JPS61237214A - 磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば薄膜技術によって製造される磁気ヘ
ッドおよびその製造方法に関する。

背景技術 従来から音響機器分野のたとえば磁気テープ記録再生装
置において、記録ヘッド、再生ヘッドおよび消去ヘッド
などの磁気ヘッドは、個別に配置されている。このとき
再生ヘッドおよび記録へラドは磁気テープに対する相互
の相対位置を確実に定めるためにいわゆるフンビネーシ
タン化されでいる。コンビネーシタン化とは、記録ヘッ
ドと再−生ヘッドとが相互に固定されて、一体的に構成
されることをいう。

このようなコンビネーシタン化は、薄膜技術によって製
造される薄膜磁気ヘッドに適用することが望まれるが、
記録の高密度化に伴ない、記録ヘッド、再生ヘッドおよ
び磁気テープの相互の位置に関する位置決めの精度は、
高精度になっている。

すなわち前記両ヘッド間のアジマス１１％差とトラック
位ＩＮ１％差とは、アナログ方式のコンビネーシａンヘ
ッドにおいては、Ｑ、（ｌ１ｍｓ単位であったのに対し
、デジタル方式のコンビネーシ１ンヘッドにおいては、
０．００１ｍｍ単位の位置決め精度が要求されている。

第２図は先行技術の磁気ヘッドの製造方法を説明する工
程図である。第２図（１）の工程では、基板１の一表面
に蒸着技術、スパッタリング技術およびエツチング技術
などの＊ｍ技術によって形成された薄膜ヘッド素子２が
、マトリクス状に配置される。このような基板１および
＊＊ヘフラド子２からなるブロック３は、各薄膜ヘッド
素子２を個別に切り離すように、仮想線４．５．６．７
．８．９に沿って切断される。

＃２図（２）の工程において、前述したように切断され
で得られる個々のへラドチップ１０の磁気テープ（図示
せず）に臨む置部に、γラスなどから成る保護部材１１
を接着する。次にヘッドチップ１０の基板１に、可撓性
を有する印刷配線基板１２を接着し、複数の導線１３を
圧着接合することによって、薄膜ヘッド素子２と印刷配
線基板１２とを結線する。このようなヘッドチップ１０
お上り保護部材１１を外囲して、シールド部材１４゜１
５が相互に嵌合されて固定される。

第２図（３）の工程において、前述したようなヘッドチ
ップ１０、保護部材１１お上りシールド部材１４．１５
の磁気テープに臨む部分が、機械加工されてヘッドチッ
プ１０、保護部材１１およびシールド部材１４．１５の
磁気テープ摺動面１ａ、１１ｍ、１５ｍが形成される。

このようにして磁気ヘッド１６が構成される。

このような磁気ヘッド１６をたとえば２個用いて、一方
を記録へラド１７、他方を再生ヘッド１Ｂとして構成す
る。さらに第２図（４）に示すよるに、これら２個のヘ
ッド１７．１８をヘッド保持部材１９に嵌入し、この内
部にｔＨｍを注入して固定する。このようにしてコンビ
ネーシδンヘッド２０が構成される。

第３図は第２図（４）の工程におけるコンビネーン覆ン
ヘッド２０の平面図であり、第４図はその右側面図、第
５図はフンビネーシッンヘッド２０の正面図である。第
２図（４）の工程において、記録へラド１７および再生
ヘッド１８を、コンビネーンタンへッＦ２０として構成
するときに行なわれる各種の調整操作を説明する。第３
図を参照して、コンビネーションヘッド２０の軸＃ｉ２
１と垂直な基準Ｍ２２に、記録へラド１７および再生ヘ
ッド１８の先端部（第３図においては下方端部）が、同
時に接触するようにｉｌｌ！！する。このＷ４整は突き
出しＷ４整と称される。

次に＠４図を参照して、記録へラド１７お上り再生ヘッ
ド１８の先端部（第４図においでは下方端部）が、輪線
２１に関して共通に垂直となるようにＩｌｌ！する。す
なわち第４図において、たとえば再生ヘッド１８が記録
へラド１７よりも距離とだけ突出しているとき、この距
離δを零にするように調整する。この調整はアオリａ整
と称される。

第５図を参照して、記録へラド１７および再生へラド１
８の磁気ギャップ層２３の配列方向（仮想直線２４．２
５で示す）が、相互に平行になるように調整する。この
調整は７ｙマス調整と称される。また記録へラド１７お
よび再生ヘッド１８の各磁気ギャップ層２３が、その配
列方向の一方１ｍ（第５図のたとえば上方１１１Ｉ）か
ら、仮想直線２４と垂直な方向にそれぞれ位置するよう
に調整する。

すなわち記録へラド１７をたとえばＢ１方向に、再生ヘ
ッド１８をたとえば８２方向に変位させる調整を行う。

この調整はトラック調整と称される。

このような各種の調整操作において、前述したようにき
わめて高精度の位置決め精度が要求される。

発明が解決しぶちとする問題点 したがって、従来技術によるフンビネーシッンヘッド２
０の製造方法には、下記のような問題点があった。

■記録へラド１７および再生ヘッド１８をコンビネーン
タンヘッド２０に構成するとき、その７ノマスｖＩＲ１
ｉ！およびトラック調整には、きわめて高精度の位置決
め精度が要求される。また調整が行なわれた記録へラド
１７と再生ヘッド１８とを相互に貼り合わせて、コンビ
ネーシ１ンヘッド２０に構成する操作もまたきわめて高
精度が要求される。

■前述した上うな各種調整操作は、製造されたコンピネ
ーシ豊ンヘッド２０ごとに行なわれる必要があり、した
がって作業能率が低い。

■シールド部材１４．１５でヘッドチップ１０を外囲し
た　後に、これをヘッド保持部材１９の中に嵌入してコ
ンビネーシ壺ンヘラド２０が構成されるので、外形寸法
に制約があり小形化が困難であった。

したがって本発明は、上述の間ｍ点を解決し、製造時の
精度をむやみと高める必要がなく、高品質の磁気ヘッド
を製造することができる磁気ヘッドの製造方法を提供す
ることを目的とする。

問題点を解決するための手段 本発明は、基板上に磁気検出素子を有し、予め定められ
る一端部が曲面状に形成された第１の半導体装置と、 ｔＡｌの半導体装置に介在片を介在して固定され、基板
上に磁気記録素子を有し、予め定められる端部が白面状
に形成された第２の半導体装置と、第１と第２の半導体
装置とにそれぞれ接続される印刷配線基板とを含むこと
を特徴とする磁気ヘッドである。

また本発明は、一方向に相互に間隔をあけて配列された
複数の磁気検出素子を有する基板と、一方向に相互に間
隔をあけて配列されｒ−複数の磁気記録素子を有する基
板とを準備し、 これらの基板を、基板相互間に前記配列方向１沿って延
びる介在片を介在して一体的に固定し、それぞれ対をな
す磁気検出素子と磁気記録素子とを、前記配列方向と交
差する方向に、各対相互を切断することを特徴とする磁
気ヘッドの製造方法である。

作　　用 一方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁気検出
素子を有する複数の基板と、一方向に相互に間隔をあけ
て配列された複数の磁気記録素子を有する基板とを準備
する。これらの複数の基板を、基板相互間に前記配列方
向に沿って延びる介在片を介在して、一体的に固定する
。このように固定された基板において、前記配列方向と
交差する方向に、磁気検出素子と磁気記録素子とから成
る複数の対相互間を切断する。したがって各磁気検出素
子と磁気記録素子との相対的位置に関連する調整は、前
述した複数の基板を一体的に固定する際に行なえばよい
ので、作業工程が簡略化されるとともに、磁気ヘッドの
品質を向上できる。

実施例 第１図は本発明の一実施例の工程図である。第１図を参
照して、本実施例の磁気へフＶの製造方法を説明する。

第１図（１）の工程では、たとえばセフミクスなどから
成る基板３１上に蒸着技術、スパッタリング技術および
エツチング技術などの薄膜技術によって、磁気検出素子
および磁気記録素子を構成する薄膜へラド素子３２を形
成し、マＦリクス状に配列する。この基板３１を、一方
向の配列方向に沿う仮想直線３３，３４．３５に沿って
切断する。このようにしてＷ！罠ヘッド素子３２が、た
とえば４＠形成されたブロック３６が得ら技る。

薄膜ヘッド素子３２の基本的構成は、たとえばパーマロ
イなどから成り相互に対向する磁極層間に、電気絶縁物
によって被覆されたコイルが配置される。この磁極層間
に、磁気ギャップを形成する。薄膜ヘッド素子３２は、
この磁気ギャップを介して、情報の記録・再生を行なう
。

第１図（２）の工程では、第１図（１）の工程において
得られたブロック３６の磁気テープ（図示せず）に臨む
端部３６ａに、たとえば結晶化プラスなど内部に気泡を
有しないガラス材料から成る保護部材３７を接着する。

この保護部材３７が接着された端部３６ａｆ）機械加工
を行ない、磁気テープ摺動面３８．３９を曲面状に形成
する。

第１図（３）の工程において、Ｐ１４１図（２）までの
工程で得られた複数のブロック３６の一方を第２の半導
体装置である記録ヘッド用基板４０とし、他方を第１の
半導体装置である再生ヘッド用基板４１とする。これら
の記録ヘッド用基板４０と再生ヘッド用基板４１とには
、後述されるような位ｌｌ！調整操作が行なわれ、次に
たとえば７エライトまたはパーマロイなどから成る介在
片であるシールド板４２を介して、相互に貼り合わされ
る。

このとき、記録ヘッド用基板４０お上り再生ヘッド用基
板４１のシールド板４２に臨む面４０ｍ、４１楓、シー
ルド板４２の記録ヘッド用基板４０お上り再生ヘッド用
基板４１に臨む面４２ａ、４２ｂ。

記録ヘッド用基板４０のｍ＊ヘッド素子３２が形成され
る面４０ｂならびに再生ヘッド用基板４１の同様の面４
１ｂの合計６面は、精密ラップ加工される。これらの６
面の平面度は、Ｏ，ＯＯＩｍ一単位とされる。

したがって第１図（３）の工程における７ノマスｌｊＩ
整を、前述の６面相互の平行移動によって行なっても、
その誤差はこれら６平面の平面度に従い、前述した０、
００１ｍ一単位の位置決め精度の許容誤差範囲に入る。

すなわちアノマスａＳを省略することができる。

したがって高精度の位置ｉｌ！整を行なわなければなら
ないのは、第３図を参照して説明したトラック位置調整
のみである。このトラック調整を行なうには、記録ヘッ
ド用基板４０、再生ヘッド用基板４１お上りシールド板
４２を、矢符Ａｌ、Ａ２方向に移動することによって行
なわれる。このような平行移動においても、前述した７
ノマス誤差は、やはり許容誤差範囲に入っている。した
がってトラック位ａ’ｐｑを、容易に行なうことができ
る。

第１図（４）の工程では、第１図（３）の工程で得られ
た記録ヘッド用基板４０などを、各薄膜ヘッド素子３２
を個別に分断するように仮想線４３゜４４．４５で切断
する。このようにしてコンビネーンＢンヘッドチップ４
６が得られる。これらの記録ヘッド用基板４０お上り再
生ヘッド用基板４１に、可撓性を有する印刷配線基板４
７．４８を接着する。この印刷配線基板４７．４８と薄
膜ヘッド素子３２とを、ワイヤ３９を圧着接合すること
によって結線する。

第１図（５）の工程において、ｓｉ図（４）で得られた
コンビネーシａンヘッドチップ４６を、たとえばパーマ
ロイなどの材料から成るシールド部材５０の中に嵌入し
、樹脂などを注入して固定する。

このようにしてコンビネーションへラド５１を得ること
かで軽ろ。

このような製造方法によれば、第２図を参照して説明し
た先行技術の磁気ヘッドの製造方法において、第２図（
２）で示されるシールド部材１４゜１５を除（ことがで
きたので、コンビネーションへラド５１の外形寸法を、
小さくすることができた。

したがって磁気ヘッドを製造する工程を、簡略化するこ
とができ、生産効率を格段に向上できる。

また製造された磁気ヘッドの外形寸法を小形化でき、品
質を向上できる。

上述の実施例では、磁気テープ記録再生装置に用いられ
る磁気ヘッドに関して説明したが、本発明は磁気を用い
て情報の記録・再生を行なう各種の装置に関して広〈実
施されることができる。

効　　果 以上のように本発明に従えば、一方向に相互に間隔をあ
けて配列された複数の磁気検出素子を有する基板と、一
方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁気記録素
子を有する基板とを準備し、これらの基板を、基板相互
間に前期配列方向に沿って延びる介在片を介在して一体
的に固定し、それぞれ対をなす磁気検出記録素子とを、
前期配列方向と交差する方向に、各対相互を切断するよ
うにした。したがって！！遺される磁気ヘッドの位置調
整に関する精度を減少することができた。また複数の基
板を、介在片を介在して一体的に固定する工程でこの位
置調整を行なえば、個々の磁気ヘッドの位Ｗ１１１整は
省略されることができる。したがって製造工程を大幅に
簡略化することができると共に、製造さ・れる磁気ヘッ
ドの品質を格段に向上することができた。

【図面の簡単な説明】 第１図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法を説
明する工程図、！＃２図は先行技術の磁気ヘッドの製造
方法を説明する工程図、第３図は先行技術において９１
造されたコンビネーションヘッド２０の乎面図、第４図
は第３図のコンビネーションヘツド２０の右側面図、第
５図は第３図のコンビネーションヘッド２０の正面図で
ある。 ３１・・・基板、３２・・・薄膜ヘッド素子、３７・・
・保護部材、４０・・・記録ヘッド用基板、４１・・・
再生ヘッド用基板、４２・・・シールド板、４７．４８
・・・印刷配線基板、５１・・・コンビネーンａンヘフ
ド代理人　　弁理士　画数　圭一部 第１図 第１図 第２図 第３図　　　　　　第４図 第５図 手続補正書 昭和６０年　５月２８日 特願昭６０−７９０２５ ２、発明の名称 磁気ヘッドおよびその製造方法 ３、補正をする者 事件との関係　　出願人 住所　大阪市阿倍野区長池町２２番２２号名称　（５０
４）シャープ株式会社 代表者　佐　伯　　旭 ４、代理人 住　所　大阪市西区西本町１丁目１３番３８号　新興産
ビル国装置ＥＸ　　０５２５−５９８５　　ＩＮＴＡＰ
Ｔ　　Ｊ国際ＦＡＸ　ＧＩｌＩ＆ＧＩＩ　（０６）５３
８−０２４７電話（０６）５３８−０２６３（代表）、
′− ６、補正の対象 明細書全文および図面 ７、補正の内容 （１）明細書全文を別紙のとおりに訂正する。 （２）図面の第５図を別紙のとおりに訂正する。 以　　上 明　　　　細　　　　書 １、発明の名称 磁気ヘッドおよびその製造方法 ２、特許請求の範囲 （１）基板上に磁気検出素子を有し、予め定められる一
端部が曲面状に形成された第１磁気ヘツド装置と、 第１磁気ヘツド装置に介在片を介在して固定され、基板
上に磁気記録素子を有し、予め定められる端部が曲面状
に形成された第２磁気ヘツド装置と、 第１と第２の磁気ヘッド装置とにそれぞれ接続される印
刷配線基板とを含むことを特徴とする磁気ヘッド。 （２）一方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁
気検出素子を有する第１ブロツクと、一方向に相互に間
隔をあけて配列された複数の磁気記録素子を有する第２
ブロツクとを準備し、これらの第１ブロツクおよび第２
ブロツクを、各ブロック相互間に前記配列方向に沿って
延びる介在片を介在して一体的に固定し、 それぞれ対をなす磁気検出素子と磁気記録素子とを、前
記配列方向と交差する方向に、各対相互を切断すること
を４Ｇ徴とする磁気ヘッドの製造方法。 ３、発明の詳細な説明 産業上の利用分野 本発明は、記録ヘッドと再生ヘッドとをフンビネーシ１
ン化した磁気ヘッドおよびその製造方法に関する。 背景技術 従来から音響機器分計のたとえば磁気テープ記録再生装
置においで、記録ヘッド、再生ヘッドおよび消去ヘッド
などの磁気ヘッドは、個別に配置されている。このとき
再生ヘッドおよび記録ヘッドは、磁気テープに対する相
互の相対位置を確実に定めるために、いわゆるコンビネ
ーシＢン化されている。コンビネーシａン化とは、記録
ヘッドと再生ヘッドとが相互に固定されて、一体的に構
成されることをいう。 このようなコンビネーシａン化は、薄膜技術によって製
造される薄膜磁気ヘッドにも適用することが望まれるが
、記録の高密度化に伴ない、記録ヘッド、再生ヘッドお
よび磁気テープの相互の位置に関する位置決めの精度は
、高精度になっている。すなわち前記両ヘッド間の７ノ
マス誤差とトラック位置誤差とは、アナログ方式のコン
ビネーシタンヘッドにおいては、０．０１層一単位であ
りなのに対し、デジタル方式のコンビネーションヘッド
においては、Ｏ，００１ｍ曽単位の位置決め精度が要求
されている。 第２図は先行技術の磁気ヘッドのＩｔ造方法を説明する
工程図である。第２図（１）の工程では、基板１の一表
面に蒸着技術、スパッタリング技術およびエツチング技
術などの薄膜技術によって形成された薄膜ヘッド素子２
が、マトリクス状に配置される。このような基板１およ
び薄膜ヘッド素子２からなるブロック３は、各薄膜ヘッ
ド索子２を個別に切り離すように、仮想線４．５．６．
７．８．９に沿って切断される。 第２図（２）の工程において、前述したように切断され
て得られる個々のへラドチップ１０が磁気テープ（図示
せず）に臨む端部に、ガラスなどから成る保護部材１１
を接着する０次にヘッドチップ１０の基板１に、可撓性
を有する印刷配線基板１２を接着し、複数の導線１３を
圧着接合することによって、薄膜ヘッド素子２と印刷配
線基板１２とを結線する。このようなヘッドチップ１０
お上り保護部材１１を外囲して、シールド部材１４゜１
５が相互に嵌合されて固定される。　　゛第２図（３）
の工程において、前述したようなヘッドチップ１０、保
護部材１１お上りシールド部材１４．１５の磁気テープ
に臨む部分が、機械加工されてヘッドチップ１０、保１
１部材１１お上りシールド部材１４．１５の磁気テープ
摺動面１ａ、１１ｍ、１５ａが形成される。このように
して磁気ヘッド１６が構成される。 磁気ヘッド１６は、薄膜ヘッド素子２の構造が、記録ヘ
ッド用の構造を有するものと再生ヘッド用の構造を有す
るものとに大別でき、前者を記録ヘッド１７、後者を再
生ヘッド１８と称するが、第２図（１）〜（３）に示し
た組立構造は、同様に構成されるものである。これら２
個のヘッド１７．１８を、第２図（４）に示すように、
ヘッド保持部材１９に嵌入し、この内部に樹脂を注入し
て固定する。 このようにしてコンビネーションヘッド２０が構成され
る。 第３図は第２図（４）の工程におけるコンビネーション
ヘッド２０の平面図であり、第４図はその右側面図、第
５図はコンビネーションヘッド２０の正面図である。第
２図（４）の工程において、記録へラド１７および再生
ヘッド１８を、コンビネーションヘッド２０として構成
するときに行なわれる各種の調整操作を説明する。第３
図を参照して、コンビネーションヘッド２０の軸線２１
と垂直な基準線２２に、記録へラド１７お上り再生ヘッ
ド１８の先端部（第３図においては下方端部）が、同時
に接触するように調整する。この調整は突き出し調整と
称される。 次に第４図を参照しで、記録へラド１７お上り再生ヘッ
ド１８の先端部（第４図においては下方端部）が、軸線
２１に関して共通に垂直となるように調整する。すなわ
ち第４図において、たとえば再生ヘッド１８が記録へラ
ド１７よりも距離δだけ突出しているとト、この距離δ
を零にするように調整する。この調整はアオリ調整と称
される。 第５図を参照して、記録ヘッド１７および再生ヘッド１
８の磁気ギャップ層２３の配列方向（仮想直線２４．２
５で示す）が、相互に平行になるように調整する。この
調整は７ノマス調整と称される。また、記録へラド１７
と再生ヘッド１８とには、薄膜ヘッド素子２によって、
それぞれ電磁変換ギャップ層２３ａ、２３ｂが形成され
ている。 電磁変換ギャップ層２３ａには、記録トラック５０（１
）、５０（２）、〜、５０（ｎ）までのｎ個の記録トラ
ックが、同様に電磁変換ギャップ層２３ｂには再生トラ
ック５１（１）、５１（２）、〜、５１　（ｎ）までの
ｎ個の再生トラックが配設されている。ここで、たとえ
ば１番目の記録トラック５０（１）の図心と再生トラッ
ク５１（１）の図心とを結ぶ仮想直線５２が、仮想直Ｍ
２４または仮想直線２５に対し垂直となるように、記録
へラド１７と再生ヘッド１８との相互位置を調整する。 すなわち記録へラド１７をたとえばＢ１方向に、再生ヘ
ッド１８をたとえばＢ２方向に変位させる調整を行う。 この調整はトラック調整と称される。このような各種の
調整操作において、前述したようにきわめて高精度の位
置決め精度が要求される。 発明が解決しようとする問題点 したがって、従来技術によるコンビネーションヘッド２
０の製造方法には、下記のような問題点があった。 ■記録へラド１７および再生ヘッド１８をフンビネーシ
」ンヘラド２０に構成するとき、その７ノマスａＳお上
りトラック調整には、きわめて高精度の位置決め精度が
要求される。また調整が行なわれた記録ヘッド１７と再
生ヘッド１８とを相互に貼り合わせて、コンビネーショ
ンヘッド２０に構成する操作もまたきわめて高精度が要
求される。 ■前述したような各種調整操作は、製造されたコンビネ
ーションヘッド２０ごとに行なわれる必要があり、した
がって作業能率が低い。 ■シールド部材１４．１５でヘッドチップ１０を外囲し
たの後に、これをヘッド保持部材１９の中に嵌入してコ
ンビネーションヘッド２０が構ｔされるので、外形寸法
に制約があり小形化が困難であった。 したがって本発明の目的は、上述の問題点を解決し、製
造時の精度をむやみと高める必要がなく、高品質で外形
寸法が減少された磁気ヘッドを９１造することができる
とともに、製造時における各種調整操作を複数個のコン
ビネーションヘッドにおいて、同時に行なうことができ
る磁気ヘッドおよびその製造方法を提供することである
。 問題点を解決するための手段 本発明は、半導体装置等の製造技術を使用して、正確に
位置合わせをすることによって、一方向に相互に間隔を
あけて配列された複数の磁気検出素子を有する第１ブロ
ツクと、一方向に相互に間隔をあげて配列された複数の
磁気記録素子を有する第２ブロツクとを準備し、 これらの第１および第２ブロツクを、相互間に前記配列
方向に沿って延びる介在片を介在して正確な位置合わせ
を行なった後、一体的に固定し、それぞれ対をなす磁気
検出素子と磁気記録素子とを、前記配列方向と交差する
方向に、各対相互をａ断することを特徴とする磁気ヘッ
ドの製造方法である。 作　　用 一方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁気検出
素子を有する第１ブロツクと、前記一方向と同方向の一
方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁気記録素
子を有する第２ブロツクとを準備する。これらの第１と
第２のブロックを、各ブロック相互間に前記配列方向に
沿って延びる介在片を介在して、正確に位置調整して、
接着剤により一体的に固定する。このように固定された
各ブロックにおいて、前記配列方向と交差する方向に、
磁気検出素子と磁気記録素子とから成る対相互間を切断
する。したがって各磁気検出素子と磁気記録素子との相
対的位置に関連する調整は、前述した第１と第２のブロ
ックを一体的に固定する際に同時に行なわれるので、作
業工程が簡略化されるとともに、磁気ヘッドの品質を向
上できる。 実施例 第１図は本発明の一実施例の工程図である。第１図を参
照して、本実施例の磁気へツＹ′の製造方法を説明する
。第１図（１）の工程では、たとえばセラミクスなどか
ら成る基板３１上に蒸着技術、スパッタリング技術およ
びエツチング技術などの半導体装置を製造する際の薄膜
技術によって、薄膜ヘッド素子３２を形成し、同時に正
確な位置合せをしてマトリクス状に配列する。この基板
３１を、一方向の配列方向に沿う仮想直線３３．３４゜
３５に沿って切断する。このよろにして薄膜ヘッド素子
３２が、たとえば４個形成されたブロック３６が得られ
る。 薄膜ヘッド素子３２の基本的構成は、たとえばパーマロ
イなどから成り相互に対向する磁極層間に、電気絶縁物
によって被覆されたコイルを配置し、この磁極層間に電
磁変換ギャップを形成し、この電磁変換ギャップを介し
て情報の記録を行なう磁気記録素子と、同様にパーマロ
イなどから成り相互に対向する磁極層間に、電気絶縁物
によって被覆された磁気抵抗効果素子を配置し、この磁
極層間に電磁変換ギャップを形成し、この電磁変換ギャ
ップを介して情報の再生を行なう磁気検出素子とに大別
することができる。ここで１枚の基板３１上には、磁気
記録素子と磁気検出素子が混在することのないように、
同一種類の薄膜ヘッド素子を形成する。したがって、ブ
ロック３６には記録ヘッド用ブロック４０と再生ヘッド
用ブロック４１の２種類のブロックがある。磁気検出素
子および磁気記録素子の詳細な構成は、本発明に直接関
係がないので上記の説明に留め、詳細は省略する。 第１図（２）の工程では、第１図（１）の工程において
得られたブロック３６の磁気テープ（図示せず）に臨む
端部３６ａに、たとえば結晶化プラスなど内部に気泡を
有しないガラス材料から成る保護部材３７を接着する。 この保護部材３７が接着された端部３６ａの機械加工を
行ない、磁気テープ摺動面３８，３９を曲面状に形成す
る。 第１図（３）の工程において、第１図（２）までの工程
で得られた記録ヘッド用ブロック４０と再生ヘッド用ブ
ロック４１とは、次に説明するような位置調整操作が行
なわれる。 このとき、記録ヘッド用ブロック４０お上り再生ヘッド
用ブロック４１のシールド板４２に臨む面４０ａ、４１
ｍ、シールド板４２の記録ヘッド用ブロック４０お上り
再生ヘッド用ブロック４１に臨む面４２ａ、４２ｂ、記
録ヘッド用ブロック４０の薄膜ヘッド素子３２が形成さ
れる面４０ｂならびに再生ヘッド用ブロック４１の同様
の面４１ｂの合計６面は、精密ラップ加工される。これ
らの６面の平面度は、０．００１曽一単位とされる。 したがって第１図（３）の工程におけるアジマス調整を
、前述の６面相互の平行移動によって行なっても、その
誤差はこれら６平面の平面度に従い、前述した０、ＧＯ
ｌｍ一単位の位置決め精度の許容誤差範囲に入る。すな
わち７ノマス調整を省略することができる。 したがって商精度の位置調整を行なわなければならない
のは、第５図を参照して説明したトラック位置調整のみ
である。このトラック調整を行なうには、記録ヘッド用
ブロック４０、再生ヘッド用ブロック４１お上りシール
ド板４２を、矢符Ａ１、Ａ２方向に移動することによっ
て行なわれる。 このような平行移動においても、前述したアノマス誤差
は、やはり許容誤差範囲に入っている。したがってトラ
ック位置調整を、容易に行なうことができる。なお前記
調整を行なう前に記録ヘッド用ブロック４０．再生ヘッ
ド用ブロック４１およびシールド板４２の各間に接着剤
が塗布され、調整後接着剤を硬化して相互に貼り合せ固
定する。 第１図（４）の工程では、第１図（３）の工程で得られ
た記録ヘッド用ブロック４０再生ヘツド用ブロツク４１
、シールド板４２などを、各薄膜ヘッド素子３２を個別
に分断するように仮想線４３゜４４．４５で切断する。 このようにしてコンビネーシ１ンヘッドチップ４６が得
られる。これらの記録ヘッド用ブロック４０お上り再生
ヘッド用ブロック４１に、可撓性を有する印刷配線基板
４７゜４８を接着する。この印刷配線基板４７．４８と
薄膜ヘッド素子３２とを、ワイヤ３９を圧着接合するこ
とによって結線する。 ｔＪ＆１図（５）の工程において、第１図（４）で得ら
れたコンビネーシ１ンヘッドチップ４６を、たとえばパ
ーマロイなどの材料から成るシールド部材５０の中に嵌
入し、樹脂などを注入して固定する。 このようにしてコンビネーシ」ンヘラド５１を得ること
ができる。 このような製造方法によれば、第２図を参照して説明し
た先行技術の磁気ヘッドの製造方法においで、第２図（
２）で示されるシールド部材１４゜１５を除（ことがで
きたので、コンビネーシＢンヘッド５１の外形寸法を、
小さくすることができた。 したがって磁気ヘッドを製造する工程を、簡略化するこ
とができ、生産効率を格段に向上できる。 また製造された磁気ヘッドの外形寸法を小形化でき、品
質を向上できる。 上述の実施例では、磁気テープ記録再生装置に用いられ
る磁気ヘッドに関して説明したが、本発明は磁気を用い
て情報の記録・再生を行なう各種の装置に関して広〈実
施されることができる。 効　　果 以上のように本発明に従えば、一方向に相互に間隔をあ
けて配列された複数の磁気検出素子を有する基板と、一
方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁気記録素
子を有する基板とを準備し、これらの基板を、基板相互
間に前記配列方向に沿って延びる介在片を介在して一体
的に固定し、それぞれ対をなす磁気検出素子と磁気記録
素子とを、前記配列方向と交差する方向に、各対相互を
切断するようにした。したがって二つの基板を、介在片
を介在して一体的に固定する工程でこの位置調整を行な
えば、複数組の磁気検出素子と磁気記録素子の位置調整
が同時に行なわれ、個々の磁気ヘッドの位置ｌｌ整は省
略することができる。したがって製造工程を大幅に簡略
化することができると共に、製造される。磁気ヘッドの
品質を格段に向上することができた。 ４、図面の簡単な説明 第１図は本発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方法を説
明する工程図、第２図は先行技術の磁気ヘッドの製造方
法を説明する工程図、第３図は先行技術において製造さ
れたコンビネーシａンへラド２０の平面図、第４図は第
３図のコンビネーシ磨ンヘッド２０の右側面図、第５図
は第３図のフンビネーシ１ンヘッド２０の正面図である
。 ３１・・・基板、３２・・・薄膜ヘッド素子、３７・・
・保１１部材、４０・・・記録ヘッド用ブロック、４１
・・・再生ヘッド用ブロック、４２・・・シールド板、
４７゜４８・・・印刷配線基板、５１・・・コンビネー
シ房ンへ７ド

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に磁気検出素子を有し、予め定められる一
   端部が曲面状に形成された第１の半導体装置と、 第１の半導体装置に介在片を介在しで固定され、基板上
   に磁気記録素子を有し、予め定められる端部が曲面状に
   形成された第２の半導体装置と、第１と第２の半導体装
   置とにそれぞれ接続される印刷配線基板とを含むことを
   特徴とする磁気ヘッド。
2. （２）一方向に相互に間隔をあけて配列された複数の磁
   気検出素子を有する基板と、一方向に相互に間隔をあけ
   て配列された複数の磁気記録素子を有する基板とを準備
   し、 これらの基板を、基板相互間に前記配列方向に沿って延
   びる介在片を介在して一体的に固定し、それぞれ対をな
   す磁気検出素子と磁気記録素子とを、前記配列方向と交
   差する方向に、各対相互を切断することを特徴とする磁
   気ヘッドの製造方法。