JPH0372417B2

JPH0372417B2 -

Info

Publication number: JPH0372417B2
Application number: JP60090448A
Authority: JP
Inventors: Koichi Matsushita; Tadayuki Kubo; Eiichi Yamada; Kyoharu Kumagai
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1985-04-26
Filing date: 1985-04-26
Publication date: 1991-11-18
Also published as: JPS61249221A

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は放電加工機用の姿勢制御装置に関し、
特に基体に対し所定の姿勢にて保持される電極ま
たは被加工物を異なる２つまたは３つの軸のまわ
りに回動させることにより姿勢制御する装置に関
する。

〔従来の技術〕

精密加工法の１つとして放電加工が一般に利用
されている。放電加工は、工具を電極として用い
て被加工物との間の微小間隙においてアーク放電
を生起させ、これにより被加工物表面を微量づつ
除去し被加工物を工具の形状に対応した形状に加
工するものである。

放電加工によれば、機械加工が困難な強靭な材
料や高硬度材料をも正確な形状に加工でき、また
表面も比較的微細にすることができ、更に電極さ
え作製しておけば如何なる形状の面をも加工する
ことができるので、放電加工はたとえばプレス加
工用の金型の製造に利用される。

この様な放電加工のために用いられる放電加工
機の従来例を第８図に示す。

図において、１０２はＸ方向スライドテーブル
であり、１０４は該Ｘ方向スライドテーブル１０
２上に設けられたＹ方向スライドテーブルであ
り、該Ｙ方向スライドテーブル１０４上には加工
液収容タンク１０６が固定されている。１０８は
該タンク１０６中に設けられた作業台であり、該
作業台１０８上にワーク１１０が固定されてい
る。尚、加工時にはタンク１０６中に加工液たと
えば水または油等が収容される。１１２はコラム
であり、１１４はクイルであり、１１６は絶縁板
であり、１１８はチヤツクであり、１２０は回転
ヘツドであり、１２２は電極ホルダーであり、１
２４は電極即ち工具である。

回転ヘツド１２０はチヤツク１１８に対しＺ方
向のまわりに回動することができる。即ち、回転
ヘツド１２０には水平方向を向いた突出部１２０
ａが固設されており、一方チヤツク１１８には該
突出部１２０ａのＺ方向のまわりの回動方向に関
し両方から当接している回動調整ネジ１１８ａ，
１１８ｂが付設されている。従つて２つの調整ネ
ジ１１８ａ，１１８ｂを操作することによりチヤ
ツク１１８に対し回転ヘツド１２０を回動するこ
とができる。

また、電極ホルダー１２２にはＸ方向及びＹ方
向から電極１２４に当接せしめられている調整ネ
ジ１２２ａ，１２２ｂが付設されており、該調整
ネジ１２２ａ，１２２ｂを操作することにより電
極１２４のＺ方向に対する倒れを修正することが
できる。即ち、調整ネジ１２２ａを操作すること
により電極１２４をＹ方向のまわりに適宜の角度
回転させ、一方調整ネジ１２２ｂを操作すること
により電極１２４をＸ方向のまわりに適宜の角度
回転させるのである。

放電加工時においては、コラム１１２に対し電
極１２４をＺ方向に沿つて下向きに移動させ、該
電極１２４とワーク１１０との間の関隙が微小と
なる位置で放電を開始する。以後、少しづつ電極
１２４を下向きに移動させながら放電を行ない、
所定の位置で放電を停止し、電極１２４を上向き
に移動させる。これにより、ワーク１１０には電
極１２４の下面及び側面の形状に対応する加工面
が形成される。

しかして、放電加工によりワークに対し正確な
加工を行なうためには、電極１２４の形状が正確
であることの外に該電極１２４が正確な姿勢で電
極ホルダー１２２に装着されることが必要であ
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかるに、以上の様な従来の放電加工機におい
ては、電極ホルダー１２２に装着された電極１２
４の姿勢は必ずしも正確であるとはいえないの
で、電極１２４の装着後に該電極を上下移動させ
ながら電極面または該電極の側面に形成された基
準面１２４ａ，１２４ｂにダイヤルゲージを当接
させて電極の倒れを測定し、その測定結果に基づ
き調整ネジ１２２ａ，１２２ｂを操作して電極１
２４のＸ方向のまわりの回動及びＹ方向のまわり
の回動を行ない、更に作業台に支持されたダイヤ
ルゲージを電極面または基準面に当接させながら
作業台をＸ方向またはＹ方向に移動させて電極の
Ｚ方向のまわりの回転を測定し、その測定結果に
基づき調整ネジ１１８ａ，１１８ｂを操作して電
極１２４のＺ方向のまわりの回動を行ない、これ
により所望の電極姿勢に調整することが行なわれ
ている。

しかしながら、この様な手動による姿勢調整で
は、目的とする姿勢に到達するには調整ネジ操作
と電極の姿勢測定とを繰返し行なうことが必要で
あり、極めて多くの労力と時間を要するという問
題があつた。

また、自動電極交換装置（AEC）を用いるこ
ともあるが、電極交換の際の装着誤差をとりきれ
ず、高精度な完全自動運転は不可能であつた。

電極の水平面内における芯ズレの調整及び電極
を被加工物の所定の位置に送る場合に対しても、
電極形状がストレート以外のものに対しては代用
基準面を設ける必要があるが、この基準面に対し
て芯ズレ調整及び送りの際の放電加工機のＸ方向
スライドテーブル及びＹ方向スライドテーブルの
送り量が決定されるため、基準面に対する電極形
状部の加工精度が被加工物の加工精度に影響を及
ぼすことになり、放電加工機のＸ方向スライドテ
ーブル、Ｙ方向スライドテーブル及びＺ方向移動
手段の高精度な送りが可能であつても、高精度な
加工を行なうことは困難である。

以上の様な問題は、放電加工機において、電極
を姿勢制御する場合のみならず、被加工物を姿勢
制御する場合においても同様に存在する。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明によれば、以上の如き従来技術の問題点
を解決するものとして、放電加工機の電極または被加工物の姿勢を制御
する装置において、凹球形状面をもつ本体と、該本体の凹球形状面に対応する凸球形状面をも
ち、該凸球形状面側と反対の側において電極また
は被加工物を固定保持し、上記凸球形状面が上記
本体の凹球形状面と摺動可能に接触せしめられて
いる球面フランジと、を有し、上記球面フランジの凸球形状面に対応する凹球
形状面をもつＸスライダ駒が、その凹球形状面を
上記球面フランジの凸球形状面と摺動可能に接触
せしめられて配置されており、該Ｘスライダ駒は
上記本体に対し上記凹球形状面に沿つて第１の方
向にのみ摺動可能にかん合しており、上記球面フランジにはその凸球形状面から突出
する部分をもつＹスライダ駒が固定されており、
該Ｙスライダ駒の突出部は上記Ｘスライダ駒に対
し上記第１の方向を横切る第２の方向にのみ摺動
可能にかん合しており、上記本体には、上記Ｙスライダ駒の突出部をＸ
方向に正の向きに付勢するＸ方向予圧付与手段
と、上記Ｙスライダ駒の突出部をＹ方向に正の向
きに付勢するＹ方向予圧付与手段と、上記Ｙスラ
イダ駒突出部をＸ方向に負の向きに上記Ｘ方向予
圧付与手段による予圧に抗して適宜のストローク
にわたつて移動させるＸ方向駆動手段と、上記Ｙ
スライダ駒突出部をＹ方向に負の向きに上記Ｙ方
向予圧付与手段による予圧に抗して適宜のストロ
ークにわたつて移動させるＹ方向駆動手段とが取
付けられており、上記本体の凹球形状面と上記球面フランジの凸
球形状面との接触保持を行うための、予圧付与機
能をもつクランプ機構を有する、ことを特徴とする、放電加工機用姿勢制御装置、が提供される。

〔実施例〕

以下、図面を参照しながら本発明の具体的実施
例を説明する。

第１図ａは本発明による姿勢制御装置の第１の
実施例を示す縦断面図であり、第１図ｂはそのＢ
−Ｂ断面図である。尚、第１図ａは第１図ｂのＡ
−Ａ断面図に相当する。本実施例は放電加工機の
工具である電極の姿勢制御に適用されたものであ
る。

図において、２は本体であり、４は球面フラン
ジである。本体２の上端部は放電加工機本体側に
固定され、一方球面フランジ４の下端部には電極
が固定される。本体２はほぼ円筒形状をなしてお
り、該本体２の下面は凹球形面をなしている。球
面フランジ４の上面は上記本体２の下端面の凹球
形面に対応する凸球形状面をなしている。

本体２の中央部には空隙部６が形成されてお
り、該空隙部６内にはＸスライダ駒８が収容され
ている。該Ｘスライダ駒８は第１図ｂに示される
様に矩形状の平面形状を有する。また、該Ｘスラ
イダ駒８の下面は球面フランジ４の上面の凸球形
面に対応する凹球形面形状をなしている。Ｘスラ
イダ駒８は、空隙部６内においてＹ方向の両平端
面が本体２のＹ方向内面と摺動可能にかん合せし
められており、一方Ｘ方向の両平端面は本体２の
内面との間に適宜の間隙を有する。従つて、Ｘス
ライダ駒８は球面フランジ４上において本体２に
対しＸ方向に沿つて所定のストロークにわたつて
相対的に往復運動することができ且つＹ方向には
本体２に対し相対的に運動できない。

一方、球面フランジ４の中央部にはＹスライダ
駒１０が固定されている。該Ｙスライダ駒１０は
球面フランジ４の上面の凸球形面を貫いて上方へ
と突出している。該Ｙスライダ駒１０の突出部１
０ａは第１図ｂに示される様に矩形状の平面形状
を有する。該Ｙスライダ駒１０の突出部１０ａは
上記Ｘスライダ駒８を貫通してＺ方向に延びてい
る。Ｙスライダ駒１０は、Ｘスライダ駒８の貫通
孔内においてＸ方向の両平端面がＸスライダ駒８
と摺動可能にかん合せしめられており、一方Ｙ方
向の両平端面はＸスライダ駒８との間に適宜の間
隔を有する。従つて、Ｙスライダ駒１０はＸスラ
イダ駒８に対しＹ方向に沿つて所定のストローク
にわたつて相対的に往復運動することができ且つ
Ｘ方向にはＸスライダ駒８に対し相対的に運動で
きない。

本体２の側部には、Ｘ方向に沿つて形成された
メネジ１２中をＸ方向に沿つて移動可能なバネ圧
調整ネジ１４内に形成されたＸ方向のガイド孔中
に一部収容されＸ方向にスライド可能なスライド
ピン１６が配置されている。該スライドピン１６
は予圧用のバネ１８によりＹスライダ駒突出部１
０ａの方へと付勢されており、その先端部はＹス
ライダ駒突出部１０ａのＸ方向端面に突当てられ
ている。

同様に、本体２の側部にはＹ方向に沿つて形成
されたメネジ１３中をＹ方向に沿つて移動可能な
調整ネジ１５内に形成されたＹ方向のガイド孔中
に一部収容されＹ方向にスライド可能なスライド
ピン１７が配置されている。該スライドピン１７
は予圧用のバネ１９によりＹスライダ駒突出部１
０ａの方へと付勢されており、その先端部はＹス
ライダ駒突出部１０ａのＹ方向端面に突当てられ
ている。

Ｙスライダ駒突出部１０ａのスライドピン１６
突当て側と反対の側にはＸ方向に延びているピン
２０が固設されており、またＹスライダ駒突出部
１０ａのスライドピン１７突当て側と反対の側に
はＹ方向に延びているピン２１が固設されてい
る。

本体２の側部にはまたＺ方向の軸２２のまわり
に回動可能なレバー２４が取付けられている。該
レバー２４の先端はピン２０の先端に対向せしめ
られている。また、本体２の側部には積層型ピエ
ゾ素子２６が付設されており、該素子２６の駆動
端はレバー２４の上記ピン２０対向側とは反対の
側に対向せしめられている。そして、該素子２６
の駆動端のストロークはレバー２４を押圧し該レ
バー２４はピン２０を押圧し、該ピン２０を所定
のストロークにわたつてＸ方向に移動せしめるこ
とができる程度である。

同様に、本体２の側部には、上記ピン２２、レ
バー２４及び積層型ピエゾ素子２６からなる機構
と同様なピン２３、レバー２５及び積層型ピエゾ
素子２７からなる機構が設けられており、この機
構はＹスライダ駒突出部１０ａに固設されたピン
２１に対向して配置されている。

本体２の側部外面にはまた該本体２と球面フラ
ンジ４とのクランプのために使用されるエアーシ
リンダー３０が配設されている。そして、該エア
ーシリンダー３０の下方にはクランプ用レバー３
２が、本体２側に設けられた水平方向ピン３３の
まわりに回動自在な様に付設されている。該レバ
ー３２のピン３３よりも内側の端部はその上面が
球面フランジ４に当接せしめられる様になつてお
り、一方該レバー３２の他端部即ち外側の端部の
上面はエアーシリンダー３０の駆動端部と対向せ
しめられており且つこれらの間には予圧用の圧縮
バネ３４が介在せしめられている。クランプの際
にはエアーシリンダー３０を作動させて圧縮バネ
３４を更に圧縮する。

以上の様な本実施例装置においては積層型ピエ
ゾ素子２６に駆動電気信号を与えることにより、
該素子２６の先端部がＸ方向に前進してレバー２
４を押す。これにより該レバー２４の先端部がＹ
スライダ駒突出部１０ａに固設されたピン２０を
Ｘ方向に押す。このレバー２４によるピン２０の
押圧はスライドピン１６によりＹスライダ駒突出
部１０ａにかけられているＸ方向の予圧に抗して
行なわれる。

同様にして、積層型ピエゾ素子２７に駆動電気
信号を与えることにより、該素子２７の先端部が
Ｙ方向に前進してレバー２５を押し、これにより
該レバー２５の先端部がＹスライダ駒突出部１０
ａに固設されたピン２１をＹ方向に押す。このレ
バー２５によるピン２１の押圧はスライドピン１
７によりＹスライダ駒突出部１０ａにかけられて
いるＹ方向の予圧に抗して行なわれる。

これにより、Ｙスライダ駒１０及びこれに固定
されている球面フランジ４は本体２及びＸスライ
ダ駒８に対しＹ方向に沿つて球面摺動を行ない、
更にＹスライダ駒１０は球面フランジ４及びＸス
ライダ駒８とともに本体２に対しＸ方向に沿つて
球面摺動を行なうことができる。かくして、球面
フランジ４は本体２に対しＸ方向のまわり及びＹ
方向のまわりにそれぞれ独立に回動することがで
きる。

従つて、本実施例装置の本体２を放電加工機に
固定し且つ球面フランジ４に放電加工の工具であ
る電極を固定することにより、電極の姿勢制御を
行なうことができる。

第２図は本実施例装置の放電加工機の工具の姿
勢制御に使用した場合の具体例を示す概略構成図
である。本図においては第８図におけると同様の
部材には同一の符号が付されており、これらにつ
いては説明を省略する。

図において、４０は回転ヘツドであり、４２は
上記姿勢制御装置である。４４は絶縁板であり、
４６は電極取付面板であり、４８はプルスタツト
チヤツクであり、５０は電極ホルダーである。ま
た、５２はタツチセンである。

第３図、第４図及び第５図は以上の様な放電加
工機における電極の姿勢制御を行なう際の手順を
説明するための図であり、第３図は電極近傍の部
分拡大側面図であり、第４図は制御系の構成を示
すブロツク図であり、第５図は姿勢制御のフロー
チヤートである。

先ず、電極１２４をＺ方向に移動させてタツチ
センサ５２の高さに位置せしめる。次に、Ｘ方向
スライドテーブル１０２及びＹ方向スライドテー
ブル１０４を動かして、タツチセンサ５２を電極
１２４に接触せしめる（第３図参照）。この際の
電極１２４のＺ方向移動量とＹ方向スライドテー
ブル１０２のＸ方向移動量とＹ方向スライドテー
ブル１０４のＹ方向移動量とから、タツチセンサ
５２と接触している第１の測定点P₁の座標x₁，
y₁，z₁がCPU６０において算出され記憶される
（第５図のステツプ７０，７１）。次に同様にして
電極１２４、Ｘ方向スライドテーブル１０２及び
Ｙ方向スライドテーブル１０４を移動させて、上
記第１の測定点P₁とは異なる第２の測定点P₂に
おいて電極１２４をタツチセンサ５２に接触さ
せ、該第２の測定点P₂の座標x₂，y₂，z₂を算出し
記憶する。以下同様にして必要な複数の測定点の
座標を測定し記憶する。

続いて、CPU６０において予め当該電極に関
し正しい姿勢の際の電極表面の座標として記憶さ
れているデータと上記複数の測定点の座標との比
較を行ない、その結果（姿勢量）を算出する（第
５図のステツプ７２）。その姿勢量がCPU６０か
ら駆動指令装置６２へと出力せしめられる。該駆
動指令装置６２においては、所定の信号変換が行
なわれ姿勢制御装置４２に対し駆動指令信号が発
せられる（第５図のステツプ７３）。この駆動指
令信号は上記姿勢量を正しい姿勢のものに近づけ
る様に積層型ピエゾ素子２６，２７を適宜のスト
ロークにわたつて駆動するためのものである。そ
して、レバー３２によりクランプする。

かくして電極１２４の姿勢を変化させた後に、
再び第５図のステツプ７０〜７２と同様の操作を
行なつて姿勢量が許容範囲内にあるか否かを確認
する（第５図のステツプ７４）。許容範囲内にな
い場合には、レバー３２によるクランプを解除
し、再びその時点の姿勢量に基づいて駆動指令装
置６２から駆動信号が発せられ電極１２４の姿勢
を変化させ、更にレバー３２によりクランプし、
これを繰返す。姿勢量が許容範囲内にある場合に
は、姿勢制御は完了し、続いて放電加工に移る
（第５図のステツプ７５）。

尚、以上の説明においては電極１２４のＺ方向
のまわりの回転位置の姿勢制御の説明は省略した
が、これは図示しない制御手段により放電加工機
の回転ヘツド４０を駆動して適宜の角度回転させ
ることにより行なえばよい。

また、第４図に示される様にCPU６０及び駆
動指令装置６２は遠隔操作盤６４により操作され
る様にしてもよい。

第６図ａは本発明による姿勢制御装置の第２の
実施例を示す縦断面図であり、第６図ｂは第６図
ａのＢ−Ｂ断面図である。尚、第６図ａは第６図
ｂのＡ−Ａ断面図に相当する。本図において、第
１図ａ，ｂにおけると同様の部材には同一の符号
が付されており、これらについては説明を省略す
る。

本実施例においては、上記第１の実施例におけ
る積層型ピエゾ素子２６、レバー２４、ピン２２
及びピン２０を含むＸ方向のＹスライダ駒駆動機
構のかわりに、ステツピングモータ８０、ギヤヘ
ツド８２、送りネジ８４及びスライダ８６を含ん
でなるＸ方向のＹスライダ駒駆動機構が用いられ
ている。従つて、ステツピングモータ８０を駆動
してギヤヘツド８２の出力軸を回転させることに
より、該出力軸に連結された送りネジ８４が回転
せしめられ、該送りネジ８４とかみあつているＸ
方向にのみ移動可能なスライダ８６がＸ方向に往
復移動する。該スライダ８６の先端部はＹスライ
ダ駒突出部１０ａのＸ方向端面に突当てられてい
る。

また、本実施例においては、上記第１の実施例
における積層型ピエゾ素子２７、レバー２５、ピ
ン２３及びピン２１を含むＹ方向のＹスライダ駒
駆動機構のかわりに、上記Ｘ方向のＹスライダ駒
駆動機構におけると同様な、ステツピングモータ
８１、ギヤヘツド８３、送りネジ８５及びスライ
ダ８７を含んでなるＹ方向のＹスライダ駒駆動機
構が用いられている。

第７図ａは本発明による姿勢制御装置の第３の
実施例を示す縦断面図であり、第７図ｂは第７図
ａのＢ−Ｂ断面図である。尚、第７図ａは第７図
ｂのＡ−Ａ断面図に相当する。本図において、第
１図ａ，ｂにおけると同様の部材には同一の符号
が付されており、これらについては説明を省略す
る。また、第７図ａにおいては一部の部材の図示
が省略されており、第７図ｂにおいては一部が第
７図ａのＢ−Ｂ断面でなく表わされている。

本実施例においては、本体２は互いにＺ方向の
まわりに相対的に回動可能な２つの部分からな
る。即ち、本体２はほぼ円筒形状の基部２ａと該
基部２ａの内側に配置され該基部２ａに対してベ
アリング９０によりＺ方向のまわりに回動可能に
支持されているほぼ円筒形状の可動部２ｂとから
なる。可動部２ｂの下面が球面フランジ４の上面
と接触せしめられており、また該可動部２ｂ内に
空隙部６が形成されており、該空隙部６内におい
て球面フランジ４上にＸスライダ駒８が収容され
ている。

可動部２ｂの側部には水平方向に外方へと延び
ている突出部９１が付設されており、該突出部９
１は基部２ａを貫いている。一方、基部２ａには
上記突出部９１の延びている方向と直交する水平
方向に沿つて形成されたメネジ中を該水平方向に
沿つて移動可能な調整ネジ９２内に形成された該
水平方向のガイド孔中に一部収容され該水平方向
にスライド可能なスライドピン９３が配置されて
いる。該スライドピン９３は予圧用のバネ９４に
より上記突出部９１の方へと付勢されており、そ
の先端部は該突出部９１に突当てられている。

基部２ａの側部にはまた上記突出部９１の方向
と平行な方向の軸９４のまわりに回動可能なレバ
ー９５が取付けられている。該レバー９５の先端
は突出部９１の先端の上記スライドピン９３突当
て側の面と反対の側面に対向せしめられている。
更に、基部２ａの側部には積層型ピエゾ素子９６
が付設されており、該素子９６の駆動端はレバー
９５の上記突出部９１対向側とは反対の側に対向
せしめられている。そして、該素子９６の駆動端
のストロークはレバー９５を押圧し該レバー９５
が突出部９１を押圧し、該突出部９１を所定のス
トロークにわたつてＺ方向のまわりに回動せしめ
ることができる程度である。

本実施例装置においては、積層型ピエゾ素子９
６に駆動電気信号を与えることにより、該素子９
６の先端部がレバー９５を押し、これにより該レ
バー９５の先端部が可動部２ｂに固設された突出
部９１を押す。このレバー９５による突出部９１
の押圧はスライドピン９３により突出部９１にか
けられている予圧に抗して行なわれる。その後、
レバー３２によりクランプがなされる。

かくして、本実施例装置によれば、本体２の基
部２ａを放電加工機に固定し且つ球面フランジ４
に放電加工の工具である電極を固定することによ
り、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のまわりの回転に
より電極を所望の姿勢に制御することができる。

以上の実施例においてはＸ方向、Ｙ方向及びＺ
方向がそれぞれ直交するとされているが、本発明
においては第１の方向、第２の方向及び第３の方
向は必ずしも直交していなくてもよい。

また、以上の実施例においては駆動源として積
層型ピエゾ素子またはステツピングモータを用い
ているが、本発明においては駆動源としてエアー
シリンダーまたはオイルシリンダーその他の駆動
手段を用いることもできる。

更に、以上の実施例においては駆動力の伝達機
構としてレバーまたは送りネジを用いているが、
本発明においては駆動力の伝達機構として偏心カ
ム、くさび、または弾性変形手段その他の機構を
用いることもできる。

上記実施例においては、姿勢を制御される物体
が放電加工機の工具たる電極である場合が示され
ているが、本発明姿勢制御装置は放電加工機にお
ける被加工物の姿勢制御にも利用することができ
る。

〔発明の効果〕

以上の如き本発明姿勢制御装置によれば、姿勢
制御のための本体と球面フランジとの相対的移動
は球面摺動により行なわれるので、繰返し使用後
においても摩耗による精度低下が少なく、また本
体と球面フランジとの間の接触面積が大きいので
十分な剛性を実現することができる。

また、本発明姿勢制御装置によれば、被姿勢制
御物を固定保持している球面フランジに固定され
ているＹスライダ駒の突出部を、Ｘ方向駆動手段
及びＹ方向駆動手段により直接第１の方向及び第
２の方向の双方に駆動するので、誤差の少ない極
めて良好な制御が可能となる。そして、該Ｙスラ
イダ駒突出部には、第１の方向及び第２の方向
に、駆動手段による移動の向きと逆の向きに予圧
が付与されているので、各方向につきバツクラツ
シユなく十分良好な追従性をもつて制御が実現さ
れる。更に、Ｙスライダ駒突出部が球形状面の曲
率中心側と反対の側に位置し、且つ被姿勢制御物
が球形状面の曲率中心側に位置するので、第１の
方向及び第２の方向の駆動力作用点の移動ストロ
ークが被姿勢制御物において縮小したストローク
として実現され、このため被姿勢制御物の極めて
精確な制御を実現することが可能となる。

また、本発明姿勢制御装置においては、姿勢制
御は動力駆動により行なわれ、また上記の如く精
度低下が少ないので、極めて迅速且つ容易に所望
の姿勢に制御することができ、このため被姿勢制
御物体を機械的に自動着脱し、その装着姿勢の測
定を行ない、その結果に基づき自動的に姿勢制御
を行なうシステムを実現することができる。

また、本発明によれば、被姿勢制御物体が放電
加工の電極である場合には、電極形状部に直線部
分を有するものに対しては、電極の倒れ量の測定
において電極形状部を直接測定することが可能で
あるため、電極の基準面加工が不要であり、また
基準面に対する電極形状部の加工誤差という要因
を除去することが可能となり、電極の加工コスト
を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図、第６図及び第７図は本発明姿勢制御装
置の断面図である。第２図は本発明姿勢制御装置
を適用した放電加工機の概略構成図であり、第３
図はその部分拡大図であり、第４図は該放電加工
機の制御系の概略ブロツク図であり、第５図は該
放電加工機における姿勢制御のフローチヤートで
ある。第８図は従来の放電加工機の概略図であ
る。２：本体、２ａ：基部、２ｂ：可動部、４：球
面フランジ、８：Ｘスライダ駒、１０：Ｙスライ
ダ駒、１６，１７，９３：スライドピン、２６，
２７，９６：積層型ピエゾ素子、３０：エアーシ
リンダー、８０，８１：ステツピングモータ、８
６，８７：スライダ。

Claims

【特許請求の範囲】１放電加工機の電極または被加工物の姿勢を制
御する装置において、凹球形状面をもつ本体と、該本体の凹球形状面に対応する凸球形状面をも
ち、該凸球形状面側と反対の側において電極また
は被加工物を固定保持し、上記凸球形状面が上記
本体の凹球形状面と摺動可能に接触せしめられて
いる球面フランジと、を有し、上記球面フランジの凸球形状面に対応する凹球
形状面をもつＸスライダ駒が、その凹球形状面を
上記球面フランジの凸球形状面と摺動可能に接触
せしめられて配置されており、該Ｘスライダ駒は
上記本体に対し上記凹球形状面に沿つて第１の方
向にのみ摺動可能にかん合しており、上記球面フランジにはその凸球形状面から突出
する部分をもつＹスライダ駒が固定されており、
該Ｙスライダ駒の突出部は上記Ｘスライダ駒に対
し上記第１の方向を横切る第２の方向にのみ摺動
可能にかん合しており、上記本体には、上記Ｙスライダ駒の突出部をＸ
方向に正の向きに付勢するＸ方向予圧付与手段
と、上記Ｙスライダ駒の突出部をＹ方向に正の向
きに付勢するＹ方向予圧付与手段と、上記Ｙスラ
イダ駒突出部をＸ方向に負の向きに上記Ｘ方向予
圧付与手段による予圧に抗して適宜のストローク
にわたつて移動させるＸ方向駆動手段と、上記Ｙ
スライダ駒突出部をＹ方向に負の向きに上記Ｙ方
向予圧付与手段による予圧に抗して適宜のストロ
ークにわたつて移動させるＹ方向駆動手段とが取
付けられており、上記本体の凹球形状面と上記球面フランジの凸
球形状面との接触保持を行うための、予圧付与機
能をもつクランプ機構を有する、ことを特徴とする、放電加工機用姿勢制御装置。２上記本体が、球面フランジとの接触部分を有
する可動部と、該可動部に対し第１の方向及び第
２の方向の双方を横切る第３の方向のまわりに回
動可能な基部とを有し、上記基部には、上記可動部を上記第３の方向の
まわりに正の向きに回転付勢する回転与圧付与手
段と、上記可動部を上記第３の方向のまわりに負
の向きに上記回転与圧付与手段による予圧に抗し
て適宜のストロークにわたつて回転させる回転駆
動手段とを有する、特許請求の範囲第１項に記載の放電加工機用姿勢
制御装置。