JPS61244093A - 多層セラミツク基板のバイアホ−ル形成方法 - Google Patents

多層セラミツク基板のバイアホ−ル形成方法

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JPS61244093A
JPS61244093A JP8669885A JP8669885A JPS61244093A JP S61244093 A JPS61244093 A JP S61244093A JP 8669885 A JP8669885 A JP 8669885A JP 8669885 A JP8669885 A JP 8669885A JP S61244093 A JPS61244093 A JP S61244093A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
holes
hole
ceramic substrate
multilayer ceramic
Prior art date
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Pending
Application number
JP8669885A
Other languages
English (en)
Inventor
草野 清治
川俣 晴男
今村 一郎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Filing date
Publication date
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  • Printing Elements For Providing Electric Connections Between Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概要〕 多層セラミック基板のバイアホール形成方法であって、
所定のバイアホール形状を持った凸型で基板をパンチン
グによって貫通孔明けを行なった後、同一工程で、基板
上に載置された、導体を形成するペースト(以後ペース
トと云う)を前記貫通孔(バイア)に充填するよう構成
し、孔明けと、ペースト充填を同一工程で行なうことに
より、工程の短縮と、ペーストの充填位置および充填量
の精度向上を可能とする。
〔産業上の利用分野〕
本発明は多層セラミック基板のバイアホール形成方法に
関し、特にバイアの形成と、形成されたバイアへのペー
ストの充填を同一工程で行なうよう改良した多層セラミ
ック基板のバイアホール形成方法に関するものである。
多層セラミック基板の各層を形成するグリーンシートの
バイアホールの形成は、一般に、グリーンシートをパン
チングによって所定の貫通孔を明け、孔明は後、印刷等
によって孔内にペーストを埋込む方法がとられている。
この工程は孔明は工程と、ペースト埋込み工程の2工程
に分かれており、工程が長くなるとともに、印刷の位置
精度がきびしく、かつ貫通孔への十分なペースト充填を
得るのが難かしい。
そこで、一つの工程で貫通孔明は工程とペースト充填工
程を行い、かつ印刷の位置精度と、孔へのペースト充填
の信耗性が得られるバイアホール形成方法の出現が要望
されていた。
〔従来の技術〕
第2図(a)〜(dlは従来のバイアホール形成方法の
模式図である。
第2図(alに示すように、多層セラミック基板の各層
を形成するグリーンシートのバイアホールの形成は、一
般に、グリーンシート1をパンチング、又はドリルによ
って所定の貫通孔1−1〜1−nが明けられる。
次に、第2図(b)に示すような、貫通孔1−1〜1−
nに合致する、孔2−1〜2−nを持ったスクリーン印
刷版2を第2図(C1のように、゛グリーンシート1の
両面に孔が合致するようにした後、上面のスクリーン印
刷版上にペースト3を載置し、載置したペースト3をス
クリーン印刷の要領でスキージ等で押圧することにより
、ペースト3を貫i1孔1−1〜l−nに充填してバイ
アホールを形成している。
(発明が解決しようとする問題点) 上記従来の方法では、グリーンシートに貫通孔を明けし
た後、スクリーン印刷版の貫通孔とグリーンシートの孔
とを合致させている。この時、両者間の位置精度を得る
ことが難しい。
また、グリーンシート上のペーストを印刷要領によって
貫通孔に注入する方法は、ペーストを貫通孔に完全に注
入することが難しく、不完全注入になることがあるとい
った問題がある。
本発明はこのような点にかんがみて創作されたもので、
一つの工程で貫通孔明けと、貫通孔へのペーストの充填
を同時に行ない、工程の短縮と、貫通孔位置の精度の向
上と、貫通孔へのペーストの完全な充填ができる多層セ
ラミック基板のバイアホール形成方法を提供することを
目的としている。
〔問題点を解決するための手段〕
第1図(al〜(flは本発明の実施例のバイアホール
形成方法の模式図を示す。
第1図(a)において、グリーンシートlの両面を被覆
するWII!!I!シート4−1.4−2と、上面薄膜
シート4−1の上面に載置されたペースト3と、第2図
(blにおいて、所定のバイアホール形状を持って、グ
リーンシート1の上面より押圧する凸型5とより構成さ
れている。
〔作用〕
第1図(C1,<d)に示すように、グリーンシート1
の上面より凸型5を押圧し、第2図(d)のように、凸
型5の凸部Aが下面′Wi膜シート4−2面まで押圧し
て上面薄膜シート4−1と、グリーンシート1と、下面
薄膜シート4−2を貫通し孔明けを行なう。
上記貫通孔明は後、第1図(e)のように凸型5を元の
位置に復帰する。凸型5の元の位置への復帰により、ペ
ースト3は孔の上面に流入する。
次に、ふたたび凸型5を第1図(f)に示すように凸型
5の凸部Aがグリーンシート1の上面に達する位置に押
圧し、貫通孔の上面に流入したペーストを貫通孔の内部
に充填する。
〔実施例〕
第1図(alに示すように、グリーンシート1の上面お
よび下面をi膜シート4−1および4−2で被覆し、上
面の薄膜シート4−1上にペースト3を載置する。
次に、第1図中)に示すように、グリーンシート1の上
面に所定の孔を形成する凸型をセットする。
このセントされた凸型5を第1図(C)に示すように、
下方に押圧し、第2図(dlのように、凸型5の凸部A
が下面薄膜シート4−2面まで押圧して上面薄膜シート
4−1と、グリーンシート1と、下面薄膜シート4−2
を貫通して所定の孔明けを行なう。
上記貫通孔明は後、第1図(d)のように凸型5を元の
位置に復帰する。凸型5の元の位置への復帰によってペ
ースト3は孔の上面に流入する。
次に、ふたたび凸型5を第1図(f)に示すように凸型
5の凸部Aがグリーンシート1の上面に達する位置まで
押圧し、孔の上面に流入したペーストを孔の内部に押し
込んで充填する。
このように、凸部型の2挙動による押圧動作によって、
グリーンシートの孔明けと、孔へのペーストの充填を行
なう。
〔発明の効果〕
以上説明したように本発明によれば、グリーンシートの
貫通孔明けと、貫通孔へのペーストの充填を1工程で行
なうことにより、パイヤホール形成時間が短縮されると
ともに、凸型によりペーストが確実に孔に充填される。
【図面の簡単な説明】
第1図(al〜(f)は本発明のバイアホール形成方法
の模式図、 第2図(a)〜(d)は従来のバイアホール形成方法の
模式図である。 図において、1はグリーンシート、  2はスクリーン
印刷板、1−1〜1−nおよび2−1〜2−nは孔、3
はペースト、4−1は上面薄膜シート、4−2は下面薄
膜シート、5は凸型をそれぞれ示している。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1.  セラミック基板のグリーンシート(1)の両面を薄膜
    シート(4−1、4−2)で被覆し、前記上面シート(
    4−1)上に導体を形成するペースト(3)を載置し、
    所定のバイアホール形状を持った凸型(5)で前記上面
    シート(4−1)より前記下面シート(4−2)まで押
    圧して孔明けを行なった後、前記凸型(5)を復帰し、
    ふたたび、前記凸型(5)を前記上面シート(4−1)
    まで押圧して前記ペースト(3)を前記孔に充填するこ
    とを特徴とする多層セラミック基板のバイアホール形成
    方法。
JP8669885A 1985-04-22 1985-04-22 多層セラミツク基板のバイアホ−ル形成方法 Pending JPS61244093A (ja)

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