JPS61222727A - 光学的記録媒体の基板の製造方法 - Google Patents
光学的記録媒体の基板の製造方法Info
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- JPS61222727A JPS61222727A JP6320585A JP6320585A JPS61222727A JP S61222727 A JPS61222727 A JP S61222727A JP 6320585 A JP6320585 A JP 6320585A JP 6320585 A JP6320585 A JP 6320585A JP S61222727 A JPS61222727 A JP S61222727A
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は光ビームにより記録、再生を行うことが可能な
光学的記録媒体用の案内溝付き基板の製造力１法に関す
る。
光学的記録媒体用の案内溝付き基板の製造力１法に関す
る。
光学的記録媒体の基板は高密度記録をするために基板上
に光学的案内溝を形成しておく必要があり、その形成方
法として従来からいくつかの方法が知られている。その
１つの方法として、案内溝の形状に対応する凹凸が設け
られたスタンパ−と呼ばれる型の上に硬化型の樹脂を塗
布した後、この上に基板を載置し、次いで、光照射等に
より樹脂を硬化させることにより、案内溝を形成すると
共にこの案内溝を基板に固着させる方法がある。
に光学的案内溝を形成しておく必要があり、その形成方
法として従来からいくつかの方法が知られている。その
１つの方法として、案内溝の形状に対応する凹凸が設け
られたスタンパ−と呼ばれる型の上に硬化型の樹脂を塗
布した後、この上に基板を載置し、次いで、光照射等に
より樹脂を硬化させることにより、案内溝を形成すると
共にこの案内溝を基板に固着させる方法がある。
この方法で作られた基板は、案内溝形状の転写性に優れ
、他の案内溝形成法に比較すると、案内溝付き基板の光
学的ひずみを少なくすることが可能であるという利点を
有する。しかし、量産性の点で他の方法に比べ劣ってい
ることに加え、次に示すような問題点も未解決であった
。
、他の案内溝形成法に比較すると、案内溝付き基板の光
学的ひずみを少なくすることが可能であるという利点を
有する。しかし、量産性の点で他の方法に比べ劣ってい
ることに加え、次に示すような問題点も未解決であった
。
第５図は上記従来法により案内溝を形成する場合の樹脂
硬化後の状態を示した図である。この従来法では、硬化
前の樹脂３は流動性がある為に基板２の最も端の部分か
らはみ出してしまうことがあり、このはみ出し部分が光
照射等によりそのまま硬化してしまい基板２の外側に図
に示すような尖頭状の端部を有するパリが生じることが
少なくなかった。
硬化後の状態を示した図である。この従来法では、硬化
前の樹脂３は流動性がある為に基板２の最も端の部分か
らはみ出してしまうことがあり、このはみ出し部分が光
照射等によりそのまま硬化してしまい基板２の外側に図
に示すような尖頭状の端部を有するパリが生じることが
少なくなかった。
また、スタンパ−４の中心に配設された中心軸ｌと基板
２との嵌合部には微小な間隙が存在するので、この部分
でも樹脂がはみ出て硬化し、小さなパリが発生したり、
案内溝の固着した基板２とスタンパ−４との離型を困難
にしていた。
２との嵌合部には微小な間隙が存在するので、この部分
でも樹脂がはみ出て硬化し、小さなパリが発生したり、
案内溝の固着した基板２とスタンパ−４との離型を困難
にしていた。
パリの発生した案内溝付き基板２とスタンパ−４との離
型を行う際に、尖頭状の端部を有するパリは欠けやすく
、欠けたパリはゴミとして剥離帯電で静電気が発生して
いる基板表面に付着してしまうことが多かった。また、
パリを除去する際にも除去されたパリがゴミとなり基板
表面に付着してしまう場合があった。このようにしてゴ
ミが付着された案内溝上に記録層を積層すると、ゴミの
部分は段差があるため積層した膜によって完全にカバー
できずにピンホールとなってしまう、そのピンホールか
ら水分や酸素が侵入して記録層が腐食することによって
その記録特性を劣化させてしまうという問題があった。
型を行う際に、尖頭状の端部を有するパリは欠けやすく
、欠けたパリはゴミとして剥離帯電で静電気が発生して
いる基板表面に付着してしまうことが多かった。また、
パリを除去する際にも除去されたパリがゴミとなり基板
表面に付着してしまう場合があった。このようにしてゴ
ミが付着された案内溝上に記録層を積層すると、ゴミの
部分は段差があるため積層した膜によって完全にカバー
できずにピンホールとなってしまう、そのピンホールか
ら水分や酸素が侵入して記録層が腐食することによって
その記録特性を劣化させてしまうという問題があった。
本発明は以上の問題に鑑み成されたものであり、その目
的は、スタンパ−を用いて案内溝付きの基板を製造する
際のパリの発生を抑制することによって、基板表面への
ゴミの付着を防止することのできる光学的記録媒体用の
基板の製造方法を提供することにある。
的は、スタンパ−を用いて案内溝付きの基板を製造する
際のパリの発生を抑制することによって、基板表面への
ゴミの付着を防止することのできる光学的記録媒体用の
基板の製造方法を提供することにある。
本発明の光学的記録媒体用の基板の製造方法は、案内溝
の形状に対応した凹凸を有する型の上に硬化性の樹脂と
基板とを順次積層し、該樹脂を固化させて案内溝付きの
光学的記録媒体用の基板を製造する方法に於いて、 ■内周が基板の中心孔よりも大きく、且つ外周が基板の
外周より、も小さいドーナツ状の遮光部を有するマスク
を前記基板上に載置し、次いで該マスク上方から前記基
板を透過可能な光を照射しつつ前記基板を押し下げるこ
とにより、予め前記遮光部の下方であって、且つ前記型
と前記基板との間に塗布された前記光の照射により硬化
可能な樹脂を押し広げ、光が照射される位置まで押し広
げられた該樹脂を硬化させる工程と、 ■前記マスクを取り除き、前記樹脂全体に対して前記光
を照射して、該樹脂全体を硬化させる工程を有すること
を使用する。
の形状に対応した凹凸を有する型の上に硬化性の樹脂と
基板とを順次積層し、該樹脂を固化させて案内溝付きの
光学的記録媒体用の基板を製造する方法に於いて、 ■内周が基板の中心孔よりも大きく、且つ外周が基板の
外周より、も小さいドーナツ状の遮光部を有するマスク
を前記基板上に載置し、次いで該マスク上方から前記基
板を透過可能な光を照射しつつ前記基板を押し下げるこ
とにより、予め前記遮光部の下方であって、且つ前記型
と前記基板との間に塗布された前記光の照射により硬化
可能な樹脂を押し広げ、光が照射される位置まで押し広
げられた該樹脂を硬化させる工程と、 ■前記マスクを取り除き、前記樹脂全体に対して前記光
を照射して、該樹脂全体を硬化させる工程を有すること
を使用する。
第１図は、本発明の方法に用いるマスク５の一例を示す
平面図である。このマスク５には光を遮ぎるドーナツ形
状をした遮光部７の内側及び外側に光を透過する透光部
６が存在する。
平面図である。このマスク５には光を遮ぎるドーナツ形
状をした遮光部７の内側及び外側に光を透過する透光部
６が存在する。
遮光部７の内周７ａは１本発明の方法を実施する際に用
いる第２図に示す基板２の中心孔（スタンパ−の中心軸
１．との嵌合部）よりも大きく、一方遮光部７の外周７
ｂは、基板２の外周よりも小さくなっている。即ち、こ
のマスク５を基板２上に載置したときに遮光部７が基板
の内側端部（本発明にいう端部とは、最も端の部分から
ある幅をもった部分をいう、）と外側端部とは覆わず、
これら両端部の間の中間部分のみを覆うことができるよ
うになっている。
いる第２図に示す基板２の中心孔（スタンパ−の中心軸
１．との嵌合部）よりも大きく、一方遮光部７の外周７
ｂは、基板２の外周よりも小さくなっている。即ち、こ
のマスク５を基板２上に載置したときに遮光部７が基板
の内側端部（本発明にいう端部とは、最も端の部分から
ある幅をもった部分をいう、）と外側端部とは覆わず、
これら両端部の間の中間部分のみを覆うことができるよ
うになっている。
本発明の方法によれば、遮光部７と同形状でほぼ同・じ
大きさに案内溝を構成する樹脂層を基板に固着すること
ができるので、遮光部７は上記の大きさを満たす範囲内
で形成しようとする樹脂層の形状、大きさに合わせて、
マスク５に設けられる本例に於けるマスク５の遮光部７
の内周及び外周は円形であるが、それらの形状は円形に
限らず多角形等でもよい、これら形状の遮光部を本発明
に於いてはすべてドーナツ状の遮光部という。
大きさに案内溝を構成する樹脂層を基板に固着すること
ができるので、遮光部７は上記の大きさを満たす範囲内
で形成しようとする樹脂層の形状、大きさに合わせて、
マスク５に設けられる本例に於けるマスク５の遮光部７
の内周及び外周は円形であるが、それらの形状は円形に
限らず多角形等でもよい、これら形状の遮光部を本発明
に於いてはすべてドーナツ状の遮光部という。
本発明の方法に用いるスタンパ−は第５図に示゛した従
来のものと同様のものを用いることができるが、マスク
の中心には、スタンパ−の中心軸を挿入するための孔８
が配設されている。この中心孔８は、マスク５をスタン
パ−上へ容易に位置決めするためにスタンパ−の中心軸
とほぼ同じ大きさで、それに嵌合できるようになってい
るものが好ましい、なお、遮光部７の外側の透光部６は
単にマスク製造上の理由から設けられたものであり、必
ずしも必要でない。
来のものと同様のものを用いることができるが、マスク
の中心には、スタンパ−の中心軸を挿入するための孔８
が配設されている。この中心孔８は、マスク５をスタン
パ−上へ容易に位置決めするためにスタンパ−の中心軸
とほぼ同じ大きさで、それに嵌合できるようになってい
るものが好ましい、なお、遮光部７の外側の透光部６は
単にマスク製造上の理由から設けられたものであり、必
ずしも必要でない。
上記のマスクを使用する場合を例にとって、本発明の方
法を以下詳細に説明する。第２図及び第３図は、本発明
の実施例を示す図である。
法を以下詳細に説明する。第２図及び第３図は、本発明
の実施例を示す図である。
この実施例に於いては、まず、スタンパ−４上に紫外線
硬化型の樹脂３を塗布する。樹脂の塗布は、次段階でこ
の樹脂３の上方にマスク５をセットした時点では、樹脂
３がそのドーナツ状の遮光部の下方に存在し、透光部の
下方にははみ出てないように実施することが必要である
。
硬化型の樹脂３を塗布する。樹脂の塗布は、次段階でこ
の樹脂３の上方にマスク５をセットした時点では、樹脂
３がそのドーナツ状の遮光部の下方に存在し、透光部の
下方にははみ出てないように実施することが必要である
。
なお、樹脂は紫外線硬化型のものばかりでなく、別の種
類の光によって硬化する他の種類の樹脂を使用してもよ
く、この場合には使用する光はこの樹脂に応じたものを
用いればよい。
類の光によって硬化する他の種類の樹脂を使用してもよ
く、この場合には使用する光はこの樹脂に応じたものを
用いればよい。
次に、使用光、即ち紫外線を透過可能な基板２をスタン
パ−４の中心に配設されている中心軸ｌに嵌入し、更に
この中心軸ｌにマスク５を嵌入して樹脂３上方に基板２
とマスク５とをセットする。
パ−４の中心に配設されている中心軸ｌに嵌入し、更に
この中心軸ｌにマスク５を嵌入して樹脂３上方に基板２
とマスク５とをセットする。
次に基板２とこの上に載置されたマスク５とをゆっくり
と降下させ、基板２が樹脂３にふれた時点で反射板９に
覆われた紫外線ランプｌＯを点灯し基板２とマスク５を
さらにゆっくりと降していく（第２図）、紫外線１１は
マスクの遮光部下力には到達しないので、予め遮光部の
下方に塗布された樹脂は紫外線ランプ１０の点灯にかか
わらず硬化さずに徐々に押し広げられるが、マスクの透
光部に到達した樹脂は光が当たって硬化する。樹脂３の
広がり方に各所゛で多少ムラがあってもこの樹脂３は硬
化によってマスクの遮光部の内周及び外周にそって拡が
りを停止する。その後、マスクを取り去って紫外線１１
を基板２上へ全面照射することによって樹脂３を完全硬
化さ姥て、硬化樹脂製の案内溝を形成すると共に基板に
固着させる（第３図）。
と降下させ、基板２が樹脂３にふれた時点で反射板９に
覆われた紫外線ランプｌＯを点灯し基板２とマスク５を
さらにゆっくりと降していく（第２図）、紫外線１１は
マスクの遮光部下力には到達しないので、予め遮光部の
下方に塗布された樹脂は紫外線ランプ１０の点灯にかか
わらず硬化さずに徐々に押し広げられるが、マスクの透
光部に到達した樹脂は光が当たって硬化する。樹脂３の
広がり方に各所゛で多少ムラがあってもこの樹脂３は硬
化によってマスクの遮光部の内周及び外周にそって拡が
りを停止する。その後、マスクを取り去って紫外線１１
を基板２上へ全面照射することによって樹脂３を完全硬
化さ姥て、硬化樹脂製の案内溝を形成すると共に基板に
固着させる（第３図）。
上記の方法によって、硬化樹脂製の案内溝にパリが発生
するのを防止することができる。
するのを防止することができる。
第１図に示したマスクを用いた上記実施例では、マスク
の透光部が広いためこの部分を透過した紫外線が回折に
よりまわり込み、マスクの遮光部の最も端の部分まで樹
脂３が到達する前に硬化し、樹脂３の停止位置の精度が
やや悪くなることがある。この精度を向上させたい場合
には、第４図に示すようなマスクを用いればよい、この
マスクは透光部６がドーナツ状で狭小な幅のスリットと
なっているためここを透過する紫外線が少なくまわり込
みが実質的に生じない、このために、樹脂が透光部６に
到達する前に硬化するようなことがなく、この透光部６
の位置にほとんど誤差なく樹脂３を停止させることがで
き、樹脂３の停止位置の精度を高くできる。
の透光部が広いためこの部分を透過した紫外線が回折に
よりまわり込み、マスクの遮光部の最も端の部分まで樹
脂３が到達する前に硬化し、樹脂３の停止位置の精度が
やや悪くなることがある。この精度を向上させたい場合
には、第４図に示すようなマスクを用いればよい、この
マスクは透光部６がドーナツ状で狭小な幅のスリットと
なっているためここを透過する紫外線が少なくまわり込
みが実質的に生じない、このために、樹脂が透光部６に
到達する前に硬化するようなことがなく、この透光部６
の位置にほとんど誤差なく樹脂３を停止させることがで
き、樹脂３の停止位置の精度を高くできる。
次に、実際に本発明の方法を実施した例を示す。
外径２００１、内径３０ｍ１、厚さ１．１ｍｍの青板ガ
ラス製の基板、ガラス製の円板上にクロム被覆により内
径８５層層、外径１９５ｍｍのドーナツ状の遮光部が設
けられた第１図に示したようなマスク、ペンタエリスリ
トールテトラメルカプトアセテートとジアリリデンペン
タエリスリトールの混合物［商品名ニスピラツクＴ−５
０２（昭和高分子）］と］２−ヒドロキシプロピルー１
，３ジメタクリレート［商品名ニア０１Ａ（新中村化学
）１を１：２で混合し光重合開始剤としてベンゾインイ
ソプロピルエーテルを２％加えた、紫外線硬化型の樹脂
を使用して１本発明の方法により案内溝付き基板を製造
した。この基板の案内溝を形作る樹脂層は内径７０麿露
（± １．５ｓ■）、外径１９０＋ｓ鳳（±１．５ｍｍ
）のドーナツ状のものであった。
ラス製の基板、ガラス製の円板上にクロム被覆により内
径８５層層、外径１９５ｍｍのドーナツ状の遮光部が設
けられた第１図に示したようなマスク、ペンタエリスリ
トールテトラメルカプトアセテートとジアリリデンペン
タエリスリトールの混合物［商品名ニスピラツクＴ−５
０２（昭和高分子）］と］２−ヒドロキシプロピルー１
，３ジメタクリレート［商品名ニア０１Ａ（新中村化学
）１を１：２で混合し光重合開始剤としてベンゾインイ
ソプロピルエーテルを２％加えた、紫外線硬化型の樹脂
を使用して１本発明の方法により案内溝付き基板を製造
した。この基板の案内溝を形作る樹脂層は内径７０麿露
（± １．５ｓ■）、外径１９０＋ｓ鳳（±１．５ｍｍ
）のドーナツ状のものであった。
上記マスクと同条件の遮光部に加え、更に中心から内径
６０ｆｆｉＩ１１までの部分と外径２００＋ｗｍより外
側の部分に遮光部を設けたマスク、即ち、５ｍｍの幅の
スリット状透光部を有する第４図に示したようなマスク
を用いた以外は上記と同条件で本発明の方法により案内
溝付き基板を製造した。この基板の樹脂層は内径８５ｍ
ｍ （±１ｓ＋ａ）、外径１９５ｍｍ （±１ｍｍ）の
ドーナツ状のものであり、遮光部とほぼ同形状、同じ大
きさのものが形成できた。
６０ｆｆｉＩ１１までの部分と外径２００＋ｗｍより外
側の部分に遮光部を設けたマスク、即ち、５ｍｍの幅の
スリット状透光部を有する第４図に示したようなマスク
を用いた以外は上記と同条件で本発明の方法により案内
溝付き基板を製造した。この基板の樹脂層は内径８５ｍ
ｍ （±１ｓ＋ａ）、外径１９５ｍｍ （±１ｍｍ）の
ドーナツ状のものであり、遮光部とほぼ同形状、同じ大
きさのものが形成できた。
以上説明したように、本発明の方法によって樹脂が基板
の内側及び外側の最端部に到達する以前にそれを所望の
位置で硬化させることでき基板の内外周付近に案内溝と
なる樹脂層を固着させないことが可能になった。従って
、基板の下方から樹脂がはみ出すことによって形成され
、ゴミの主な発生源となるパリが生じなくなったために
案内溝付き基板へのゴミの付着が大幅に減少し、信頼性
の高い記録媒体用として使用するには好適な基板が製造
できるようになった。
の内側及び外側の最端部に到達する以前にそれを所望の
位置で硬化させることでき基板の内外周付近に案内溝と
なる樹脂層を固着させないことが可能になった。従って
、基板の下方から樹脂がはみ出すことによって形成され
、ゴミの主な発生源となるパリが生じなくなったために
案内溝付き基板へのゴミの付着が大幅に減少し、信頼性
の高い記録媒体用として使用するには好適な基板が製造
できるようになった。
また、スタンパ−の中心軸に樹脂が付着しないので、ス
タンパ−と案内溝付き基板との離型が容易となると共に
ハリを除去する工程も不用となったために、製造効率が
上がった。
タンパ−と案内溝付き基板との離型が容易となると共に
ハリを除去する工程も不用となったために、製造効率が
上がった。
更に、本発明の方法により製造された案内溝付き基板を
使用して記録媒体を作製する場合に、案内溝を形作る樹
脂層の上部だけに記録層を積層し、次に保護層を基板全
面上に設ければ保護層は記録層だけでなく樹脂層最端部
の側面をも覆うために従来方式で作られた基板の様に樹
脂層最端部の側面から水分が侵入してくることがなくな
り記録層の耐久性を向上させる効果も期待できる。
使用して記録媒体を作製する場合に、案内溝を形作る樹
脂層の上部だけに記録層を積層し、次に保護層を基板全
面上に設ければ保護層は記録層だけでなく樹脂層最端部
の側面をも覆うために従来方式で作られた基板の様に樹
脂層最端部の側面から水分が侵入してくることがなくな
り記録層の耐久性を向上させる効果も期待できる。
第１図は本発明の方法に使用するマスクの一例を示す平
面図、第２図、第３図は本発明の方法の一実施例を示す
図、第４図は本発明の方法に使用するマスクの別の例を
示す平面図である。 第５図はスタンパ−を用いて従来法により案内溝を形成
する場合の樹脂硬化後の状態を示す図である。 １：中心軸 ２二基板 ３：樹脂 ４ニスタンパ− ５：マスク ６：透光部 ７：遮光部 ７ａ：内周 ７ｂ：外周 ８：中心孔 ９：反射板 ｌＯ：紫外線ランプ１１：紫外線 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
面図、第２図、第３図は本発明の方法の一実施例を示す
図、第４図は本発明の方法に使用するマスクの別の例を
示す平面図である。 第５図はスタンパ−を用いて従来法により案内溝を形成
する場合の樹脂硬化後の状態を示す図である。 １：中心軸 ２二基板 ３：樹脂 ４ニスタンパ− ５：マスク ６：透光部 ７：遮光部 ７ａ：内周 ７ｂ：外周 ８：中心孔 ９：反射板 ｌＯ：紫外線ランプ１１：紫外線 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）案内溝の形状に対応した凹凸を有する型の上に硬化
性の樹脂と基板とを順次積層し、該樹脂を固化させて案
内溝付きの光学的記録媒体用の基板を製造する方法に於
いて、 ［１］内周が基板の中心孔よりも大きく、且つ外周が基
板の外周よりも小さいドーナツ状の遮光部を有するマス
クを前記基板上に載置し、次いで該マスク上方から前記
基板を透過可能な光を照射しつつ前記基板を押し下げる
ことにより、予め前記遮光部の下方であって、且つ前記
型と前記基板との間に塗布された前記光の照射により硬
化可能な樹脂を押し広げ、光が照射される位置まで押し
広げられた該樹脂を硬化させる工程と ［２］前記マスクを取り除き、前記樹脂全体に対して前
記光を照射して、該樹脂全体を硬化させる工程を有する
ことを特徴とする光学的記録媒体用の基板の製造方法。 ２）前記マスクの遮光部の外側及び内側に狭小な幅のド
ーナツ状の透光部を介して遮光部が設けられたものを使
用する特許請求の範囲第１項記載の光学的記録媒体用の
基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6320585A JPH0630181B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 光学的記録媒体の基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6320585A JPH0630181B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 光学的記録媒体の基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61222727A true JPS61222727A (ja) | 1986-10-03 |
| JPH0630181B2 JPH0630181B2 (ja) | 1994-04-20 |
Family
ID=13222469
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6320585A Expired - Lifetime JPH0630181B2 (ja) | 1985-03-29 | 1985-03-29 | 光学的記録媒体の基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0630181B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997021495A1 (de) * | 1995-12-08 | 1997-06-19 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Vorrichtung zum beschichten von scheibenförmigen informations-speichermedien |
-
1985
- 1985-03-29 JP JP6320585A patent/JPH0630181B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997021495A1 (de) * | 1995-12-08 | 1997-06-19 | Steag Hamatech Gmbh Machines | Vorrichtung zum beschichten von scheibenförmigen informations-speichermedien |
| AU696079B2 (en) * | 1995-12-08 | 1998-09-03 | Steag Hamatech Ag | Device for coating disc-shaped information storage media |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0630181B2 (ja) | 1994-04-20 |
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