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Die
Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zum Detektieren des Eindringens
einer optischen Strahlung, insbesondere einer kontinuierlichen oder
gepulsten Laserstrahlung, in zumindest ein von zwei Wandungen einer
Einhausung eines Schutzwandsystems begrenztes Teilvolumen, in dem
zumindest ein Empfänger zum Detektieren der Strahlung angeordnet
ist, der mit einer Auswerteschaltung verbunden ist.
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Moderne
Hochleistungslaser werden in der industriellen Fertigung zur Materialbearbeitung
eingesetzt. Portalanlagen und Robotersysteme erlauben dem Anwender
eine maximal flexible Führung der Laserstrahlung zum Werkstück.
Kann die Laserenergie in Lichtwellenleitern zum Bearbeitungsort
geführt werden, wird die Dynamik dieser Systeme noch wesentlich
erhöht. Zur Sicherung von Leib und Leben werden passiv
wirkende (absorbierende) Schutzwände, meist aus Metall,
mit einfachen oder mehrfach hintereinander angeordneten Platten
um den Laserbereich aufgebaut, die so genannten Einhausungen. Innerhalb
dieser Schutzwände tritt Laserstrahlung mit extrem hoher
Energiedichte auf.
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Durch
das Bearbeiten der Werkstücke kommt es zusätzlich
zu unkontrollierten Reflexionen. Direkte oder indirekte Laserstrahlung,
im schlimmsten Fall der Rohstrahl, trifft auf die Umhausung, die ihrerseits
die Aufgabe hat Personen außerhalb vor der Strahlung zu
schützen. Je nach Betriebsart der Laseranlage muss dieser
Schutz für einen Zeitraum t gewährleistet sein,
z. B. bis der Bediener der Anlage den Fehler bemerkt und diese stillsetzen
kann. Durch die hohe Laserenergie und die oft geringen Abstände zur
Schutzwand wird dieser Zeitraum t bis zur Abschaltung immer geringer,
oder die Materialanforderungen an die Einhausung immer anspruchsvoller. Ausschließlich
passive Schutzwände sind daher nur bedingt zur Absicherung
von Personen geeignet.
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Die
Patentveröffentlichungen
DE 100 17 284 C1 ,
DE 103 25 906 A1 ,
DE 196 29 037 C1 betreffen rein
den passiven Schutz durch verschiedene Ausführungen der
Oberflächenbeschaffenheiten bzw. der Zwischenräume
der Wände. Es werden die unterschiedlichen Wärmeleiteigenschaften
oder das Reflexionsvermögen zur Realisierung der passiven Strahlensicherheit
genutzt. In der Praxis sind die Oberflächen der Schutzwände
jedoch bereits nach kurzer Zeit durch Öl, Schmutz und Staub
dermaßen verunreinigt, dass die ursprünglichen
Eigenschaften der Schutzvorrichtungen nicht mehr gegeben sind.
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Die
DE 36 38 874 C2 beschreibt
ein aktives Verfahren, wobei die dem Laser zugewandte Innenwand, ähnlich
einer Schmelzsicherung, mit einem elektrisch aktiven Leiter ausgerüstet
ist. Gegenüber der hier beschriebenen Anordnung ist eine
sichere Funktion dabei nur gegeben, wenn die Innenwand in ihrem
Absorptionsverhalten exakt auf die Laserwellenlänge abgestimmt
ist und zusätzlich eine elektrisch aktive Sicherung enthält.
Um dieses System z. B. für Faserlaser mit sehr kleinem
Strahldurchmesser verwenden zu können, müsste
der elektrische Leiter in sehr engen Mäandern in die Wand
eingebettet sein, was einen hohen konstruktiven und kostenintensiven
Aufwand bedeutet.
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Die
DE 89 08 806 beschreibt
eine zu der oben beschriebenen, nahezu identische Anordnung.
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Die
DE 199 40 476 A1 beschreibt
eine aktive Anordnung zur Erkennung optischer Strahlung mittels
beliebiger Sensoren. Jedoch ist in diesem Verfahren die Ausführung
der Schutzwand ein wesentlicher Bestandteil der Funktion. Die Verwendung
von Wärmesensoren an der dem Laser zugewandten Wand erfordert,
je nach den Wärmeleiteigenschaften des Wandmaterials eine
nicht unerhebliche Anzahl von Sensoren für eine sichere
Abschaltung. Die beschriebene Variante mit optischen Sensoren und
einer mit Folie ausgestatteten Lochblechwand innen erfordert wiederum
speziell konstruierte Wandelemente.
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Aus
der
EP-B-0 321 965 sind
eine Anordnung sowie ein Verfahren zum Detektieren einer Laserstrahlung
bekannt, die aus einem Arbeitsbereich austritt. Hierzu wird der
Arbeitsbereich von einer Wand umgeben, in der ein Detektor angeordnet
ist, über den die Illumination gemessen wird, die durch auf
die Wand auftreffende Laserstrahlung erzeugt wird. Zur Überprüfung
des Sensors ist in einem die Aussparung umgebenden Gehäuse
ein Photoemitter angeordnet, dessen Strahlung von dem Empfänger zur Überprüfung
dessen Funktion empfangen wird.
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Ein
Sicherheitssystem zur Überprüfung von Laserstrahlen
ist der
GB-A-2 171 513 zu
entnehmen. Dabei wird der Laserstrahl mittels eines Empfängers detektiert.
Zur Überprüfung der Funktionstüchtigkeit des
Empfängers ist eine Infrarotlichtquelle vorgesehen, dessen
Strahlung von dem Empfänger erfasst wird.
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Der
Erfindung liegt die technische Aufgabe zugrunde, eine aktive Anordnung
zur Erkennung des Versagens der inneren Schutzwand sicher zu ermöglichen
und entsprechend auszuwerten. Die Anordnung soll unabhängig
von der Konstruktion der Schutzwand und dem dafür verwendeten
Material sein und insbesondere in vorhandene Systeme nachträglich
eingebaut werden können.
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Die
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Anordnung
der eingangs genannten Art dadurch gelöst, dass die Anordnung
eine eine Durchbrechung einer äußeren Wandung
der Einhausung durchsetzende Sender-/Empfängereinheit ausweist,
die aus auf einem Rohr- wie Zylindermantel angeordneten Empfängern
und den Mantel umgebenden Sendern besteht. Insbesondere sind die
Empfänger geometrisch auf einer Umfangslinie angeordnet,
die parallel zur Umfangsfläche des Rohrmantels verläuft,
also im Falle eines Zylindermantels konzentrisch zu diesem auf einem
Kreis.
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Als
aktives Sensorsystem erfasst die Sender-/Empfängereinheit
in Sekundenbruchteilen eine Fehlbestrahlung und löst einen
Sicherheitskreis beispielsweise eines Lasersystems aus. Die Sender-/Empfängereinheit überwacht
das Teilvolumen, d. h. den Hohlraum zwischen den Wandungen der Einhausung
eines doppelwandigen Kabinenelementes. Sobald in diesen Hohlraum
Laserstrahlung eintritt, sprechen die Empfangselemente an und lösen den
Sicherheitskreis des Lasersystems aus.
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Um
einen kompakten Aufbau der Anordnung zu ermöglichen und
eine problemlose Montage an bereits bestehenden Doppelwandkabinenelementen zu
gewährleisten, ist vorgesehen, dass die Sender-/Empfängereinheit
an einer Unterseite eines die Auswerteschaltung aufnehmenden Gehäuses
angeordnet sind, wobei die Unterseite des Gehäuses an einer
Außenfläche der Wandung der Einhausung anliegt
und an dieser befestigbar ist.
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Aufgrund
dieser Ausführung ist ein modularer Aufbau von sicheren
Einhausungen bzw. Laserkabinen möglich. Es können
preisgünstige Standardkabinenelemente anstelle teurer Spezialeinhausungen
eingesetzt werden.
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Insbesondere
können dünne, doppelwandige Schutzwände
auch bei hohen Laserleistungen eingesetzt werden, wodurch geringe
Materialkosten und einfache Montage bei minimalem Platzbedarf unabhängig
von der verwendeten Laserleistung erreicht werden können.
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Ferner
zeichnet sich die Anordnung dadurch aus, dass diese ideal für
die Nachrüstung bestehender doppelwandiger Einhausungen
ausgebildet ist. Bestehende Einhausungen können teils sehr
einfach auf den neuesten sicherheitstechnischen Stand gebracht werden.
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Die
Anordnung kann auch für die unterschiedlichsten doppelwandigen
Kabinenkonzepte eingesetzt werden.
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Durch
die Anordnung wird eine Selbstüberwachung nach Sicherheitskategorie
3 erreicht.
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Dabei
umfasst die Sender-/Empfängereinheit mehrere selbstüberwachende
Empfänger sowie die Auswerteschaltung, mit der ein Empfängersignal kontinuierlich überprüft
und ausgewertet wird. Durch eine permanente Selbstüberwachung
ist die korrekte Funktion der Empfänger jederzeit sichergestellt.
Die Auswerteschaltung wird durch das robuste Metall- oder Kunststoffgehäuse,
vorzugsweise Aluminiumgehäuse, geschützt, an das
die Sender-/Empfängereinheit direkt eingebaut ist. Dadurch
entspricht die Sensorik im einmontierten Zustand der Schutzklasse IP65.
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Die
Sender wie LED sind derart angeordnet, dass deren Abstrahlkegel
jeweils quer wie im Wesentlichen senkrecht zu den Wandelementen
verläuft und dass die Empfänger wie Fotodioden
derart auf dem Mantel angeordnet sind, dass deren Empfangskegel
zumindest in etwa parallel zu den Wandelementen verläuft.
Dadurch werden einerseits eine sichere Selbstüberwachung
und andererseits ein sicherer Empfang der zu detektierenden Strahlung
gewährleistet.
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In
einer bevorzugten Ausführungsform ist jedem Sender ein
Empfänger zugeordnet, wobei ein Sender-Empfänger-Paar
diametral gegenüberliegend angeordnet ist, damit die Selbstüberwachung auch
die Reflexion an Wandungen einschließt, d. h. eine direkte
Bestrahlung vermieden wird.
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Des
Weiteren ist vorgesehen, dass mehrere Detektoranordnungen an einem
Kabelstrang in Reihe geschaltet sind, wobei jede Anordnung einen
Eingang und einen Ausgang aufweist. An einer Ausgangsbuchse der
letzten Anordnung in der Kette kann ein Abschlussstecker angebracht
sein, welcher die beiden Not-Aus-Schleifen mit der jeweiligen Rückleitung
verbindet. Alternativ kann auch anstatt des Abschlusssteckers eine
separate Rückleitung angeschlossen werden.
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Des
Weiteren ist vorgesehen, dass die Einhausung als modular aufgebautes
Kabinensystem ausgebildet ist, umfassend Doppelwandelemente ohne
Füllstoffe und Verstrebungen mit einem Abstand A im Bereich
von 35 mm die Wandelemente zur Vermeidung von Störsignalen
lichtdicht aufgebaut sind.
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Im
Gegensatz zum Stand der Technik wird hier ein aktives, elektronisches
Verfahren vorgestellt welches unabhängig von der Schutzeinhausung
und deren Material, die optische Strahlung als Störung
eines Referenzsignals erkennt und im Fehlerfall sehr schnell zur
Abschaltung der Quelle führt.
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Eine
erfindungsgemäße Anordnung zeichnet sich des Weiteren
dadurch aus, dass über einen mit dem Sender verbundenen
Generator eine Referenzstrahlung erzeugbar ist, dass der Generator
ein Code- und/oder Modulationsmuster für die von dem Sender
im Wellenlängenbereich der zu detektierenden Strahlung
emittierten Strahlung erzeugt, dass der Generator mit der Auswerteschaltung
verbunden ist und dass die Auswerteschaltung das Code- und/oder
Modulationsmuster mit der von dem Empfänger empfangenen
Strahlung vergleicht und bei gestörtem Code- und/oder Modulationsmuster
die zu detektierende Strahlung abschaltet.
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Die
Anordnung dient zur Erkennung von kohärenter (Laser-) und/oder
inkohärenter (LED-)Strahlung in einem beliebigen Schutzwandsystem
aus mindestens zwei absorbierenden Wandelementen. Die Erfindung
dient dem Schutz vor gefährlicher optischer Strahlung außerhalb
des Einhausungsbereiches durch aktive Überwachung der passiven
Schutzelemente mittels Sensoren. Das System ist sicherheitsgerichtet
ausgelegt und kann in vorhandene Einhausungen nachgerüstet
werden.
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Auf
der Erkenntnis des Absorptionsverhaltens des Schutzwandmaterials
aufbauend besteht die erfinderische Idee darin, dass die Zerstörung
der inneren Schutzwand der Schutzeinhausung zunächst billigend
in Kauf genommen wird. Hat die Laserstrahlung die erste Schutzschicht
durchbrochen, kommt es im Innenraum zwischen den beiden Wandelementen
zu einer hohen Strahlungsleistung, gestreut und/oder gerichtet,
der verwendeten Laserenergie. Optisch empfindliche Sensoren erkennen
diese Strahlung als Störung des Puls- oder Codemusters
der Strahlung eines Senders und das Ergebnis wird entsprechend ausgewertet
und umgesetzt. Dabei kann das so gewonnene Signal zur automatischen,
sicherheitsgerichtete Notabschaltung einer Laseranlage verwendet
werden.
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Die
Dauer für die Erwärmung und die Ausbreitung der
Wärmeenergie im Schutzmaterial ist für das Detektieren
der Strahlung unerheblich. Ebenso ist es nicht von Bedeutung, welches
Wandmaterial verwendet wird oder welchen Grad an Verschmutzung die
Oberfläche aufweist.
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Die
erfindungsgemäße Lehre ermöglicht, dass
sich nahezu alle vorhandenen Doppelwandschutzeinhausungen mit diesem
System nachrüsten lassen.
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Zur
Vermeidung von Fehlfunktionen z. B. durch Streu- oder Tageslicht
besteht die Möglichkeit, die Sensoren mit entsprechenden
Filtern auf einen zu detektierenden Wellenlängenbereich
einzuschränken.
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Die
Anordnung der Sensoren und Empfänger ermöglicht
eine Überwachung der Sensoren auf ihren technisch einwandfreien
Zustand zu jeder Zeit. Hierzu werden die Sensoren mit Hilfe von
niederenergetischen Strahlungsquellen mit modulierter und/oder codierter
Strahlung dauerhaft beaufschlagt. Das Gebersignal wird hierbei sowohl
auf elektrischem Wege (Ausgang, Sollwert) als auch auf optischem
Wege (Eingang, Istwert) verglichen (zweifache Rückkopplung).
Nur wenn die Modulation und/oder Codierung auf beiden Kanälen
identisch ist, bleibt die Auswerteelektronik im aktiven Zustand
(keine Störung detektiert). Eine sicherheitsgerichtete Ausführung
der Elektronik (Stand der Technik) garantiert eine Fehlermeldung
bei elektrischem oder elektronischem Versagen (Bauteile, Spannungsversorgung,
Kabelbruch etc.).
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Basierend
auf den oben beschriebenen Ausführungen besteht die erfindungsgemäße
Fehlererkennung darin, dass Laser- oder andere optische Strahlung,
die in den Zwischenraum der Schutzeinhausung eindringt und dem zu
detektierenden Wellenlängenbereich entspricht, auf jeden
Fall zu einer Störung des Puls- oder Codemusters des Sensorsystems
führt und damit sofort ein Auslösen des Sicherheitskreises
folgt (z. B. Abfall eines Relais).
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Die
beschriebene Anordnung ist sowohl für kontinuierliche Laserstrahlung
als auch für gepulste Systeme gleichermaßen geeignet.
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Es
besteht auch die Möglichkeit, die in sich sicherheitsgerichteten
elektronischen Auswerteeinheiten so zu gestalten, dass eine beliebige
Kaskadierbarkeit entsteht. Dies ist eine we sentliche Voraussetzung,
um beliebig viele Wandelemente miteinander verknüpfen zu
können oder den Aufbau mehrerer Sicherheitskreise (Zonen)
in einem System zu realisieren.
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Die
Erfindung bezieht sich auch auf ein Verfahren zum Detektieren von
optischer Strahlung, wie Laserstrahlung, in zumindest einem definierten
Teilvolumen einer Schutzeinhausung, wobei die optische Strahlung
von einem Empfänger detektiert wird, der mit einer von
einem Sender emittierten Referenzstrahlung beaufschlagt wird. Dabei
ist vorgesehen, dass der zumindest eine Sender und der zumindest eine
Empfänger in einem definierten Teilvolumen zwischen zwei
die Schutzeinhausung bildenden Wandungen angeordnet werden, wobei
im Bereich der zu detektierenden Strahlung eine modulierte und/oder
codierte Strahlung als Referenzstrahlung von dem Sender erzeugt
wird und dass eine Störung des Musters der modulierten
und/oder codierten Strahlung als Eindringen der zu detektierenden Strahlung
in das Teilvolumen gewertet wird.
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Nach
Feststellen eines gestörten Musters wird die optische Strahlung
sofort abgeschaltet.
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Entsprechend
einer weiteren bevorzugten Verfahrensweise ist vorgesehen, dass
dem zumindest einen Empfänger ein Filter vorgeschaltet
wird, wobei das von dem Empfänger empfangene Wellenlängenband λ2 der Strahlung mit λ2 = λ1 ± Δλ begrenzt,
wobei λ1 des Wellenlängenbereichs
sowohl der zu detektierenden Strahlung als auch der Referenzstrahlung
ist.
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Weitere
Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich nicht
nur aus den Ansprüchen, den diesen zu entnehmenden Merkmalen
-für sich und/oder in Kombination-, sondern auch aus der nachfolgenden
Beschreibung von den Zeichnungen zu entnehmenden bevorzugten Ausführungsbeispielen.
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Es
zeigen:
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1 eine
Schnittdarstellung eines von zwei Wandungen einer Einhausung eines
Schutzwandsystems begrenzten Teilvolumens mit Detektoranordnung,
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2a, 2b eine
Seitenansicht sowie eine Draufsicht der Sender-/Empfängereinheit
der Detektoranordnung,
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3a, 3b eine
Seitenansicht und eine Draufsicht der Sender-/Empfängereinheit
mit dargestelltem Abstrahlbereich der Sende- und Empfangselemente
und
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4 ein
Blockschaltbild einer Einbindung der Detektoranordnungen in eine
Sicherheitssteuerung einer Gesamtanlage.
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1 zeigt
rein schematisch in Schnittdarstellung eine Anordnung 10 zum
Detektieren des Eindringens einer kontinuierlichen oder gepulsten
Laserstrahlung 12 in zumindest ein von zwei Wandungen 14, 16 einer
Einhausung 18 eines Schutzwandsystems begrenztes Teilvolumen 20.
Die Wandungen 14, 16 sind mit einem Abstand A
im Bereich von ca. 35 mm voneinander angeordnet. In dem Teilvolumen 20 ist
zumindest ein Empfänger 22 wie Fotodiode zum Detektieren
der Strahlung 12 angeordnet ist. Der zumindest eine Empfänger 22 ist
mit einer Auswerteschaltung 24 verbunden.
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Die
Anordnung zeichnet sich dadurch aus, dass diese eine eine Durchbrechung 26 der äußeren Wandung 16 durchsetzende
Sender-/Empfängereinheit 28 aufweist. Die Sender-/Empfängereinheit 28 umfasst
mehrere Empfänger 22, die auf einem sich in das
Volumen 20 erstreckenden Zylindermantel 30 angeordnet
sind und von mehreren im Kreis angeordneten Sendern 32 konzentrisch
umgeben sind.
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Die
im Volumen 20 angeordnete Sender-/Empfängereinheit 28 ist
mit der Auswerteschaltung 24 verbunden, die in einem außerhalb
des Volumens 20 auf einer Außenfläche 34 der äußeren
Wandung 16 angeordneten Gehäuse 36 angeordnet
ist. Dabei bilden das Gehäuse 36 und die Sender-/Empfängereinheit 28 einen
kompakten Aufbau, der eine problemlose Montage an bereits bestehende
Doppelwandkabinenelemente ermöglicht. Hierzu ist lediglich die
Durchbrechung 26 in der äußeren Wandung 16 vorzusehen,
wobei eine Unterseite 30 des Gehäuses 36 an
der Oberfläche 34 der äußeren
Wandung 16 anliegt und mit dieser verbindbar wie verschraubbar ist.
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Gemäß 2a und 2b sind
die Sender 32 auf einem Kreis angeordnet und umgeben die Empfangselemente 22 konzentrisch,
wobei jeden Empfangselement 22 ein Sendeelement 32 zugeordnet
ist. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel weist die Sender-/Empfängereinheit
jeweils acht Sender und acht Empfänger auf.
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Die
Empfänger 22 sind in einer Ebene angeordnet, die
mit Abstand parallel zu einer Ebene verläuft, in der die
Sender 32 angeordnet sind. Des Weiteren ist vorgesehen,
dass die Sender eine Abstrahlcharakteristik 40 aufweisen,
die kegelförmig und im Wesentlichen senkrecht zu dem äußeren Wandelement
verläuft, während die Empfangselemente eine Empfangscharakteristik 42 aufweisen, die
im Wesentlichen parallel zu dem äußeren Wandelement 16 ausgerichtet
ist.
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3a und 3b zeigen
zusätzlich einen Abstrahlbereich 44 des Senders 28 in
Draufsicht sowie den Empfangsbereich 42 eines Empfängers
in Draufsicht.
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4 zeigt
ein Schaltbild, dem eine Verschaltung der Detektoranordnung (Laserspy)
an einen Not-Aus-Kreis 44 einer CNC-Steuerung 46 einer Laseranordnung 48 dargestellt
ist. Die Verschaltung der einzelnen Detektoranordnungen 10 erfolgt
in Reihenschaltung, wobei beispielsweise 10 Detektoren pro Sensorstrang
in Reihe liegen. Hierzu weist jede Anordnung einen Eingang 48 sowie
einen Ausgang 50 auf, die über vorkonfektionierte
Leitungen sodann miteinander verbunden werden können.
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Zur
Montage ist lediglich das Montageloch 26 für den
Sensorkern bzw. Sender-/Empfängereinheit 28 sowie
Befestigungsbohrungen für das Sensorgehäuse 36 an
der Wandung 16 der Schutzwandung 18 erforderlich.
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Steuerungsseitig
gibt es verschiedene Möglichkeiten, die Detektoranordnung 10 in
die Sicherheitsmechanismen einer Gesamtanlage einzubinden, wie z.
B. eine Verschaltung der Einzelstränge an einem schnell
schaltenden Sicherheitsschaltgerät (PNOZ), das mit dem
Not-Aus-Kreis 44 der Strahlenquelle verbunden werden kann
oder eine Anbindung an eine Sicherheits-SPS bzw. an einen dezidierten Safety-Controller.
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Jede
Detektoranordnung 10 ist zweikanalig ausgelegt und verfügt über
eine optische Signalisierung durch zwei Status-LEDs, mit denen der
aktuelle Zustand angezeigt wird.
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Die
Anordnung 10 arbeitet nach einem Verfahren, bei dem verschiedene
Strahlungsquellen 32 innerhalb des Teilvolumens 20 der
Schutzwand 18 aus zwei Platten (inneres Wandelement 16, äußeres Wandelement 14)
derart angeordnet sind, dass die emittierte Strahlung mit einer
Wellenlänge λ1 auf verschiedene,
in diesem Beispiel auf einem Zylindermantel angeordnete Empfänger 22 trifft.
Zum Schutz vor Fremdstrahlung können vor den Empfängern
Filter angebracht werden, die den Empfangsbereich auf ein Wellenlängenband λ2 = λ1 ± Δλ begrenzen. λ1 soll hierbei nahe der zu detektierenden
Laserstrahlung sein.
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Eine
mögliche Funktion der elektronischen Auswertungseinheit
kann wie folgt erläutert werden. Der Sender 32 wird
mit einer Modulation beaufschlagt und emittiert Strahlung mit diesem
Modulationsmuster. Das Signal eines Generators wird elektrisch direkt
auf die Auswertelektronik geleitet (Rückkoppelung). Das
Signal des Empfängers 28 wird über einen
weiteren Eingang auf die Auswerteelektronik geschaltet. Die Auswerteelektronik
vergleicht die Modulationsmuster vom Generator mit dem Empfängersignal.
Wird im Volumen 20 ausschließlich Strahlung 40 mit
dem generierten Modulationsmuster detektiert gibt die Auswertelektronik
die Laseranlage frei. Dringt, zum Beispiel nach Zerstörung
der inneren Schutzwand 14 Laserstrahlung 12 in
das Teilvolumen ein, wird das Modulationsmuster gestört.
Dies geschieht unabhängig davon, ob es sich bei der eindringenden
Strahlung um kontinuierliche oder gepulste Strahlung handelt. Die
Auswerteschaltung 24 erkennt nun einen signifikanten Unterschied
zwischen dem rückgekoppelten Sollwert und dem detektierten Istwert.
Es kommt zu einer Fehlermeldung, die einen Notstopp der Laseranlage
auslöst.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - DE 10017284
C1 [0004]
- - DE 10325906 A1 [0004]
- - DE 19629037 C1 [0004]
- - DE 3638874 C2 [0005]
- - DE 8908806 [0006]
- - DE 19940476 A1 [0007]
- - EP 0321965 B [0008]
- - GB 2171513 A [0009]