JPS61249221A

JPS61249221A - 姿勢制御装置

Info

Publication number: JPS61249221A
Application number: JP9044885A
Authority: JP
Inventors: Koichi Matsushita; 松下　光一; Tadayuki Kubo; 忠之久保; Eiichi Yamada; 栄一山田; Kiyoharu Kumagai; 熊谷　清春
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1985-04-26
Filing date: 1985-04-26
Publication date: 1986-11-06
Also published as: JPH0372417B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野】本発明は姿勢制御装置に関し、特に基体に対し所定の姿
勢にて保持される被加工物を異なる２つまたは３つの軸
のまわりに回動させることにより姿勢制御する装置に関
する。この様な姿勢制御装置は、たとえば工作機械の工
具または被加工物の姿勢制御に適用することができる。

［従来の技術］精密加工法の１つとして放電加工が一般に利用されてい
る。放電加工は、工具を電極として用いて被加工物との
間の微小間隙においてアーク放電を生起させ、これによ
り被加工物表面を微量づつ除去し被加工物を工具の形状
に対応した形状に加工するものである。

放電加工によれば、機械加工が困難な強靭な材料や高硬
度材料をも正確な形状に加工でき、また表面も比較的微
細にすることができ、更に電極さえ作製しておけば如何
なる形状の面をも加工することができるので、放電加工
はたとえばプレス加工用の金型の製造に利用される。

この様な放電加工のために用いられる放電加工機の従来
例を第８図に示す。

図において、１０２はＸ方向スライドテーブルであり、
１０４は該Ｘ方向スライドテーブル１０２−Ｌに設けら
れたＹ方向スライドテーブルであり、該Ｙ方向スライド
テーブル１０４上には加工液収容タンク１０６が固定さ
れている。１０８は該タンク１０６中に設けられた作業
台であり、該作業台１０８上にワーク１１０が固定され
ている。尚、加工時にはタンク１０６中に加工液たとえ
ば水または油等が収容される。１１２はコラムであり、
１１４はタイルであり、１１６は絶縁板であり、１１ｇ
はチャックであり、１２０は回転ヘッドであり、１２２
は電極ホルダーであり、１２４は電極即ち工具である。

回転へラド１２０はチャック１１８に対しＺ方向のまわ
りに回動することができる。即ち１回転へラド１２０に
は水平方向を向いた突出部１２０ａが固設されており、
一方チャック１１８には該突出部１２０ａのＺ方向のま
わりの回動方向に関し両方から当接している回動調整ネ
ジ１１８ａ。

１１８ｂが付設されている。従って２つの調整ネジ１１
８ａ、１１８ｂを操作することによりチャック１１Ｂに
対し回転ヘッド１２０を回動することができる。

また、電極ホルダー１２２にはＸ方向及びＹ方向から電
極１２４に当接せしめられている調整ネジ１２２ａ、１
２２ｂが付設されており、該調整ネジ１２２ａ、１２２
ｂを操作することにより電極１２４の２方向に対する倒
れを修正することができる。ｍち、調整ネジ１２２ａを
操作することにより電極１２４をＹ方向のまわりに適宜
の角度回転させ、−力調整ネジ１２２ｂを操作すること
により電極１２４をＸ方向のまわりに適宜の角度回転さ
せるのである。

放電加工時においては、コラム１１２に対し電極１２４
をＺ方向に沿って下向きに移動させ、該電極１２４とワ
ーク１１Ｇとの間の間隙が微小となる位置で放電を開始
する。以後、少しづつ電極１２４を下向きに移動させな
がら放電を行ない。

所定の位置で放電を停止し、電極１２４を上向きに移動
させる。これにより、ワーク１１０には電極１２４の下
面及び側面の形状に対応する加工面が形成される。

しかして、放電加工によりワークに対し正確な加工を行
なうためには、電極１２４の形状が正確であることの外
に該電極１２４が正確な姿勢で電極ホルダー１２２に装
着されることが必要である。

［発明が解決しようとする問題点］しかるに１以上の様な従来の放電加工機においては、電
極ホルダー１２２に装着された電極１２４の姿勢は必ず
しも正確であるとはいえないので、電極１２４の装着後
に該電極を上下移動させながら電極面または該電極の側
面に形成された基準面１２４ａ、１２４ｂにダイヤルゲ
ージを当接させて電極の倒れを測定し、その測定結果に
基づき調整ネジ１２２ａ、１２２ｂを操作して電極１２
４のＸ方向のまわりの回動及びＹ方向のまわりの回動を
行ない、更に作業台に支持されたダイヤルゲージを電極
面または基準面に当接させながら作業台をＸ方向または
Ｙ方向に移動させて電極のＺ方向のまわりの回転を測定
し、その測定結果に基づき調整ネジ１１８ａ、１１８ｂ
を操作して電極１２４のＺ方向のまわりの回動な行ない
、これにより所望の電極姿勢に調整することが行なわれ
ている。

しかしながら、この様な手動による姿勢調整では、目的
とする姿勢に到達するには調整ネジ操作と電極の姿勢測
定とを繰返し行なうことが必要であり、極めて多くの労
力と時間とを要するという問題があった。

また、自動電極交換装置（ＡＢＣ）を用いることもある
が、電極交換の際の装着誤差をとりきれず、高精度な完
全自動運転は不可能であった。

電極の水平面内における芯ズレの調整及び電極を被加工
物の所定の位置に送る場合に対しても、電極形状がスト
レート以外のものに対しては代用基準面を設ける必要が
あるが、この基準面に対して芯ズレ調整及び送りの際の
放電加工機のＸ方向スライドテーブル及びＹ方向スライ
ドテーブルの送り量が決定されるため、基準面に対する
電極形状部の加工精度が被加工物の加工精度に影響を及
ぼすことになり、放電加工機のＸ方向スライドテーブル
、Ｙ方向スライドテーブル及びＺ方向移動手段の高精度
な送りが可能であっても、高精度な加工を行なうことは
困難である。

以上の様な問題は放電加工機の電極の姿勢制御のみなら
ず、一般の加工機における工具の姿勢制御においても同
様に存在する。更に、適宜の基体に対し装着される工具
以外の被装着物の姿勢制御においても同様な問題がある
場合もある。

Ｅ問題点を解決するための手段】本発明によれば１以上の如き従来技術の問題点を解決す
るものとして。

本体と、該本体に対し球形状面にて摺動可能に接触保持
されている球面フランジとを有し、球面フランジの球形
状面と摺動可能に接触せしめられており且つ該球形状面
に沿って第１の方向にのみ移動可能なＸスライダ駒が本
体に対し摺動可能に配量されており、上記球面フランジ
にはその球形状面から突出せしめられており且つ上記Ｘ
スライダ駒に対し上記第１の方向を横切る第２の方向に
のみ摺動可能なＹスライダ駒が固定されており。

該Ｙスライダ駒をＸ方向及びＹ方向に移動させるための
駆動手段が設けられていることを特徴とする、姿勢制御
装置、が提供される。

［実施例］以下１図面を参照しながら本発明の具体的実施例を説明
する。

第１図（ａ）は本発明による姿勢制御装置の第１の実施
例を示す縦断面図であり、第１図（ｂ）はそのＢ−Ｂ断
面図である。尚、第１図（ａ）は第１図（ｂ）のＡ−Ａ
断面図に相当する０本実施例は放電加工機の工具である
電極の姿勢制御に適用されたものである。

図において、２は本体であり、４は球面フランジである
０本体２の上端部は放電加工機本体側に固定され、一方
球面フランジ４の下端部には電極が固定される０本体２
はほぼ円筒形状をなしており、該本体２の下面は凹球形
面をなしている０球面フランジ４の上面は上記本体２の
下端面の凹球形面に対応する凸球形面形状をなしている
。

本体２の中央部には空隙部６が形成されており、該空隙
部６内にはＸスライダ駒８が収容されている。該Ｘスラ
イダ駒８は第１図（ｂ）に示される様に矩形状の平面形
状を有する。また、該Ｘスライダ駒８の下面は球面フラ
ンジ４の上面の凸球形面に対応する凹球膨面形状をなし
ている。Ｘスライダ駒８は、空隙部６内においてＹ方向
の両手端面が本体２のＹ方向内面と摺動可能にかん合せ
しめられており、一方Ｘ方向の両手端面は本体２の内面
との間に適宜の間隙を有する。従って、Ｘスライダ駒８
は球面フランジ４上において本体２に対しＸ方向に沿っ
て所定のストロークにわたって相対的に往復運動するこ
とができ且つＹ方向には本体２に対し相対的に運動でき
ない。

一方、球面フランジ４の中央部にはＹスライダ駒ｌＯが
固定されている。該Ｙスライダ駒ｌＯは球面フランジ４
の上面の凸球形面を貫いて上方へと突出している。該Ｙ
スライダ駒１０の突出部ｌＯａは第１図（ｂ）に示され
る様に矩形状の平面形状を有する。該Ｙスライダ駒１０
の突出部ｌＯａは上記Ｘスライダ駒８を貫通してＺ方向
に延びている。Ｙスライダ駒１０は、Ｘスライダ駒８の
貫通孔内においてＸ方向の両手端面がＸスライダ駒８と
摺動可能にかん合せしめられており、一方Ｙ力向の両手
端面はＸスライダ駒８との間に適宜の間隔を有する。従
って、Ｙスライダ駒１０はＸスライダ駒８に対しＹ方向
に沿って所定のストロークにｂたって相対的に往復運動
することがで！！巨つＸ方向にはＸスライダ駒８に対し
相対的にＮ！ｂできない。

本体２の側部には、Ｘ方向に沿って形成されたメネジ１
２中をＸ方向に沿って移動可能なバネ圧調整ネジ１４内
に形成されたＸ方向のガイド孔中に一部収容されＸ方向
にスライド可能なスライドピン１６が配量されている。

該スライドピン１６は予圧用のバネ１８によりＹスライ
ダ駒突出部ｌＯａの方へと付勢されており、その先端部
はＹスライダ駒突出部１０ａのＸ方向端面に突当てられ
ている。

同様に１本体２の側部にはＹ方向に沿って形成されたメ
ネジ１３中をＹ方向に沿って移動可能な調整ネジ１５内
に形成されたＹ方向のガイド孔中に一部収容されＹ方向
にスライド可能なスライドピン１７が配量されている。

該スライドピン１７は予圧用のバネ１９によりＹスライ
ダ駒突出部１０ａの方へと付勢されており、その先端部
はＹスライダ駒突出部１０ａのＹ方向端面に突当てられ
ている。

Ｙスライダ駒突出部１０ａのスライドピン１６°　　　
　　突当て側と反対の側にはＸ方向に延びているピン２
０が固設されており、またＹスライダ駒突出部１０ａの
スライドピン１７突当て側と反対の側にはＹ方向に延び
でいるピン２１が固設されている。

本体２の側部にはまたＺ方向の軸２２のまわりに回動可
能なレバー２４が取付けられている。該レバー２４の先
端はピン２０の先端に対向せしめられている。また１本
体２の側部には積層型ピエゾ素子２６が付設されており
、該素子２６の駆動端はレバー２４の上記ピン２０対向
側とは反対の側に対向せしめられている。そして、該素
子２６の駆動端のストロークはレバー２４を押圧し該レ
バー２４がピン２０を押圧し、該ピン２０を所定のスト
ロークにわたってＸ方向に移動せしめることができる程
度である。

同様に、本体２の側部には、上記ピン２２、レバー２４
及び積層型ピエゾ素子２６からなる機構と同様なピン２
３、レバー２５及びａＰＪ型ピエゾ素子２７からなる機
構が設けられており、この機構はＹスライダ駒突出部１
０ａに固設されたピン２１に対向して配量されている。

本体２の側部外面にはまた該本体２と球面フランジ４と
のクランプのために使用されるエアーシリンダー３０が
配設されている。そして、該エアーシリンダー３０の下
方にはクランプ用レバー３２が１本体２偏に設けられた
水平方向ピン３３のまわりに回動自在な様に付設されて
いる。該レバー３２のピン３３よりも内側の端部はその
上面が球面フランジ４に当接せしめられる様になってお
り、−労咳レバー３２の他端部即ち外側の端部の上面は
エアーシリンダー３０の駆動端部と対向せしめられてお
り且つこれらの間には予圧用の圧縮バネ３４が介在せし
められている。クランプの際にはエアーシリンダー３０
を作動させて圧縮パネ３４を更に圧縮する。

以上の様な本実施例装置においては積層型ピエゾ素子２
６に駆動電気信号を与えることにより。

該素子２６の先端部がＸ方向に前進してレバー２４を押
す、これにより該レバー２４の先端部がＹスライダ駒突
出部１０ａに固設されたピン２０をＸ方向に押す、この
レバー２４によるピン２０の押圧はスライドピン１６に
よりＹスライダ駒突出部１０ａにかけられているＸ方向
の予圧に抗して行なわれる。

同様にして、ａ層型ピエゾ素子２７に駆動電気信号を午
えることにより、該素子２７の先端部がＹ方向に前進し
てレバー２５を押し、これにより該レバー２５の先端部
がＹスライダ駒突出部ｌＯａに固設されたピン２１をＹ
方向に押す、このレバー２５によるピン２１の押圧はス
ライドピン１７によりＹスライダ駒突出部１０ｍにかけ
られているＹ方向、の予圧に抗して行なわれる。

これにより、Ｙスライダ駒ｌＯ及びこれに固定されてい
る球面フランジ４は本体２及びＸスライダ駒８に対しＹ
方向に沿って球面摺動を行ない。

更にＹスライダ駒ｌＯは球面フランジ４及びＸスライダ
駒８とともに本体２に対しＸ方向に沿って球面摺動を行
なうことができる。かくして１球面フランジ４は本体２
に対しＸ方向のまわり及びＹ方向のまわりにそれぞれ独
立に回動することができる。

従って、本実施例装置の本体２を放電加工機に固定し且
つ球面フランジ４に放電加工の工具である電極を固定す
ることにより、電極の姿勢制御を行なうことができる。

第２図は本実施例装置を放電加工機の工具の姿勢制御に
使用した場合の具体例を示す概略構成図である０本図に
おいては第８図におけると同様の部材には同一の符号が
付されており、これらについては説明を省略する。

図において、４０は回転ヘッドであり、４２は上記姿勢
制御装置である。４４は絶縁板であり。

４６は電極取付面板であり、４８はプルスタットチャッ
クであり、５０は電極ホルダーである。また、５２はタ
ッチセンサである。

第３図、第４図及び第５図は以上の様な放電加工機にお
ける電極の姿勢制御を行なう際の手順を説明するための
図であり、第３図は電極近傍の部分拡大側面図であり、
第４図は制御系の構成を示すブロック図であり、第５図
は姿勢制御のフローチャートである。

先ず、電極１２４をＺ方向に移動させてタッチセンサ５
２の高さに位置せしめる０次に、Ｘ方向スライドテーブ
ル１０２及びＹ方向スライドテーブル１０４を動かして
、タッチセンサ５２を電極１２４に接触せしめる（第３
図参照）、この際の電極１２４のＺ方向移動量とＸ方向
スライドテーブル１０２のＸ方向移動量とＹ方向スライ
ドテーブル１０４のＹ方向移動量とから、タッチセンサ
５２と接触している第１の測定点Ｐ１の座標（ＸＩ　　
、　ｙｘ　　、　Ｚｌ　）がＣＰＵ６０において算出さ
れ記憶される（第５図のステップ７０．７１）。

次に、同様にして電極１２４、Ｘ方向スライドテーブル
１０２及びＹ方向スライドテーブル１０４を移動させて
、上記第１の測定点Ｐ１とは異なる第２の測定点Ｐ２に
おいて電極１２４をタッチセンサ５２に接触させ、該第
２の測定点Ｐ２の座標（Ｘ２　、７２　、２２　）を算
出し記憶する。以下同様にして必要な複数の測定点の座
標を測定し記憶する。

続いて、ＣＰＵ６０において予め当該電極に関し正しい
姿勢の際の電極表面の座標として記憶されているデータ
と上記複数の測定点の座標との比較を行ない、その結果
（姿勢量）を算出する（第５図のステップ７２）、その
姿勢量がＣＰＵ６０から駆動指全装Ｗ１６２へと出力せ
しめられる。該駆動指令装置６２においては、所定の信
号変換が行なわれ姿勢制御装Ｒ４２に対し駆動指令信号
が発せられる（第５図のステップ７３）、この駆動指令
信号は上記姿勢量を正しい姿勢のものに近づける様に積
層型ピエゾ素子２６．２７を適宜のストロークにわたっ
て駆動するためのものである。

そして、レバー３２によりクランプする。

かくして電極１２４の姿勢を変化させた後に。

再び第５図のステップ７０〜７２と同様の操作を行なっ
て姿勢量が許容範囲内にあるか否かを確認する（第５図
のステップ７４）、許容範囲内にない場合には、レバー
３２によるクランプを解除し、再びその時点の姿勢量に
基づいて駆動指令装置６２から駆動信号が発せられ電極
１２４の姿勢を変化させ、更にレバー３２によりクラン
プし、これを祿返す、姿勢量が許容範囲内にある場合に
は、姿勢制御は完了し、続いて放電加工に移る（第５図
のステップ７５）。

尚、以上の説明においては電極１２４のＺ方向のまわり
の回転位置の姿勢制御の説明は省略したが、これは図示
しない制御手段により放電加工機の回転ヘッド４０を駆
動して適宜の角度回転させることにより行なえばよい。

また、第４図に示される様にＣＰＵ６０及び駆動指令装
置６２は遠隔操作盤６４により操作される様にしてもよ
い。

第６図（ａ）は本発明による姿勢制御装置の第２の実施
例を示す縦断面図であり、第６図（ｂ）は第６図（ａ）
のＢ−Ｂ断面図である。尚、第６図（ａ）は第６図（ｂ
）のＡ−Ａ断面図に相当する０本図において、第１図（
ａ）、（ｂ）におけると同様の部材には同一の符号が付
されており。

これらについては説明を省略する。

本実施例においては、上記第１の実施例における積層型
ピエゾ素子２６．レバー２４、ピン２２及びピン２０を
含むＸ方向のＹスライダ駒駆動機構のかわりに、ステッ
ピングモータ８０．ギヤへラド８２．送りネジ８４及び
スライダ８６を含んでなるＸ方向のＹスライダ駒駆動機
構が用いられている。従って、ステッピングモータ８０
を駆動してギヤヘッド８２の出力軸を回転させることに
より、該出力軸に連結された送りネジ８４が回転せしめ
られ、該送りネジ８４とかみあっているＸ方向にのみ移
動可能なスライダ８６がＸ方向に往復移動する。該スラ
イダ８６の先端部はＹスライダ駒突出部１０ａのＸ方向
端面に突当てられている。

また１本実施例においては、上記第１の実施例における
積層型ピエゾ素子２７．レバー２５．ピン２３及びピン
２１を含むＹ方向のＹスライダ駒駆動機構のかわりに、
上記Ｘ方向のＹスライダ駒駆動機構におけると同様な、
ステッピングモータ８１、ギヤヘッド８３．送りネジ８
５及びスライダ８７を含んでなるＹ方向のＹスライダ駒
駆動機構が用いられている。

第７図（ａ）は本発明による姿勢制御装置の第３の実施
例を示す縦断面図であり、第７図（ｂ）は第７図（ａ）
のＢ−Ｂ断面図である。尚、第７図（ａ）は第７図（ｂ
）のＡ−Ａ断面図に相当する１本図に°おいて、第１図
（ａ）、（ｂ）におけると同様の部材には同一の符号が
付されており。

これらについては説明を省略する。また、第７図（ａ）
においては一部の部材の図示が省略されており、第７図
（ｂ）においては一部が第７図（＆）のＡ−Ａ断面でな
く表わされている。

本実施例においては、本体２は互いにＺ方向のまわりに
相対的に回動可能な２つの部分からなる。即ち、本体２
はほぼ円筒形状の基部２ａと該基部２ａの内側に配量さ
れ該基部２ａに対しベアリング９０によりＺ方向のまわ
りに回動可能に支持されているほぼ円筒形状の可動部２
ｂとからなる。可動部２ｂの下面が球面フランジ４の上
面と接触せしめられており、また該可動部２ｂ内に空隙
部６が形成されており、該空隙部６内において球面フラ
ンジ４上にＸスライダ駒８が収容されている。

可動部２ｂの側部には水平方向に外方へと延びている突
出部９１が付設されており、該突出部９１は基部２ａを
貫いている。一方、基ｆｌ１２　ａには上記突出部９１
の延びている方向と直交する水平方向に沿って形成され
九メネジ中を該水平方向に沿って移動可能な調整ネジ９
２内に形成された該水平方向のガイド孔中に一部収容さ
れ該水平方向にスライド可能なスライドピン９３が配量
されている。該スライドピン９３は予圧用のバネ９４に
より上記突出部９１の方へと付勢されており、その先端
部は該突出部９１に突当てられている。

基部２ａの側部にはまた上記突出部９１の方向と平行な
方向の軸９４のまわりに回動可能なレバー９５が取付け
られている。該レバー９５の先端は突出部９１の先端の
上記スライドビン９３突当て側の面と反対の側面に対向
せしめられている。更に、基部２ａの側部には積ｙＭＩ
型ピエゾ素子９６が付設されており、該素子９６の駆動
端はレバー９５の上記突出部９１対向側とは反対の側に
対向せしめられている。そして、該素子９６の駆動端の
ストロークはレバー９５を押圧し該レバー９５が突出部
９１を押圧し、該突出部９１を所定のストロークにわた
って２方向のまわりに回動せしめることができる程度で
ある。

本実施例装置においては、積層型ピエゾ素子９６に駆動
電気信号を与えることにより、該素子９Ｂの先端部がレ
バー９５を押し、これにより該レバー９５の先端部が可
動部２ｂに固設された突出部９１を押す、このレバー９
５による突出部９１の押圧はスライドピン９３により突
出部９１にかけられている予圧に抗して行なわれる。そ
の後。

レバー３２によりクランプがなされる。

かくして１本実施例装置によれば、本体２の基部２ａを
放電加工機に固定し且つ球面フランジ４に放電加工の工
具である電極を固定することにより、Ｘ方向、Ｙ方向及
びＺ方向のまわりの回転により電極を所望の姿勢に制御
することができる。

以上の実施例においてはＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向がそ
れぞれ直交するとされているが、本発明においては第１
の方向、第２の方向及び第３の方向は必ずしも直交して
いなくてもよい。

また、以上の実施例においては駆ｇＪｒｔとして積層型
ピエゾ素子またはステッピングモータを用いているが１
本発明においては駆動源としてエアーシリンダーまたは
オイルシリンダーその他の駆動手段を用いることもでき
る。

更に１以上の実施例においては駆動力の伝達機構として
レバーまたは送りネジを用いているが。

本発明においては駆動力の伝達機構として偏心カム、く
さび、または弾性変形手段その他の機構を用いることも
できる。

上記実施例においては、姿勢を制御される物体が放電加
工機の工具たる電極である場合が示されているが、本発
明姿勢制御装置はその他の適宜の物体の姿勢制御に利用
することができる。この様な物体としては、放電加工機
以外の加工機における工具、各種加工機に装着されたワ
ーク、測定機に装着された被測定物、更には測定機の測
定子等が例示される。

［発明の効果］以上の如き本発明姿勢制御装置によれば、姿勢制御のた
めの本体と球面フランジとの相対的移動は球面摺動によ
り行なわれるので、繰返し使用後においても摩耗による
精度低下が少なく、また本体と球面フランジとの間の接
触面積が大きいので十分な剛性を実現することができる
。

また、本発明姿勢制御装置においては、姿勢制御は動力
駆動により行なわれ、また上記の如く精度低下が少ない
ので、極めて迅速且つ容易に所望の姿勢に制御すること
ができ、このため被姿勢制御物体を機械的に自動着脱し
、その装着姿勢の測定を行ない、七の結果に基づき自動
的に姿勢制御を行なうシステムを実現することができる
。

また１本発明によれば、被姿勢制御物体が放電加工の電
極である場合には、電極形状部に直線部分を有するもの
に対しては、電極の倒れ量の測定において電極形状部を
直接測定することが可能であるため、電極の基準面加工
が不要であり、また基準面に対する電極形状部の加工誤
差という要因を除去することが可能となり、電極の加工
のコストを低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第６図及び第７図は本発明姿勢制御装置の断面
図である。第２図は本発明姿勢制御装置を適用した放電加工機の概
略構成図であり、第３図はその部分拡大図であり、第４
図は該放電加工機の制御系の概略ブロック図であり、第
５図は該放電加工機における姿勢制御のフローチャート
である。第８図は従来の放電加工機の概略図である。２：本体　　　　　　２ａ：基部２ｂ：可動ｆｌ＆　　　　　４：球面フランジ８：ｘス
ライダ駒　　１０：Ｙスライダ駒１８．１７，９３ニス
ライドピン２８．２７，９６：積層型ピエゾ素子３０：エアーシリンダー８０．８１ニスチツピングモータ８６．８７：スライダ代理人　　弁理士　　山　下　積　平第１図Ｎ３図第６図

Claims

【特許請求の範囲】

（１）本体と、該本体に対し球形状面にて摺動可能に接
触保持されている球面フランジとを有し、球面フランジ
の球形状面と摺動可能に接触せしめられており且つ該球
形状面に沿つて第１の方向にのみ移動可能なＸスライダ
駒が本体に対し摺動可能に配量されており、上記球面フ
ランジにはその球形状面から突出せしめられており且つ
上記Ｘスライダ駒に対し上記第１の方向を横切る第２の
方向にのみ摺動可能なＹスライダ駒が固定されており、
該Ｙスライダ駒をＸ方向及びＹ方向に移動させるための
駆動手段が設けられていることを特徴とする、姿勢制御
装置。
（２）各駆動手段が、Ｙスライダ駒に対し正の向きに予
圧を与えるための手段と該予圧に抗して逆の向きに適宜
のストロークにわたつてＹスライダ駒を移動させるため
の手段とを含んでなる、特許請求の範囲第１項の姿勢制
御装置。
（３）本体と球面フランジとの接触保持を行なうための
クランプ機構を有する、特許請求の範囲第１項の姿勢制
御装置。
（４）クランプ機構がバネ力を利用してクランプを行な
うものである、特許請求の範囲第３項の姿勢制御装置。
（５）本体が、球面フランジとの接触部分を有する可動
部と、該可動部に対し第１の方向及び第２の方向の双方
を横切る第３の方向のまわりに回動可能な基部とを有し
、該基部には可動部を第３の方向のまわりに回動させる
ための駆動手段が設けられている、特許請求の範囲第１
項の姿勢制御装置。
（６）回動駆動手段が、可動部に対し正回転の向きに予
圧を与えるための手段と該予圧に抗して逆回転の向きに
適宜のストロークにわたつて回転させるための手段とを
含んでなる、特許請求の範囲第５項の姿勢制御装置。