JPS61239700A - 電子部品の装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、基板に半導体素子等の電子部品を装着する電
子部品の装着装置に関する。

［従来の技術］ 半導体素子をはじめとする電子部品（以下単に部品と称
す）は、基板」二の所定位置に装着され、さらに部品の
電極と基板上に形成された回路の接続部とをＡｕ線等を
用いて接続し、基板」−に所定の電子回路を構成可能と
している。基板への部品の装着には、従来、例えば第４
図に示す電子部品の装着装置が用いられている。

第４図は従来の電子部品の装着装置を示す一部破断の正
面図である。この電子部品の装着装置１０は、フレーム
１１に対し水平方向および１−下方向に駆動可能とされ
るアーム１２を備えてなる。すなわち、このアーム１２
はフレーム１１に配設される。」―下回動体１３のアー
ム支持部１４に対し矢示Ａ方向に水平移動可能に支持さ
れ、また、」−不可動体１３はフレーム１１の上下ガイ
ド部１５に沿う状態で矢示Ｂ方向に上下動可能に支持さ
れる。アーム１２Ω」−下方向の駆動は、上下可動体１
３を」−下動することにより行なわれ、該舅　　　１°
下動１ｔ！＄１＃″′１“″１転１動°′＝１″′ｌ＃
ｉ　ｉｔ　ｈ　ｈる。第１カム１６は、フレーム１１に
支持されるモータ１８の駆動軸に連結されるカム軸１９
に装着され、該第１カム１６はモーター８の駆動により
矢示Ｃ方向に回転される。第１カム１６のカム面２．０
には、」−不可動体１３の下端部に取着されるカムフォ
ロア２１が当接され、これにより第１カム１６の回転に
伴なって」三下可動体１３が１−下ガイド部１５に沿っ
て」二下動される。この結果、アーム１２がフレーム１
１に対して矢示Ｂ方向に１−下動されることとなる。一
方、アーム１２の水平方向の駆動は、アーム１２をアー
ム支持部１４に対して水平駆動することにより行なわれ
、該水平駆動は第２カム２２の回転駆動により行なわれ
る。第２力１１２２は、第１カム１７と同様にカム軸１
９に装着され、該第２カム２２もモーター８の駆動によ
り矢示Ｃ方向に回転可能とされる。フレーム１１には、
一端部なフレーム１１に対して軸支してなる撮動ロッド
２３が配設され、該揺動り ロッド２３は−・端部を中心に矢示り方向に揺動可能と
される。揺動ロッド２３の中心位置にはカムフォロア２
４が取着され、該カムフォロア２４は第２カム２２のカ
ム面２５に当接される。揺動ロッド２３とフレーム１１
との間には、カムフォロア２４を常時カム面２５に当接
可能とする引張りスプリング２６が介装されるン第２カ
ム２２が回転されるとカムフォロア２４とカム面２５と
の当接を介して揺動ロッド２３の他端部側が矢示り方向
に揺動可能となる。揺動ロッド２３の他端部側には保合
四部２７が形成され、該保合四部２７にはアーム１２の
側部に突設される保合ピン２８が係合される。この結果
、第２カム２２の回転に伴ない揺動ロッド２３の他端部
が矢示り方向に揺動されると、係合凹部２７と係合ビン
２８との係合によりアーム１２を矢示Ａ方向水平駆動可
能とすることができる。

このようにアーム１２は、第１かム１６および第２カム
２２の連続回転によりフレーム１１に対して上下および
水平方向に往復駆動させることができる。アーム１２の
先端側にはそれぞれ装着部２９および塗布部３０が配設
される。装着部２９は、アーム１２の最先端位置に配設
され、該装着部２９には下方に突出される吸着ノズル３
１が設けられる。一方、塗布部３０は、装着部２９に対
するアーム１２の基端側に配設され、該塗布部３０には
下方に突出される塗布ノズル３２が備えられる。塗布ノ
ズル３２の先端部は吸着ノズル３１の先端部と略同−高
さレベルとされ、該塗布ノズル３２は所定量の接着剤を
吐出可能としている。

上下および水平方向に往復駆動されるアーム１２の先端
側は、フレーム１１に対する水平方向［Ａ方向］での進
出端において、第４図に示すように装着部２９を部品供
給部３３ト部に、塗布部３０を給送フレーム３４に保持
される基板３５の上部にそれぞれ位置決め可能とされる
。部品供給部３３は、基台３６の上面の部品供給位置３
７に１個のチップ状電子部品３８を順次供給可能として
なる。一方、基板３５は、給送フレーム３４に保持され
る状態で第４図に示す塗布ノズル３２下方の給送位置３
９に順次給送される。第４図に示すように進出端に位置
決めされるアーム１２に備えられる装着部２９および塗
布部３０のそれぞれは、部品供給位置３７と吸着ノズル
３１を、基板３５の部品装着位置４０と塗布ノズル３２
を上下方向に位置決め可能とされる。この状態で第１カ
ム１６の回転に伴ないアーム１２が下降駆動され、さら
に吸着ノズル３１が吸引作動Ｘれる。これにより、部品
供給位置３７に位置決めされる１個の部品３８が吸着ノ
ズル３１の先端部に吸着し、摘出される。一方、塗布ノ
ズル３２は、アーム１２の下降駆動により基板３５の部
品装着位置４０に位置され、該位置４０においてノズル
３２の先端部より接着剤を吐出可能としている。これに
より、部品装着位置４０に接着剤が塗布されることとな
る。

吸着ノズル３１により部品３８が吸着し、摘出され、基
板３５の部品装着位置４０に接着剤が塗布されるとアー
ム１２は第１カム１６の回転に伴ないＪＺ　Ｒ駆動され
、続いて該アーム１２は第２カｊ　　′２２（１）＠転
″イ半４°゛７′−″′１”但′１′′水平駆動される
。アーム１２はフレーム１１側への駆動端において、装
着部２９を基板３５の上方に位置決めされる。すなわち
、アーム１２の水平方向での移動ストロークＬｌは、部
品供給部３３の部品供給位置３７と基板３５の部品装着
位置４０間の距離と同様とされる。この結果、フレーム
１１側の駆動端に位置されるアーム１２に支持される吸
着ノズル３１は部品装着位置４０に上下方向で相対位置
決めされ、一方、塗布ノズル３２は退避位置４１に位置
決めされる。部品装着位置４０の」三方に位置される吸
着ノズル３１は、第１カム１６の回転に伴なうアーム１
２の下降駆動により、接着剤の塗布された部品装着位置
４０に下降される。

部品装着位置４０に吸着ノズル３１が位置されると該ノ
ズル３１に吸着されていた部品３８が解放され、これに
より該部品３８が接着剤を介して基板３５の部品装着位
置４０に装着される。基板４０に部品３８が装着される
と第１カム１６の回転に伴なうアーム１２の」二昇駆動
により装着部２９および塗布部３０は］三方に駆動され
る。アーム１２が上方に駆動されると、続いて該アーム
１２は第２カム２２の回転に伴ないフレームｔｉに対す
る進出側に駆動される。アーム１２が進出Ｉ　　　　端
に位置されると部品供給部３３の部品供給位置３７には
新たな部品３８が供給され、また給送位置３９には部品
３８の装着されるべき新たな基板３５が給送フレーム３
４に保持される状態で給送されることとなる。この状態
でアーム１２が下降され、吸着ノズル３１により部品３
８が吸着摘出され、また基板３５の部品装着位置４０に
は接着剤が塗布されることとなる。吸着ノズル３１に摘
出された部品３８は前記のようにアーム１２の上昇駆動
、フレーム１１側への水平駆動、さらに基板３５の部品
装着位置４０への下降駆動により、該位置４０に装着さ
れることとなる。

このように上記電子部品の装着装置ｌＯによれば、アー
ム１２の往復動を介し、給送位置３９に給送される基板
３５の部品装着位置４０に順次部品３８を装着すること
が可能となる。

Ｃ発明が解決しようとする問題点］ しかしながら、上記従来の電子部品の装着装置１０にあ
っては、部品供給部３３の部品供給位置３７と基板３５
の部品装着位置４０にそれぞれ装着部２９と塗布部３０
を相互に位置決めする状態でアーム１２を往復駆動し、
これにより一つの部　　　゛品３８を部品装着位置４０
に装着するようにしていた。このため、基板３５の決ま
った部品装着位置４０にしか部品３８の装着を行なうこ
とができず、また基板３５に複数の部品３８を装着する
ことも不可能とされた。

さらに、上記従抹例に係る電子部品の装着装置ｌＯにあ
っては、装着部２９と塗布部３０のそれぞれを７−ム１
２に固定配置することとしていたため、アーム１２と吸
着ノズル３１との間隔ｉｆとアーム１２と塗布ノズル３
２との間隔立２が常に一定のものとされた。このため、
吸着ノズル３１の先端部と部品装着位置４０とのＺ方向
における間隔、または塗布ノズル３２の先端部と部品装
着位置とのＺ方向における間隔を、それぞれ微妙に調整
する等のことは困難とされた。また、吸着される部品３
８の厚さｔが様々に変化する場合にはＭｌおよび見２が
常に一定であるため、部品１２、　　３８と吸着ノズル
３１との干渉が生じたり、また部品３８を摘出できない
おそれがあり、これに伴ない塗布ノズル３２による接着
剤の塗布も不可能とされる場合がある。

本発明の第１は、往復動されるアームにより基板上の複
数または任意の部品装着位置に電子部品を装着可能とす
ることを目的としている。

また、本発明の第２は、往復動されるアームにより基板
」−の複数または任意の部品装着位置に対する装着部ま
たは塗布部の位置設定を調整可能とすることを目的とし
ている。

［問題点を解決するための手段］ 」二記目的を達成するために、本発明の第１は、部品供
給部より１個の電子部品を摘出保持し、該電子部品を基
板の部品装着位置に装着可能とする装着部と、電子部品
が装着される基板の部品装着位置に予め接着剤を塗布可
能とする塗布部を、そｊ　　　れ８れ同一゛の７−　Ａ
−，１：に備え・装着部を部品供給部−にに位置決めす
ると同時に塗布部を基板上に位置決めし、装着部を基板
上に位置決めすると同時に塗布部を迫避位置に位置決め
するように上記アームを往復動可能としてなる電子部品
の装着装置において、アームを基板ＸＹ方向に駆動可能
とし、塗布部または装着部を基板」−の複数の部品装着
位置に位置決め可能とするＸＹ駆動部を備えることとし
ている。

また、本発明の第２は、部品供給部より１個の電子部品
を摘出保持し、該電子部品を基板の部品装着位置に装着
可能とする装着部と、電子部品が装着される基板の部品
装着位置に予め接着剤を塗布可能とする塗布部を、それ
ぞれ同一のアーム上に備え、装着部を部品供給部上に位
置決めすると同時に塗布部を基板上に位置決めし、装着
部を基板上に位置決めすると同時に塗布部を退避位置に
位置決めするように上記アームを往復動可能とし　　　
。

てなる電子部品の装着装置において、アームを基板ＸＹ
方向に駆動可能とし、塗布部または装着部を基板上の複
数の部品装着位置に位置決め可能とするＸＹ駆動部を備
えるとともに、装着部を基板　　　′の部品装着位置に
対しＺ方向に駆動可能とする装置１ 首部駆動部、または塗布部を基板の部品装着位置に対し
Ｚ方向に駆動可能とする塗布部駆動部を備えることとし
ている。

［作　用］ 本発明の第１によれば、駆動部の駆動によりアームに備
えられる装着部および塗布部を基板上の複数または任意
の部品装着位置を位置決めすることが可能となり、これ
により、該装着位置に対する接着剤の塗布および電子部
品の装着を行なうことが可能となる。

また、本発明の第２によれば、装着部駆動部の駆動によ
り基板の部品装着位置に対する装着部の位置の設定を、
または塗布部駆動部の駆動により基板の部品装着位置に
対する塗布部の位置設定を行なうことが可能となり、様
々な厚さを有する電子部品を基板の部品装着位置に装着
することが可能となる。

［実施例］ 以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。

第１図および第２図は本発明の作動状態に係り、それぞ
れ電子部品の装着装置を示す断面図、第３図は電子部品
の装着装置の概略平面図である。

電子部品の装着装置５０は、架台５１を備え、該架台５
１には、平面ＸＹ方向に駆動可能な第１ＸＹテーブル５
２が支持されている。第１ｘＹテーブル５２の上面には
、カセットリングの支持フレーム５３が１．ポルト５４
によって固着されている。カセットリングの支持フレー
ム５３には、カセットリング５５が着脱自在とされてい
る。このカセットリング５５には、ウェハ５６の被着さ
れた粘着シート５７が、ゴムバンド５８を介して取着さ
れている。粘着シート５７上のウェハ５６は、円形状と
され。さらに、ウェハ５６は、素子片としての各チップ
状の電子部品５９［以下単に部品５９と称す］に分割さ
れている。すなわち、各部品５９は、粘着シート５７上
で第１ｘＹテーブル５２のＸＹ方向に沿って複数行、複
数列に整列される状態とされ、該粘着シート５７上を部
品供給部６０としている。

一方、第１ＸＹテーブル５２に対する架台５１」−のＸ
方向対向位置には第２ＸＹテーブル６１が支持されてい
る。第２ＸＹテーブル６１も第１ＸＹテーブル５２と同
様に架台５１に対し平面ＸＹ方向に駆動可能とされ、該
第２ＸＹテーブル６１Ｌにはフレーム６２が支持されて
いる。フレーム６２の」一部には上下ガイド部６３が配
設され、該上下ガイド部６３には上下可動体６４のガイ
ド軸６５が挿入されてなる。上下可動体６４は、上下ガ
イド部６３に対するガイド軸６５の」二下動によりフレ
ーム６２に対し矢示Ｚ方向に」１下動可能とされる。フ
レーム６２の」二部には、アーム６６が該フレーム６２
に対し矢示Ｘ方向にスライド可能に支持される。アーム
６６は、先端部を部品供給部６０側へ突出してなる。フ
レーム６２には、モータ６７が配設され、該モータ６７
の駆動軸に１　　連結″″ｇ′″ｆｔ　６　ｊ３″′ｉ
“６８４．：　ｌ−１：・第”４°゛・第２カム７０、
第３カム７１の３つのカムが装着される。各カム６９〜
７１は、それぞれモータ６７の駆動により矢示Ｅ方向に
回転可能とされ、このうち、第１カム６９はアーム６６
を水平方向［Ｘ方向］に往復移動可能としている。すな
わち、第１カム６９のカム面７２には、カムフォロア７
３が当接可能とされ、該カムフォロア７３は、一端部な
第２ＸＹテーブル６１に対して軸支してなる第１揺動ロ
ツド７４の中心部に取着される。第１揺動ロツド７４と
フレーム６２との間にはカムフォロア７３を常時カム面
７２に当接可能とする引張りスプリング７５が介装され
る。これにより、第１カム６９が回転されるとカムフォ
ロア７３とカム面７２の当接を介して第１揺動ロツド７
４の他端部側が矢示Ｆ方向に揺動可能とされる。第１揺
動ロツド７４の他端部側には長孔７６が形成され、該長
孔７６にはアーム６６の側部に突設される保合ピン７７
が係合される。この結果、第１カム６９の回転に伴ない
第１揺動ロツド７４の他端部が矢示Ｆ方向に揺動される
と、長孔７６と係合ピン７７との係合によりアーム６６
を水平方向［Ｘ方向］に往復移動可能とすることができ
る。

第２カム７０のカム面７８には、」１下可動体６４のガ
イド軸６５の下端部に取着されるカムフォロア７９が当
接される。モータ６７の駆動により第２カム７０が矢示
Ｅ方向に回転すると、カム面７８とカムフォロア７９と
の当接によりガイド軸６５がフレーム６２の上下ガイド
部６３に沿って上下動可能とされる。これにより、上下
可動体６４が上下方向［Ｚ方向］に往復移動可能となる
。

第３カム７１は、粘着シート５７の裏面側で第１ｘＹテ
ーブル５２の上方に配設される部品突き上げ装置８０を
駆動可能としている。部品突き上げ装置８０は、固定フ
レーム８１に支持される筒状保持部８２に対し矢示Ｚ方
向に上下動可能とされるニードル８３を備えてなる。す
なわち、ニードル８３は筒状保持部８２に対する上昇移
動により粘着シート５７の裏面を突き上げ可能とし、該
突き上げにより粘着シート５７の表面に被着される部品
５９をシート５７より剥離可能としている。筒状保持部
８２を支持する固定フレーム８１は、ポルト８４により
架台５１に固着される。

ニードル８３の上下動は第３カム７１の回転により行な
われ、該第３カム７１のカム面８５には、カムフォロア
８６カ軒当接可能とされる。このカムフォロア８６はフ
レーム６２に中心部を軸支され、両端部をそれぞれ矢示
Ｇ方向に揺動可能とする第２揺動ロツド８７の一端部に
取着される。第２揺動ロツド８７の他端部には、当接プ
レート８８が設けられ、該当接プレート８８の下面には
ローラ８９が当接されている。このローラ８９は、第３
揺動ロツド９０の一端部に取着され、該第３揺動ロツド
９０は、中心部を固定フレーム８１に配設されるロッド
支持ブラケッ）９１に軸支されてなる。これにより、第
３揺動ロツド９０は両端部をそれぞれ一矢示Ｈ方向に揺
動可能とされる。また第３揺動ロツド９０の他端部側と
固定フレーム８１との間には、引張りスプリング９２が
介装され、ローラ８９を常時当接プレート８８の下面に
当接可能とし゛ている。第３揺動ロッド９０の他端部側
には係合凹部９３が形成される。この係合凹部９３は、
ニードル８３の側部に突出形成される係合ピン９４と係
合される。この結果、第３カム７１が回転されると第２
揺動ロツド８７が矢示Ｇ方向に揺動され、ざらに該揺動
に連動して第３揺動ロツド９０が矢示Ｈ方向に揺動され
ることとなる。第３揺動ロツド９０が矢示Ｈ方向に揺動
されると係合凹部９３と結合ピン９４の係合を介してニ
ードル８３が筒状保持部８２に対して上下方向［矢示Ｚ
方向］に往復動されることとなる。したがって、第３カ
ム７１の回転によりニードル８３を上下動することが可
能となり、該上下動されるニードル８３の上端部により
粘着シート５７の表面に被着される部品５９を該シート
５７から剥離することが可能となる。

第１ＸＹテーブル５２と第２ＸＹテーブル６１の間の架
台５１の−Ｌ方位置には、第３図に示すよｊ　　　う３
′基板搬送体９５が配設される・基板搬送体９５は、所
定間隔をもって矢示Ｊ方向に部品５９の装着されるべき
基板９６を搬送可能としている。搬送される基板９６は
、各々搬送フレーム９７に保持されてなり矢示Ｊ方向に
搬送される基板９６は第１ＸＹ７−プル５２と第２ｘＹ
テーブル６１の間の停留位置９８に停留可能とされ、該
位置で部品５９の装着が行なわれる。

停留される基板９６に対する部品５９の装着はアーム６
６の先端側にそれぞれ配設される装着部９９および塗布
部ｌＯＯにより行なわれる。装着部９９は、アーム６６
の最先端位置に配設され、該装着部９９は、アーム６６
の最先端位置に形成される筒状保持部１０１に対し矢示
Ｚ方向に上下動可能とされる吸着ノズル１０２を備えて
なる。

吸着ノズル１０２は、上下可動体６４の」二下動および
」１下可動体６４に配設される吸着ノズル駆動部１０３
の駆動により、筒状保持部１０１に対して」１下方向［
Ｚ方向］に移動可能とされる。吸着ノズル駆動部１０３
は、モータ１０４の駆動により上下動される可動プレー
１１０５を備える。

モータ１０４はアーム６６の基端部上面に配設されるモ
ータ支持ブラケッｌ−１０６に取着され、該・　　　　
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１９′□ｌ」 ｑ・１ モーター０４は駆動軸１０７に連結されるスクリューシ
ャフトｌＯ８を下方に突出してなる。

モータ支持プラケッ）１０６には、上下方向［Ｚ方向１
に配設されるガイド軸１０９が備えられ、該ガイド軸１
０’　９は、可動プレー）１０５に穿設されるガイド孔
１１０に嵌挿される。さらに可動プレート１０５には、
上記スクリューシャフト１０８と螺合可能なネジ孔１１
１が形成され、該ネジ孔ｌｌｌはスクリューシャフト１
０８のネジ部１１２と螺合される。この結果、上下可動
体６４の上下動に伴ない可動プレート１０５を上下動す
ることが可能となるとともに、モーター０４の駆動によ
りスクリューシャツｌ−１０８が回転されると、ネジ部
１１２とネジ孔１１１との螺合により可動プレー）１０
５を一１―下動することが可能となる。可動プレー１−
１０５の下面にはローラ１１３が当接される。このロー
ラー１３は、アーム６６の−に面に配設される第４揺動
ロツド支持ブラケツ）１１４に軸支される第４揺動ロツ
ド１１５の一端部に取着される。すなわち、第４採２０
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　オー。

動ロッド１１５ば、中心部を第４揺動ロッド支持ブラケ
、ント１１４に軸支させてなり、両端部をそれぞれ矢示
に方向に揺動可能としている。第４揺動口・ンド１１５
の他端部側とアーム６６との間には引張りスプリング１
１６が介装され、ローラ１１３を常時可動プレー）１０
５の下面に当接さ　　　□せるようにしている。第４揺
動ロツド１１５の他端部には、保合四部１１７が形成さ
れ、該係合凹部１１７は、吸着°−ノズル１０２の側部
に突設される係合ピン１１８と係合される。これにより
、モーター０４の駆動により可動プレート１０５が上下
動されると第４揺動ロツド１１５が矢示に方向に揺動さ
れ、吸着ノズル１０２が筒状保持部１０１に対して上下
動されることとなる。

一方、塗布部１００は装着部９９に対するアーム６６の
基端側に配設され、該塗布部１００には　　　１［、−
゛ 下方に突出される塗布ノズル１１９が備えられ　　　［
：１・“ る。塗布ノズル１１９は保持アーム１２０に保持　　　
１・　、′ されてなり、さらに該保持アーム１２０は、」−下　　
　゛−力方向Ｚ方向１に可動可能とされる可動軸１２１
　　　′に支着されてなる。この可動軸１２１は、アー
ム６６に形成されるガイド孔１２２に嵌挿され、該ガイ
ド孔１２２に対し」―下動可能としてなる。一方、アー
ム６６の基端部側には塗布ノズル駆動部１２３が配設さ
れ、該駆動部１２３は上記可動軸１２１を一ヒ下動可能
としている。すなわち、塗布ノズル駆動部１２３は、ア
ーム６６の基端部上面にカム支持ブラケッ）１２４をポ
ルト１２５を介して取着してなり、該カム支持ブラケッ
ト１２４には塗布ノズル駆動用カム１２６が矢示Ｙ方向
に回転可能に支持されてなる。塗布ノズル駆動用カム１
２６のカム面１２７には、カムフォロア１２８が当接さ
れ、該カムフォロア１２８は、第５揺動ロツド１２９の
一端部に取着される。

第５揺動ロツド１２９は、カム支持ブラケット１２４に
支持される第５採動ロツド支持アーム１３０に中心部を
軸支させてなり、該第５揺動、　　　ａｙｆ”２９ｉｆ
ＰＷ！“ｅ　％　ｈ　Ｐ　ｈ　’Ｊ：　ｍゞ”０°″動
可能としてなる。第５揺動ロツド１２９の他端部側とア
ーム６６との間には引張りスプリング１３１が介装され
、これによりカムフォロア１２８を常時塗布ノズル駆動
用カム１２６のカム面１２７に当接させている。第５揺
動ロツド１２９の他端部には係合凹部１３２が形成され
、該係合凹部１３２は可動軸１２１の側部に突設される
係合ピン１３３と係合される。この結果、塗布ノズル駆
動用カム１２６が矢示Ｙ方向に回転されると第５揺動ロ
ツド１２９が矢示Ｎ方向に揺動され、該第５揺動ロツド
１２９の揺動により可動軸１２１が」二下動される。さ
らに可動軸１２１がガイド孔１２２に沿う状態で上下動
されるとこれに伴ない塗布ノズル１１９が」二下方向［
Ｘ方向］に移動されることとなる。

電子部品の装着装置５０による基板９６への部品５９の
装着は先ず第１図に示すようにアーム６６を第１カム６
９の駆動によりフレーム６２に対する進出側移動端に水
平移動させ、装着部９９を部品供給部６０の−に方位置
に、塗布部ｌＯＯを基板９６の−１一方位置にそれぞれ
位置決めするようにする。

部品供給部６０に位置決めされる装着部９９はアーム６
６の水平方向［Ｘ方向］の進出側移動端において吸着ノ
ズル１０２を部品供給位置１３４に位置決め可能として
いる。部品供給位置１３４には、ニードル８３が」二下
方向［Ｘ方向］に駆動可能とされ、これにより、吸着ノ
ズル１０２とニードル８３は上下方向［Ｚ方向］相応位
置される。吸着ノズル１０２が部品供給位置１３４に位
置決めされると第１ＸＹテーブル５２がＸＹ方向に駆動
され、粘着シート５７上に整列される部品５９のうち摘
出すべき部品５９を部品供給位置、　　　１３４に位置
決めさせることが可能となる。この状態でニードル８３
が第３カム７１の回転により上昇駆動され、また吸着ノ
ズル１０２は第２カム７０の回転に伴なう上下可動体６
４の上昇駆動により部品５９に向けて下降される。この
結果、部品供給位置１３４に位置決めされる部品５９が
ニードル８３の」１昇により突き上げられ、粘着シート
５７の表面より剥離されることとなる。部品供給位置１
３４に位置決めされる部品５９に向け下降される吸着ノ
ズル１０２は１部品５９が粘着シート５７の表面より剥
離された状態でさらに部品５９に向は下降される。該吸
着ノズル１０２の下降駆動は、吸着ノズル駆動部１０３
におけるモータ１０４の回転駆動により可能とされる。

吸着ノズル１０３が部品５９に向けて下降されると該吸
着ノズル１０３が吸引作動され、これにより　　　　□
部品供給位置１３４に位置決めされる部品５９が吸着ノ
ズル１０２により吸着し、摘出されることとなる。部品
５９の摘出が完了すると吸着ノズル駆動部１０３のモー
タ１０４の駆動により吸着ノズル１０２は再び］二Ａさ
れる。

一方、塗布部１００は、吸着ノズル１０２が部品供給位
置１３４に位置される状態において塗布ノズル１１９を
停留位置９８に搬送し、位置決めされる基・板９６」−
に位置決め可能としている。すなわち、吸着ノズル１０
２と塗布ノズル１１９は水平方向［Ｘ方向］においてＬ
２だけ離隔される。停留位置９８に位置決めされる基板
９６」；には第３図に示すように２つの部品装着位置１
３５Ａおよび１３５Ｂが存在し、塗布ノズル１１９は、
このうち１つの部品装着位置１３５Ａに上下方向［Ｚ方
向］で相対位置決めされる。部品装着位ｉｌｌ　３５Ａ
に対する塗布ノズル１１９の位置決めは、上記吸着ノズ
ル１０２より部品５９が摘出保持された状態において行
なわれ、第２ＸＹテーブル６１をＸＹ方向に移動し、部
品装着位置１３５Ａに対し塗布ノズル１１９を移動させ
て行なう。この結果、部品装着位置１３５Ａと塗布ノズ
ル１１９が一ト下方向［Ｚ方向］で相対し、この状態で
塗布ノズル１１９を基板９６の部品装着位置１３５Ａに
向は下降移動する。塗布ノズル１１９の下降移動は、塗
布ノズル駆動部１２３の塗布ノズル駆動用カム１２６を
回転することにより行なわれ、該ノズル１１９が下降移
動されると塗布ノズル１１９の先端部より該基板９６の
部品装着位置１３５Ａに向は接着剤が吐出される。こｊ
　　″″り該部８装着位置１３５　Ａ　４ｊ接着剤７゛
塗布されることとなる。部品装着位置１３５Ａに接着剤
が塗布されると塗布ノズル１１９は再び塗布ノズル駆動
用カム１２６の回転によりに弁駆動される。

吸着ノズル１０２により部品５９が吸着保持され、また
塗布ノズル１１９により部品装着位置１３５Ａに接着剤
が塗布されると吸着ノズル１０２は第２カム７０の回転
に伴なう」１下駆動体６４の下降移動により上肩される
。すなわち、−に下回動体６４の下降移動により可動プ
レート１０５が下降ｙれることとなり、これにより、揺
動ロッド１１５が揺動され、吸着ノズル１０２がＬ昇さ
れることとなる。これとともに、アーム６６は、第１カ
ム６９の回転に伴ないフレーム６２に対する退出方向に
水平移動される。この際、揺動ロッド１１５に取着され
るローラ１１３は、可動プレート１０５の下面をＸ方向
に走行する状態で移動される。アーム６６は、第２図に
示すフレーム６２に対する退出側移動端において、装着
部９９を停留位置９８に位置決めされる基板９６の上方
位置に、塗布部ｌＯＯを退避位置１３６にそれぞれ位置
決め可能としている。すなわち、アーム６６の水平方向
［Ｘ方向］での移動ストロークは、前記装着部９９の吸
着ノズル１０２と塗布部ｌＯＯの塗布ノズル１１９の間
の間隔Ｌ２と同様とされる。基板９６の」１方に位置決
めされる装着部９９は、第２ＸＹテーブル６１のＸＹ方
向での微調整駆動により前記接着剤の塗布された部品装
着位置１３５Ａと吸着ノズル１０２を一ヒ下方向［Ｚ方
向］で相対位置決め可能としている。この状態で部品５
９を吸着保持する吸着ノズル１０２は第２カム７０の回
転に伴なう−Ｌ下可動体６４のト眉により部品装着位置
１３５Ａに向けて下降される。下降される吸着ノズル１
０２は、さらに吸着ノズル駆動部１０３のモータ１０４
の駆動により接着剤の塗布される部品装着位置１３５Ａ
に向は下降され、この状態で吸着ノズル１０２の吸引動
作が停止トされ、該吸着ノズル１０２より部品５９が解
放される。解放される部品５９は接着剤を介して部品装
着位置１３５Ａに装着され、部品５９の装着が完了する
と吸着ノ゛゛　　　　ズル１０２−は、吸着ノズル駆動
部１０３のモータ１０４の駆動により再び」１昇される
。

停留位置９８に位置決めされる基板９６のうち１つの部
品装着位置１３５Ａに部品５９が装着されると、装着部
９９および塗布部１００は第１カム６９の回転によるア
ーム６６の水平移動により　　　　゛再び第１図に示す
フレーム６２に対する進出側移動端に位置決めされる。

すなわち、吸着ノズル１０２が部品供給位置１３４に、
塗布ノズル１１９が基板９６の−Ｌ方位置にそれぞれ位
置決めされる状態となる。この状態で第１ＸＹテーブル
５２がＸＹ方向に駆動され、基板９６上におけるもう１
つの部品装着位置１３５Ｂに装着される部品５９が、部
品供給位置１３４に位置決めされる。部品供給位置１３
４に部品５９が位置決めされると吸着ノズル１０２は第
２カム７０の駆動に伴なう一ヒ下可動体６４の一ト昇に
より、下降され、吸着ノズル１０２が部品供給位置１３
４に位置決めされる部品５９に向は下降される。この状
態でニードル８３が第３カム７１の回転により上外部　
　　２、動され、また吸着ノズル１０２は吸着ノズル駆
動　　　□部１０３のモータ１０．４の駆動により、部
品５９に向けてさらに下降駆動され、さらに吸着ノズル
１０２の吸引動作により部品供給位置１３４に位置決め
される部品５９がノズル１０２により吸着し、摘出され
ることとなる。部品５９の摘出が完了すると吸着ノズル
駆動部１０３のモータ１０４の駆動により吸着ノズル１
０２は再び上昇される。

一方、吸着ノズル１０２により部品５９が吸着保持され
ると、基板９６に向けて下降される塗布ノズル１１９と
基板９６上におけるもう一つの部品装着位置１３５Ｂが
上下方向［Ｚ方向］でそれぞれ相対位置決めされる。位
置決めは、第２ＸＹテーブル６１をＸＹ方向に駆動させ
、部品装着位１１３５Ｂに対し塗布ノズル１１９を移動
させて行なう。部品装着位置１３５Ｂと塗布ノズル１１
９が上下に位置決めされると塗布ノズル駆動ｊ　　部１
２３（７）塗布″′１動用″′Ａ　１２６（７）回転′
。

より塗布ノズル１１９が下降移動され、該下降された塗
布ノズル１１９の先端部からは部品装着位置１３−５　
Ｂに向は接着剤が吐出される。これにより、基板９６上
のもう一つの部品装着位置１３５Ｂにも接着剤が塗布可
能となり、接着剤の塗布が完了されると塗布ノズル１１
９は再び塗布ノズル駆動用カム１２６の回転により上昇
駆動される。

吸着ノズル１０２により部品５９が吸着保持され、また
塗布ノズル１−１９により基板９６上のもう一つの部品
装着位置１３５Ｂに接着剤が塗布されると、吸着ノズル
１０２は第２カム７０の回転に伴なうＬ下回動体６４の
下降移動により上昇され、さらに装着部９９および塗布
部１００は第１カム６９の回転によるアーム６６の水平
移動により再び第２図に示すフレーム６２に対する退出
側移動端に位置決めされる。これにより、部品５９を保
持する吸着ノズル１０２が基板９６の一ト方位置に、塗
布ノズル１１９をはじめとする塗布部１００が迫避位置
１３６にそれぞれ位置決めされる状態となる。この状態
で吸着ノズル１０２ともう一つの部品装着位置１３５Ｂ
が一ヒ下方向［Ｚ方向］で相対位置決めされるよう第２
ＸＹテーブル６１がＸＹ方向に駆動され、さらに吸着ノ
ズル１０２は第２カム７０の回転に伴なう上下可動体６
４の上昇移動により該部品装着位置１３５Ｂに向けて下
降されることとなる。下降された吸着ノズル１０２はさ
らに吸着ノズル駆動部１０３におけるモータ１０４の駆
動により、接着剤の塗布される部品装着位置１３５Ｂに
下降され、この状態で吸着ノズル１０２の吸引動作が停
止され、該吸着ノズル１０２より部品５９が解放される
。解放される部品５９は接着剤を介して部品装着位置１
３５Ｂに装着され、この結果、基板９６上の２つの部品
装着位置１３５Ａおよび１３５Ｂにそれ１　１ｇああ５
９カ、ヵゎ。わ、。〜ヶ、。−ゆ、ヶヨ９８に位置決め
される基板９６への部品５９の装、１　　　着が完了さ
れると基板搬送体９５が矢示Ｊ方向に搬送され、次に搬
送される基板９６が停留位置ｌｊ１．Ｉ　　　　９．８
に位置決めされる。この状態で上記アーム＋　　　６６
および第１、第２の各ＸＹテーブル５２．６１の駆動に
より２つの部品装着位置１３５Ａおよび１３５Ｂに順次
部品５９が装着されることとなる。

次に、上記実施例の作用を説明する。

上記実施例に係る電子部品の装着装置５０によれば、第
２ＸＹテーブル６１のＸＹ方向での駆動　　　１により
アーム６６に備えられる吸着ノズル１０２および塗布ノ
ズル１１９を基板９６上の複数また　　　゛は任意の部
品装着位置１３５Ａおよび１３５Ｂに位置決めすること
が可能となる。これにより、該装着位置１３５Ａおよび
１３５Ｂに対する接着剤の塗布および部品５９の装着が
可能となる。すなわち、本装置５０によれば、それぞれ
部品装着位置間の間隔が異なる多種類の基板に対応可能
とさ　　　：れ、例えば第３図に示すように２つの部品
装着位　　　“置間の間隔がＸ方向においてＷｌとＷ２
、Ｙ方向°°８°゛１”１“％ｈ−ｐｈＭ−＋″６　Ｘ
　＆　９６４：　　　、−Ｑｆおいても、第２ＸＹテー
ブル６１の駆動を介して容易に部品５９の装着を行なう
ことが可能とな　　　′る。また、本装置５０によれば
、第１ｘＹテープ　　　・ル５２の駆動により部°品供
給位置１３４に整列される任意の部品５９を摘出して位
置決めすることが可能となり、これにより例えば粘着シ
ート５７］二に整列される部品５９のうち優良な部品５
９のみを摘出して、該部品５９を対応する部品装着位置
に装着することが可能となる。

また、」１記実施例に係る電子部品の装着装置５０によ
れば、装着部９９における吸着ノズル１０２を、吸着ノ
ズル駆動部１０３のモータ１０４の駆動により上下動す
ることが可能となり、また塗布部１００における塗布ノ
ズル１１９も塗布ノズル駆動用カム１２６の回転により
上下動することが可能となる。したがって、モータ１０
４の駆動量およびカム１２６の形状を変更することによ
り、Ｌ下に移動される吸着ノズル１０２および塗布ノズ
ル１１９の基板９６の部品装着位置１３５Ａ、１３５Ｂ
に対する位置設定を上下方向［Ｚ方向］に自由に調整す
ることが可能となり、ｊ　　　さら９°・基板９６に装
着８れる電子部品５９の厚さに応じて吸着ノズル１０２
の下降端を位置調整することが可能となるため、様々な
厚さの電子部品５９の装着および摘出が可能となる。

なお、−に記実“施例に係る電子部品の装着装置５０に
あっては、吸着ノズル１０２をモータ１０４の駆動によ
りアーム６６に対して上下方向［２方向］に駆動させ、
また、塗布ノズル１１９を塗布ノズル駆動用カム１２６
の回転によりアーム６６に対して上下方向［２方向］に
駆動させるようにしているが、吸着ノズル１０２または
塗布ノズル１１９のいずれか一方の１−下動を第２カム
７０の回転に伴なう上下可動体６３の上下動により行な
うこととし、吸着ノズル１０２または塗布ノズル１１９
の一方をアーム６６に対して上下動させるようにしても
よい。

［発明の効果］ 以にのように、本発明の第１は、部品供給部より１個の
電子部品を摘出保持し、該電子部品を基板の部品装着位
置に装着可能とする装着部と、電子部品が装着される基
板の部品装着位置に予め接着剤を塗布可能とする塗布部
を、それぞれ同一のアーム上に備え、装着部を部品供給
部−にに位置決めすると同時に塗布部を基板上に位置決
めし、装着部を基板」−に位置決めすると同時に塗布部
を退避位置に位置決めするように上記アームを往復動可
能としてなる電子部品の装着装置において、アームを基
板ｘＹ方向に駆動可能とし、塗布部または装着部を基板
上の複数の部品装着位置に位置決め可能とするＸＹ駆動
部を備えることとしたため、往復動されるアームにより
基板上の複数または任意の部品装着位置に電子部品を装
着可能とすることができるという効果がある。

また、本発明の第２は、部品供給部より１個の電子部品
を摘出保持し、該電子部品を基板の部品装着位置に装着
可能とする装着部と、電子部品が装着される基板の部品
装着位置に予め接着剤を塗布可能とする塗布部を、それ
ぞれ同一のアーム上に備え、装着部を部品供給部上に位
置決めすると同時に塗布部を基板上に位置決めし、装着
部を基板上に位置決めすると同時に塗布部を退避位置に
位置決めするように上記アームを往復動可能としてなる
電子部品の装着装置において、アームを基板ＸＹ方向に
駆動可能とし、塗布部または装着部を基板上の複数の部
品装着位置に位置決め可能とするＸＹ駆動部を備えると
ともに、装着部を基板の部品装着位置に対しＺ方向に駆
動可能とする装着部駆動部、または塗布部を基板の部品
装着位置に対しＺ方向に駆動可能とする塗布部駆動部を
備えることとしたため、往復動されるアームにより基板
上の複数または任意の部品装着位置に対する装着部また
は塗布部の位置設定を自由に調整することができるとい
う効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明の作動状態に係り、それぞ
れ電子部品の装着装置を示す断面図、第３図は電子部品
の装着装置の概略平面図、第４正面図である。　　　　
　　　　　　　　　　　　　　、＼図は従来の電子部品
の装着装置を示す一部破断の１０．５０・・・電子部品
の装着装置、１１．６２・・・　　　・フレーム、１２
．６６・・・アーム、２９．９９・・・装　　　□溝部
、３０，１００・・・塗布部、３１，１０２・・・吸着
ノズル、３２，１１９・・・塗布ノズル、３３．　　　
□６０・・・部品供給部、３５．９６・・・基板、３７
゜１３４・・・部品供給位置、３８．５９・・・電子部
品、４０．１３５Ａ、１３５Ｂ・・・部品装着位置、４
１．１３６・・・退避位置、５２・・・第１ＸＹテーブ
ル、６１・・・第２ＸＹテーブル、１０３・・・吸着ノ
ズル駆動部、１２３・・・塗布ノズル駆動部。 代理人　　弁理士　　塩　川　修　治 −【す【

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）部品供給部より１個の電子部品を摘出保持し、該
   電子部品を基板の部品装着位置に装着可能とする装着部
   と、電子部品が装着される基板の部品装着位置に予め接
   着剤を塗布可能とする塗布部を、それぞれ同一のアーム
   上に備え、装着部を部品供給部上に位置決めすると同時
   に塗布部を基板上に位置決めし、装着部を基板上に位置
   決めすると同時に塗布部を退避位置に位置決めするよう
   に上記アームを往復動可能としてなる電子部品の装着装
   置において、アームを基板ＸＹ方向に駆動可能とし、塗
   布部または装着部を基板上の複数の部品装着位置に位置
   決め可能とするＸＹ駆動部を備えたことを特徴とする電
   子部品の装着装置。
2. （２）部品供給部より１個の電子部品を摘出保持し、該
   電子部品を基板の部品装着位置に装着可能とする装着部
   と、電子部品が装着される基板の部品装着位置に予め接
   着剤を塗布可能とする塗布部を、それぞれ同一のアーム
   上に備え、装着部を部品供給部Ｌに位置決めすると同時
   に塗布部を基板上に位置決めし、装着部を基板上に位置
   決めすると同時に塗布部を退避位置に位置決めするよう
   に上記アームを往復動可能としてなる電子部品の装着装
   置において、アームを基板ＸＹ方向に駆動可能とし、塗
   布部または装着部を基板上の複数の部品装着位置に位置
   決め可能とするＸＹ駆動部を備えるとともに、装着部を
   基板の部品装着位置に対しＺ方向に駆動可能とする装着
   部駆動部、または塗布部を基板の部品装着位置に対しＺ
   方向に駆動可能とする塗布部駆動部を備えたことを特徴
   とする電子部品の装着装置。