンドゲート回路120の第2の入力端子において7つ
の出力を保持するが、単安定出力は遅延回路1a4によ
シ遅らされてトリガーパルスが2つのルートを経てアン
ドダート回路120に略同時に到着するのが阻止される
結果になるので、この段階ではアンドダート回路120
が線路120上で2つの信号を一致して生じることはな
い。単安定マルチバイブレータ−のタイミング周期内に
第2のホットスポットが検出されないときは、単安定マ
ルチバイブレータ−122は休止してr−ト回路120
の第2の入力端子に保持していた出力を解放し、基準ホ
ットスポット114に基因する次のパルスによってトリ
が−されるのを待つ。しかしながら、単安定マルチバイ
ブレータ122が休止する前に第2のホットスポットが
検出されるときは、かかるスポットに基因するノ9ルス
が線路118を経てデート回路120の第1の入力端子
に到着し、とのノ母ルスが第1のホットスポットに基因
するノ蓼ルスで遅延回路1g4によって遅らされて到着
し九ノクルスと共K)!aミート路120の両入力端子
に印加されるとダート回路190の出力が線路126上
に生じ、この出力によってラッチ回路(電子式ラッチ装
置)1z8を作動させて警告/不能化開始回路110の
作動を開始させる信号を発生させる。指摘しておきたい
ことであるが、基準スポット114は102と104の
両タイミング回路をl走査サイクル毎に7回の割合でト
リガーするという作用を行表うものであるから、かかる
基準スIットはセンサー及び回路の自己診断機能を備え
ているということに加えて、同期用調時基準信号を備え
ているということであシ、そのため、たとえばモーター
76とシャフト80との間を結合しているプーリー/ベ
ルト駆動装置におけるベルトのすペシに基因するものな
どの、走査速度の重大な変化を検出することが可能であ
る。かかる事態の発生した場合、基準ホットスポットの
視界の移動に伴ってタイミング回路102及び104の
タイミング周期の相対的変化が発生するのであるが、こ
の移動量が充分に大きいときは、事故の発生しているこ
とをタイミング回路102と104は指示する。
第グ図の走査型ホップ4ツト監視装置をサンプリング回
路と組合わせて使用することによって非常に大きな適応
性をもって赤外放射光を監視することができる。かかる
サンプリング回路の7例を第7図に略図で示す。位置符
号器180を(第7図において参照符号140で示す)
第グ図の走査型ホットスポット監視装置と組合わせると
、各走査サイクル中に到達するホットスポットの呈する
電気出力の瞬時値が得ら′hる。符号器180はモータ
ー76の駆動軸の横持する歯つきディスク(第ダ図参照
)と共惰′する近接スイッチ、っまシ光電スイッチ18
2を包含するよう構成されているので、たとえば2j 
l、 /IPルス毎走査サイクルのパルス系列が発生す
る。たとえば駆動ベルトのスリップなどによる誤差を排
除するようにしたいのであれば、走査ヘッドそれ自体の
回転に符号器が応答するように構成してもよい。
センサー88の出力と符号器180の出力はマイクロプ
ロセッサ−素子として構成してもよい信号処理回路18
6に供給される。デジタル記憶装f188は監視すべき
全視野にわたる基進ホットスポットの温度分布形を記憶
する役目を果たすものであって、該デジタル記憶装置1
88への書込みは各走査期間中に生じた(たとえば、2
36個の)一連の瞬時視界を構成する要素視界を代表す
るデジタル値の系列によって行なわれる。監視の行なわ
れている間じゆう、センサー88の出力は(たとえば、
コ、り6回毎走査サイクルの割合で)反覆してサンプリ
ングされ、このサンプリング値はデジタル記憶装f#1
88から取出された対応する基準値と共に比較器142
へ供給され、何時走査を行なっても、つまりコ回以上の
走査を行なっても7回以上の走査について上記サンプリ
ング値と上記基準値との差が閾値記憶装置144から取
出された所定の閾値を超えているときは、警告及び/又
はレーザー装置作動不能化開始回路146か作動させら
れる。
代表的には、走査速度は7秒乃至それ以下の程度であシ
、センサーの出力の発生する時点と警告装置の作動の開
始される時点との時間差は7秒以下である。従って、レ
ーザーを利用して監視を行なう場合に、比較器142の
出力を使用してレーザー装置の作動不能化を行なったシ
、別方法でレーザー装置の作動を修正したシすることが
できるのであれば、被害が広がる前に適切な救済措置を
啓しることが可能である◎ 第6図に関連して記載したように、基漁ホットスポット
を安全保証装置として視界内の適嶋な装備(たとえば、
壁などの構造物)に固着する仁とKよって、走査装置の
自己診断枦伸をもたせるようKすることができる。すな
わち、この基準の「ホットスポット」を走査装置が走査
する度に視界内で見なければならない特定の点として、
基準ホットスポットが視界内KThいときは、この情報
を使用して警告信号を発するようにすることもできる。
この基準ホットポットは、警告すべき状態の検出される
特定の区域を容易に特定することのできる走査祠、界内
の幾何学的基準点を与えるものでもある。
デジタル記憶装置に書込まれるデジタル値の集合から成
る基準温度分布の図形は、潜在的被害発生源の存在が未
知の情況において、たとえばレーザー装置の付勢に先立
って、あるいはレーザー装置の正常運転中に、監視すべ
き区域の走査を行なう走査装置140t−まず使用する
ことによって得たものである。すなわち、全走沓視界中
の各増分視界についてセンサー88の出力をサンシリン
グし、こうしてサンプリングされた値をデシタル記憶装
#188の適当なアドレスに書込み、その後に行なわれ
る監槽走査時に上言eサングリング値の得られた賭点に
対応する諸位置が走査されるときに、上記書込まれた値
が読出され、該監視走査時にかかる諸点で検出された出
力のサンプル値と比較器142の中で比較されるのであ
る。
閾値記憶装置144は1つ以上のPA値を記憶すること
ができるようにしであるので、比較器142が比較を行
なっている間、走査の行なわれる異なったサンプリング
位置に対して異なった閾値を使用することもできる。デ
ジタル記憶装置188に書込まれた?S準温度分布の図
形は、そうするのが望ましければ、信号処理回路186
を使用して、前に書込まれ念値を現在取出したサンプリ
ング値と取替えることによって、一定の間をおいて更新
することも可能である。かかるデータの更新は走査の行
なわれる度ごとに行なうこともできるが、たとえば69
分に7回というように比較的長い間をおいて行なうのが
普通である。
信号処理回路186はセンサー88からのサンプリング
出力を2つのモードに従って処理する。
第1のモーげにおいて、サンプリング出方は書込まれて
いる対応基準値と俯々に比較されるので信号処理回路1
86けホットスポットの発生による大きな温度変動に対
して即座に応答することができる。より精度の高い温度
分解能を与える第二のモードにおいては、サンプリング
出力はサンプリング間隔に比して比較的長い時間間隔に
わたってす/fリング値を平均するという平均化技術を
使用して分析される。従って、この第二のモードでは、
比較器142は平均化されたサンプリング値を、たとえ
ばレーザー起源のホットスポット以外の熱源を検出する
ために、閾値記憶装#144がら読出した比較的低い閾
値と比較するように作動することが可能である。たとえ
ば、第2のモード(事実、このモードは任速走査を模擬
したものに外ならない)によれば、安全エンクロージュ
アの中に違法に存在する人員の検知が可能であって、そ
のような場合には、たとえば警告信号の発生及び/又は
レーザー動作の不能化を含む適切な措置を講することが
できる。
実施例では天井に吊着するように示されているが、本発
明の走査装置は床などの便宜な取付面にM着した細長い
円柱、つまりポールによって取付けるようにすることも
可能である。
【図面の簡単な説明】
第1図は安全エンクロージュア内に配置されたレーザー
使用設備の略平面図である。 第2図は、見易くするためにレーザー製電を除いた側面
図であって、ホットスポット監祠装置の基本形を示す。 第3図は使用ずみ核燃料を遠隔操作するためのケイプの
部分平面図である。 第ダ図は走査榊卯をもったホットスポット監視装置を示
す部分継断面略図である。 第3図は第9図の装置に使用される信号処理回路の回路
ブロック図である。 第6図は第3図のブロック図に示すタイミング回路の7
つに対応する回路図である。 第7図は第1図の装置に使用される別な信号処理回路の
ブロック図である。 24・・−・・壁 60・・・・・・センサー装置 72・・・・・・支持体 74・・・・・・走査ヘッド 82.84・・・・・・駆動装置 86・・−・・軸線 88・・・・・・センサー、センサー装置々90・・−
・・円柱レンズ 92・・−・・ビーム折曲ミラー 94・・・・・・合焦レンズ 100・・・・・・閾値記憶装置 102・・・・・・試験装置 110・・・・・・レーザー装置の作動を変」する装置
、作動信号を発する装置 114・・・・・・基勤輻射源 186・・・・・・信号処理回路、分析装置188・・
・・・・基準輻射記憶装置 140・・・・・・走査装置 142・・・・・・比較@置

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、レーザー使用設備の安全装置であつて、該設備を収
    容するエンクロージュア、該エンクロージュアを形成す
    るか、もしくはかかるエンクロージュア内に位置するか
    の、少なくとも1つの面、つまり1つの壁によつて放出
    された輻射を監視するセンサー装置、および該センサー
    装置に応答して単一の閾値または複数個の閾値を超えた
    、放出輻射のレベル、またはその変化に応じてレーザー
    の作動を変更する装置を包含することを特徴とする装置
    。 2、上記センサー装置が、該センサー装置に監視すべき
    面(単数または複数)、つまり壁(単数または複数)を
    包含する全視界を見るようにさせる走査装置の一部を形
    成する特許請求の範囲第1項に記載の装置。 3 エンクロージュアに対して所定位置に配置されたホ
    ットスポットとしての役目を果たす、少なくとも1つの
    基準輻射源を包含し、上記走査装置を自己が見る全走査
    視界の中に該基準輻射源が包含されるように作動可能と
    し、上記変更する装置を該基準輻射源(単数または複数
    )以外の輻射源(複数)に応答するときに限つてレーザ
    ーの作動を変更するように構成した特許請求の範囲第2
    項に記載の装置。 4、基準輻射(単数または複数)に対する、上記センサ
    ー装置及び/又はレーザー作動変更装置の応答特性を選
    択的または周期的に試験する装置を包含する特許請求の
    範囲第3項に記載の装置。 5、上記走査装置が視界の走査される方向に概して直角
    な方向に伸長している瞬間視界を生じるように構成され
    ている特許請求の範囲第2項乃至第4項の何れかに記載
    の装置。 6、上記走査装置が異なる速度で走査を行なうように該
    走査装置を選択的に作動させることのできる特許請求の
    範囲第2項乃至第5項の何れかに記載の装置。 7、別個のセンサー装置とこれらのセンサー装置に組合
    わせた走査装置をエンクロージユアの異なる諸点に配置
    し、該別個の走査装置を相互に異なる走査速度で作動可
    能とした特許請求の範囲第2項乃至第5項の何れかに記
    載の装置。 8、上記センサー装置から相次ぐ瞬間視界に対応する出
    力信号の系列が引出されるようにする信号処理装置を設
    け、異なる温度分解能が得られるようにするため上記出
    力信号の系列の個々の分析とグループとしての分析とが
    行なえるように上記信号処理を構成した特許請求の範囲
    第2項乃至第5項の何れかに記載の装置。 9、センサー装置が反覆して全体視界を見るように監視
    区域を循環的に走査すべく作動可能に上記走査装置を構
    成し、さらに上記循環走査によつて生じた全視界につい
    ての基準輻射の分布図形を書込むための記憶装置を包含
    し、その上に各走査サイクル中に上記センサー装置の発
    生した出力を書込まれた基準輻射の分布図形と比較し、
    そうすることによつて上記視界内に放射された輻射のレ
    ベルの局所的変化を検出可能にする装置を包含する特許
    請求の範囲第2項乃至第8項の何れかに記載の装置。 10、各走査サイクル中に反覆してセンサー装置の出力
    信号をサンプリングして各信号サンプルが全視界内の相
    次ぐ瞬間視界に対応している所定個数のサンプル信号を
    発生させるようにする装置を包含し、上記記憶装置を上
    記相次ぐ瞬間視界を構成する個々の瞬間視界に対応する
    各サンプルから成る多数の基準信号サンプルが書込まれ
    るようにし、センサー装置からサンプリングした各出力
    信号を書込まれている基準信号と比較するように上記比
    較装置を作動可能に構成した特許請求の範囲第9項に記
    載の装置。 11、少なくとも1つの閾値を書込むための閾値記憶装
    置を包含し、サンプリングされた出力信号と対応する書
    込まれた基準信号との差が上記1つの閾値、または個々
    の閾値を超えているか、いないかを決めるように上記比
    較装置を作動可能にした特許請求の範囲第10項に記載
    の装置。 12、走査サイクル中に得られた基準輻射分布図形を使
    用して書込まれている基準輻射分布図形を周期的に更新
    し、該更新が、Nを1以上の整数として、N走査サイク
    ルの組を終えてから、書込まれている各基準信号をサン
    プリングされた各出力信号で置換えることによつて行な
    われる特許請求の範囲第9項、第10項、または第11
    項に記載の装置。 13、赤外放射光監視装置であつて、入射する赤外輻射
    光の強度に関連した電気信号を生じるように赤外輻射光
    に感応するセンサー装置と、該センサー装置が上記監視
    装置の使用中に反覆して監視区域を包含する全視界を見
    るように循環走査を行なう装置と、単一の閾値または複
    数個の閾値を基準にしてセンサー装置の出力を分析して
    上記全視界内に潜在的な被害発生状態を示す赤外輻射源
    の発生していることを検出する装置と、かかる発生源を
    検出するときに作動信号を発生する装置を包含する装置
    。 14、上記センサー装置の試験を行なう装置を包含し、
    該試験装置は走査した視角の所定区域(単数または複数
    )内に輻射源(単数または複数)の存在していることが
    上記分析装置によつて検出されたときに限つて上記作動
    信号を抑制するよう作動すべく構成されており、この構
    成によつて上記所定区域(単数または複数)の外にある
    潜在的被害発生源にだけ応答して上記作動信号が発生さ
    れる特許請求の範囲第13項に記載の装置。 15、上記走査装置が走査の行なわれている方向に概し
    て直角な方向に伸長した瞬間視界を生じるように構成さ
    れている特許請求の範囲第14項に記載の装置。 16、走査装置が異なる速度で走査を行なうよう選択的
    に作動可能である特許請求の範囲第13項乃至第15項
    の何れかに記載の装置。 17、上記分析装置を上記センサー装置から相次ぐ瞬間
    視界に対応する出力信号の系列が引出されるように構成
    し、かつ異なる温度分解能が得られるようにするため上
    記出力信号の系列の個々の分析と、グループとしての分
    析とが行なえるように該分析装置を作動可能にした特許
    請求の範囲第13項乃至第16項の何れかに記載の装置
    。 18、上記分析装置が各走査サイクル中に反覆してセン
    サー装置の出力信号をサンプリングして各サンプリング
    信号が全視界内の相次ぐ瞬間視界に対応している所定個
    数のサンプリング信号を発生させるようにする装置と、
    相次ぐ瞬間視界の個々の視界に各基準信号が対応してい
    るような多数の基準信号が書込まれ、かかる多数の基準
    信号の集合が全視界に対する基準輻射分布図形を形成す
    るようにする記憶装置と、各サンプリングされた信号と
    対応する書込まれた基準信号との差が上記1つの閾値、
    または個々の閾値を超えているか、いないかを決めるよ
    うに作動可能な比較装置とを包含する特許請求の範囲第
    13項乃至第17項の何れかに記載の装置。 19、走査装置が支持体、所定の軸線の回りに回転する
    よう上記支持体に取付けられた走査ヘッド、上記所定の
    軸線の回りに走査ヘッドを連続回転させるようにする駆
    動装置、該軸線の方向にそつて入射する赤外輻射光と交
    差するような上記軸線上の位置に配置された赤外線セン
    サー、走査ヘッドによつて担持されその広い視角が上記
    所定の回転軸線を含むか該軸に平行な平面内で拡がるよ
    うに配置されている円柱レンズ、および赤外輻射光を半
    径方向内側へ屈折させて合焦すると共に該輻射光を上記
    所定の軸線に平行に偏向させるビーム集束偏向用光学素
    子を包含する特許請求の範囲第2項乃至第18項の何れ
    かに記載の装置。 20、上記光学素子が上記円柱レンズによつて屈折し、
    該レンズから半径方向内側へ進入する輻射を偏光させる
    ビーム折曲ミラーと、該ミラーとセンサーとの間に挿入
    された合焦レンズを包含する特許請求の範囲第19項に
    記載の装置。
JP61034960A 1985-02-19 1986-02-19 レ−ザ−使用設備の安全装置 Expired - Lifetime JPH0776999B2 (ja)

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GB858507505A GB8507505D0 (en) 1985-03-22 1985-03-22 Safety systems for lasers
GB8507505 1985-03-22
GB858528719A GB8528719D0 (en) 1985-11-21 1985-11-21 Heat radiation surveillance system
GB8528719 1985-11-21
GB8602224A GB2171513B (en) 1985-02-19 1986-01-30 Safety system for laser-utilising facilities
GB8602224 1986-01-30

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DE (1) DE3667036D1 (ja)
GB (2) GB2203539B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621547A (ja) * 1992-06-30 1994-01-28 Hitachi Software Eng Co Ltd レーザ発信制御方式及びレーザ利用通信システム
JP2008520095A (ja) * 2004-11-12 2008-06-12 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 基板のレーザ熱処理における差し迫った不具合の急速検出

Families Citing this family (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2804027B2 (ja) * 1987-07-13 1998-09-24 ファナック 株式会社 レーザ出力補正方式
GB8803623D0 (en) * 1988-02-17 1988-03-16 Atomic Energy Authority Uk Scanning system
US4891499A (en) * 1988-09-09 1990-01-02 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for real-time wafer temperature uniformity control and slip-free heating in lamp heated single-wafer rapid thermal processing systems
JP2771569B2 (ja) * 1988-12-29 1998-07-02 ファナック 株式会社 レーザ加工装置
US4989971A (en) * 1989-07-14 1991-02-05 Tektronix, Inc. Automatic mask trigger for an optical time domain reflectometer
US5159200A (en) * 1991-04-12 1992-10-27 Walter Kidde Aerospace Inc. Detector for sensing hot spots and fires in a region
US5301347A (en) * 1991-10-30 1994-04-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Multi-system laser safety shutter controller
FR2690641B1 (fr) * 1992-04-30 1996-07-12 Lectra Systemes Sa Dispositif de securite pour machines utilisant un faisceau laser et procede de mise en óoeuvre.
US5355383A (en) * 1992-12-03 1994-10-11 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method and apparatus for detection and control of prelasing in a Q-switched laser
CH687653A5 (de) * 1994-03-17 1997-01-15 Von Roll Umwelttechnik Ag Brandueberwachungssystem.
US5643477A (en) * 1995-06-30 1997-07-01 Motoman Inc. Laser enclosure
FR2747065B1 (fr) * 1996-04-05 1998-06-12 Milly Daniel Paul Dispositif de protection pour table a laser
DE19629037C1 (de) 1996-07-18 1997-07-31 Erwin Martin Heberer Wandelement für eine einen Arbeits- oder Wirkungsbereich umgebende Schutzvorrichtung gegen Laserstrahlen einer Laserquelle
DE19710901C1 (de) * 1997-03-15 1998-08-13 Roland Man Druckmasch Vorrichtung zur Erzeugung einer hülsenförmigen Druckform
DE19736042A1 (de) * 1997-08-20 1999-02-25 Alsthom Cge Alcatel Vorrichtung zum Längsnahtschweißen von Metallrohren
ES2237197T3 (es) * 1998-11-12 2005-07-16 PALETTI PROFILSYSTEME GMBH & CO. Pared de proteccion contra radiacion laser.
US6147323A (en) * 1999-08-05 2000-11-14 Fanuc Robotics North America, Inc. Passive laser enclosure
US7361171B2 (en) * 2003-05-20 2008-04-22 Raydiance, Inc. Man-portable optical ablation system
US9022037B2 (en) * 2003-08-11 2015-05-05 Raydiance, Inc. Laser ablation method and apparatus having a feedback loop and control unit
US20050279741A1 (en) * 2004-06-17 2005-12-22 Arenberg Jonathan W Laser burn through sensor
US7910499B2 (en) 2004-11-12 2011-03-22 Applied Materials, Inc. Autofocus for high power laser diode based annealing system
US7129440B2 (en) 2004-11-12 2006-10-31 Applied Materials, Inc. Single axis light pipe for homogenizing slow axis of illumination systems based on laser diodes
US7438468B2 (en) 2004-11-12 2008-10-21 Applied Materials, Inc. Multiple band pass filtering for pyrometry in laser based annealing systems
US8135050B1 (en) 2005-07-19 2012-03-13 Raydiance, Inc. Automated polarization correction
US7135392B1 (en) 2005-07-20 2006-11-14 Applied Materials, Inc. Thermal flux laser annealing for ion implantation of semiconductor P-N junctions
DE102005034110A1 (de) * 2005-07-21 2007-01-25 Füchtenkötter, Günter Laserschutzwand zur Abschirmung eines Laserbereiches
US20070073610A1 (en) * 2005-09-07 2007-03-29 Prasad Marugabandhu Job auction method and system
US8232687B2 (en) * 2006-04-26 2012-07-31 Raydiance, Inc. Intelligent laser interlock system
US7444049B1 (en) * 2006-01-23 2008-10-28 Raydiance, Inc. Pulse stretcher and compressor including a multi-pass Bragg grating
US9130344B2 (en) * 2006-01-23 2015-09-08 Raydiance, Inc. Automated laser tuning
US7822347B1 (en) 2006-03-28 2010-10-26 Raydiance, Inc. Active tuning of temporal dispersion in an ultrashort pulse laser system
DE102006026555B4 (de) * 2006-06-08 2008-04-30 Ingenieurbüro Goebel GmbH Verfahren und Vorrichtung zum Detektieren von optischer Strahlung
DE102006038795A1 (de) * 2006-08-18 2008-03-20 Fft Edag Produktionssysteme Gmbh & Co. Kg Überwachungsvorrichtung für eine Laserbearbeitungsvorrichtung
US7674999B2 (en) 2006-08-23 2010-03-09 Applied Materials, Inc. Fast axis beam profile shaping by collimation lenslets for high power laser diode based annealing system
US7659187B2 (en) 2006-11-03 2010-02-09 Applied Materials, Inc. Method of forming PN junctions including a post-ion implant dynamic surface anneal process with minimum interface trap density at the gate insulator-silicon interface
FR2914769B1 (fr) * 2007-04-06 2016-04-08 Sagem Defense Securite Tete de veille active d'un environnement, avec balayage selon un axe, systeme de veille comportant la tete precitee et un procede de mise en oeuvre de la tete et du syteme
FR2914768B1 (fr) * 2007-04-06 2010-09-03 Sagem Defense Securite Tete de veille active d'un environnement avec balayage en site, systeme de veille comportant la tete precitee, et procede de mise en oeuvre de la tete et du systeme
DE202007012255U1 (de) 2007-08-31 2009-01-08 Ingenieurbüro Goebel GmbH Vorrichtung zur Erkennung von optischer Strahlung
US7903326B2 (en) 2007-11-30 2011-03-08 Radiance, Inc. Static phase mask for high-order spectral phase control in a hybrid chirped pulse amplifier system
DE202008018087U1 (de) 2008-04-02 2012-04-30 Andreas Trautmann Strahlenschutzelement, Strahlenschutzanordnung und Rechneranlage, Datenträger sowie Signalfolge
US8498538B2 (en) * 2008-11-14 2013-07-30 Raydiance, Inc. Compact monolithic dispersion compensator
WO2011092110A1 (de) 2010-01-27 2011-08-04 Reis Group Holding Gmbh & Co. Kg Anordnung und verfahren zum detektieren einer strahlung
US9114482B2 (en) 2010-09-16 2015-08-25 Raydiance, Inc. Laser based processing of layered materials
US8558156B2 (en) 2010-10-27 2013-10-15 The Boeing Company Device for capturing and preserving an energy beam which penetrates into an interior of said device and method therefor
US10239160B2 (en) 2011-09-21 2019-03-26 Coherent, Inc. Systems and processes that singulate materials
EP2886242B1 (de) * 2013-12-20 2016-09-14 TRUMPF Werkzeugmaschinen GmbH + Co. KG Laserbearbeitungsmaschinen-Anordnung, insbesondere mit barrierefreiem Zugang
DE102014011716B3 (de) * 2014-08-05 2015-12-24 Hochschule Mittweida (Fh) Schutzvorrichtung für Laserstrahlen wenigstens einer Lasereinrichtung
DE202014006310U1 (de) 2014-08-05 2014-08-27 Hochschule Mittweida (Fh) Schutzvorrichtung für Laserstrahlen wenigstens einer Lasereinrichtung
DE202014006477U1 (de) 2014-08-08 2014-09-05 Hochschule Mittweida (Fh) Schutzwand für Laserstrahlen wenigstens einer Lasereinrichtung
DE102014115304A1 (de) 2014-10-21 2016-04-21 Reis Gmbh & Co. Kg Maschinenfabrik Verfahren zum Überwachen einer Strahlung
DE102017119148A1 (de) 2017-06-15 2018-12-20 Scansonic Mi Gmbh Laserschutzvorrichtung und Verfahren zu deren Betrieb
JP6904810B2 (ja) * 2017-06-29 2021-07-21 コマツ産機株式会社 レーザ加工機
CN110541731B (zh) * 2019-08-27 2021-10-22 山东科技大学 煤矿密闭巷道启封危险气源智能监测和评价机器人及方法
DE102020132983B3 (de) 2020-08-27 2022-02-10 Alotec Dresden Gmbh Mobile Laserschutzwand

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS559258A (en) * 1978-07-03 1980-01-23 Murata Manufacturing Co Invader monitor device
JPS5990196A (ja) * 1982-10-01 1984-05-24 ツエルベルス・アクチエンゲゼルシヤフト 被監視領域における侵入体の存在を決定するための赤外線検出装置
JPS6012527A (ja) * 1983-07-04 1985-01-22 Secoh Giken Inc 赤外ビ−ム走査装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3101618A (en) * 1960-11-15 1963-08-27 Leeds & Northrup Co Rotary kiln shell temperature scanning system
GB1003075A (en) * 1963-04-11 1965-09-02 Thring S Advanced Developments Improvements in or relating to fire detection and alarm apparatus
GB1173161A (en) * 1966-08-24 1969-12-03 Imp Metal Ind Kynoch Ltd Improvements in or relating to the Melting of Metal
US3924130A (en) * 1968-02-12 1975-12-02 Us Navy Body exposure indicator
GB1280473A (en) * 1968-07-04 1972-07-05 Stewarts & Lloyds Ltd Apparatus for detecting objects
FR2093399A5 (ja) * 1970-06-12 1972-01-28 Commissariat Energie Atomique
US3713042A (en) * 1971-05-27 1973-01-23 Bell Telephone Labor Inc Stabilized mode-locked laser arrangement
US3869680A (en) * 1973-08-31 1975-03-04 Nasa Dually mode-locked nd:yag laser
US3928843A (en) * 1974-06-24 1975-12-23 Optical Coating Laboratory Inc Dual channel infrared intrusion alarm system
US4087691A (en) * 1975-04-09 1978-05-02 Aga Aktiebolag Reference radiation source in a device for measuring the radiation from an object
FR2407784B1 (ja) * 1977-09-05 1982-02-26 Peugeot
JPS57156887A (en) * 1981-03-25 1982-09-28 Toshiba Corp Laser working device
GB2102200B (en) * 1981-07-17 1985-05-30 Philips Electronic Associated Infra-red radiation detector
GB2125217B (en) * 1982-08-06 1986-01-02 Secr Defence Infra red detector arrays
GB2108742B (en) * 1982-09-27 1986-09-10 Atomic Energy Authority Uk Laser safety screen
JPS5997788A (ja) * 1982-11-26 1984-06-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd レ−ザ−加工機
FR2541484B1 (fr) * 1983-01-13 1986-06-13 Brown De Colstoun Francois Procede pour la detection d'une source de chaleur notamment d'un incendie de foret dans une zone surveillee, et systeme pour la mise en oeuvre de ce procede
DE3340427C2 (de) * 1983-11-09 1985-10-03 Wandel & Goltermann Gmbh & Co, 7412 Eningen Verfahren zum sicheren Betrieb eines Gerätes, das einen Laser und eine mit einem Übertragungsmedium verbindbare, lichtabgebende Schnittstelle enthält sowie eine Sicherheitseinrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS559258A (en) * 1978-07-03 1980-01-23 Murata Manufacturing Co Invader monitor device
JPS5990196A (ja) * 1982-10-01 1984-05-24 ツエルベルス・アクチエンゲゼルシヤフト 被監視領域における侵入体の存在を決定するための赤外線検出装置
JPS6012527A (ja) * 1983-07-04 1985-01-22 Secoh Giken Inc 赤外ビ−ム走査装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0621547A (ja) * 1992-06-30 1994-01-28 Hitachi Software Eng Co Ltd レーザ発信制御方式及びレーザ利用通信システム
JP2008520095A (ja) * 2004-11-12 2008-06-12 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 基板のレーザ熱処理における差し迫った不具合の急速検出

Also Published As

Publication number Publication date
GB2203539B (en) 1989-08-31
GB2171513A (en) 1986-08-28
EP0200289A1 (en) 1986-11-05
GB8602224D0 (en) 1986-04-16
GB8806624D0 (en) 1988-04-20
DE3667036D1 (en) 1989-12-28
GB2171513B (en) 1989-08-31
JPH0776999B2 (ja) 1995-08-16
US4730113A (en) 1988-03-08
GB2203539A (en) 1988-10-19
EP0200289B1 (en) 1989-11-23

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