JPH0217304B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、切断装置の切断砥石のドレツシン
グに係り、詳しくは円盤状をなす切断砥石の外周
刃または内周刃のドレツシングに用いられるドレ
ツシング方法および装置に関する。

［従来技術とその問題点］ 例えば、シリコンインゴツト等の半導体の原材
料をスライス状に切断して半導体ウエハを製造す
る際には、一般に内周刃を有する切断砥石が用い
られている。この切断砥石は、第４図に示すよう
に、中央部に開口部１が形成された円盤状のもの
で、上記開口部１の周縁部に、ダイアモンド電着
層等からなる内周刃２が全周に沿つて形成されて
なるものである。この切断砥石は、その外周部に
沿つて穿設された取付孔３…を介して切断装置
（図示せず）により高速回転され、その開口部１
内に挿入されてこの切断砥石に対し平行に移動さ
れるシリコンインゴツト４を、その内周刃２で順
次スライス状に切断するものである。

ところで、このような切断砥石は、切断回数が
増加するにつれて上記内周刃２の目詰まりや摩耗
などによつて、その切断能力が劣化してくる。と
ころが、この切断能力の劣化は、切断された製品
における厚さのむらや反りの発生を招き、延いて
は、最終製品であるウエハの品質の低下を招くこ
とになる。このため、上記切断砥石では、その内
周刃２に、目詰まりを除去するとともに新たに欠
けを生じさせて鋭い刃先を再生させる、いわゆる
ドレツシングを適宜施す必要がある。そこで従来
は、上記内周刃２のドレツシングとして、上記切
断砥石の内周刃に、被切断物である上記シリコン
インゴツト４の代わりにGC砥石やWA砥石等の
高硬度材を切断させるドレツシング方法が採られ
ている。

しかしながら、上記従来のドレツシング方法に
あつては、ドレツシングの度毎に上記内周刃によ
る上記シリコンインゴツト４の切断を一旦中断し
なければならず、作業の非能率化を招くという欠
点があつた。また、上記内周刃２の端面がドレツ
シングされるのみで、その効果が上記内周刃２の
側面に及ばないため、たとえ片側面側のみに目詰
まりが発生している場合でも、その面のみの効果
的なドレツシングを行うことができないという問
題点があつた。このため、連続して均一な厚さの
製品を得ることが困難であるとともに、いきおい
ドレツシング回数が増加し、よつて徒に上記内周
刃２の使用寿命の短命化を招くという問題点があ
つた。

［発明の目的］ この発明は上記事情に鑑みてなされたもので、
被切断物の切断と並行して外周刃または内周刃の
ドレツシングを行うことができ、よつて連続して
均一な厚さの製品を得ることができるとともに、
作業の効率化を計ることができ、しかも上記外周
刃または内周刃の使用寿命を伸ばすことができる
ドレツシング方法および装置を提供することを目
的とするものである。

またこの発明の他の目的は、切断作業中の外周
刃または内周刃や被切断物の邪魔とならない狭小
な位置にセツトすることができて、被切断物の切
断作業と同時にドレツシングをすることができる
ドレツシング方法および装置を提供することにあ
る。

［問題点を解決するための手段］ (1) この発明のドレツシング方法は、 外周刃または内周刃が形成された円盤状の切
断砥石を回転させつつ、その切断砥石の外周刃
または内周刃をドレツシングするドレツシング
方法において、 切断砥石から離れた外部の定位置に取り付け
たテープ走行手段から、表面に砥粒を有するテ
ープを繰り出し、 そのテープを、切断砥石の外周刃または内周
刃に近接離間移動するヘツドに導き、 そのヘツドにおいては、上記テープを切断砥
石の外周刃または内周刃に対して傾斜する方向
にガイドして、ヘツド自体を切断砥石の外周刃
または内周刃に近接移動させることによつて上
記テープを切断砥石の外周刃または内周刃に押
し付けてドレツシングし、 それから上記テープ走行手段に導いて、その
テープ走行手段において巻き取ることを特徴と
する。

(2) この発明のドレツシング装置は、 外周刃または内周刃が形成された円盤状の切
断砥石を回転させつつ、その切断砥石の外周刃
または内周刃をドレツシングするドレツシング
装置において、 切断砥石から離れた外部の定位置に取り付け
られる装置本体と、 上記装置本体に取り付けられて、切断砥石の
外周刃または内周刃に近接離間移動自在で、か
つ切断砥石の外周刃または内周刃と対向する位
置に切欠部が形成されたヘツドと、 上記装置本体とヘツドとの間に備えられて、
そのヘツドを切断砥石の径方向に沿つてその切
断砥石の外周刃または内周刃に近接離間移動さ
せる駆動手段と、 上記装置本体に備えられて、表面に砥粒を有
するテープが巻き付けられた送り出しボビン
と、 上記ヘツドに備えられ、上記送り出しボビン
に巻き付けられたテープを上記ヘツドの切欠部
に導いて、そのテープを切断砥石の外周刃また
は内周刃に対して傾斜する方向にガイドするガ
イドローラと、 上記装置本体に備えられ、上記ガイドローラ
からテープを導いて、そのテープを巻き取る巻
取りボビンとを具備してなることを特徴とす
る。

実施例 第１図および第２図は、この発明のドレツシン
グ装置の一例を示すもので、図中符号１０は本体
を示すものである。

この本体１０は、所定の厚さを有する板状の部
材で、その図中左上部に位置する先端部１１に
は、長方板状のヘツド１２が、一対の平行リンク
１４，１４を介してこの本体１０の板面に沿つて
上下動自在に設けられている。また、この本体１
０と上記ヘツド１２の基端部１３上部との間に
は、上記ヘツド１２を上方に向けて付勢するバネ
１５が介装されている。さらに、この本体１０の
上記ヘツド１２の基端部１３上方には、上記ヘツ
ド１２を上記バネ１５の付勢力に抗して下方に向
けて移動させるエアシリンダ１６が取り付けられ
ている。他方、この本体１０の上記ヘツド１２の
基端部１３の下方位置には、上記エアシリンダ１
６による上記ヘツド１２の下方への移動を所定位
置において係止するストツパ１７が設けられてい
る。そして、上記ヘツド１２の先端部には、下方
に向けて開口する切欠部１８が形成されている。

また、上記本体１０および上記ヘツド１２に
は、テープ１９の走行手段２０が配設されてい
る。この走行手段２０は、上記テープ１９が巻回
された送出しボビン２１と、上記テープ１９を案
内する多数のガイドローラ２２…と、上記テープ
１９を走行させるキヤプスタン２３と、走行中の
上記テープ１９に一定の張力を与えるピンチロー
ラ２４，２４と、上記テープ１９を巻き取る巻取
りボビン２５とから構成されたものである。ここ
で、上記送出しボビン２１は、上記本体１０の下
部に軸２６を介して回転自在に設けられており、
また上記ガイドローラ２２…は、この送出しボビ
ン２１から送り出される上記テープ１９を一旦上
記ヘツド１２の先端の切欠部１８まで導いた後、
再び本体１０の下端部まで導くようにして、上記
本体１０とヘツド１２との適所に配設されてい
る。そして、上記本体１０の下部に、上記テープ
１９を上記ガイドローラ２２…に沿つて走行させ
る上記キヤプスタン２３とこのキヤプスタン２３
から送られてくる上記テープ１９を巻き取る上記
巻取りボビン２５とが、それぞれ回転自在に配設
されている。他方、上記本体１０の背面には、上
記キヤプスタン２３を直接回転駆動するととも
に、このキヤプスタン２３の回転と連動させて上
記巻取りボビン２５を回転駆動するモータ２７が
取り付けられている。そして、さらに上記巻取り
ボビン２５前段の上記キヤプスタン２３位置と上
記送出手段ボビン２１の後段位置とに、それぞれ
走行する上記テープ１９に所定の張力を与える上
記ピンチローラ２４，２４が配設されている。

ここで、上記走行手段２０によつて、導かれる
上記テープ１９は、その表面にシリコンカーバイ
ト等の砥粒からなる砥粒層が形成されたフイルム
状のものである。そして、このテープ１９は、上
記走行手段２０の上記ヘツド１２の切欠部１８の
前後に位置するガイドローラ２２ａ，２２ａによ
り、上記切欠部１８内を、この切欠部１８内に挿
入される内周刃２の端面２ａに対して傾斜して横
切るようにされている。なお、図中２８は、切断
装置に取り付けられて高速回転する切断砥石の上
記内周刃２に近接して設けられ、その偏位を検知
するための、渦電流偏位センサー等の偏位量検出
センサーを示すものである。

次に、以上の構成からなるドレツシング装置を
用いたこの発明のドレツシング方法の一例を説明
する。

まず、上記ドレツシング装置のヘツド１２を、
第４図に示すような、シリコンインゴツト４を切
断している切断砥石の開口部１の上記シリコンイ
ンゴツト４と反対側の位置１ａ付近に挿入する。
そして、第１図に示すように、上記ヘツド１２の
切欠部１８を上記切断砥石の内周刃２の端面２ａ
に臨ませた位置で、上記本体１０を上記切断装置
の本体（図示せず）に固定する。

一方、これと並行して上記偏位量検出センサー
２８によりシリコンインゴツト４を切断中の内周
刃２の一側面（図では左側面）の偏位量を計測
し、その結果を制御部（図示せず）におくる。す
ると上記制御部において、上記計測値と予め設定
された数値との比較により所定のドレツシング時
間が決定される。

次に上記モータ２７を駆動して上記テープ１９
を送出しボビン２１から巻取りボビン２５に向け
て、図中矢印に示すように走行させる。そして、
これと並行して、上記制御部からの信号により上
記エアシリンダ１６を所定時間駆動させて上記ヘ
ツド１２を下方に向けて押圧し、切欠部１８内の
上記テープ１９を内周刃２の端面２ａの左側面に
押し当ててこれをドレツシングする。ついで、所
定のドレツシング時間が経過すると、制御部から
の信号により上記モータ２７が停止するととも
に、上記エアシリンダ１６の作動が停止し、これ
により上記ヘツド１２がバネ１５の付勢力により
上方に変位してテープ１９が内周刃２の端面２ａ
から離れ、その左側面のドレツシングが終了す
る。

次に、ヘツド１２の切欠部１８の前後に位置す
る上記ガイドローラ２２ａ，２２ａをそれまでと
は互いの上下関係が逆になるように取り付け直し
て、上記切欠部１８内を横切る上記テープ１９の
傾斜を逆向きにするか、あるいはこのドレツシン
グ装置自体を切断装置の逆側から上記開口部１ａ
内に挿入することにより、同様にして上記内周刃
２の右側面のドレツシングを行う。しかして、こ
のようなドレツシング装置を用いたドレツシング
方法によれば、被切削物であるシリコンインゴツ
ト４の切断を行いながら、適宜上記内周刃２のド
レツシングをすることができる。したがつて、連
続して均一な厚さの製品を得ることができるとと
もに、上記切断作業の妨げとなることがなく、よ
つてその作業効率を大巾に向上させることができ
る。また、上記テープ１９を上記内周刃２の端面
２ａに対して傾斜させることにより、上記内周刃
２の片側面毎のドレツシングを行うことができる
ので、必要とされている箇所にのみドレツシング
を施すことができる。このため、余分なドレツシ
ングを防ぐことができ、よつて上記内周刃２の使
用寿命を伸ばすことができる。

また、テープ１９の送出しボビン２１、巻取り
ボビン２５、キヤプスタン２３、およびピンチロ
ーラ２４を含むテープ１９の走行手段２０を本体
１０側に備え、そしてテープ１９をガイドして内
周刃２に押し付けるガイド機構のみをヘツド１２
側に備えているため、前者の本体１０は、内周刃
２から離れて邪魔にならない外部の定位置に取り
付けることができると共に、後者のヘツド１２
は、小型、軽量にして、本体１０から内周刃２と
の対向位置まで邪魔にならないように延在させる
ことができる。

したがつてドレツシング用のテープ１９を、切
断作業の邪魔とならない狭小なドレツシング位置
にセツトすることができる。しかも、その小型、
軽量のヘツド１２を移動させる駆動手段の小出力
のものを採用して、装置全体の小型化を実現する
ことができる。

［他の実施例］ 第３図は、この発明の他の実施例を示すもので
ある。この例のドレツシング装置にあつては、上
記テープの走行手段２０とともに、図中点線で示
すように、さらにこの走行手段２０と同様の走行
手段３０が上記本体１０とヘツド１２との背面側
に配設されている。そして、この走行手段３０に
より、上上記テープ１９と同様なテープ３１は、
ヘツド１２の切欠部１８内を上記テープ１９と交
差する方向（即ち、この切欠部１８内に挿入され
る内周刃２の図中右側面をドレツシングする方
向）。へ横切るようにして導かれている。

しかして、このようなドレツシング装置によれ
ば、第１図および第２図に示したものと同様の作
用効果を得ることができるとともに、さらに、上
記走行手段２０，３０のいずれか一方、あるいは
両方を適宜駆動することにより、一台の装置で上
記内周刃２の両側面のドレツシングを自在に行う
ことができる。

なお、上記実施例においては、いずれも内周刃
２にドレツシングを施す場合について説明した
が、これに限るものではなく、外周刃のドレツシ
ングに適用した場合においても同様の作用効果を
得ることができる。

［発明の効果］ 以上説明したようにこの説明のドレツシング方
法およびドレツシング装置は、本体の先端部に移
動自在に設けられるとともに、先端部に上記移動
方向に開口し円盤状をなす切断砥石の外周刃また
は内周刃が挿入される切欠部が形成されたヘツド
と、このヘツドと上記本体とに配設されて表面に
砥粒を有するテープを、上記ヘツドの切欠部を横
切らせて走行せしめるテープの走行手段と、上記
ヘツドと上記本体との間に設けられて上記ヘツド
を移動せしめる駆動手段とを具備してなるドレツ
シング装置の上記ヘツドの切欠部内に、上記外周
刃または内周刃を挿入し、表面に砥粒を有する上
記テープを走行させながらこのテープの表面に上
記外周刃または内周刃を接触させて上記外周刃ま
たは内周刃をドレツシングするものである。この
ため、被切断物の切断と平行して外周刃または内
周刃のドレツシングを行うことができるため、連
続して均一な厚さの製品を得ることができ、しか
も、作業の効率化を計ることができるとともに、
加えて上記外周刃または内周刃の使用寿命を伸ば
すこともできる。

また、比較的大型かつ大重量のテープの走行手
段を本体側に備え、テープをガイドして外周刃ま
たは内周刃に押し付けるガイド機構のみをヘツド
に備えているため、前者の本体を、外周刃または
内周刃から離れて邪魔にならない外部の定位置に
取り付けることができると共に、後者のヘツドを
小型、軽量にして、本体から外周刃または内周刃
との対向位置まで邪魔にならないように延在させ
ることができる。

したがつてドレツシング用のテープを、外周刃
または内周刃に対する狭小なドレツシング位置に
セツトすることができ、しかも小型、軽量のヘツ
ドを移動させる駆動手段として小出力のものを採
用して、装置全体の小型化を実現することができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図はこの発明のドレツシング
装置の一実施例を示すもので、第１図は概略正面
図、第２図は概略平面図、第３図この発明の他の
実施例を示す概略正面図、第４図は内周刃を有す
る切断砥石を示す斜視図である。 ２……内周刃、４……シリコンインゴツト、１
０……本体、１２……ヘツド、１６……エアシリ
ンダ、１８……切欠部、１９，３１……テープ、
２０，３０……走行手段、２１……送出しボビ
ン、２５……巻取りボビン、２７……モータ、２
８……偏位量検出センサ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 外周刃または内周刃が形成された円盤状の切
   断砥石を回転させつつ、その切断砥石の外周刃ま
   たは内周刃をドレツシングするドレツシング方法
   において、 切断砥石から離れた外部の定位置に取り付けた
   テープ走行手段から、表面に砥粒を有するテープ
   を繰り出し、 そのテープを、切断砥石の外周刃または内周刃
   に近接離間移動するヘツドに導き、 そのヘツドにおいては、上記テープを切断砥石
   の外周刃または内周刃に対して傾斜する方向にガ
   イドして、ヘツド自体を切断砥石の外周刃または
   内周刃に近接移動させることによつて上記テープ
   を切断砥石の外周刃または内周刃に押し付けてド
   レツシングし、 それから上記テープを上記テープ走行手段に導
   いて、そのテープ走行手段において巻き取ること
   を特徴とするドレツシング方法。 ２ 上記テープを切断砥石の外周刃または内周刃
   に押し付ける時間は、偏位量センサーによつて計
   測した切断砥石の外周刃または内周刃の偏位の計
   測結果に基づいて制御する特許請求の範囲第１項
   に記載のドレツシング方法。 ３ 上記テープを切断砥石の外周刃または内周刃
   に押し付ける時間は、偏位量センサーによつて計
   測した切断砥石の外周刃または内周刃の偏位の計
   測結果に基づいて、外周刃または内周刃の表裏面
   の個々に対するドレツシング毎に制御する特許請
   求の範囲第１項に記載のドレツシング方法。 ４ 被切断物の切断作業中の切断砥石をドレツシ
   ングの対象として、その切断砥石の外周刃または
   内周刃をドレツシングすることを特徴とする特許
   請求の範囲第１項、第２項、または第３項に記載
   のドレツシング方法。 ５ 外周刃または内周刃が形成された円盤状の切
   断砥石を回転させつつ、その切断砥石の外周刃ま
   たは内周刃をドレツシングするドレツシング装置
   において、 切断砥石から離れた外部の定位置に取り付けら
   れる装置本体と、 上記装置本体に取り付けられて、切断砥石の外
   周刃または内周刃に近接離間移動自在で、かつ切
   断砥石の外周刃または内周刃と対向する位置に切
   欠部が形成されたヘツドと、 上記装置本体とヘツドとの間に備えられて、そ
   のヘツドを切断砥石の径方向に沿つてその切断砥
   石の外周刃または内周刃に近接離間移動させる駆
   動手段と、 上記装置本体に備えられて、表面に砥粒を有す
   るテープが巻き付けられた送り出しボビンと、 上記ヘツドに備えられ、上記送り出しボビンに
   巻き付けられたテープを上記ヘツドの切欠部に導
   いて、そのテープを切断砥石の外周刃または内周
   刃に対して傾斜する方向にガイドするガイドロー
   ラと、 上記装置本体に備えられ、上記ガイドローラか
   らテープを導いて、そのテープを巻き取る巻取り
   ボビンとを具備してなることを特徴とするドレツ
   シング装置。 ６ 上記ヘツドに備えられたガイドローラは、上
   記テープを複数ガイドしてそれらのテープを切断
   砥石の外周刃または内周刃の表裏面の双方に対向
   させるようにガイドするものであることを特徴と
   する特許請求の範囲第５項に記載のドレツシング
   装置。 ７ 上記駆動手段は、切断砥石の外周刃または内
   周刃の偏位を計測する偏位量センサーの計測結果
   に基づいて上記ヘツドを切断砥石の外周刃または
   内周刃に近接させる時間が制御されるものである
   特許請求の範囲第５項または第６項に記載のドレ
   ツシング装置。