JPS61245761A - 密着型イメ−ジセンサ - Google Patents

密着型イメ−ジセンサ

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JPS61245761A
JPS61245761A JP8827885A JP8827885A JPS61245761A JP S61245761 A JPS61245761 A JP S61245761A JP 8827885 A JP8827885 A JP 8827885A JP 8827885 A JP8827885 A JP 8827885A JP S61245761 A JPS61245761 A JP S61245761A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
image sensor
lens
light source
photoelectric conversion
Prior art date
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Pending
Application number
JP8827885A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahiro Nishikura
西倉 孝弘
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ファクシミリ等の送信側等に用いられる原稿
幅と1:1に対応する大きさを有し、原稿に密着して読
み取りを行なう密着型イメージセンサに関する〇 従来の技術 近年ファクシミリ等の送信側の読み取り装置として、原
稿幅と1:1の大きさを有し、原稿と密着させるように
して読みとる密着型イメージセンサの開発が活発に行な
われている。
かかる密着型イメージセンサに関しては例えば特開昭5
7−78263号公報に記載されている。
かかる密着型イメージセンサについて第3図および第4
図を参照して説明する。
第3図は従来の密着型イメージセンサの要部を示す平面
図であり、第4図は第3図のA −A’線でとった要部
断面図である。
第3図および第4図において、1はガラス等の透光性絶
縁基板であり、その上にSi 、 Cr 。
?a 、 WまたはT1等の高融点でかつ不透明な物質
を蒸着法等で付着させた遮光層2が形成してある。上記
遮光層2にはフォトリングラフィ法でエツチングするこ
とにより、主走査方向(第3図にX→で示す)に沿って
複数の照明窓3をあけである。上記遮光層2が導電性物
質からなる場合には後述するその上に設ける光電変換素
子との絶縁性を保つため例えば5i02 、5isN4
 、 Al!OnまたはSiC等の一層または多層の透
光性絶縁層4を形成する。次に上記透光性絶縁層4を設
けたときにはその上に、また設けない場合には上記遮光
層2の上で、かつ上記照明窓の近傍に、周期表第「族〜
第■族の化合物、代表的にはCdS −Cd’s等の光
導電性材料からなる光電変換素子5をそれぞれ形成しで
ある。通常この光電変換素子5は400〜600℃の温
度で活性化熱処理されている。第4図には一部図示して
ないが、第3図に示す如く、各光電変換素子5の一端か
ら引き出され、一定単位数毎にまとめた共通電極6と、
各光電変換素子5の他端から引き出された個別電極7と
を副走査方向(第3図にY→で示す)においては平行し
、かつ一定の間隔で対向させて設け、更にその上に薄板
ガラス等の透明保護層8を設けて従来の密着型イメージ
センサは構成しである。
上述した従来の密着型イメージセンサを用いて原稿を読
み取るときには、第4図に示す如く、透光性絶縁基板1
の裏面からLED等の光源9からの照明窓3を通って入
射する光10が原稿面11を照射し、その反射光12が
光電変換素子5で電気信号に変換される。
発明が解決しようとする問題点 上述した従来の密着型イメージセンサでは、光源9と照
明窓3の距離が少なくとも透光性絶縁基板1の厚さ例え
ば1.2 mより大となること、しかも照明窓3の寸法
は例えば8本/m、1257ItrLピッチの場合、解
像度等を考慮して90pmX60声風であるので、原稿
面11を照射する入射光10は平行光と考えられ、従っ
て照明窓3の寸法により原稿面11を照射する光量が決
定され、光源9から放射される光はその全部が利用され
ないことになり、光の利用効率が悪いという欠点を有す
る。このため必要な原稿面照射光量を得るためには不必
要な光源9の放射光の消費があり、光源9の消費電力の
増加をもたらし、また光源9の発熱等が光電変換素子5
への悪影響を与えたりし、ひいては光源9自体の寿命低
下を招くなどの問題点を有していた。
従って本発明の目的は、上述した従来の問題点を解決す
ることにあり、ファクシミリ等の送信側に用いられ、光
源からの放射光の利用効率を飛躍的に向上させることの
できる原稿幅と1=1に対応する大きさを有し、原稿に
密着して読み取る密着型イメージセンサを提供すること
にある。
問題点を解決するための手段 本発明は、透光性絶縁基板上に主走査方向に沿って複数
の照明窓をあけて設けた遮光層と、上記遮光層上で上記
各照明窓の近傍にそれぞれ形成された光電変換素子と、
上記光電変換素子上で主走査方向で対向してその両側よ
り引き出された電極と、透明保護層とからなり、上記透
光性絶縁基板裏面から上記照明窓に光源からの光を入射
し、上記透明保護層上に置いた原稿からの反射光を上記
光電変換素子で読み取る密着型イメージセンサにおいて
、上記透光性絶縁基板裏面にレンズを設け、入射光を上
記原稿面に集光させた密着型イメージセンサにある0上
述した本発明による密着型イメージセンサにおいて、透
光性絶縁基板、遮光層、照明窓、光電変換素子、電極、
透明保護層等は従来の密着型イメージセンサに用いられ
ている材料詔よび構成と同じであることができる。
なお、上記光電変換素子と遮光層の間には、両者の絶縁
性を確実にするため透光性絶縁層を設けるのが好ましい
本発明によれば透光性絶縁基板の裏面にレンズ好ましく
は半円筒形レンズを設けるのである。
作用 本発明により、透光性絶縁基板の裏面に光源からの入射
光を照明窓を通して原稿面上に集光させるレンズを設け
ることにより、従来は照明窓に入射する殆ど平行な光だ
けが原稿面を照射した光のみならず、照明窓に入らず、
遮光層で反射された余分の光もレンズ集光させるため、
同じ光源からの光の利用効率は増大し、原稿面上の照度
向上を生ぜしめる0また従来と同じ照度を原稿面上に得
る場合、使用する光源の消費電力を低く抑制でき、結果
として光源10発熱も低く抑制できる0更にS / N
比の向上、光応答速度の向上が非常に容易となる。
実施例 以下に第1図および第2図を参照して本発明の密着型イ
メージセンサを更に具体的に説明する。
第1図は本発明による密着型イメージセンサの要部を示
す断面図であり、第2図は本発明で使用する集光レンズ
の斜視図である。
第1図において、1はガラス製透光性絶縁基板であり、
この基板1上にCr 、 Ta 、 WまたはT1の高
融点を有する材料を蒸着法で蒸着させて不透明で可視光
を遮光する厚さ8(IQ〜4000ズの遮光層2を形成
する。次にこの遮光層2をリングラフィ法でエツチング
して主走査方向(第3図参照)に沿って必要な数だけの
照明窓3を形成する。次にスパッタリング法で上記遮光
層2および照明窓3の上に全面的に5iO1、5isN
a。
Tados 、 SiCまたは硼珪酸ガラス(例えばコ
ーニング7059)を500〜5000Aの厚さで付着
させて透光性絶縁層4を形成する。次にCdS −Cd
Seの光導電性薄膜を蒸着法で付着させ、フォトリング
ラフィ法で主走査方向で各照明窓の近くにそれぞれ島状
に並んだ光電変換素子5を形成する。次に全体をCdC
1,雰囲気中で400〜600℃の温度で加熱し、光電
変換素子5の活性化を行なう。
次に第1図では省略し、図示してないが、第3図に関し
て説明した如く、共通電極6詔よび個別電極7をNiC
r −Auを蒸着させ、リングラフィ法で形成し、次に
全表面を薄板ガラスまたはSin、 、 Si、N4ま
たはAl、O,の層を設けて保護層8を形成する。
本発明によれば、第1図に示す如く、光源9からの光1
0を照明窓3を通して原稿面11に集光するためのレン
ズ13を透光性絶縁基板1の裏面に固定する0 上記レンズ13は第2図に示す如く半円筒形レンズとし
、主走査方向にその長手方向が一致するように固定する
のが好ましい。
発明の効果 上述した本発明による密着型イメージセンサにおいては
、光源9の放射光10がレンズ13により、照明窓3を
とおり、原稿面11上に集光せしめられるので、従来照
明窓3に入射する平行な光のみが原稿面11を照射し、
他の光は反射せしめられていた場合に比して、放射光全
部が原稿面11上に集光でき、光量を大幅に増大させる
ことができるので、同一原稿面光量を得るのに要する光
源9の消費電力を低く抑制でき、また発熱も低く抑制で
きる。更にS / N比の向上、光応答速度の向上も容
易に達成できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明による密着型イメージセンサの要部を示
す断面図であり1第2図は本発明で使用する集光レンズ
の斜視図であり、第3図は従来の密着型イメージセンサ
の要部を示す平面図であり・第4図は第3図のA −A
’線でとった要部断面図である。 1は透光性絶縁基板、2は遮光層、3は照明窓、4は透
光性絶縁層、5は光電変換素子、6は共通電極、7は個
別電極、8は透明保護層、9は光源、11は原画、13
は集光レンズ。 第1図 第2図 第3図 x−−−一−−

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、透光性絶縁基板上に主走査方向に沿って複数の照明
    窓をあけて設けた遮光層と、上記遮光層上で上記各照明
    窓の近傍にそれぞれ形成された光電変換素子と、上記光
    電変換素子上で主走査方向で対向してその両側より引き
    出された電極と、透明保護層とからなり、上記透光性絶
    縁基板裏面から上記照明窓に光源からの光を入射し、上
    記透明保護層上に置いた原稿からの反射光を上記光電変
    換素子で読み取る密着型イメージセンサにおいて、上記
    透光性絶縁基板裏面にレンズを設け、入射光を上記原稿
    面に集光させることを特徴とする密着型イメージセンサ
    。 2、レンズが半円筒形レンズである特許請求の範囲第1
    項記載の密着型イメージセンサ。
JP8827885A 1985-04-24 1985-04-24 密着型イメ−ジセンサ Pending JPS61245761A (ja)

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