JPS6317641Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、三次元方向の位置検出用の位置検出
装置に関するものである。

一般にフライス盤等の工作機械により高精度の
機械加工を行う場合には、機械の切削刃の摩耗等
による誤差も考慮しなければならないので、被加
工物の寸法を逐一測定する必要がある。従来、被
加工物の寸法を測定するには、該被加工物を工作
機械上から測定用の定盤上に移動して、該定盤上
にてマイクロメータ、ハイトゲージ等により測定
を行つていた。そして、被加工物の寸法が所定の
誤差範囲よりも大きな誤差を有している場合に
は、上記被加工物を再び工作機械上に戻して再加
工を行うようにしている。従つて、従来、高精度
の機械加工を行おうとすると、被加工物の寸法を
測定するために膨大な手間を要し、作業効率が極
めて低下せざるを得ないでいた。

ところで、工作機械の送り機構等に測長装置を
連動せしめ、該工作機械上で被加工物の寸法を測
定するようにすれば、測定作業が簡略化でき、高
精度な機械加工でも効率良く行うことが可能にな
る。この場合、被加工物の寸法を工作機械上で上
下、左右、前後の三次元方向について測定するた
めに、三次元方向の位置を検出する位置検出装置
を必要とする。

そこで、本考案は、各種工作機械における被加
工物あるいは被測定物の基準面や端面からの加工
位置等を三次元方向について検出可能な位置検出
装置を提供するものである。

以下、本考案について一実施例を示す図面に従
い詳細に説明する。

本考案に係る位置検出装置の一実施例の外観斜
視図および要部断面図が第１図および第２図に示
してある。

この実施例において、ハウジング１１は、有底
円筒形状に形成されており、その後方側開口部１
２が円盤状の蓋体１３により閉じられている。上
記蓋体１３の中心には、この位置検出装置４０を
図示しない測定装置に取付けるためのシヤンク１
４が立設されている。上記ハウジング１１の前面
側底壁１５には、その中心に測定子１６の挿通さ
れる中央開口部１７が設けられているとともに、
上記測定子１６の位置調整ネジ１８Ａ，１８Ｂ用
の２個のネジ穴１９Ａ，１９Ｂが略90゜の中心角
Θをなすように外周縁近傍に配設されている。上
記底壁１５の中央開口部１７には、ハウジング１
１内方に向つて拡開する円錐状の受け面２０を有
する円筒ブツシユ２１が嵌着されている。

上記ハウジング１１の中央開口部１７に挿通さ
れる測定子１６は、先端部分に接触子としての導
電球体２２が設けられたフイーラ２３と該フイー
ラ２３が着脱自在に螺着された中心軸２４とから
成り、この中心軸２４の後端基部側に設けた当接
部２５の球面状の当接面２６が上記円筒ブツシユ
２１の受け面２０に当接支持されている。さら
に、上記中心軸２４には、上記当接部２５にフラ
ンジ２８が設けられている。そして、上記中心軸
２４のフランジ２８に配設した２個の位置決めチ
ツプ２９Ａ，２９Ｂに上記位置調整ネジ１８Ａ，
１８Ｂの先端が当接されるようになつている。上
記位置決めチツプ２９には第３図に示すようにＶ
溝３０形成されており、このＶ溝３０が位置調整
ネジ１８の先端に係合することによつて、測定子
１６の軸廻り方向の位置規制がなされる。

さらに、上記中心軸２４のフランジ２８の背面
側には、その中央部分および上記位置決めチツプ
２９Ａ，２９Ｂ間の中途部分に対応する位置に、
それぞれバネ受け部３１Ａ，３１Ｂが突設されて
おり、上記蓋体１３と各バネ受け部３１Ａ，３１
Ｂとの間に配設したコイルスプリング３２Ａ，３
２Ｂによる弾性力が与えられている。上記中心軸
２４のフランジ２８に与えられる弾性力の合成力
は、第４図に示すように各位置決めチツプ２９
Ａ，２９Ｂと中心点とで形成される三角形（図中
に斜線を施して示してある。）の領域Ａ内に与え
られるようにする必要がある。

なお、上述の説明では、２個のコイルスプリン
グ３２Ａ，３２Ｂによる弾性力の合成力を上記領
域Ａ内に与えるようにしているが、コイルスプリ
ングは、上記測定子１６を軸方向に押圧する弾性
力を上記領域Ａ内に与えように配置されれば１個
でもよく、また２個以上の複数であつてもよい。

そして、この位置検出装置４０は、少なくとも
上記シヤンク１４および測定子１６が導電性を有
する金属にて形成され、且つ該シヤンク１４と測
定子１６との間は電気的に絶縁され、上記シヤン
ク１４と測定子１６とにそれぞれリード線３３
Ａ，３３Ｂにより接続されたコネクタ３４が上記
ハウジング１１の外周部分に配設されている。な
お、この実施例では、上記円筒ブツシユ２１、位
置決めチツプ２９Ａ，２９Ｂ、およびバネ受け部
３１Ａ，３１Ｂを絶縁性材料にて形成し、上記シ
ヤンク１４と測定子１６との間を絶縁するように
してある。

上述の如き構成の位置検出器４０は、シヤンク
１４を介して図示しない測定装置に取付けられ、
該測定装置を装備した工作機械のテーブル上にて
機械加工される鉄等の導電性被加工物に上記測定
子１６が当接されることにより、電気的な導通状
態による位置検出信号を上記コネクタ３４から出
力する。上記位置検出器４０からの位置検出信号
は、測定子１６の当接圧等に依存することなく得
られる。

すなわち、この実施例の位置検出装置４０で
は、測定子１６自体をスイツチの接触子として用
いて上記測定子１６が被測定物に接触することに
より閉回路を構成し、上記測定子１６が被測定物
に接触した瞬間に位置検出信号を発生するように
しているので、位置検出信号を得るのに上記測定
子１６に外力を与える必要がなく、上記測定子１
６自体の変形による測定誤差を伴わないので、測
定方向に拘らず極めて高い検出精度で位置検出信
号を得ることができる。

そして、上述の如き構成の位置検出装置４０で
は、測定子１６の中心軸２４に設けた当接部２５
の球面状当接面２６と円筒ブツシユ２１の受け面
２０との当接および上記測定子１６のフランジ２
８に設けた各位置決めチツプ２９Ａ，２９Ｂと各
位置調整ネジ１８Ａ，１８Ｂとの当接による三点
支持構造にて上記測定子１６が支持された安定位
置状態を、各コイルスプリング３２Ａ，３２Ｂに
よる弾性力にて保持するので、測定子１６に三次
元方向の外力が与えられると非安定状態となり、
該外力が除かれると安定状態に戻り、該安定状態
では測定子１６の先端部分の導電球体２２が三次
元空間の一点に位置することになる。しかも、三
次元空間における上記測定子１６に設けた導電球
体２２の位置は、各位置調整ネジ１８Ａ，１８Ｂ
を螺進せしめることにより簡単に位置調整するこ
とができ、その中心をシヤンク１４の軸心に合せ
ることが可能である。すなわち、この実施例の位
置検出装置４０では、第１図、第２図および第４
図中に矢印を付して示してあるように上記測定子
１６の軸方向をＺ方向とし、また、Ｚ方向に対す
る直交方向例えば上記測定子１６と一方の位置調
整ネジ１８Ｂとを結ぶ直線のなす方向をＸ方向と
し、さらに、Ｚ方向およびＸ方向に対する直交方
向例えば上記測定子１６と他方の位置調整ネジ１
８Ａとを結ぶ直線のなす方向をＹ方向とすると、
上記導電球体２２のＺ方向の位置は、上記測定子
１６の基端部分に設けた当接部２５の球面状当接
面２６とハウジング１１の中央開口部１７の周縁
部分に形成されている円錐状の受け面２０との当
接により決定され、上記導電球体２２のＸ方向の
位置は、上記位置調整ネジ１８Ｂを螺進操作する
ことにより、上記当接面２６と受け面２０との当
接位置および上記位置決めチツプ２９Ａと位置調
整ネジ１８Ａとの当接位置を支点とする変位によ
り調整することができ、さらに、上記導電球体２
２のＹ方向の位置は、上記位置調整ネジ１８Ａを
螺進操作することにより、上記当接面２６と受け
面２０との当接位置および上記位置決めチツプ２
９Ｂと位置調整ネジ１８Ｂとの当接位置を支点と
する変位により調整することができる。上記導電
球体２２の位置は、上記各位置調整ネジ１８Ａ，
１８Ｂの螺進操作によつて、Ｘ方向とＹ方向とも
にほぼ独立に調整することができ、上記導電球体
２２の回転中心からのＸ方向およびＹ方向の心ず
れ量を予め計測して、上記各位置調整ネジ１８
Ａ，１８Ｂの螺進操作によつてＸ方向およびＹ方
向に対して独立に位置調整を行うことにより、効
率良く短時間で高い精度に調整することができ
る。なお、上記測定子１６の軸廻り方向の位置規
制は、上述の如く上記測定子１６側に配設した各
位置決めチツプ２９Ａ，２９Ｂに形成されている
各Ｖ溝３０に上記ハウジング１１側に配設された
各位置調整ネジ１８Ａ，１８Ｂの各頭部が係止さ
れることにより行われる。また、上記導電球体２
２は、フイーラ２３の交換により、被測定物の形
状等に応じた球径のものを用いることができる。

次に、上述の如き本考案に係る位置検出装置４
０を平面研削盤に適用した使用例について説明す
る。

本考案が適用される工作機械としての平面研削
盤は、第５図に示すように金属素体等の被加工物
１０２が電磁チヤツク等の固定手段１０５を介し
て所定位置に位置決めして載置固定され、上記被
加工物１０２の研削を行なう加工方向としての１
方向（第５図中矢印Ｘ方向）に油圧シリンダ等の
駆動手段により往復動自在とされた載置台１０３
と、この載置台１０３の移動方向と直交する方向
（第５図中矢印Ｙ方向）に往復動可能とされ上記
載置台１０３が位置決めして取付けられるサドル
１０４を基台を含む機械本体１００に取付けてい
る。さらに、この平面研削盤は、被加工物１０２
を研削加工する加工具である砥石等の研削具１０
６が設けられる加工部１０８と、この加工部１０
８を支持し且つ機械本体１００の高さ方向（第５
図中矢印Ｚ方向）に往復動自在に作動せしめる例
えば油圧シリンダで構成される駆動部１１０とか
らなる加工部駆動装置１１１とを有している。な
お、上記研削具１０６は加工部１０８に取付けら
れている電源モータ１１２の駆動軸に軸支され、
研削加工時に回転駆動させられ被加工物１０２の
研削加工を行行なうように作用する。

ところで、被加工物１０２が載置固定される載
置台１０３は、被加工物１０２の研削加工時に駆
動部１１０の作用によつて機械本体１００の下方
向へ往動させられ被加工物１０２を設定した所定
量を研削する研削具１０６の加工速度に同期する
ように制御されて矢印Ｘ方向中の一方向へ移動さ
せられる。なお、サドル１０４は、研削具１０６
と載置台１０３上に載置固定された被加工物１０
２の研削位置との相対的位置関係を設定するた
め、上記載置台１０３とともに機械本体１００に
設けた回転手段によつて矢印Ｙ方向に適宜移動操
作される。

このような構成を有する平面研削盤には、載置
台１０３の移動方向（第５図中矢印Ｘ方向）に亘
る長さを測定する第１の測定ユニツト１１５と、
サドル１０４の移動方向（第５図中矢印Ｙ方向）
に亘る長さを測定する第２の測定ユニツト１１６
と、加工部駆動装置１１１の移動方向（第５図中
矢印Ｚ方向）に亘る高さを測定する第３の測定ユ
ニツト１１７とが設けられている。これら第１、
第２及び第３の測定ユニツト１１５，１１６，１
１７は、磁気スケール１１８，１１９，１２０上
を検出ヘツド１２１，１２２，１２３が摺接移動
し、若しくは所定間隔を隔てて移動してその移動
量を検出し、この検出された移動量を測定長さと
して測定する磁気スケール装置が用いられる。そ
して、第１の測定ユニツト１１５を構成する磁気
スケール１１８は、載置台１０３の移動方向と平
行となるように機械本体１００に固定され、検出
ヘツド１２１は上記載置台１０３とともに移動し
得るように該載置台３の一部に上記磁気スケール
１１８と摺接するように取付けられている。

また、第２の測定ユニツト１１６を構成する磁
気スケール１９は、第６図に示すようにサドル１
０４の移動方向と平行となるように機械本体１０
０に固定され、検出ヘツド１２２は上記サドル１
０４とともに移動し得るように該サドル１０４の
一部に上記磁気スケール１１９と摺接するように
取付けられている。さらに、第３の測定ユニツト
１１７を構成する磁気スケール１２０は、加工部
駆動装置１１１の移動方向と平行となるように上
記駆動装置１１１の加工部８の一側に植立された
支持軸１２５を介して植立支持され、検出ヘツド
１２３は上記支持軸１２５を摺動し後述する位置
検出装置を支持するスライダユニツト１２７に組
込まれ上記磁気スケール１２０に対し摺動自在と
なるように取付けられている。

ところで、第１及び第２の測定ユニツト１１
５，１１６の各磁気スケール１１８，１１９は、
載置台１０３上に載置固定された被加工物１０２
の測定点、例えば研削具１０６によつて研削加工
された部分が略真上に位置するような位置である
載置台１０３及びサドル１０４の各下面位置にお
いて配設される。機械本体１００に取付けられる
各磁気スケール１１８，１１９を上述のように取
付けることにより、測定点と磁気スケール１１
８，１１９との距離を小さくすることができ、よ
り精度の高い測定ができる。

また、各測定ユニツト１１５，１１６，１１７
の測定点を検出するとともに上記各測定ユニツト
１１５，１１６，１１７の検出ヘツド１２１，１
２２，１２３による測定量をカウント表示する機
械本体１００に設けられた表示ユニツト１２９の
動作制御用の位置検出信号を出力する３次元応答
型の位置検出装置４０が第３の測定ユニツト１１
７の検出ヘツド１２３を司持するスライダユニツ
ト１２７を介して取付けられている。従つて、上
記位置検出装置４０は、第３の測定ユニツト１１
７の磁気スケール１２０を支持する支持軸２５に
対し検出ヘツド１２５とともに機械本体１００の
高さ方向に亘つて摺動自在となるように取付けら
れ表示ユニツト１２９の動作制御用の位置検出信
号を出力する。この位置検出信号は表示ユニツト
１２９内に設けられたコントロールボツクスに入
力されて信号処理がなされ、第１回目に入力され
る位置検出信号により表示ユニツト１２９の表示
カウンタを自動リセツトし第２回目に入力される
位置検出信号により上記表示カウンタをラツチす
るように使用する。

上述のように構成された本考案により被加工物
１０２の例えば研削量を測定する場合の操作を第
７図及び第８図を用いて説明する。

まず、被加工物１０２の測定に当つて、表示ユ
ニツト１２９の電源をONする。そして、被加工
物１０２の研削具１０６によつて研削された深
さ、すなわち第５図中矢印Ｚ方向に亘る高さＨを
測定するには、位置検出装置４０を第３の測定ユ
ニツト１１７の磁気スケール１２０を支持する支
持軸１２５にそつて摺動させ、第８図Ａに示すよ
うに被加工物１０２の研削された底面の１点ａに
上記位置検出装置４０の測定子１６を接触させ
る。上記位置検出装置４０はこの接触により前述
したように位置検出信号を出力する。この１回目
の接触により出力された位置検出信号は、表示ユ
ニツト１２９内に設けられたコントロールボツク
ス１５７のインターフエース回路１５９を介して
第１、第２及び第３の測定ユニツト１１５，１１
６，１１７に接続された第１、第２及び第３の表
示カウンタ１６１，１６２，１６３に入力され、
これら表示カウンタ１６１，１６２，１６３をリ
セツトする。ここで、第３の測定ユニツト１１７
の検出ヘツド１２３を位置検出装置４０とともに
磁気スケール１２０上を摺動させると、上記検出
ヘツド１２３の移動量が第３の測定ユニツト１１
７に対応する表示カウンタ１６３にカウント表示
される。そして、上記検出ヘツド１２３とともに
摺動させた位置検出装置４０の測定子１６を被加
工物１０２の所望測定点ｂに接触させる。そうす
ると、この２回目の接触により、前記１回目の接
触と同様に位置検出装置４０から位置検出信号が
出力され、この位置検出信号は上述の場合と同様
にコントロールボツクス１５７内のインターフエ
イス回路１５９を介して第１、第２及び第３の表
示カウンタ１６１，１６２，１６３に入力され、
これらカウンタ１６１，１６２，１６３をラツチ
する。従つて、位置検出装置４０が１回目に接触
するａ点から２回目に接触するｂ点に至るまで上
記位置検出装置４０とともに磁気スケール１２０
上を摺動した第３の測定ユニツト１１７の検出ヘ
ツド１２３によつて検出された移動量が第３の表
示カウンタ１６３に表示され上記ａ点からｂ点に
至る高さＨの測定ができる。ここで測定された測
定データはコントロールボツクス１５７のデータ
記憶回路１６５に入力されて記憶される。

また、被加工物１０２の研削具１０６によつて
研削された第５図中矢印Ｙ方向に亘る幅Ｗを測定
するには、第８図Ｂに示すように位置検出装置４
０を支持軸１２５にそつて摺動操作するとともに
上記被加工物１０２を載置固定した載置台３を取
付け固定したサドル１０４を第５図中矢印Ｙ方向
に移動操作して、測定子１６を被加工物１０２の
側面の１点ｃに接触させ、前述の通り各表示カウ
ンタ１６１，１６２，１６３をリセツトする。こ
こで、位置検出装置４０を支持軸１２５にそつて
摺動操作するとともにサドル１０４を矢印Ｙ方向
に移動操作して上記測定子１６を被加工物１０２
の所望測定点ｂに接触させる。そうすると、前述
の場合と同様に位置検出装置４０が１回目に接触
するｃ点から２回目に接触し各表示カウンタ１６
１，１６２，１６３の表示をラツチするｄ点に至
るまでの幅Ｗは、サドル１０４に設けられこのサ
ドル１０４の移動に伴なつて第２の測定ユニツト
１１６を構成する磁気スケール１１９上を摺動す
る検出ヘツド１２２の移動量として検出され、こ
の移動量は第２の測定ユニツト１１６に対応する
第２の表示カウンタ１６２に表示されて上記ｃ点
からｄ点に至る幅Ｗの測定がなされる。ここで測
定された測定データもコントロールボツクス１５
７のデータ記憶回路１６５に入力されて記憶され
る。

さらに、被加工物１０２の研削具１０６によつ
て研削される第５図中矢印Ｘ方向に亘る長さＬを
測定する場合には、位置検出装置４０を上記矢印
Ｙ方向の測定と同様に摺動操作し、載置台１０３
を上記矢印Ｘ方向に移動させることによつて、測
定子１６により被加工物１０２の矢印Ｘ方向に亘
る２点の位置検出を行なえば、前記矢印Ｙ方向に
亘る測定と同様に上記２点間の長さＬの測定が行
なえる。

ここで、第５図中矢印Ｘ，Ｙ及びＺ方向の測定
を行なつた後、データ記憶回路１６５に記憶され
ている各方向の測定データを改めて各表示カウン
タ１６１，１６２，１６３に表示するようにすれ
ば、一挙に各方向の寸法を表示でき、また、上記
各測定データをインターフエース回路１６７を介
してプリントアウト機能を備えた計算機１６９に
入力すれば、各測定データを印字表示することも
可能となる。

上述のような使用例では、被加工物を機械本体
の載置台から取外すことなく、加工具で加工後直
ちにその加工量又は被加工物そのものを３次元方
向に亘つて測定することができる。

従つて、研削量等の加工量不足を生じた場合で
も直ちに再び研削加工を行なうことができるの
で、最終仕上げまで機械本体上で測定しながら研
削加工を行なうことができる。そのため、従来被
加工物を載置台から取外し再びこの載置台へ取付
ける際の取付誤差の発生ができるため、極めて高
精度な研削加工を行なえるばかりか著しい作業能
率の向上を達成できる。

また、被加工物の測定は、機械にあらかじめ設
けられた測定ユニツトを用いて行うため、測定に
に対し熟練等を必要としないので、容易な操作で
高精度の測定が可能となる。

上述したように、本考案は、測定子自体をスイ
ツチの接触子として用い、測定子が被測定物に接
触することにより閉回路を構成して位置検出信号
を発生するようにしているので、位置検出信号を
得るのに測定子に外力を与える必要がなく、測定
子自体の変形による測定誤差を伴わないので、測
定方向に拘らず極めて高い検出精度で位置検出信
号を得ることができ、三次元方向の位置検出を高
精度に行うことができる。

また、導電金属製の測定子の基端部分に外向き
フランジ状のフランジおよび球面状の当接面を有
する当接部を設け、それぞれＶ溝を有する２個の
位置決めチツプを上記フランジに測定子軸を中心
として略90゜の中心角をなす位置に配設し、上記
測定子の基端側を収納するハウジングに形成され
ている上記測定子が挿通される開口部の周縁部分
に上記球面状の当接面が当接される円錐状の受け
面を設けるとともに、それぞれ上記位置決めチツ
プの各Ｖ溝に当接される球面状の頭部を有する２
個の突出部材を上記ハウジング内に配設し、上記
フランジの上記測定子軸の中心と上記２個の位置
決めチツプとで形成される三角形の領域にコイル
スプリングによる弾性力を付与した構成を備えて
いるので、上記測定子の軸廻り方向の位置規制が
なされ、上記測定子に三次元方向の外力が与えら
れると非安定状態となり、該外力が除かれると安
定状態に戻り、該安定状態では上記測定子の先端
部分の導電球体を三次元空間の一点に位置させる
ことができる。しかも、上記測定子の先端部分の
導電球体の三次元空間における位置は、上記測定
子側に設けた球面状の当接面と上記ハウジング側
に設けた円錐状の受け面との当接により軸方向の
位置が決定され、残りの二方向について略独立
に、上記各突出部材の進退操作によつて効率良く
短時間で高い精度に調整することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る位置検出装置を示す外観
斜視図であり、第２図は上記位置検出装置の内部
構造を示す要部断面図であり、第３図は上記位置
検出装置における位置決めチツプ部分の模式的な
断面図であり、第４図は上記位置検出装置におけ
る測定子のフランジに与える弾性力の位置の条件
を示す模式図である。第５図は本考案装置を適用
した平面研削盤の斜視図であり、第６図はその側
面図である。第７図は本考案装置の測定系の構成
を示すブロツク図であり、第８図Ａ及び第８図Ｂ
は本考案装置による測定例を示す説明図である。 １１……ハウジング、１４……シヤンク、１５
……ハウジングの前面底壁、１６……測定子、１
７……中央開口、１８，１８Ａ，１８Ｂ……位置
調整ネジ、２０……受け面、２１……円筒ブツシ
ユ、２２……導電球体、２３……フイーラ、２４
……中心軸、２５……当接部、２６……当接面、
２８……フランジ、２９，２９Ａ，２９Ｂ……位
置決めチツプ、３０……Ｖ溝、３２Ａ，３２Ｂ…
…コイルスプリング、３４……コネクタ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 先端部分に導電球体を有し、基端部分に外向
   きフランジ状のフランジおよび球面状の当接面
   を有する当接部を設けるともに、それぞれＶ溝
   を有する２個の位置決めチツプを上記フランジ
   の測定子軸を中心として略90゜の中心角をなす
   位置に配設した導電金属製の測定子と、 上記測定子を軸方向に押圧する弾性力を上記
   フランジの上記測定子軸の中心と上記２個の位
   置決めチツプとで形成される三角形の領域に付
   与するコイルスプリングと、 上記測定子が挿通される開口部を有し、上記
   開口部の周縁部分に上記球面状の当接面が当接
   される円錐状の受け面を設けるとともに、それ
   ぞれ上記位置決めチツプの各Ｖ溝に当接される
   球面状の頭部を有する２個の突出部材を突出量
   を調整自在に配設した上記測定子の基端部分お
   よび上記コイルスプリングを収納するハウジン
   グとを備え、 上記コイルスプリングによる弾性力にて上記
   球面状の当接面と上記円錐状の受け面とを弾性
   的に圧接せしめるとともに上記各位置決めチツ
   プと上記各突出部材とを弾性的に圧接せしめ、
   上記突出部材の進退により上記測定子先端の導
   電球体の三次元空間における安定状態位置を調
   整自在に、上記測定子を三次元方向に位置規制
   して成り、 上記測定子が導電性の被測定物に接触するこ
   とによる電気的な導通信号により位置検出を行
   う位置検出装置。 (2) 上記２個の突出部材をそれぞれ螺進体にて形
   成し、上記測定子先端の導電球体の三次元空間
   における安定状態位置を上記突出部材の螺進に
   より調整可能にしたことを特徴とする実用新案
   登録請求の範囲第１項に記載の位置検出装置。