JPH05250640A - 複合型磁気ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、ギャップ間距離が短く、また再
生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜磁気ヘッドの結合時に
それぞれの位置調整を行ない、製品製造のタクトタイム
の減少、歩留まりの向上、コストダウンを図る。 【構成】 この発明における複合型磁気ヘッド１は、再
生用薄膜磁気ヘッド２に設けられた再生用保護板４と記
録用薄膜磁気ヘッド３に設けられた再生用保護板５を当
接し一体をなしている。またこの発明に基づく製造方法
によれば、再生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜磁気ヘッ
ドの結合時にそれぞれに設けられている再生用磁気記録
媒体摺動面と記録用磁気媒体摺動面をオプティカルフラ
ットに当接し、光の干渉縞を観測することにより、相互
の位置調整を行なっている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は磁気記録再生装置に関
し、特に、磁気記録再生装置に用いられる複合型磁気ヘ
ッドの構造およびその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、ＤＣＣ（Digital Campact Casse
t) 、Ｓ／ＤＡＴ（Stationary head-Digital Audio Tap
e）およびデータストリーマなどのデジタル磁気記録再
生装置には、薄膜技術によって製造された再生用薄膜磁
気ヘッドと記録用薄膜磁気ヘッドが複合化された複合型
磁気ヘッドが用いられている。この複合型磁気ヘッドの
複合化時には、ギャップ間の距離や平行度などの高精度
の位置決め調整が要求されている。

【０００３】以下、従来技術における複合型磁気ヘッド
の構造とその製造方法について図を用いて説明する。

【０００４】従来の複合型磁気ヘッド６０は、図１８を
参照して、再生用薄膜磁気ヘッド６１と記録用薄膜磁気
ヘッド６２が、それぞれに設けられている再生用薄膜磁
気ヘッド基板６３と記録用薄膜磁気ヘッド基板６４がス
ペーサ１００を介して接着剤などにより貼り合わされて
いる。

【０００５】再生用薄膜磁気ヘッド６１は、図１９を参
照して、再生用薄膜磁気ヘッド基板６３と、この再生用
薄膜磁気ヘッド基板６３に設けられ、磁気記録媒体であ
る磁気テープ（図示せず）から情報を取出すための再生
用磁気ギャップ層６７を有している。また、この再生用
ギャップ層６７を保護するための再生用保護板６５が設
けられている。再生用磁気ギャップ層６７は、複数の再
生トラック６７ａが所定の位置に配置されることにより
構成されている。

【０００６】再生用薄膜磁気ヘッド６１に設けられた再
生用磁気記録媒体摺動面６６は、精密にその表面が加工
されている。また、再生用薄膜磁気ヘッド６１には、再
生用磁気ギャップ層６７から得られた情報を外部装置に
伝えるための印刷配線基板６８が取付けられている。

【０００７】記録用薄膜磁気ヘッド６２は、図２０を参
照して、上記再生用薄膜磁気ヘッド６１と同様、記録用
薄膜磁気ヘッド基板６４と、この記録用薄膜磁気ヘッド
基板６４に設けられ、磁気テープ（図示せず）に情報を
記録するための記録用磁気ギャップ層７１を有してい
る。また、この記録用磁気ギャップ層７１を保護するた
めの記録用保護板６２が設けられている。また、記録用
磁気ギャップ層７１は、複数の記録トラック７１ａが所
定の位置に配置されることにより構成されている。

【０００８】記録用薄膜磁気ヘッド６２に設けられた記
録用磁気記録媒体摺動面７０は、精密にその表面が加工
されている。また、記録用薄膜磁気ヘッド６２には、記
録用磁気ギャップ層７１へ情報を伝えるための印刷配線
基板６８が取付けられている。

【０００９】ここで、再生用薄膜磁気ヘッド６１と記録
用薄膜磁気ヘッド６２とからなる複合型磁気ヘッド６０
を形成する際、次に示す、 アジマス調整 トラック調整 アオリ調整 チルト調整 を精密に行ないながら複合化を図る必要がある。

【００１０】 アジマス調整とは、図２１を参照し
て、再生用薄膜磁気ヘッド６１に設けられた再生用磁気
ギャップ層６７と、記録用薄膜磁気ヘッド６２に設けら
れた記録用磁気ギャップ層７１の配列方向（仮想直線６
７ｈ、７１ｈで示す）が相互に平行となるように調整す
ることをいう。

【００１１】 トラック調整とは、図２２を参照し
て、１番目の再生トラック６７ａの図心と記録トラック
７１ａの図心とを結ぶ仮想直線７４が、上記仮想直線６
７ｈおよび仮想直線７１ｈに対して垂直となるように、
再生用薄膜磁気ヘッド６１と記録用薄膜磁気ヘッド６２
の相互の位置を調整することをいう。

【００１２】 アオリ調整とは、図２３を参照して、
再生用薄膜磁気ヘッド６１に設けられた再生用記録媒体
摺動面６６と、記録用薄膜磁気ヘッド６２に設けられた
記録用磁気記録媒体摺動面７０が、軸線７５に対し、共
通に垂直となるように調整することをいう。

【００１３】 チルト調整とは、図２４を参照して、
再生用薄膜磁気ヘッド６１に設けられた再生用磁気ギャ
ップ層６７と記録用薄膜磁気ヘッド６２に設けられた記
録用磁気ギャップ層７１の奥行き方向（仮想直線１６
７、１７１で示す）が軸線１５０に対し共通に垂直に調
整することをいう。

【００１４】次に、上記それぞれの調整を考慮し、前記
複合型磁気ヘッド６０の製造方法について説明する。

【００１５】まず、図２５を参照して、基板７６上に、
蒸着技術、スパッタリング技術およびエッチング技術な
どの半導体装置を製造する際の薄膜技術によって、薄膜
ヘッド素子７７を形成し、同時に正確な位置合せをして
マトリクス状に配列する。この基板７６を、一方向の配
列方向に沿う仮想直線７８、７９、８０に沿って切断す
る。このようにして薄膜ヘッド素子７７が、たとえば４
個形成されたブロック８１が得られる。

【００１６】薄膜ヘッド素子７７の基本的構成は、たと
えばパーマロイなどからなり、相互に対向する磁極層間
に電気絶縁物によって被覆されたコイルを配置し、この
磁極層間に電磁変換ギャップを形成し、この電磁変換ギ
ャップを介して情報の記録を行なう磁気記録素子と、同
時にパーマロイなどからなり、相互に対向する磁極層間
に電気絶縁物によって被覆された磁気抵抗効果素子を配
置し、この磁極層間に電磁変換ギャップを形成し、この
電磁変換ギャップを介して情報の再生を行なう磁気再生
素子とに大別することができる。

【００１７】ここで、１枚の基板７６上には、磁気記録
素子と磁気再生素子が混在することのないように、同一
種類の薄膜ヘッド素子を形成する。したがって、ブロッ
ク８１には、再生用薄膜磁気ヘッドブロック８５と、記
録用薄膜磁気ヘッドブロック８６の２種類のブロックが
ある。

【００１８】次に図２６を参照して、ブロック８１の磁
気記録媒体に臨む端部８１ａに、保護板８２を接着す
る。この保護板８２が接着された端部８１ａの機械加工
を行ない、電磁変換ギャップ部で形成された面である磁
気記録媒体摺動面８３、８４を曲面上に形成する。

【００１９】次に、上記により形成された再生用薄膜磁
気ヘッドブロック８５と記録用薄膜磁気ヘッドブロック
８６とを、図２７および図２８に示すように、外部装置
に固定することにより複合化が行なわれる。

【００２０】まず、再生用薄膜磁気ヘッドブロック８５
と記録用薄膜磁気ヘッドブロック８６とを、ギャップ間
距離を調節するためのスペーサ１００を介してそれぞれ
の基板同士を突き合わせる。次に、再生用薄膜磁気ヘッ
ドブロック８５を外部装置２００に設けられている側面
基準部２０１に押し当て位置決めを行なう。（この場合
記録用薄膜磁気ヘッドブロック８６を側面基準部２０１
に押し当てても何ら問題はない。）次に、保持具２０２
を記録用薄膜磁気ヘッドブロック８６に押し当て、加圧
用ねじ８８を締めつける。さらに、押し付けロッド８９
で、磁気記録媒体摺動面８３、８４が上面基準板９０に
当接するように加圧を行なう。以上により再生用薄膜磁
気ヘッドブロック８５、スペーサ１００および記録用薄
膜磁気ヘッドブロック８６の仮固定が終了する。ここ
で、上記複合型磁気ヘッドのギャップ間距離Ｌ１０は、
再び図２１を参照して、２．４ｍｍまたは２．６ｍｍ程
度の間隔に設定されている。

【００２１】次に、対物レンズ９１を用いて、トラック
調整を行なう。その後、接着剤を流し込んで固定し、ア
ジマス、アオリおよびチルトの各精度測定を行なう。

【００２２】次に、これらの精度測定に合格した複合型
磁気ヘッドブロック９２は、図２９に示す仮想直線９
３、９４、９５で切断し、複合型磁気ヘッド９６が形成
される。その後、この複合型磁気ヘッド９６に印刷配線
基板９７を接着することにより、図１８に示すような複
合型磁気ヘッド６０が完成する。

【００２３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成よりなる複合型磁気ヘッドには、以下に示す欠点があ
る。

【００２４】 コンパクトカセットやＤＣＣカセット
には、複合型磁気ヘッドの磁気記録媒体摺動面と磁気テ
ープが密着し、テープテンションを与えるため、内部に
パッドが設けられている。しかし、このパッド寸法には
規定がないため各社・各カセットにより寸法が異なって
いる。よって、複合型磁気ヘッドがいかなるコンパクト
カセット等のパッドにも対応できるようにするために
は、磁気ギャップ間距離が１．０ｍｍ程度であることが
望ましい。しかし、上記複合型磁気ヘッドの構造では、
機械的強度の制約により、基板をこれ以上薄くすること
は難しいため、磁気ギャップ層間距離を、１．０ｍｍに
することは困難である。

【００２５】 接着剤を流し込んで再生用薄膜磁気ヘ
ッドと記録用薄膜磁気ヘッドの固定を行ない、その後に
アジマス、アオリおよびチルトなどの精度測定を行なう
ため、不良品発生の場合は、該接着剤を取り外すことは
不可能なために再製不可能となり、歩留まりの低下の要
因となっている。

【００２６】この発明は、上記問題点を解消するために
なされたもので、従来の再生用薄膜磁気ヘッドおよび記
録用薄膜磁気ヘッドを用いて、ギャップ間距離が１．０
ｍｍとなることを可能とし、さらに、歩留まりの向上を
可能とした複合型磁気ヘッドおよびその製造方法を提供
することを目的とする。

【００２７】

【課題を解決するための手段】この発明に基づいた複合
型薄膜磁気ヘッドによれば、磁気記録媒体から情報を再
生する再生用磁気ギャップ層を有する再生用薄膜磁気ヘ
ッド基板と、上記再生用磁気ギャップ層を保護するため
の保護基板とを有する再生用薄膜磁気ヘッドと、磁気記
録媒体に情報を記録する記録用磁気ギャップ層を有する
記録用薄膜磁気ヘッド基板と前記記録用磁気ギャップ層
を保護するための記録用保護板とを有する記録用薄膜磁
気ヘッドと、上記再生用薄膜磁気ヘッドの上記再生用保
護板と、上記記録用薄膜磁気ヘッドの再生用保護板とを
当接して構成されている。

【００２８】また、この発明に基づいた複合型磁気ヘッ
ドの製造方法によれば、磁気記録媒体から情報を再生す
る再生用磁気ギャップ層を有する再生用薄膜磁気ヘッド
と、磁気記録媒体に情報を記録する記録用磁気ギャップ
層を有する記録用薄膜磁気ヘッドとを有する複合型薄膜
磁気ヘッドであって、上記再生用薄膜磁気ヘッドに設け
られた再生用磁気記録媒体摺動面と、上記記録用薄膜磁
気ヘッドに設けられた記録用磁気記録媒体摺動面とをオ
プティカルフラットに当接し、光の干渉縞を発生させ、
この光の干渉縞と上記再生用磁気ギャップ層までの距離
および上記記録用磁気ギャップ層までの距離を測定し、
所定の位置に上記再生用薄膜磁気ヘッドと上記記録用薄
膜磁気ヘッドを設定し組立てられている。

【００２９】

【作用】この発明に基づいた複合型薄膜磁気ヘッドによ
れば、従来の再生用薄膜磁気ヘッドと再生用薄膜磁気ヘ
ッドを用い、それぞれに設けられている保護板同士を突
き合わせて複合化を図っている。これにより、それぞれ
の磁気ギャップ層間距離を短く設定することができ、コ
ンパクトカセットに設けられたパッドの大きさに関係な
く安定したヘッド出力が得られる。

【００３０】また、この発明に基づいた複合型薄膜磁気
ヘッドの製造方法によれば、再生用薄膜磁気ヘッドと記
録用薄膜磁気ヘッドの複合化時において、光の干渉縞を
用いている。これにより、組立時に精度の調整を行なう
ことができ、製造工程のタクトタイムを大幅に減少する
ことができる。

【００３１】

【実施例】以下、この発明に基づいた複合型磁気ヘッド
の一実施例について説明する。

【００３２】図１を参照して、複合型磁気ヘッド１は、
再生用薄膜磁気ヘッド２と記録用薄膜磁気ヘッド３を有
しており、それぞれに設けられている再生用保護板４と
記録用保護板５が接着剤等により貼り合わされている。
再生用保護板４は再生用磁気ギャップ層８を保護するた
めに設けられている。

【００３３】再生用薄膜磁気ヘッド２は、図２を参照し
て、再生用薄膜磁気ヘッド基板６と再生用保護板４とに
より構成されている。記録媒体摺動面７は精密にその表
面が加工されており、磁気テープから情報を取出すため
の再生用磁気ギャップ層８が形成されている。この再生
用磁気ギャップ層８には、複数の再生トラック８ａが所
定の位置に配置されている。再生用保護板４は、再生用
磁気ギャップ層８を保護するために設けられている。

【００３４】また、再生用薄膜磁気ヘッド２には再生用
磁気ギャップ層８から得られた情報を外部装置に伝える
ための印刷配線基板９が取付けられている。

【００３５】記録用薄膜磁気ヘッド３は、図３を参照し
て、記録用薄膜磁気ヘッド基板１０と記録用保護板５と
により構成されている。記録媒体摺動面１１は精密にそ
の表面が加工されており、磁気テープに情報を記録する
ための記録用磁気ギャップ層１２が形成されている。記
録用磁気ギャップ層１２には、複数の再生トラック１２
ａが所定の位置に配置されている。記録用保護板５は、
記録用磁気ギャップ層１２を保護するために設けられて
いる。

【００３６】また記録用薄膜磁気ヘッド３には、記録用
磁気ギャップ層１２に外部装置からの情報を伝えるため
の印刷配線基板１３が取付けられている。

【００３７】ここで、再生用薄膜磁気ヘッド２と記録用
薄膜磁気ヘッド３を複合化し、複合型磁気ヘッド１を形
成する際には、図４を参照して、再生用薄膜磁気ヘッド
２に設けられた再生用磁気ギャップ層８と、記録用薄膜
磁気ヘッド３に設けられた記録用磁気ギャップ層１２の
配列方向（仮想直線８ｈ、１２ｈで示す）が相互に平行
となるよう調整を行なうアジマス調整や、図５を参照し
て、１番目の再生トラック８ｈの図心と、記録トラック
１２ｈの図心とを結ぶ仮想直線１３ｈが上記仮想直線８
ａまたは仮想直線１２ａに対して垂直となるように再生
用薄膜磁気ヘッド２と記録用薄膜磁気ヘッド３の相互の
位置を調節するトラック調整や、図６を参照して、再生
用薄膜磁気ヘッド２に設けられた再生用記録媒体摺動面
７および記録用薄膜磁気ヘッド３に設けられた記録用磁
気記録媒体摺動面１１が軸線１４に関して共通に垂直と
なるように相互の位置を調節するアオリ調整、さらに図
７を参照して、再生用薄膜磁気ヘッド２に設けられた再
生用磁気ギャップ層８と記録用薄膜磁気ヘッド３に設け
られた記録用磁気ギャップ層１２の奥行き方向（仮想直
線１１８、１１２で示す）が軸線１６０に対し共通に垂
直に調整するチルト調整が必要となる。

【００３８】次に、上記各調整を考慮し、前記複合型磁
気ヘッド１の製造方法について以下説明する。

【００３９】まず、図８を参照して、基板１５上に、蒸
着技術、スパッタリング技術およびエッチング技術など
の半導体装置を製造する際の薄膜技術によって、薄膜ヘ
ッド素子１６を形成し、同時に正確な位置合せをしてマ
トリクス状に配列する。この基板１５を、１方向の配列
方向に沿う仮想直線１７、１８、１９に沿って切断す
る。このようにして薄膜ヘッド素子１６が、たとえば４
個形成されたブロック２０が形成される。

【００４０】薄膜ヘッド素子１６の基本的構成は、たと
えばパーマロイなどからなり相互に対向する磁極層間に
電気絶縁物によって被覆されたコイルを配置し、この磁
極層間に電磁変換ギャップを形成し、この電磁変換ギャ
ップを介して情報の記録を行なう磁気記録素子と、同時
にパーマロイなどからなり相互に対向する磁極層間に電
気絶縁物によって被覆された磁気抵抗効果素子を配置
し、この磁極層間に電磁変換ギャップを形成し、この電
磁変換ギャップを介して情報の再生を行なう磁気再生素
子とに大別することができる。

【００４１】ここで、１枚の基板１５上には、磁気記録
素子と磁気再生素子が混在することのないように同一種
類の薄膜ヘッド素子を形成する。したがって、ブロック
２０には再生用薄膜磁気ヘッド用ブロック２４と、記録
用薄膜磁気ヘッド用ブロック２５の２種類のブロックが
ある。

【００４２】次に、上記工程において得られたブロック
２０の磁気記録媒体である磁気テープに臨む端部２０ａ
に、たとえば結晶化ガラスなど内部に気泡を有しないガ
ラス材料からなる保護板２１を接着する。この保護板２
１が接着された端部２０ａの機械加工を行ない、電磁変
換ギャップ部で形成された面である磁気記録媒体摺動面
２２、２３を曲面上に形成する。

【００４３】次に、仮想直線２７、２８、２９で切断
し、端面処理を施し、図１０に示す薄膜磁気ヘッド３０
が形成される。さらに、図１１を参照して、この薄膜磁
気ヘッド素子３２に印刷配線基板３１を接続し、薄膜磁
気ヘッド素子３０が完成する。このようにして完成した
薄膜ヘッド３０は、その機能により再生用薄膜磁気ヘッ
ド２または記録用薄膜磁気ヘッド３として用いられる。

【００４４】次に、図１２および図１３を参照して、上
記により形成された再生用薄膜磁気ヘッド２に設けられ
た再生用保護板４と、記録用薄膜磁気ヘッド３に設けら
れた記録用保護板５とを突き合わせる。

【００４５】次に再生用薄膜磁気ヘッド２を外部装置３
００に設けられた側面基準部３０１に押し当て位置決め
を行なう。（この場合、記録用薄膜磁気ヘッド３を側面
基準部３０１に押し当てても何ら問題はない。）次に、
保持具３０２を記録用薄膜磁気ヘッド３に押し当て、加
圧ネジ３１を締め付ける。さらに、押しつけロッド３２
で、再生用磁気ヘッド２の再生用磁気記録媒体摺動面７
と記録用薄膜磁気ヘッドに設けられた記録用磁気記録媒
体摺動面１１をガラスなどよりなるオプティカルフラッ
ト３３に当接するように加圧する。このとき、オプティ
カルフラット３３側より光を当てた場合、図１４に示す
ような光の干渉縞３４が発生する。以下この光の干渉縞
３４の発生原理について説明する。

【００４６】図１５は、光の干渉縞を説明するためのオ
プティカルフラット３３と複合型薄膜磁気ヘッド１の断
面図である。光は、オプティカルフラット３３の複合
型薄膜磁気ヘッド１との接触面３３ａで反射する光を示
している。光は、オプティカルフラット３３と複合型
薄膜磁気ヘッド１との接触点Ｐからｘ₁ 離れた距離にお
いて、複合型磁気ヘッド１で反射する光を示している。
光は、接点Ｐからｘ ₂ 離れた距離において複合型磁気
ヘッド１で反射する光を示している。

【００４７】これら光、光、光の波長の合成につ
いて考える。図１６を参照して、（ａ）は、光の波長
と、光の波長が同じ周期の場合は光は増幅され、明縞
３４ａを形成する。これを式に表わせば、再び図１５を
参照して、オプティカルフラット３３の接触面３３ａか
ら光が反射する複合型磁気ヘッド１までの距離をＬと
すれば、 ２・Ｌ＝ｎ・λ…明縞 −−−（１） と表わすことができる。

【００４８】また、（ｂ）は、光の波長と光の波長
が半波長ずれた場合は光は打消し合い、暗縞３４ｂを形
成する。これを式に表わせば、再び図１５を参照して、
オプティカルフラット３３の接触面３３ａから光が反
射する複合型磁気ヘッド１までの距離を（Ｌ＋α）とす
れば、 ２・（Ｌ＋α）＝ｎ・λ＋１／２・λ…暗縞−−−（２） と表わすことができる。よって、式（１）および式
（２）より ２・α＝１／２・λ α＝１／４・λ −−−（３） となり、光の周期が同じ場合は光は増幅され、光の波長
が１／４・λずれた場合明縞から暗縞に変化する。

【００４９】次に、以上の光の干渉縞の原理を用いて、
オプティカルフラット３３に発生する干渉縞３３を用い
て、複合型磁気ヘッド１の複合化におけるアジマス調
整、トラック調整、アオリ調整、チルト調整を行
なう。

【００５０】 アジマス調整． チルト調整 図１７を参照して、再生用薄膜磁気ヘッド２に設けられ
た再生用磁気ギャップ層８の仮想直線８ｈおよび記録用
薄膜磁気ヘッド３に設けられた記録用磁気ギャップ層１
２の仮想直線１２ｈから干渉縞３４・３４の中心までの
距離Ｌ₁ を測定し、所定の値となるように調節すること
により、容易に再生用薄膜磁気ヘッド２と記録用薄膜磁
気ヘッド３のそれぞれの再生用磁気ギャップ層８と記録
用磁気ギャップ層１２の平行を調整し、これにより同時
に調整を行なうことができる。

【００５１】 トラック調整 再び図１３および図５を参照して、外部装置４０に設け
られた対物レンズ４１により、１番目の再生トラック８
ａの図心と記録トラック１２ａの図心とを結ぶ仮想直線
１３ｈが仮想直線８ａまたは仮想直線１２ａに対して垂
直となるように再生用薄膜磁気ヘッド２および記録用薄
膜磁気ヘッド３を調節する。

【００５２】 アオリ調整 この調整においては、オプティカルフラット面３３に干
渉縞３４が観測されることにより、十分な調整がとれて
いることになる。

【００５３】以上のようにして、再生用薄膜磁気ヘッド
２と記録用薄膜磁気ヘッド３を用いて複合型磁気ヘッド
１を形成した場合、複合時におけるアジマス調整、
トラック調整、アオリ調整、チルト調整の各調整を
行ないながら複合化ができるために、後工程における調
整を不要とし、製造工程におけるタクトタイムの減少を
図ることが可能となる。また、各製品の信頼性の向上を
も図ることが可能となる。

【００５４】

【発明の効果】この発明に基づいた複合型薄膜磁気ヘッ
ドによれば、従来の再生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜
磁気ヘッドを用い、それぞれの保護板同士を突き合わせ
て複合化することにより、ギャップ間距離を１．０ｍｍ
とすることを可能とし、コンパクトカセットに設けられ
たパッドの大きさに関係なく安定したヘッド出力が得ら
れる。これにより多種類のカセットテープへの対応を可
能とした。

【００５５】また、この発明に基づいた製造方法によれ
ば、再生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜磁気ヘッドとの
複合化における調整時において、光の干渉縞を用いるこ
とにより、組立時に再生用薄膜磁気ヘッドと記録用薄膜
磁気ヘッドの位置調整ができる。これにより製品製造の
タクトタイムの減少、歩留まりの向上を可能とし、さら
に製品品質の向上やコストの低下を招来している。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの全体斜
視図である。

【図２】この発明に基づいた再生用薄膜磁気ヘッドの全
体斜視図である。

【図３】この発明に基づいた記録用薄膜磁気ヘッドの全
体斜視図である。

【図４】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの複合化
時におけるアジマス調整の様子を示す模式図である。

【図５】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの複合化
時におけるトラック調整の様子を示す模式図である。

【図６】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの複合化
時におけるアオリ調整の様子を示す模式図である。

【図７】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの複合化
時におけるチルト調整の様子を示す模式図である。

【図８】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの第１の
製造工程を示す図である。

【図９】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの第２の
製造工程を示す図である。

【図１０】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの第３
の製造工程を示す図である。

【図１１】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの第４
の製造工程を示す図である。

【図１２】この発明に基づいた複合型磁気ヘッドの外部
装置における複合化時の様子を示す模式図である。

【図１３】図１２における複合化時の側面図を示す図で
ある。

【図１４】光の干渉縞の発生の様子を示す図である。

【図１５】光の干渉縞の発生原理を示す模式図である。

【図１６】（ａ）は光の増幅を示す模式図である。
（ｂ）は光の打消し合いを示す模式図である。

【図１７】この発明に基づいた複合磁気ヘッドのアジマ
ス調整の様子を示す模式図である。

【図１８】従来技術における複合型磁気ヘッドの全体斜
視図である。

【図１９】従来技術における再生用薄膜磁気ヘッドの全
体斜視図である。

【図２０】従来技術における記録用薄膜磁気ヘッドの全
体斜視図である。

【図２１】従来技術における複合型磁気ヘッドの結合時
におけるアジマス調整の様子を示す図である。

【図２２】従来技術における複合型磁気ヘッドの結合時
におけるトラック調整を示す図である。

【図２３】従来技術における複合型磁気ヘッドの結合時
におけるアオリ調整を示す図である。

【図２４】従来技術における複合型磁気ヘッドの結合時
におけるチルト調整を示す図である。

【図２５】従来技術における複合型磁気ヘッドの第１の
製造工程を示す図である。

【図２６】従来技術における複合型磁気ヘッドの第２の
製造工程を示す図である。

【図２７】従来技術における複合型磁気ヘッドの結合時
の様子を示す模式図である。

【図２８】図２７に示す複合化時の模式図の側面図であ
る。

【図２９】従来技術における複合型磁気ヘッドの第４の
製造工程における模式図である。

【符号の説明】

１ 複合型磁気ヘッド ２ 再生用薄膜磁気ヘッド ３ 記録用薄膜磁気ヘッド ４ 再生用保護板 ５ 記録用保護板 ６ 再生用薄膜磁気ヘッド基板 ７ 再生用磁気記録媒体摺動面 ８ 再生用磁気ギャップ層 ８ａ 再生トラック ９ 再生用印刷配線基板 １０ 記録用薄膜磁気ヘッド基板 １１ 記録用磁気記録媒体摺動面 １２ 記録用磁気ギャップ層 １２ａ 記録トラック １３ 記録用印刷配線基板 ３３ オプティカルフラット ３４ 光の干渉縞 なお、図中同一符号は、同一または相当部分を示す。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 磁気記録媒体から情報を再生する再生用
   磁気ギャップ層を有する再生用薄膜磁気ヘッド基板と、 前記再生用磁気ギャップ層を保護するための再生用保護
   板と、を含む再生用薄膜磁気ヘッドと、 磁気記録媒体に情報を記録する記録用磁気ギャップ層を
   有する記録用薄膜磁気ヘッド基板と、 前記記録用磁気ギャップ層を保護するための保護板と、
   を含む記録用薄膜磁気ヘッドと、を備え、 前記再生用薄膜磁気ヘッドの前記再生用保護板と、前記
   記録用薄膜磁気ヘッドの前記記録用保護板とを当接して
   なる複合型磁気ヘッド。
2. 【請求項２】 磁気記録媒体から情報を再生する再生用
   磁気ギャップ層を有する再生用薄膜磁気ヘッドと、磁気
   記録媒体に情報を記録する記録用磁気ギャップ層を有す
   る記録用薄膜磁気ヘッドとを組立ててなる複合型磁気ヘ
   ッドの製造方法であって、 前記再生用薄膜磁気ヘッドに設けられた再生用磁気記録
   媒体摺動面と、前記記録用薄膜磁気ヘッドに設けられた
   記録用磁気記録媒体摺動面をオプティカルフラットに当
   接し、前記再生用磁気記録媒体摺動面および前記記録用
   磁気記録媒体摺動面に光を当て、前記オプティカルフラ
   ット面に光の干渉縞を発生させ、この光の干渉縞と、前
   記再生用磁気ギャップ層までの距離および前記記録用ギ
   ャップ層までの距離を測定し、所定の位置に設定して、
   前記再生用薄膜磁気ヘッドと、前記記録用薄膜磁気ヘッ
   ドを組立ててなる複合型磁気ヘッドの製造方法。