JPS61245545A - 試料保持装置 - Google Patents

試料保持装置

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JPS61245545A
JPS61245545A JP8631985A JP8631985A JPS61245545A JP S61245545 A JPS61245545 A JP S61245545A JP 8631985 A JP8631985 A JP 8631985A JP 8631985 A JP8631985 A JP 8631985A JP S61245545 A JPS61245545 A JP S61245545A
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JP
Japan
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pin
pawl
spring
ring
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Application number
JP8631985A
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English (en)
Inventor
Kazuhiro Oda
小田　和宏
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 未発明は、試料保持装置をこ係り、特に半導体素子基板
（以下、基板と略）等の試料を試料台の試料設置面に保
持するのに好適な試料保持装置に関するものである。
〔発明の背景〕
メカニカルチャッキング等の試料搬送手段で試料台の試
料設置面に搬送された試料は、試料設置面の外側で試料
台に設けらｒた外周位置決め突起（例えば、特公昭５３
−４３０２１号公報）や均一化リング（例えば、特開昭
５８−７９７２１号公報）ｔこよって試料設置面ｔこ保
持されている。
このような技術では、試料保持姿勢が、例えば垂直姿勢
等のようになった場−８−には、試料台の試料設置面ｔ
こ試料を良好に保持することができなくなるといった問
題がある。
〔発明の目的〕
本発明の目的は、試料保持姿勢によらず試料台の試料設
置面に試料を良好ｔこ保持できる試料保持装置を提供す
ることにある。
〔発明の概要〕
本発明は、試料台の試料設置面にある試料をバネ力で把
持する爪と、該爪を前記バネ力に抗して開けるピンと、
回転ｔこより前記風を開ける方向に前記ピンを移動させ
るリングと、該リングの逆回転により前記風を閉じる方
向＆ＣＩＩ前記ピンを移動させるバネとを具備したこと
を特徴とするもので、バネ力により試料な把持すること
で、試料保持姿勢によらず試料台の試料設置面に試料を
良好に保持てぎるようにしたものである。
〔発明の実施例〕
大発明の一実施例を第】図〜第３図により説明する。
第１図〜第３図で、試料台】０＃こは、高台１１が形成
されている。高台１１面が試料設置面となる。高台１１
面の大とさけ、この場合、試料２０の外縁端が突出する
ような大きさｔこなっている。
試料台】０の高台１１１こ沿った位置νこは、爪取付具
３０が高台１１面と略直角な面内で回動自在ｔこ、この
場合、４個配設さｒている。爪取付具３０を回動自在ｔ
こ支持する軸３１に取り付けられた捩りコイルバネ３２
が爪取付具３０と試料台】０との間に張設さ扛ている。
爪取付具３０には、爪３３が取り付けられている。試料
台１０の、この場合、上方位１ｃは、プレート４０が、
例えば、設けらｎ、ている。プレート４０の高台１１面
に対応する場所ｔこは、少なくとも試料２０が阻害なく
挿通可能な開口４１が形成さ釘、ている。プレート４０
の上部には、リング４２が配置されている。リング４２
の開口４３は、開口４１と同等若しくけ大きくなってい
る。リング４２は、その側面をベアリング４４に当接し
回動自在に設けられ、でいる。ベアリング４４は、軸４
５１こ環装さ１７、軸４５は取付具４６を介しプレート
４０に設けら釘、ている。
ピン４７は、この場合、その下端が爪取具３０の爪３３
が取り付けら１．た部分と反対部分に対応してプレート
４０にベアリング４８を介して、この場会、昇降動自在
１こ設けらｎている。ピン４７の上部並びに下部は、プ
レート４０の上方並びをこ下方に突出させらｊている。
ピン４７の上部は、リング４２乙形成さｎ、たガイド溝
４９に挿設されている。ピン４７の上端はガイド１ｌ１
４９の底面ｔこ当接させら１ている。ガイド溝４９の深
さは一定ではなく、この場合、時計回り方向に向って浅
くなっている。ピン４７のプレート４０の下方ｔこ突出
した部分には鍔５０が形成さｎている。バネ、この場合
、コイルバネ５１は、ピン４７の下部に環装さｒｌ、ｆ
ｐｊ５０とバネ受５２との間に張設されている。バネ受
５２には、ピン４７が通過可能が孔が・　３　・ 形成さｊ、ピン４７の下部がこの孔を挿通した状態でプ
レート４０＃こ設け２ｎ、ている。尚、リング４２Ｃは
、レバー５３が取り付けろ１．ている。
例えば、第１図ｔこ示すようｔこ、試料２０が爪３３で
捩りコイルバネ３２のバネ力により把持さｎ。
て裏付１１面に保持されている。この状態では、ピン４
７の上端と対応す゛るガイド７１１４９の深さは、最も
深い位置をこおり、ピン４７は、その下端部が爪取付具
３０に当接しないようにコイルバネ５１のバネ力により
上昇させら１．ている。この状態からレバー５３が反時
計回り方向に回転させらｒ・、こｒ、−こより、リング
４２が同方向−こ回転させらする。このリング４２の回
転によりカイト溝４９の深さは浅くなり、こｎにより、
ピン４７は、コイルバネ５１のバネ力に抗して下降させ
らする。この下降の途中、ピン４７の下端は爪取付具３
０に当接させられ、更に下降することで爪取付具３０は
、捩りコイルバネ３２のバネ力に抗し軸３１を中心とし
て時計回り方向ｔこ回転させらする。これにより爪３３
は同方向に回転させらｎ、つまり。
・　４　・ 開けＰｓｎで爪３３　＃′ｃよる試料２０の把持は解除
さｒる。このようにして爪３３から雌さｎ、た試料２０
は、例文ば、メカニカルチャック等の搬送手段（図示省
略）に受は取らｎ、他の場所へ抄速さ１．る。
その後、搬送手段により別の試料が高台】】面まで搬送
さｊ、できた時点で、レバー５３が、今度は時計回り方
向に回転させら釘５、これ會こよ０、リング４２が同方
向をこ回転させらｒる。このリング４２の回転ｔこより
ガイド溝４９の深さは深くなり。
これｔこよＯ，ピン４７は、コイルバネ５】のバネ力に
より上昇させら１する。ピン４７の上昇と共に爪取付具
３０は、捩りコイルバネ３２のバネカ夛こより軸３１を
中心として反時計回り方向に回転させらする。こｎ＃こ
より爪３３は同方向Ｖこ回転させらｎ、つまり、閉じら
れて試料２０は捩ｎコイルバネ３２のバネ力により爪３
３に把持されて高台１１面に保持さｊる。その後、搬送
手段は、他の場所へ、移動１させらｒ・る。
禾実施例では、捩りコイルバネのバネ力により試社を爪
で把持できるので、試料保持姿勢ｔこよらず試料台の高
台面シこ試料を良好に保持することができる。また、爪
１こよる試料の把持並びｔこ該把持の解除を確実ｔこ行
わせることかでと、搬送手段との試料の受は渡しを不都
含なくスムーズに行わせることができる。
尚、レバーの回動操作は、手動、自動どちらで実施して
も良く、また、搬送手段の作動と連動させるよう１こし
ても良い。
〔発明の効果〕
本発明は、以上説明したように、試料をバネ力で把持で
きるので、試料保持姿勢ｔこよらず試料台の試料設置面
に試料を良好ｔこ保持できるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明１こよる試料保持装置の一実施例を示
す要部縦断面図、第２図は同じく平面図、第３図は、第
２図のＡ−Ａ視断面図である。 】０・・・・・・試料台、３２・・・・・・捩りコイル
バネ、３３・・・・・・爪、４２・・・・・・リング、
４７・・・・・・ピン、・　７　・ ｌθ−一−−−−−−試村台 ５１−−−−−−コイルバ斗

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、試料台の試料設置面にある試料をバネ力で把持する
    爪と、該爪を前記バネ力に抗して開けるピンと、回転に
    より前記爪を開ける方向に前記ピンを移動させるリング
    と、該リングの逆回転により前記爪を閉じる方向に前記
    ピンを移動させるバネとを具備したことを特徴とする試
    料保持装置。
JP8631985A 1985-04-24 1985-04-24 試料保持装置 Pending JPS61245545A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8631985A JPS61245545A (ja) 1985-04-24 1985-04-24 試料保持装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP8631985A JPS61245545A (ja) 1985-04-24 1985-04-24 試料保持装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS61245545A true JPS61245545A (ja) 1986-10-31

Family

ID=13883511

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP8631985A Pending JPS61245545A (ja) 1985-04-24 1985-04-24 試料保持装置

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JP (1) JPS61245545A (ja)

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