JPH07326019A - 複合型磁気ヘッド及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 少なくとも１以上の磁気ヘッド素子を有して
なる複数の磁気ヘッド部を接合一体化する複合型磁気ヘ
ッド及びその製造方法において、各磁気ヘッド部を接合
一体化する際のトラック調整精度を１μｍ以下とする。 【構成】 各磁気ヘッド部にそれぞれ略同形状を有する
３以上の位置合わせ用マーカーを略等間隔に配する。そ
して、３以上の基準マーカーがこれら位置合わせ用マー
カーの間隔と異なる間隔で視野内に形成された顕微鏡
で、各磁気ヘッド部の位置合わせ用マーカーを観察し
て、各磁気ヘッド部を位置合わせをしながら接合一体化
する。なお、前記基準マーカーは非平行な一対の基準ラ
インから構成し、この一対の基準ラインで前記位置合わ
せ用マーカーを挟むようにして観察することが好まし
い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、複数の磁気ヘッド部が
接合一体化された複合型磁気ヘッド及びその製造方法に
関し、特に接合一体化する際の位置決め調整に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、いわゆる、デジタルコンパクトカ
セットレコーダー（ＤＣＣ）、固定ヘッド型デジタルオ
ーディオテープレコーダー（Ｓ／ＤＡＴ）、及びデータ
ストレージ等のデジタル記録再生装置には、薄膜技術に
よって製造された再生用薄膜磁気ヘッド部と記録用薄膜
磁気ヘッド部を接合一体化した複合型磁気ヘッドが用い
られている。なお、再生用薄膜磁気ヘッド部には、より
記録密度を向上させるために、磁気誘導型ヘッドに比べ
て出力が高く、磁気媒体との相対速度に依存しない磁気
抵抗効果型ヘッド（以下、ＭＲヘッドという。）が用い
られることが多い。

【０００３】上記のような複合型磁気ヘッドにおいて
は、各磁気ヘッド部を接合一体化する際に、ギャップ間
の距離や平行度、各トラックの位置等を高精度に位置決
め調整する必要がある。

【０００４】以下、従来の複合型磁気ヘッドの構造につ
いて、図１３に示すような、磁気ヘッド素子３４として
再生用薄膜磁気ヘッドが形成されて成る再生用磁気ヘッ
ド部３２と、磁気ヘッド素子４４として記録用薄膜磁気
ヘッドが形成されて成る記録用磁気ヘッド部４２を接合
一体化した複合型磁気ヘッド３１を例にして説明する。

【０００５】上記再生用磁気ヘッド部３２は、図１４に
示すように、基板３３と、基板３３上に薄膜工程によっ
て形成された再生用磁気ヘッド素子３４と、再生用磁気
ヘッド素子３４を保護するために接着剤等により前記再
生用磁気ヘッド素子３４上に貼り合わされた保護基板３
５により構成される。前記再生用磁気ヘッド素子３４
は、磁気記録媒体からの情報を取り出すために、トラッ
ク位置に対応する所定の位置に、磁気コア（ＭＲヘッド
の場合は磁気抵抗効果素子）や磁気ギャップ等が形成さ
れて成る。なお、通常、この種の磁気記録再生方式では
記録トラックが複数トラックとされるため、再生用磁気
ヘッド素子３４は磁気記録媒体摺動方向に対して直交す
る方向（トラック幅方向）に並ぶように複数形成され
る。そして、この再生用磁気ヘッド素子３４からは印刷
配線板３７が導出され、再生された情報は、この印刷配
線板３７により外部装置に伝えられる。なお、磁気記録
媒体が摺動する磁気記録媒体摺動面３８は、摺動が安定
なものとなるように精密に表面が加工される。

【０００６】一方、上記記録用磁気ヘッド部４２も、上
記再生用磁気ヘッド部３２と同様に、図１５に示すよう
に、基板４３と、基板４３上に薄膜工程によって形成さ
れた記録用磁気ヘッド素子４４と、記録用磁気ヘッド素
子４４を保護するために接着剤等により前記記録用磁気
ヘッド素子４４上に貼り合わされた保護基板４５により
構成される。前記記録用磁気ヘッド素子４４は、磁気記
録媒体に情報を記録するために、トラック位置に対応す
る所定の位置に、磁気コアや磁気ギャップ等が形成され
て成る。なお、通常、この種の磁気記録再生方式では記
録トラックが複数トラックとされるため、記録用磁気ヘ
ッド素子４４は磁気記録媒体摺動方向に対して直交する
方向（トラック幅方向）に並ぶように複数形成される。
そして、この記録用磁気ヘッド素子４４からは印刷配線
板４７が導出され、記録すべき情報が外部装置から記録
用磁気ヘッド素子４４へ、この印刷配線板４７により伝
えられる。なお、磁気記録媒体が摺動する磁気記録媒体
摺動面４８は、摺動が安定なものとなるように精密に表
面が加工される。

【０００７】そして、これら再生用磁気ヘッド部３２と
記録用磁気ヘッド部４２が、図１３に示すように、各磁
気ヘッド部３２，４２の基板３３，４３同士が突き合わ
された形で接着剤等により接合一体化されて、複合型磁
気ヘッド３１が構成される。なお、所望する磁気記録再
生装置によっては、各磁気ヘッド部３２，４２の保護基
板３５，４５同士が突き合わされた形で接合一体化して
もよい。

【０００８】上記のような複合型磁気ヘッド３１におい
ては、各磁気ヘッド部３２，４２を接合一体化する際
に、位置決め調整として、以下に示すような、アオリ調
整、チルト調整、アジマス調整、トラック調整が成され
る。

【０００９】（１）アオリ調整とは、図１６に示すよう
な、再生用磁気ヘッド部３２に設けられた磁気記録媒体
摺動面３８と、記録用磁気ヘッド部４２に設けられた磁
気記録媒体摺動面４８のずれを、軸線Ｌ１に対して共に
垂直となるように調整することをいう。そして、このア
オリ調整は、図１７に示すように、各磁気ヘッド部の各
磁気記録媒体摺動面３８，４８が上面基準板５０に当接
するように、図中矢印Ｐ３で示すように圧力を加えるこ
とにより調整する。

【００１０】（２）チルト調整とは、図１８に示すよう
な、再生用磁気ヘッド部３２の磁気ギャップの奥行き方
向の仮想直線Ｌ２と、記録用磁気ヘッド部４２の磁気ギ
ャップの奥行き方向の仮想直線Ｌ３のずれを、相互に平
行となるように調整することをいう。そして、このチル
ト調整は、通常は各磁気ヘッド部の基板の厚み精度、保
護基板の厚み精度、及びＲトップ（Ｒトップとは、図１
９に示すような、磁気ギャップの奥行き方向に対して垂
直な基準線Ｌ４と磁気記録媒体摺動曲面Ｓとの接点Ｒ１
のこと。）と磁気ギャップ位置の精度が十分に得られて
いるので、図２０に示すように、一方の磁気ヘッド部４
２の側面を側面基準板５１に当接させ、他方の磁気ヘッ
ド部３２の側面に、図中矢印Ｐ４で示すように圧力を加
えることにより調節する。

【００１１】（３）アジマス調整とは、図２１に示すよ
うな、再生用磁気ヘッド部３２に設けられた再生用磁気
ヘッド素子３４の配列方向の仮想直線Ｌ５と、記録用磁
気ヘッド部４２に設けられた記録用磁気ヘッド素子４４
の配列方向の仮想直線Ｌ６のずれを、相互に平行となる
ように調整することをいう。そして、このアジマス調整
は、通常は各磁気ヘッド部の基板及び保護基板の厚み精
度が十分に得られているので、チルト調整と同様に、図
２０に示すように、一方の磁気ヘッド部４２の側面を側
面基準板５１に当接させ、他方の磁気ヘッド部３２の側
面に、図中矢印Ｐ４で示すように圧力を加えることによ
り調節する。

【００１２】（４）トラック調整とは、図２２に示すよ
うな、再生用磁気ヘッド部３２の磁気ヘッド素子３４
と、これに対応する記録用磁気ヘッド部４２の磁気ヘッ
ド素子４４の位置のずれを、再生用磁気ヘッド部３２の
磁気ヘッド素子３４と、これに対応する記録用磁気ヘッ
ド部４２の磁気ヘッド素子４４を結ぶ仮想直線Ｌ７が、
再生用磁気ヘッド素子３４の配列方向の仮想直線Ｌ５及
び記録用磁気ヘッド素子４４の配列方向の仮想直線Ｌ６
に対して、垂直になるように調整することをいう。そし
て、このトラック調整は、上記アオリ調整、チルト調
整、アジマス調整を終えた後に、後述するような方法で
行われる。

【００１３】なお、最近では、特開平５−２５０６４０
号公報に記載されているように、アオリ調整、チルト調
整、アジマス調整を、オプティカルフラットを用いて光
の干渉縞を発生させ、これによってずれを測定しながら
調整する方法も考案されている。

【００１４】ところで、近年、高記録密度化の要求の高
まりに伴い、記録波長の短波長化が進むとともに、記録
線密度が高まり、記録トラック幅及びトラックピッチが
狭くなり、更に磁気ヘッドの多チャンネル化が進んでい
る。したがって、複合型磁気ヘッドにおいて、上記位置
決め調整は重要なものとなっている。特に、多チャンネ
ル化においてトラック調整は極めて重要のものとなって
いる。

【００１５】そして、このトラック調整には以下のよう
な方法がある。

【００１６】（Ａ）各磁気ヘッド部を、磁気ヘッド素子
の配列方向における端面と磁気ヘッド素子の間の距離が
十分な精度にて一定となるように作製する。そして、図
２３に示すように、再生用磁気ヘッド部３２の前記端面
３９と記録用磁気ヘッド部４２の前記端面４９を基準面
５２に当接させ、図中矢印Ｐ５で示すように圧力を加え
て、各端面３９，４９を揃えることにより調整する。

【００１７】（Ｂ）各磁気ヘッド部を、磁気ヘッド素子
の配列方向における端面と磁気ヘッド素子の間の距離が
十分な精度にて一定となるように作製する。そして、図
２４に示すように、前記端面３９，４９を顕微鏡で覗き
ながら、再生用磁気ヘッド部３２又は記録用磁気ヘッド
部４２を動かし、再生用磁気ヘッド部３２の端面３９と
記録用磁気ヘッド部４２の端面４９を一致させて調整す
る。

【００１８】（Ｃ）図２５に示すように、各磁気ヘッド
部３２，４２を磁気記録媒体摺動面方向から顕微鏡で覗
きながら、再生用磁気ヘッド部３２又は記録用磁気ヘッ
ド部４２を動かし、再生用磁気ヘッド部３２の磁気ヘッ
ド素子３４と、これに対応する記録用磁気ヘッド部４２
の磁気ヘッド素子４４を結ぶ仮想直線Ｌ７が、再生用磁
気ヘッド素子３４の配列方向の仮想直線Ｌ５及び記録用
磁気ヘッド素子４４の配列方向の仮想直線Ｌ６に対し
て、垂直になるように調整する。

【００１９】（Ｄ）図２６に示すように、再生用磁気ヘ
ッド部３２に、再生用磁気ヘッド素子３４から一定の基
準位置に再生用トラック位置合わせ用マーカー３４ａを
設け、これと同様に、記録用磁気ヘッド部４２に、記録
用磁気ヘッド素子４４から一定の基準位置に記録用トラ
ック位置合わせ用マーカー４４ａを設ける。そして、図
２７に示すように、これらを顕微鏡で覗きながら、再生
用トラック位置合わせ用マーカー３４ａと記録用トラッ
ク位置合わせ用マーカー４４ａを結ぶ仮想直線Ｌ８が、
再生用磁気ヘッド素子の配列方向の仮想直線Ｌ５及び記
録用磁気ヘッド素子の配列方向の仮想直線Ｌ６に対し
て、垂直になるように調整する。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記のトラッ
ク調整方法には次のような問題点がある。

【００２１】まず、（Ａ）の方法では、各磁気ヘッド部
の基準となる端面と基準板との間にゴミ等が入ると十分
な位置決め精度が得られない。また、（Ｂ）の方法で
は、基準となる端面の顕微鏡で覗く側のエッジに欠けが
生じていると、十分な位置決め精度が得られない。これ
らの問題は、ゴミの少ない環境下で作業を行ったり、基
準となる端面のエッジ欠けが少なくなる加工方法を用い
ればある程度解決できるが、設備面や取扱い方法の点、
あるいは加工方法の点等で、いずれの方法においてもコ
ストアップに結びついてしまう。

【００２２】一方、（Ｃ）及び（Ｄ）の方法では、各磁
気ヘッド部はそれぞれ別の薄膜工程で作製されるため、
各磁気ヘッド素子の幅寸法や各位置合わせ用マーカーの
幅寸法の絶対値精度が各薄膜磁気ヘッド部でばらついて
しまい、十分な位置決め精度が得られない。特に、通常
の複合型磁気ヘッドのトラック幅は、再生用のトラック
幅に比べて記録用のトラック幅が広くなっているため、
再生用磁気ヘッド部の磁気ヘッド素子と記録用磁気ヘッ
ド部の磁気ヘッド素子の幅寸法の絶対値精度を一致させ
るのは困難である。更に、再生用磁気ヘッド部をＭＲヘ
ッドとした場合は、再生用磁気ヘッド部と記録用磁気ヘ
ッド部とで、薄膜工程が大きくことなるため、ますます
磁気ヘッド素子や位置合わせ用マーカーの幅寸法の絶対
値精度がばらつくことになる。

【００２３】以上のような問題のために、従来のトラッ
ク調整では、少なくとも量産時においては、数μｍ程度
のトラック調整精度しか得ることができなかった。

【００２４】そこで本発明は、このような従来の実情に
鑑みて提案されたものであり、各磁気ヘッド部のトラッ
ク調整精度を１μｍ以下にすることが可能な複合型磁気
ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。

【００２５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述の目
的を達成するために鋭意研究を重ねた結果、各磁気ヘッ
ド部に複数の位置合わせ用マーカーを一定の間隔で設
け、この位置合わせ用マーカーを、視野内に複数の基準
ラインが前記間隔と異なる一定の間隔で設けられた顕微
鏡で覗き、どの位置合わせ用マーカーとどの基準ライン
が重なるかを観察すれば、各磁気ヘッド部の相対的な位
置を高精度に測定できることを見いだした。

【００２６】さらには、前記基準マーカーを非平行な一
対の基準ラインとすれば、位置合わせ用マーカーの幅寸
法にばらつきがあっても、一対の基準ラインの間隔と位
置合わせ用マーカーの幅寸法が一致する位置が常に得ら
れることも見いだした。

【００２７】本発明はこのような知見に基づき成された
ものであり、本発明の複合型磁気ヘッドは、少なくとも
１以上の磁気ヘッド素子が形成されてなる複数の磁気ヘ
ッド部が接合一体化されてなり、各磁気ヘッド部にそれ
ぞれ略同形状を有する３以上の位置合わせ用マーカーが
略等間隔に配されているものである。

【００２８】上記複合型磁気ヘッドにおいて、磁気ヘッ
ド部の数や組み合わせは特に限定されるものではなく、
例えば、磁気ヘッド素子として再生用薄膜磁気ヘッドが
形成されてなる１以上の磁気ヘッド部と、磁気ヘッド素
子として記録用薄膜磁気ヘッドが形成されてなる１以上
の磁気ヘッド部とからなる複合型磁気ヘッドであっても
よい。

【００２９】一方、本発明の複合型磁気ヘッドの製造方
法は、少なくとも１以上の磁気ヘッド素子を有してなる
複数の磁気ヘッド部を接合一体化するに際し、各磁気ヘ
ッド部にそれぞれ略同形状を有する３以上の位置合わせ
用マーカーを略等間隔に配するとともに、３以上の基準
マーカーがこれら位置合わせ用マーカーの間隔と異なる
間隔で視野内に形成された顕微鏡で各磁気ヘッド部の位
置合わせ用マーカーを観察し、各磁気ヘッド部を位置合
わせしながら接合一体化するものである。

【００３０】上記複合型磁気ヘッドの製造方法におい
て、前記各基準マーカー間の間隔と、前記各位置合わせ
用マーカーの間隔とは、０．１〜１μｍだけ異なること
が好ましい。

【００３１】また、上記複合型磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記基準マーカーは各々一対の基準ラインから
なることが好ましく、この場合、この一対の基準ライン
の成す角度θが０°≦θ≦３０°であり、且つ、この一
対の基準ラインの間隔が、狭い方の間隔は前記位置合わ
せ用マーカーの幅よりも狭く、広い方の間隔は前記位置
合わせ用マーカーの幅よりも広いことが好ましい。

【００３２】なお、上記複合型磁気ヘッドの製造方法に
おいて、接合一体化する磁気ヘッド部の数や組み合わせ
は特に限定されるものではなく、例えば、磁気ヘッド素
子として再生用薄膜磁気ヘッドが形成されてなる１以上
の磁気ヘッド部と、磁気ヘッド素子として記録用薄膜磁
気ヘッドが形成されてなる１以上の磁気ヘッド部とを接
合一体化するものであってもよい。

【００３３】

【作用】本発明の複合型磁気ヘッドの製造方法において
は、各磁気ヘッド部において、どの基準マーカーとどの
位置合わせ用マーカーが重なるかを観察することによ
り、各位置合わせ用マーカーの間隔と各基準マーカーの
間隔の差分を元に、各磁気ヘッド部の相対的な位置を高
精度に測定できる。

【００３４】例えば、ある磁気ヘッド部で、ある基準マ
ーカーと位置合わせ用マーカーが一致し、他の磁気ヘッ
ド部では前記基準マーカーの隣の基準マーカーと位置合
わせ用マーカーが一致する場合は、各位置合わせ用マー
カーの間隔と各基準マーカーの間隔の差分だけ、各磁気
ヘッド部の位置にずれが生じていることになる。

【００３５】特に、前記各基準マーカー間の間隔と前記
各位置合わせ用マーカーの間隔とを、０．１〜１μｍだ
け異なるようにした場合は、各磁気ヘッド部の相対的な
位置のずれを１μｍ以下のオーダーで測定できるため、
トラック調整精度を１μｍ以下に抑えることができる。

【００３６】また、基準マーカーを各々非平行な一対の
基準ラインから構成すれば、位置合わせ用マーカーの幅
寸法にばらつきがあっても、一対の基準ラインの間隔と
位置合わせ用マーカーの幅寸法が一致する位置を得るこ
とができる。

【００３７】そして、本発明の複合型磁気ヘッドにおい
ては、各磁気ヘッド部にそれぞれ略同形状を有する３以
上の位置合わせ用マーカーが略等間隔に配されており、
これによって位置合わせを行うことで、高いトラック調
整精度を得ることができる。

【００３８】

【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。

【００３９】本実施例の複合型磁気ヘッドは、図１に示
すように、磁気ヘッド素子４として再生用薄膜磁気ヘッ
ドが形成されてなる再生用磁気ヘッド部２と、磁気ヘッ
ド素子１４として記録用薄膜磁気ヘッドが形成されてな
る記録用磁気ヘッド部１２により構成される。

【００４０】再生用磁気ヘッド部２は、図２に示すよう
に、基板３と、基板３上に薄膜工程によって形成された
再生用磁気ヘッド素子４と、再生用磁気ヘッド素子４を
保護するために接着剤等により前記再生用磁気ヘッド素
子４上に貼り合わされた保護基板５により構成される。

【００４１】前記再生用磁気ヘッド素子４は、磁気記録
媒体からの情報を取り出すために、トラック位置に対応
する所定の位置に、磁気コア（ＭＲヘッドの場合は磁気
抵抗効果素子）や磁気ギャップ等が形成されて成る。な
お、この再生用磁気ヘッド素子４は、磁気記録媒体のト
ラックに対応するように、磁気記録媒体摺動方向に対し
て直交する方向（トラック幅方向）に並ぶように複数形
成される。そして、これら再生用磁気ヘッド素子４から
所定の距離を隔てた領域Ａ１に、図３に示すように、幅
寸法λ１が４μｍの略同形状の３つの位置合わせ用マー
カー６ａ，６ｂ，６ｃが、再生用磁気ヘッド素子配列方
向４Ａに、間隔λ２が１０μｍとなるように配される。

【００４２】そして、この再生用磁気ヘッド素子４から
は印刷配線板７が導出され、磁気ヘッド素子４によって
再生された情報は、この印刷配線板７により外部装置に
伝えられる。なお、磁気記録媒体が摺動する磁気記録媒
体摺動面８は、摺動が安定なものとなるように精密に表
面が加工される。

【００４３】一方、上記記録用磁気ヘッド部１４は、図
４に示すように、基板１３と、基板１３上に薄膜工程に
よって形成された記録用磁気ヘッド素子１４と、記録用
磁気ヘッド素子１４を保護するために接着剤等により前
記磁気ヘッド素子１４上に貼り合わされた保護基板１５
により構成される。

【００４４】前記記録用磁気ヘッド素子１４は、磁気記
録媒体に情報を記録するために、トラック位置に対応す
る所定の位置に、磁気コアや磁気ギャップ等が形成され
て成る。なお、この記録用磁気ヘッド素子１４は、磁気
記録媒体のトラックに対応するように、磁気記録媒体摺
動方向に対して直交する方向（トラック幅方向）に並ぶ
ように複数形成される。そして、再生用磁気ヘッド部２
と同様に、これら記録用磁気ヘッド素子１４から所定の
距離を隔てた領域Ａ２に、図５に示すように、幅寸法λ
１１が４μｍの略同形状の３つの位置合わせ用マーカー
１６ａ，１６ｂ，１６ｃが、記録用磁気ヘッド素子配列
方向１４Ａに、間隔λ１２が１０μｍとなるように配さ
れる。

【００４５】そして、この記録用磁気ヘッド素子１４か
らは印刷配線板１７が導出され、外部装置から記録すべ
き情報が記録用磁気ヘッド素子１４に、この印刷配線板
１７により伝えられる。なお、磁気記録媒体が摺動する
磁気記録媒体摺動面１８は、摺動が安定なものとなるよ
うに精密に表面が加工される。

【００４６】そして、これら再生用磁気ヘッド部２と記
録用磁気ヘッド部１２が、図１に示すように、各磁気ヘ
ッド部２，１２の基板３，１３同士を合わせた形で接着
剤等により接合一体化されて、複合型磁気ヘッド１が構
成される。

【００４７】このとき各磁気ヘッド部２，１２の位置決
め調整として、以下に示すような、アオリ調整、チルト
調整、アジマス調整、トラック調整を行う。

【００４８】まず、アオリ調整として、図６に示すよう
に、各磁気ヘッド部２，１２の各磁気記録媒体摺動面
８，１８が上面基準板２０に当接するように、図中矢印
Ｐ１で示すように圧力を加えることにより調整する。

【００４９】次に、チルト調整として、図７に示すよう
に、一方の磁気ヘッド部１２の側面を側面基準板２１に
当接させ、他方の磁気ヘッド部２の側面に、図中矢印Ｐ
２で示すように圧力を加えることにより調節する。

【００５０】さらに、アジマス調整として、チルト調整
と同様に、図７に示すように、一方の磁気ヘッド部１２
の側面を側面基準板２１に当接させ、他方の磁気ヘッド
部２の側面に、図中矢印Ｐ２で示すように圧力を加える
ことにより調節する。

【００５１】そして、トラック調整を、上記アオリ調
整、チルト調整、アジマス調整を終えた後に、図７に示
すように、磁気記録媒体摺動面８，１８を顕微鏡２２で
覗きながら行う。

【００５２】トラック調整に用いられる顕微鏡２２に
は、図８に示すように、接眼レンズ側に３つの基準マー
カー２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。これら
基準マーカーの間隔λ２１は、各磁気ヘッド部に設けら
れている各位置合わせ用マーカーの間隔λ２，λ１２よ
りも、０．２μｍだけ小さい間隔、すなわち９．８μｍ
とされ、一列に配される。（数値は顕微鏡視野倍率換算
の値。以下の数値についても同様。）そして、各基準マ
ーカー２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、それぞれ一対の同じ
長さの基準ラインから成り、これら一対の基準ラインの
成す角度θは約６度とされ、その間隔は狭い方の間隔λ
２２は２μｍ、広い方の間隔λ２３は６μｍとされる。

【００５３】上記顕微鏡２２を用いてトラック調整を行
うに際しては、図９に示すように、予め、顕微鏡の視野
範囲２４の横への移動方向２４Ａに対して、基準マーカ
ー２３ａ，２３ｂ，２３ｃの配列方向２４Ｂが直交する
ように調整するとともに、顕微鏡の視野範囲２４の縦へ
の移動方向である基準マーカー２３ａ，２３ｂ，２３ｃ
の配列方向２４Ｂと、記録用磁気ヘッド部及び再生用磁
気ヘッド部の位置合わせ用マーカーの配列方向が一致す
るように調整する。

【００５４】そして、記録用磁気ヘッド部を基準として
トラック調整を行う場合は、図１０に示すように、顕微
鏡の視野範囲２４を移動し、基準マーカー２３ａ，２３
ｂ，２３ｃと記録用磁気ヘッド部の位置合わせ用マーカ
ー１６ａ，１６ｂ，１６ｃを、各基準マーカーの中央部
に各位置合わせ用マーカーが位置するように重ね合わせ
る。

【００５５】そして、顕微鏡の視野範囲２４を縦方向２
４Ｂへ移動し、中央の位置合わせ用マーカー１６ｂ（２
番目の位置合わせ用マーカー）が、中央の基準マーカー
２３ｂ（２番目の基準マーカー）の一対の基準ラインに
挟まれるようにする。このとき、他の位置合わせ用マー
カー１６ａ，１６ｃ及び基準マーカー２３ａ，２３ｃ
は、各位置合わせ用マーカーの間隔λ１２と各基準マー
カーの間隔λ２１の差である０．２μｍだけずれた状態
となる。

【００５６】なお、位置合わせ用マーカーの幅寸法と基
準ラインの間隔が合わない場合は、位置合わせ用マーカ
ーの幅寸法と基準ラインの間隔を一致させるために、顕
微鏡の視野範囲を横方向へ移動させる。これにより、位
置合わせ用マーカーの幅寸法にばらつきがあっても、基
準マーカーが非平行の一対の基準ラインからなるので、
基準ラインの間隔を位置合わせ用マーカーの幅寸法に対
応させることができる。したがって、位置合わせ用マー
カーの幅寸法にばらつきがあっても、位置合わせの調整
精度を保つことができる。

【００５７】次に、顕微鏡の視野範囲２４を横方向２４
Ａに動かし、基準マーカー２３ａ，２３ｂ，２３ｃと再
生用磁気ヘッド部の位置合わせ用マーカー６ａ，６ｂ，
６ｃを、各基準マーカーの中央部に各位置合わせ用マー
カーが位置するように重ね合わせる。この際、顕微鏡の
視野範囲２４を縦方向２４Ｂには動かさないようにす
る。もし、縦方向に動いてしまった場合は、再び基準と
なる記録用磁気ヘッド部の位置合わせを行う必要があ
る。

【００５８】そして、基準マーカー２３ａ，２３ｂ，２
３ｃと再生用磁気ヘッドの位置合わせ用マーカー６ａ，
６ｂ，６ｃを重ね合わせたとき、各位置合わせ用マーカ
ーの間隔λ２と各基準マーカーの間隔λ２１は、０．２
μｍだけずれているので、位置合わせ用マーカー６ａ，
６ｂ，６ｃと基準マーカー２３ａ，２３ｂ，２３ｃの重
なりの状態から、どの程度のトラックずれが生じている
かがわかる。例えば、図１１に示すように、１番目（あ
るいは３番目）の位置合わせ用マーカー６ａと基準マー
カー２３ａとが重なり合っている場合は、記録用磁気ヘ
ッド部と再生用磁気ヘッド部のトラックが０．２μｍだ
けずれていることになる。

【００５９】そこで、図１２に示すように、再生用磁気
ヘッド部のみを、上記トラックずれ量の分だけ顕微鏡の
視野内２４にて縦方向２４Ｂに動かし、記録用磁気ヘッ
ド部と同様に、中央の位置合わせ用マーカー６ｂ（２番
目に位置する位置合わせ用マーカー）が、中央の基準マ
ーカー２３ｂ（２番目に位置する基準マーカー）の一対
の基準ラインに挟まれるようにする。

【００６０】なお、位置合わせ用マーカーの幅寸法と基
準ラインの間隔が合わない場合は、記録用磁気ヘッド部
のときと同様に、位置合わせ用マーカーの幅寸法と基準
ラインの間隔を一致させるために、顕微鏡の視野範囲を
横方向に移動させる。これにより、位置合わせ用マーカ
ーの幅寸法にばらつきがあっても、基準マーカーが一定
の角度を有している一対の基準ラインからなるので、基
準ラインの間隔を位置合わせ用マーカーの幅寸法に対応
させることができる。したがって、位置合わせ用マーカ
ーの幅寸法にばらつきがあっても、位置合わせの調整精
度を保つことができる。

【００６１】このようにして、トラック調整を行った
後、図１に示すように、記録用磁気ヘッド部１２と再生
用磁気ヘッド部２を接着剤等で固定することにより、複
合型磁気ヘッド１が完成する。

【００６２】なお、上記の説明では、位置合わせ用マー
カーと基準マーカーをそれぞれ３つとしたが、これに限
られるものではなく、各マーカーの数を増やしてやって
もよい。

【００６３】例えば、位置合わせ用マーカーと基準マー
カーを、それぞれ７つとした場合も同様にトラック調整
が行える。すなわち、最初に、記録用磁気ヘッド部にお
いて、中央の位置合わせ用マーカー（４番目の位置合わ
せ用マーカー）と中央の基準マーカー（４番目の基準マ
ーカー）の位置を合わせる。次に、顕微鏡の視野範囲を
横方向に動かし、基準マーカーと再生用磁気ヘッド部の
位置合わせ用マーカーを、各基準マーカーの中央部に各
位置合わせ用マーカーが位置するように重ね合わせる。

【００６４】このとき、例えば、２番目（あるいは６番
目）の位置合わせ用マーカーと基準マーカーとが重なり
合っている場合は、トラックの位置ずれは０．４μｍだ
けずれていることになる。なぜなら、トラックの位置ず
れ量は、各位置合わせ用マーカーの間隔と各基準マーカ
ーの間隔の差（１０μｍ−９．８μｍ＝０．２μｍ）
と、記録用磁気ヘッド部において位置合わせしたマーカ
ーの番号と再生用磁気ヘッド部において位置合わせした
マーカーの番号の差（４−２＝２）との積（０．２μｍ
×２＝０．４μｍ）となるからである。

【００６５】そして、再生用磁気ヘッド部のみを、上記
トラックずれ量の分だけ顕微鏡の視野内にて縦方向に動
かし、記録用磁気ヘッド部と同様に、中央の位置合わせ
用マーカー（４番目に位置する位置合わせ用マーカー）
が、中央の基準マーカー（４番目に位置する基準マーカ
ー）の一対の基準ラインに挟まれるようにしてやればよ
い。

【００６６】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の複合型磁気ヘッド及びその製造方法によれば、各磁気
ヘッド部の相対的な位置を高精度に測定できるため、１
μｍ以下の高精度なトラック調整が行える。

【００６７】さらに、基準マーカーを各々非平行な一対
の基準ラインから構成した場合は、各磁気ヘッド部ごと
の製造工程の違い等により位置合わせ用マーカーの幅寸
法にばらつきが生じても、一対の基準ラインの間隔と位
置合わせ用マーカーの幅寸法を一致させることができる
ため、高いトラック調整精度を維持できる。

【００６８】そして、各磁気ヘッド部を接合一体化する
際に高精度にトラック調整ができるため、高品質の製品
を安定して供給でき、歩止まりが向上する。さらには、
所望するトラック調整精度によっては、接合一体化後の
工程でのトラック調整検査が不要になるため、製造時間
を短縮することができ、製造コストの低下を招来でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用した複合型磁気ヘッドの一構成例
を示す斜視図である。

【図２】本発明を適用した複合型磁気ヘッドの再生用磁
気ヘッド部の一例を示す斜視図である。

【図３】図２に示す再生用磁気ヘッド部の位置合わせ用
マーカーが設けられた領域Ａ１を拡大して示す平面図で
ある。

【図４】本発明を適用した複合型磁気ヘッドの記録用磁
気ヘッド部の一例を示す斜視図である。

【図５】図４に示す記録用磁気ヘッド部の位置合わせ用
マーカーが設けられた領域Ａ２を拡大して示す平面図で
ある。

【図６】本発明を適用した複合型磁気ヘッドのアオリ調
整の様子を示す模式図である。

【図７】本発明を適用した複合型磁気ヘッドのチルト調
整及びアジマス調整の様子を示す模式図である。

【図８】本発明を適用した複合型磁気ヘッドの製造方法
に用いられる顕微鏡の基準マーカーの一例を示す図であ
る。

【図９】本発明を適用した複合型磁気ヘッドの製造方法
に用いられる顕微鏡の基準マーカーの配列方向を示す図
である。

【図１０】記録用磁気ヘッド部の位置合わせ用マーカー
と顕微鏡の基準マーカーを顕微鏡視野内で重ね合わせた
状態の一例を示す図である。

【図１１】トラック調整前の、再生用磁気ヘッド部の位
置合わせ用マーカーと顕微鏡の基準マーカーを顕微鏡視
野内で重ね合わせた状態の一例を示す図である。

【図１２】トラック調整後の、再生用磁気ヘッド部の位
置合わせ用マーカーと顕微鏡の基準マーカーを顕微鏡視
野内で重ね合わせた状態の一例を示す図である。

【図１３】従来の複合型磁気ヘッドの一構成例を示す斜
視図である。

【図１４】従来の複合型磁気ヘッドの再生用磁気ヘッド
部の一例を示す斜視図である。

【図１５】従来の複合型磁気ヘッドの記録用磁気ヘッド
部の一例を示す斜視図である。

【図１６】磁気ヘッド部を接合一体化する際のアオリ調
整を示す模式図である。

【図１７】従来の複合型磁気ヘッドのアオリ調整の様子
を示す模式図である。

【図１８】磁気ヘッド部を接合一体化する際のチルト調
整を示す模式図である。

【図１９】磁気ヘッド部のＲトップを示す模式図であ
る。

【図２０】従来の複合型磁気ヘッドのチルト調整及びア
ジマス調整の様子を示す模式図である。

【図２１】磁気ヘッド部を接合一体化する際のアジマス
調整を示す模式図である。

【図２２】磁気ヘッド部を接合一体化する際のトラック
調整を示す模式図である。

【図２３】従来の複合型磁気ヘッドのトラック調整の様
子の一例を示す模式図である。

【図２４】従来の複合型磁気ヘッドのトラック調整の様
子の他の例を示す模式図である。

【図２５】従来の複合型磁気ヘッドのトラック調整の様
子の他の例を示す模式図である。

【図２６】従来の位置合わせ用マーカーが配された複合
型磁気ヘッドの一例を示す平面図である。

【図２７】従来の複合型磁気ヘッドのトラック調整の様
子の他の例を示す模式図である。

【符号の説明】

１ 複合型磁気ヘッド ２ 再生用磁気ヘッド部 ３ 基板 ４ 再生用磁気ヘッド素子 ５ 保護基板 ６ａ，６ｂ，６ｃ 位置合わせ用マーカー ７ 印刷配線板 ８ 磁気記録媒体摺動面 １２ 記録用磁気ヘッド部 １３ 基板 １４ 記録用磁気ヘッド素子 １５ 保護基板 １６ａ，１６ｂ，１６ｃ 位置合わせ用マーカー １７ 印刷配線板 １８ 磁気記録媒体摺動面 ２０ 上面基準板 ２１ 側面基準板 ２２ 顕微鏡 ２３ａ，２３ｂ，２３ｃ 基準マーカー ２４ 顕微鏡の視野範囲

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも１以上の磁気ヘッド素子が形
   成されてなる複数の磁気ヘッド部が接合一体化されてな
   り、 各磁気ヘッド部にそれぞれ略同形状を有する３以上の位
   置合わせ用マーカーが略等間隔に配されていることを特
   徴とする複合型磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 磁気ヘッド素子として再生用薄膜磁気ヘ
   ッドが形成されてなる１以上の磁気ヘッド部と、磁気ヘ
   ッド素子として記録用薄膜磁気ヘッドが形成されてなる
   １以上の磁気ヘッド部とからなることを特徴とする請求
   項１記載の複合型磁気ヘッド。
3. 【請求項３】 少なくとも１以上の磁気ヘッド素子を有
   してなる複数の磁気ヘッド部を接合一体化するに際し、 各磁気ヘッド部にそれぞれ略同形状を有する３以上の位
   置合わせ用マーカーを略等間隔に配するとともに、 ３以上の基準マーカーがこれら位置合わせ用マーカーの
   間隔と異なる間隔で視野内に形成された顕微鏡で各磁気
   ヘッド部の位置合わせ用マーカーを観察し、各磁気ヘッ
   ド部を位置合わせしながら接合一体化することを特徴と
   する複合型磁気ヘッドの製造方法。
4. 【請求項４】 前記各基準マーカー間の間隔と、前記各
   位置合わせ用マーカーの間隔とが、０．１〜１μｍだけ
   異なることを特徴とする請求項３記載の複合型磁気ヘッ
   ドの製造方法。
5. 【請求項５】 前記基準マーカーが各々一対の基準ライ
   ンからなり、この一対の基準ラインの成す角度θが０°
   ≦θ≦３０°であり、且つ、この一対の基準ラインの間
   隔が、狭い方の間隔は前記位置合わせ用マーカーの幅よ
   りも狭く、広い方の間隔は前記位置合わせ用マーカーの
   幅よりも広いことを特徴とする請求項３又は４記載の複
   合型磁気ヘッドの製造方法。
6. 【請求項６】 磁気ヘッド素子として再生用薄膜磁気ヘ
   ッドが形成されてなる１以上の磁気ヘッド部と、磁気ヘ
   ッド素子として記録用薄膜磁気ヘッドが形成されてなる
   １以上の磁気ヘッド部とを接合一体化することを特徴と
   する請求項３乃至５記載の複合型磁気ヘッドの製造方
   法。