JPS61226265A - ドレツシング方法および装置 - Google Patents
ドレツシング方法および装置Info
- Publication number
- JPS61226265A JPS61226265A JP60066176A JP6617685A JPS61226265A JP S61226265 A JPS61226265 A JP S61226265A JP 60066176 A JP60066176 A JP 60066176A JP 6617685 A JP6617685 A JP 6617685A JP S61226265 A JPS61226265 A JP S61226265A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- dressing
- head
- peripheral blade
- circumferential cutter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B27/00—Other grinding machines or devices
- B24B27/06—Grinders for cutting-off
- B24B27/0616—Grinders for cutting-off using a tool turning around the workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B53/00—Devices or means for dressing or conditioning abrasive surfaces
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野Ｊ
この発明は、切断装置の切断砥石のドレッシングに係り
、詳しくは円盤状をなす切断砥石の外周刃または内周刃
のドレッシングに用いられるドレッシング方法および装
置に関する。
、詳しくは円盤状をなす切断砥石の外周刃または内周刃
のドレッシングに用いられるドレッシング方法および装
置に関する。
［従来技術とその問題点］
例えば、シリコンインゴット等の半導体の原材料をスラ
イス状に切断して半導体ウェハを製造する際には、一般
に内周刃を有する切断砥石が用いられている。この切断
砥石は、ｐｌＳ４図に示すように、中央部に開口部１が
形成された円盤状のもので、上記開口部１の周縁部に、
ダイアモンド電着層等からなる内周刃２が全周に沿って
形成されてなるものである。この切断砥石は、その外周
部に沿って穿設された取付孔３００．を介して切断装置
（図示せず）により高速回転され、その開口部１内に挿
入されてこの切断砥石に対し平行に移動されるシリコン
インゴット４を、その内周刃２で順次スライス状に切断
するものである。
イス状に切断して半導体ウェハを製造する際には、一般
に内周刃を有する切断砥石が用いられている。この切断
砥石は、ｐｌＳ４図に示すように、中央部に開口部１が
形成された円盤状のもので、上記開口部１の周縁部に、
ダイアモンド電着層等からなる内周刃２が全周に沿って
形成されてなるものである。この切断砥石は、その外周
部に沿って穿設された取付孔３００．を介して切断装置
（図示せず）により高速回転され、その開口部１内に挿
入されてこの切断砥石に対し平行に移動されるシリコン
インゴット４を、その内周刃２で順次スライス状に切断
するものである。
ところで、このような切断砥石は、切断回数が増加する
につれて上記内周刃２の目詰まりや摩耗などによって、
その切断能力が劣化上てくる。ところが、この切断能力
の劣化は、切断された製品における厚さのむちゃ反りの
発生を招き、延いては、最終製品であるウェハの品質の
低下を招くことになる。このため、上記切断砥石では、
その内周刃２に、目詰まりを除去するとともに新たに欠
けを生じさせて鋭い刃先を再生させる、いわゆるドレッ
シングを適宜施す必要がある。そこで従来は、上記内周
刃２のドレッシングとしで、上記切断砥石の内周刃に、
被切断物である上記シリコンインゴット４の代わりにＧ
Ｃ砥石やＷＡ砥石等の高硬度材を切断させるドレッシン
グ方法が採られている。
につれて上記内周刃２の目詰まりや摩耗などによって、
その切断能力が劣化上てくる。ところが、この切断能力
の劣化は、切断された製品における厚さのむちゃ反りの
発生を招き、延いては、最終製品であるウェハの品質の
低下を招くことになる。このため、上記切断砥石では、
その内周刃２に、目詰まりを除去するとともに新たに欠
けを生じさせて鋭い刃先を再生させる、いわゆるドレッ
シングを適宜施す必要がある。そこで従来は、上記内周
刃２のドレッシングとしで、上記切断砥石の内周刃に、
被切断物である上記シリコンインゴット４の代わりにＧ
Ｃ砥石やＷＡ砥石等の高硬度材を切断させるドレッシン
グ方法が採られている。
しかしながら、上記従来のドレッシング方法にあっては
、ドレッシングの度毎に上記内周刃による上記シリコン
インゴット４の切断を一旦中断しなければならず、作業
の非能率化を招くという火照があった。また、上記内周
刃２の端面がドレッシングされるのみで、その効果が上
記内周刃２の側面に及ばないためＪたとえ片側面側のみ
に目詰まりが発生しでいる場合でも、その面のみの効果
的なドレッシングを行うことができないという問題点が
あった。このため、連続して均一な厚さの製品を得るこ
とが困難であるとともに、いきおいドレッシング回数が
増加し、よって徒に上記内周刃２の使用寿命の短命化を
招くという間２点があった。
、ドレッシングの度毎に上記内周刃による上記シリコン
インゴット４の切断を一旦中断しなければならず、作業
の非能率化を招くという火照があった。また、上記内周
刃２の端面がドレッシングされるのみで、その効果が上
記内周刃２の側面に及ばないためＪたとえ片側面側のみ
に目詰まりが発生しでいる場合でも、その面のみの効果
的なドレッシングを行うことができないという問題点が
あった。このため、連続して均一な厚さの製品を得るこ
とが困難であるとともに、いきおいドレッシング回数が
増加し、よって徒に上記内周刃２の使用寿命の短命化を
招くという間２点があった。
［発明の目的１
この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、被切断物
の切断と平行して外周刃または内周刃のドレ―ンシング
を行うことがき、よって連続して均一な厚さの製品を得
ることができるとともに、作業の効率化を計ることがで
き、しかも上記外周刃または内周刃の使用寿命を伸ばす
ことができるドレッシング方法および装置を提供するこ
とを目的とするものである。
の切断と平行して外周刃または内周刃のドレ―ンシング
を行うことがき、よって連続して均一な厚さの製品を得
ることができるとともに、作業の効率化を計ることがで
き、しかも上記外周刃または内周刃の使用寿命を伸ばす
ことができるドレッシング方法および装置を提供するこ
とを目的とするものである。
［間定点を解決するための手段１
この発明のドレッシング方法および装置は、本体の先端
部に移動自在に設けられるとともに、先端部に上記移動
方向に開口し円盤状をなすｇＪＷｒ砥石の外周刃または
内周刃が挿入される切欠部が形成されたヘッドと、この
ヘッドと上記本体とに配設されて表面に砥粒を有するテ
ープを、上記ヘッドの切欠部を横切らせて走行せしめる
テープの走行手段と、上記ヘッドと上記本体との間に設
けらしてなるドレッシングｇ＆置の上記へ・７ドの切欠
部内に、上記外周刃または内周刃を挿入し、表面に砥粒
を有する上記テープを上記走行手段により走行させなが
らこのテープの表面に上記外周刃または内周刃を接触さ
せて上記外周刃または内周刃をドレッシングするもので
ある。
部に移動自在に設けられるとともに、先端部に上記移動
方向に開口し円盤状をなすｇＪＷｒ砥石の外周刃または
内周刃が挿入される切欠部が形成されたヘッドと、この
ヘッドと上記本体とに配設されて表面に砥粒を有するテ
ープを、上記ヘッドの切欠部を横切らせて走行せしめる
テープの走行手段と、上記ヘッドと上記本体との間に設
けらしてなるドレッシングｇ＆置の上記へ・７ドの切欠
部内に、上記外周刃または内周刃を挿入し、表面に砥粒
を有する上記テープを上記走行手段により走行させなが
らこのテープの表面に上記外周刃または内周刃を接触さ
せて上記外周刃または内周刃をドレッシングするもので
ある。
［実施例］
第１図および第２図は、この発明のドレッシング装置の
一例を示すもので、図中符号１０は本体を示すものであ
る。
一例を示すもので、図中符号１０は本体を示すものであ
る。
この本体１０は、所定の厚さを有する板状の部材で、そ
の図中左上部に位置する先端部１１には、長方板状のヘ
ッド１２が、一対の平行リンク１４．１４を介してこの
本体１０の板面に沿って上下ｒＪｈ自在に設けられてい
る。また、この本体１０と上記へラド１２の基端部１３
上部との間には、上記ヘッド１２を上方に向けて付勢す
るバネ１５が介装されている。さらに、この本体１０の
上記ヘッド１２の基端部１３上方には、上記へラド１２
を上記バネ１５−の付努力に抗して−下；−ｈ′１−Ｉ
ｉ！７１１＋ｆ球ｆｆ１ｌ＋４ＪＪ−Ｘ〒７２１Ｉ＋”
／−０’＋ＲａｔＴｖｎｌテトけられている。他方、こ
の本体１０の上記ヘッド１２の基端部１３の下方位置に
は、上記エアシリンダ１６による上記へノド１２の下方
への移動を所定位置において係止するストッパ１７が設
けられている。そして、上記へノド１２の先端部には、
下方に向けて開口する切欠部１８が形成されている。
の図中左上部に位置する先端部１１には、長方板状のヘ
ッド１２が、一対の平行リンク１４．１４を介してこの
本体１０の板面に沿って上下ｒＪｈ自在に設けられてい
る。また、この本体１０と上記へラド１２の基端部１３
上部との間には、上記ヘッド１２を上方に向けて付勢す
るバネ１５が介装されている。さらに、この本体１０の
上記ヘッド１２の基端部１３上方には、上記へラド１２
を上記バネ１５−の付努力に抗して−下；−ｈ′１−Ｉ
ｉ！７１１＋ｆ球ｆｆ１ｌ＋４ＪＪ−Ｘ〒７２１Ｉ＋”
／−０’＋ＲａｔＴｖｎｌテトけられている。他方、こ
の本体１０の上記ヘッド１２の基端部１３の下方位置に
は、上記エアシリンダ１６による上記へノド１２の下方
への移動を所定位置において係止するストッパ１７が設
けられている。そして、上記へノド１２の先端部には、
下方に向けて開口する切欠部１８が形成されている。
また、上記本体１０および上記へノド１２には、テープ
１９の走行手段２０が配設されている。この走行手段２
０は、上記テープ１９が巻回された送出しボビン２１と
、上記テープ１９を案内する多数のガイドローラ２２．
、、と、上記テープ１９を走行させるキャプスタン２３
と、走行中の上記テープ１９に一定の張力を与えるピン
チローラ２４．２４と、上記テープ１９を巻き取る巻取
りボビン２５とから構成されたものである。ここで、上
記送出しボビン２１は、上記本体１０の下部に軸２６を
介して回転自在に設けられており、また上記ガイドロー
ラ２２．、、は、この送出しボビン２１から送り出され
る上記テープ１９を一旦上記へ・ノド１２の先端の切欠
部１８まで導いた後、再び本体１０の下端部まで導くよ
うにしで、上記本体１０とヘッド１２との適所に配設さ
れている。そして、上記本体１０の下部に、上記テープ
１９を上記がイドローラ２２．０．に沿って走行させる
上記キャプスタン２３とこのキャプスタン２３から送ら
れてくる上記テープ１９を巻き取る上記巻取りボビン２
５とが、それぞれ回転自在に配設されている。他方、上
記本体１０の背面には、上記キャプスタン２３を直接回
転駆動するとともに、このキャプスタン２３の回転と連
動させて上記巻取リボビン２５を回転駆動するモータ２
７が取り付けられている。そして、さらに上記巻取リボ
ビン２５前段の上記キャブスフ２２３位置と上記送出手
段ボビン２１の後段位置とに、それぞれ走行する上記テ
ープ１９に所定の張力を与える上記ピンチローラ２４
、２４が配設されている。
１９の走行手段２０が配設されている。この走行手段２
０は、上記テープ１９が巻回された送出しボビン２１と
、上記テープ１９を案内する多数のガイドローラ２２．
、、と、上記テープ１９を走行させるキャプスタン２３
と、走行中の上記テープ１９に一定の張力を与えるピン
チローラ２４．２４と、上記テープ１９を巻き取る巻取
りボビン２５とから構成されたものである。ここで、上
記送出しボビン２１は、上記本体１０の下部に軸２６を
介して回転自在に設けられており、また上記ガイドロー
ラ２２．、、は、この送出しボビン２１から送り出され
る上記テープ１９を一旦上記へ・ノド１２の先端の切欠
部１８まで導いた後、再び本体１０の下端部まで導くよ
うにしで、上記本体１０とヘッド１２との適所に配設さ
れている。そして、上記本体１０の下部に、上記テープ
１９を上記がイドローラ２２．０．に沿って走行させる
上記キャプスタン２３とこのキャプスタン２３から送ら
れてくる上記テープ１９を巻き取る上記巻取りボビン２
５とが、それぞれ回転自在に配設されている。他方、上
記本体１０の背面には、上記キャプスタン２３を直接回
転駆動するとともに、このキャプスタン２３の回転と連
動させて上記巻取リボビン２５を回転駆動するモータ２
７が取り付けられている。そして、さらに上記巻取リボ
ビン２５前段の上記キャブスフ２２３位置と上記送出手
段ボビン２１の後段位置とに、それぞれ走行する上記テ
ープ１９に所定の張力を与える上記ピンチローラ２４
、２４が配設されている。
ここで、上記走行手段２０によって、導かれる上記テー
プ１９は、その表面にシリコンカーバイド等の砥粒から
なる砥粒層が形成されたフィルム状のものである。そし
て、このテープ１９は、上記走行手段２０の上記ヘッド
１２の切欠部１８の前後に位置するがイドローラ２２ａ
、２２ａにより、上記切欠部１８内を、この切欠部１８
内に挿入される内周刃２の端面２ａに対して傾斜して横
切るようにされている。
プ１９は、その表面にシリコンカーバイド等の砥粒から
なる砥粒層が形成されたフィルム状のものである。そし
て、このテープ１９は、上記走行手段２０の上記ヘッド
１２の切欠部１８の前後に位置するがイドローラ２２ａ
、２２ａにより、上記切欠部１８内を、この切欠部１８
内に挿入される内周刃２の端面２ａに対して傾斜して横
切るようにされている。
なお、図中２８は、切断装置に取り付けられて高速回転
する切断砥石の上記内周刃２に近接して設けられ、その
偏位を検知するための、渦電流偏位センサー等の偏位量
検出センサーを示すものである。
する切断砥石の上記内周刃２に近接して設けられ、その
偏位を検知するための、渦電流偏位センサー等の偏位量
検出センサーを示すものである。
次に、以上の構成からなるドレッシング装置を用いたこ
の発明のドレッシング方法の一例を説明する。
の発明のドレッシング方法の一例を説明する。
虫ず、上記ドレッシング装置のへ・ノド１２を、第４図
に示すような、シリコンインゴット４を切断している切
断砥石の開口部１の上記シリコンインゴット４と反対側
の位置１ａ付近に挿入する。そして、ｆｊＳ１図に示す
ように、上記ヘッドＩＺの切欠部１８を上記切断砥石の
内周刃２の端面２ａに臨ませた位置で、上記本体１０を
上記切断装置の本体（図示せず）に固定する。
に示すような、シリコンインゴット４を切断している切
断砥石の開口部１の上記シリコンインゴット４と反対側
の位置１ａ付近に挿入する。そして、ｆｊＳ１図に示す
ように、上記ヘッドＩＺの切欠部１８を上記切断砥石の
内周刃２の端面２ａに臨ませた位置で、上記本体１０を
上記切断装置の本体（図示せず）に固定する。
一方、これと並行して上記偏位量検出センサー２８によ
りシリコンインゴット４を切断中の内周刃２の一側面（
図では左側面）の偏位量を計測し、その結果を制御部（
図示せず）におくる。すると上記制御部において、上記
計測値と予め設定された数値との比較により所定のドレ
ッシング時間が決定される。
りシリコンインゴット４を切断中の内周刃２の一側面（
図では左側面）の偏位量を計測し、その結果を制御部（
図示せず）におくる。すると上記制御部において、上記
計測値と予め設定された数値との比較により所定のドレ
ッシング時間が決定される。
次に上記モータ２７を駆動して上記テープ１９を送出し
ボビン２１から巻取りボビン２５に向けて、図中矢印に
示すように走行させる。そして、これと並行して、上記
制御部からの信号により上記エアシリンダ１６を所定時
間駆動させて上記へノド１２を下方に向けて押圧し、切
欠部１８内の上記テープ１９を内周刃２の端面２ａの左
側面に押し当ててこれをドレッシングする。ついで、所
定のドレッシング時間が経過すると、制御部からの信号
により上記モータ２フが停止するとともに、上記エアシ
リンダ１６の作動が停止し、これにより上記ヘッド１２
がバネ１５の付勢力により上方に変位してテープ１９が
内周刃２の端面２ａから離れ、その左側面のドレッシン
グが終了する。
ボビン２１から巻取りボビン２５に向けて、図中矢印に
示すように走行させる。そして、これと並行して、上記
制御部からの信号により上記エアシリンダ１６を所定時
間駆動させて上記へノド１２を下方に向けて押圧し、切
欠部１８内の上記テープ１９を内周刃２の端面２ａの左
側面に押し当ててこれをドレッシングする。ついで、所
定のドレッシング時間が経過すると、制御部からの信号
により上記モータ２フが停止するとともに、上記エアシ
リンダ１６の作動が停止し、これにより上記ヘッド１２
がバネ１５の付勢力により上方に変位してテープ１９が
内周刃２の端面２ａから離れ、その左側面のドレッシン
グが終了する。
次に、ヘッド１２の切欠部１８の前後に位置する上記が
イドローラ２２ａ、 ２２ａをそれまでとは互いの上軍
関係が逆になるように取り付は直して、上記切欠部１８
内を横切る上記テープ１９の傾斜を逆向きにするか、あ
るいはこのドレッシング装置自体を切断装置の逆側から
上記開口部１ａ内に挿入することにより、同様にして上
記内周刃２の右側面のドレッシングを行う。 しかし
て、このようなドレッシング装置を用いたドレッシング
方法によれば、被切削物であるシリコンインゴット４の
切断を行いながら、適宜上記内周刃２のドレッシングを
することができる。したがって、連続して均一な厚さの
製品を得ることができるとともに、上記切断作業の妨げ
となることがなく、よってその作業効率を大巾に向上さ
せることができる。また、上記テープ１９を上記内周刃
２の端面２ａに対して傾斜させることにより、上記内周
刃２の片側面毎のドレッシングを行うことができるので
、必要とされている箇所にのみドレッシングを施すこと
ができる。このため、余分なドレッシングを防ぐことが
でき、よって上記内周刃２の使用寿命を伸ばすことがで
きる。
イドローラ２２ａ、 ２２ａをそれまでとは互いの上軍
関係が逆になるように取り付は直して、上記切欠部１８
内を横切る上記テープ１９の傾斜を逆向きにするか、あ
るいはこのドレッシング装置自体を切断装置の逆側から
上記開口部１ａ内に挿入することにより、同様にして上
記内周刃２の右側面のドレッシングを行う。 しかし
て、このようなドレッシング装置を用いたドレッシング
方法によれば、被切削物であるシリコンインゴット４の
切断を行いながら、適宜上記内周刃２のドレッシングを
することができる。したがって、連続して均一な厚さの
製品を得ることができるとともに、上記切断作業の妨げ
となることがなく、よってその作業効率を大巾に向上さ
せることができる。また、上記テープ１９を上記内周刃
２の端面２ａに対して傾斜させることにより、上記内周
刃２の片側面毎のドレッシングを行うことができるので
、必要とされている箇所にのみドレッシングを施すこと
ができる。このため、余分なドレッシングを防ぐことが
でき、よって上記内周刃２の使用寿命を伸ばすことがで
きる。
「他の実施例Ｊ
第３図は、この発明の他の実施例を示すものである。こ
の例のドレッシング装置にあっては、上記テープの走行
手段２０とともに、図中点線で示すように、さらにこの
走行手段２０と同様の走行手段３０が上記本体１０とへ
ラド１２との背面側に配設されている。そして、この走
行手＃９．３０により、上記テープ１９と同様なテープ
３１は、ヘッド１２の切欠部１８内を上記テープ１９と
交差する方向（即ち、この切欠部１８内に挿入される内
周刃２の図中右側面をドレッシングする方向）、へ横切
るようにして導かれている。
の例のドレッシング装置にあっては、上記テープの走行
手段２０とともに、図中点線で示すように、さらにこの
走行手段２０と同様の走行手段３０が上記本体１０とへ
ラド１２との背面側に配設されている。そして、この走
行手＃９．３０により、上記テープ１９と同様なテープ
３１は、ヘッド１２の切欠部１８内を上記テープ１９と
交差する方向（即ち、この切欠部１８内に挿入される内
周刃２の図中右側面をドレッシングする方向）、へ横切
るようにして導かれている。
しかして、このようなドレッシング装置によれば、第１
図および第２図に示したものと同様の作用効果を得るこ
とができるとともに、さらに、上記走行手ｇ９．ＺＯ，
３０のいずれか一方、あるいは両方を適宜駆動すること
により、一台の装置で上記内周刃２の両側面のドレッシ
ングを自在に行うことができる。
図および第２図に示したものと同様の作用効果を得るこ
とができるとともに、さらに、上記走行手ｇ９．ＺＯ，
３０のいずれか一方、あるいは両方を適宜駆動すること
により、一台の装置で上記内周刃２の両側面のドレッシ
ングを自在に行うことができる。
なお、上記実施例においては、いずれも内周刃２にドレ
ッシングを施す場合について説明したが、これに限るも
のではなく、外周刃のドレッシングに適用した場合にお
いても同様の作用効果を得ることができる。
ッシングを施す場合について説明したが、これに限るも
のではなく、外周刃のドレッシングに適用した場合にお
いても同様の作用効果を得ることができる。
［発明の効果］
以上説明したようにこの発明のドレッシング方法および
ドレッシング装置は、本体の先端部に移動自在に設けら
れるとともに、先端部に上記移動方向に開口し円盤状を
なす切断砥石の外周刃または内周刃が挿入される切欠部
が形成されたヘッドと、このヘッドと上記本体とに配設
されて表面に砥粒を有するテープを、上記ヘッドの切欠
部を横切らせて走行せしめるテープの走行手段と、上記
ヘッドと上記本体との間に設けられて上記ヘッドを移動
せしめる駆動手段とを具備じてなるドレッシング装置の
上記ヘッドの切欠部内に、上記外周刃または内周刃を挿
入し、表面に砥粒を有する上記テープを走行させながら
このテープの表面に上記外周刃または内周刃を接触させ
て上記外周刃または内周刃をドレッシングするものであ
る。このため、被切断物の切断と平行して外周刃または
内周刃のドレッシングを行うことがきるため、連続して
均一な厚さの製品を得ることができ、しかも、作業の効
率化を計ることができるとともに、加えて上記外周刃ま
たは内周刃の使用寿命を伸ばすこともできる。
ドレッシング装置は、本体の先端部に移動自在に設けら
れるとともに、先端部に上記移動方向に開口し円盤状を
なす切断砥石の外周刃または内周刃が挿入される切欠部
が形成されたヘッドと、このヘッドと上記本体とに配設
されて表面に砥粒を有するテープを、上記ヘッドの切欠
部を横切らせて走行せしめるテープの走行手段と、上記
ヘッドと上記本体との間に設けられて上記ヘッドを移動
せしめる駆動手段とを具備じてなるドレッシング装置の
上記ヘッドの切欠部内に、上記外周刃または内周刃を挿
入し、表面に砥粒を有する上記テープを走行させながら
このテープの表面に上記外周刃または内周刃を接触させ
て上記外周刃または内周刃をドレッシングするものであ
る。このため、被切断物の切断と平行して外周刃または
内周刃のドレッシングを行うことがきるため、連続して
均一な厚さの製品を得ることができ、しかも、作業の効
率化を計ることができるとともに、加えて上記外周刃ま
たは内周刃の使用寿命を伸ばすこともできる。
第１図および第２図はこの発明のドレッシング装置の一
実施例を示すもので、第１図は概略正面図、第２図は概
略平面図、第３図この発明の他の実施例を示す概略正面
図、ｆｐ１４図は内周刃を有する切断砥石を示す斜視図
である。 ２、、、、、、内周刃、４．、、．０．シリコンインゴ
ット、１０．、、 、、、本体、１２．、、 、、、
ヘッド、１６．、、 、、。 エアシリング、１８．、、 、、、切欠部、１９，３１
．、、 、、。 テープ、２０，３０．、、 、、、走行手段、２１．、
、 、、、送出しボビン、２５．、、 、、、巻取りボ
ビン、２７．、、 、、、モータ、２Ｂ、、、 、、、
偏位量検出センサ。
実施例を示すもので、第１図は概略正面図、第２図は概
略平面図、第３図この発明の他の実施例を示す概略正面
図、ｆｐ１４図は内周刃を有する切断砥石を示す斜視図
である。 ２、、、、、、内周刃、４．、、．０．シリコンインゴ
ット、１０．、、 、、、本体、１２．、、 、、、
ヘッド、１６．、、 、、。 エアシリング、１８．、、 、、、切欠部、１９，３１
．、、 、、。 テープ、２０，３０．、、 、、、走行手段、２１．、
、 、、、送出しボビン、２５．、、 、、、巻取りボ
ビン、２７．、、 、、、モータ、２Ｂ、、、 、、、
偏位量検出センサ。
Claims (4)
- （１）外周刃または内周刃が形成された円盤状の切断砥
石の上記外周刃または内周刃をドレッシングするドレッ
シング方法において、表面に砥粒を有するテープを走行
させながら、このテープの表面に上記外周刃または内周
刃を接触させて上記外周刃または内周刃をドレッシング
することを特徴とするドレッシング方法。 - （２）上記テープの表面を、上記外周刃または内周刃の
端面に対して傾斜させて上記外周刃または内周刃に接触
させることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のド
レッシング方法。 - （３）本体の先端部に移動自在に設けられるとともに、
先端部に上記移動方向に開口し、円盤状をなす切断砥石
の外周刃または内周刃が挿入される切欠部が形成された
ヘッドと、 このヘッドと上記本体とに配設されて表面に砥粒を有す
るテープを、上記ヘッドの切欠部を横切らせて走行せし
めるテープの走行手段と、 上記ヘッドと上記本体との間に設けられて上記ヘッドを
上記外周刃または内周刃に対して移動せしめる駆動手段
とを具備してなることを特徴とするドレッシング装置。 - （４）上記テープの走行手段は、上記テープを、上記ヘ
ッドの切欠部内においてこの切欠部内に挿入される上記
外周刃または内周刃の端面に対して傾斜する方向に横切
らせることを特徴とする特許請求の範囲第３項記載のド
レッシング装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60066176A JPS61226265A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | ドレツシング方法および装置 |
| US06/841,094 US4699118A (en) | 1985-03-29 | 1986-03-18 | Apparatus for dressing cutting edge |
| DE8686104313T DE3681747D1 (de) | 1985-03-29 | 1986-03-27 | Verfahren und vorrichtung zum abrichten einer trennkante. |
| EP86104313A EP0196642B1 (en) | 1985-03-29 | 1986-03-27 | Method of and apparatus for dressing cutting edge |
| DE198686104313T DE196642T1 (de) | 1985-03-29 | 1986-03-27 | Verfahren und vorrichtung zum abrichten einer trennkante. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60066176A JPS61226265A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | ドレツシング方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61226265A true JPS61226265A (ja) | 1986-10-08 |
| JPH0217304B2 JPH0217304B2 (ja) | 1990-04-20 |
Family
ID=13308270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60066176A Granted JPS61226265A (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | ドレツシング方法および装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4699118A (ja) |
| EP (1) | EP0196642B1 (ja) |
| JP (1) | JPS61226265A (ja) |
| DE (2) | DE3681747D1 (ja) |
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1985
- 1985-03-29 JP JP60066176A patent/JPS61226265A/ja active Granted
-
1986
- 1986-03-18 US US06/841,094 patent/US4699118A/en not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-27 EP EP86104313A patent/EP0196642B1/en not_active Expired
- 1986-03-27 DE DE8686104313T patent/DE3681747D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1986-03-27 DE DE198686104313T patent/DE196642T1/de active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4699118A (en) | 1987-10-13 |
| EP0196642B1 (en) | 1991-10-02 |
| DE3681747D1 (de) | 1991-11-07 |
| JPH0217304B2 (ja) | 1990-04-20 |
| DE196642T1 (de) | 1989-12-28 |
| EP0196642A2 (en) | 1986-10-08 |
| EP0196642A3 (en) | 1989-05-31 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
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